JPS59138164U - イオン注入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案のイオン注入装置の一実施例の要部平
面図、第２図は同正面図、第３図はウニ　　−ハの方向
合わせを説明するための説明図、第４図は第１図に示す
装置の制御系統図、第５図は第１図に示す装置のイオン
注入時の状態を示す正面図、第６図は第１図に示す装置
のウェハ搬出時の状態を示す正面図、第７図は第１図に
示゛す装置のクランパーとウェハホルダーの位置関係を
示す端面図で、イはウェハ搬入時、口はウェハ挾持時、
ハはウェハ搬出時の図である。 １・・・・・・イオン注入装置、２・・・・・・ウェハ
ホルダー、３・・・・・・ケース、４・・・・・・モー
タ、５・・・・・・クランパー、６・・・・・・スプリ
ング、８・・・・・・方向設定用ガイド、９・・・・・
・回転ローラ、１０・・・・・・ベルト、１１・・・・
・・駆動軸、１２．１４・・・・・・回転軸、１３・・
・・・・ベルト、１５・・・・・・駆動ドラム、１６・
・・・・・モータ、１７・・・・・・位置調節手段、１
８・・・・・・上下板、２０・・・・・・検知装置、２
１・・・・・・制御回路。 冒ｒ外− ”　　　　　　　　−−−−「Ｔ− ”Ｔｉ”　　　− ・イ）　　　　　　　　７８　　− −＼−♂（工、）ニー １′Ｏ−庁１２

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　ウェハの搬入と搬出のときには略水平状態であり゛
   、ウェハにイオンビームを照射するときには略垂直状態
   に立ってウェハをイオンビームの入射方向に対し略垂直
   の所定位置に保つウェハ保持手段、 前記ウェハ保持手段に設置されており、ウェハの搬入と
   搬出のときにウェハを移動させる搬送手段、 前記ウェハ保持手段に設置されており、搬入されたウニ
   ・ミを所定方向に向けるべく回転させる回転手段、およ
   び 前記ウェハ保持手段を支持する固定台側に設置されてお
   り、ウェハ保持手段が略水平状態となったときに前記搬
   送手段および回転手段に結合してこれらに動力を与える
   モータ手段を具備してなるイオン注入装置。 ２　搬送手段が、駆動軸およびその駆動軸の回転と共に
   回動するベルトからなる請求の範囲第１項記載の装置。 ３　回転手段が、搬送手段の駆動軸の回転と共に回転す
   る回転ローラからなる請求の範囲第２項記載の装置。 ４　モータ手段が、ウェハ保持手段が略水平状態のとき
   に搬送手段の駆動軸に圧接される駆動ドラムおよびその
   駆動ドラムを回転させるモータからなる請求の範囲第３
   項記載の装置。