JPH0644546A - ヘッドアクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【構成】 第１の圧電体１と第２の圧電体２を弾性シム
材３を介して貼合わせたバイモルフ素子４で、少なくと
もバイモルフ素子４の固定端側において、第１と第２の
圧電体の長さよりも長い弾性シム材３に貼合わせて形成
し、圧電体より長い部分の弾性シム材３の固定部３ａを
固定台５で完全に固定し、かつ第１と第２の圧電体の一
部を弾性部材８で支持固定する構造とする。 【効果】 圧電体と固定台５の固定端部で生じる応力集
中を完全に解消できるため、バイモルフ素子４に貼合わ
せた圧電体の歪限界まで撓み変形を許容できるので大き
な変位量が得られる。また、圧電体にクラックなどが発
生しないので信頼性や特性のばらつきの非常に少ない優
れたヘッドアクチュエータが得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＶＴＲ（ビデオテープ
レコーダ）等の自動トラッキング装置に用いられる、圧
電体と弾性シム材で構成されるバイモルフ素子の印加電
圧による伸縮運動で、ヘッドを記録トラックに沿って、
所定の方向に変位させるヘッドアクチュエータの固定端
における固定方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＶＴＲ等の記録再生装置の高機能
化、高画質化において、画像信号を記録再生するための
高性能なヘッドアクチュエータが求められている。

【０００３】以下に、従来の磁気ヘッド装置について説
明する。図９（ａ）は、特開昭５５−１３９６３０号公
報に示された従来の磁気ヘッド装置の概略を示す一部切
り欠き斜視図である。

【０００４】同図（ａ）において、回転ヘッド方式のヘ
リカルスキャン型ＶＴＲは、一般にヘッドドラムに一定
の傾斜角をもって巻き付けられた磁気テープ上に、テー
プの走行速度や回転ヘッドの回転速度に応じて傾斜した
記録トラックＴ（実線）が、同図（ｂ）のように形成さ
れる。しかし、磁気テープ上の磁気信号を、スチル、ス
ローモーション、倍速やリバースモードなどの記録時の
速度と異なる速度で再生する場合、磁気ヘッドの走査軌
跡が記録トラックと異なった傾斜で走査されるため、磁
気ヘッドは記録トラックから外れて、同図（ｂ）の点線
上を走査することになる。このため、ガードバンドノイ
ズやクロストークが生じ問題となっていた。

【０００５】そこで上述の回転ヘッド方式ＶＴＲにおい
ては、各種可変速モードに対して、磁気ヘッドが正確に
記録トラックを走査するようにトラッキング用のヘッド
アクチュエータを備えている。例えば図１０に示すよう
なバイモルフ板を用いたヘッドアクチュエータがある。

【０００６】以下に図１０を参照しながら、ヘッドアク
チュエータの構造と動作原理について説明する。２１は
バイモルフ板、２２はヘッド基台、２３ａと２３ｂはバ
イモルフ板２１を構成する圧電セラミック、２４は中間
電極を兼ねた中央補強金属板である。同図において、バ
イモルフ板２１はヘッド基台２２などの固定部に固定支
持された片持ち梁構造に磁気ヘッド２５が取り付けられ
ている。このバイモルフ板２１の固定部側部分２１Ｂで
は圧電セラミック２３ａ、２３ｂが中央補強金属板２４
を介して貼合わされ、先端部側部分２１Ａは、中央補強
金属板２４を介することなく接着剤で貼合わされて構成
されている。上記のように構成されたバイモルフ板２１
は、中央補強金属板２４が介在した部分２１Ｂの圧電セ
ラミックの外表面に設けた電極２６、２７によって、バ
イモルフ板２１を図１０に示したＣの方向に撓み変位を
生じさせ、２１Ａ部分の圧電セラミックに設けた電極２
８、２９でバイモルフ板２１の２１Ａ部分を同一方向に
変位するように駆動するものである。

【０００７】上記構造により、電極２６、２７による撓
み変位により、磁気ヘッド２５と磁気テープ３０との相
対位置を変え、電極２８、２９によりバイモルフ板２１
を磁気テープ３０方向に変位させる。これにより、磁気
テープ３０と磁気ヘッド２５との間隔を常に一定に保つ
ため接触圧の安定化がはかれ、磁気ヘッド２５のトラッ
キングによる記録・再生信号の低下を防止できるもので
ある。しかし、磁気へッド２５と磁気テープ３０との傾
斜によって生じるスペーシング角による記録・再生信号
の劣化の問題は解消されていない。

【０００８】上記問題を解決するために、特開昭５７−
６０５２８号公報に示されているヘッドアクチュエータ
がある。以下に図１１を用いて詳細に説明する。

【０００９】図１１において、３１は第１のバイモルフ
板、３２は第２のバイモルフ板、３３は第１のバイモル
フ板３１を第２のバイモルフ板３２で固定端部おいて挟
持した第１の電気−機械変換素子、３４は第３のバイモ
ルフ板、３５は第４のバイモルフ板、３６は第３のバイ
モルフ板３４を第４のバイモルフ板３５で固定端部おい
て挟持した第２の電気−機械変換素子、３７は第１と第
２の電気−機械変換素子の各自由端を連結する、断面形
状がコ字状のヘッド支持部材、３８はヘッド支持部材３
７上に貼付けられた磁気ヘッドである。

【００１０】同図のヘッドアクチュエータにおいて、第
１〜第４のバイモルフ板を構成する各ａ側の圧電セラミ
ックを伸ばし、各ｂ側の圧電セラミックを縮めるように
各圧電セラミックに電界を印加する。また、逆の方向に
変形させる時は上述と逆の電界を印加する。これにより
電界の方向に対応して、第１と第２の電気−機械変換素
子を図１１のＣで示す方向に変位させることができる。

【００１１】一般に、バイモルフ板の変位量ξ（数１）
と共振周波数ｆ（数２）は、以下の関係で示される。

【００１２】

【数１】

【００１３】

【数２】

【００１４】ここで、ｄ31は圧電定数、ｌは圧電体長、
ｔは圧電体厚、ρは圧電体の密度でｓ11は圧電体の弾性
率である。上記（数１）（数２）式の関係から、共振周
波数と変位量は、いずれかを大きくすれば他方を小さく
なるという関係にある。

【００１５】しかし、上記構成によって、第２と第４の
バイモルフ板３２、３５により、第１と第２のバイモル
フ板３１、３４で得られる変位を拡大させるとともに、
電気−機械変換素子の共振周波数を下げずにより大きな
変位が得られる構成とできるものである。また、第１と
第２の電気−機械変換素子を互いに連結するヘッド支持
部材３８により、磁気ヘッド３９が磁気テープに対して
平行に移動する事ができるため、磁気ヘッド３９と磁気
テープとのスペーシング角をほとんどゼロとすることが
可能で、記録・再生信号の劣化を大幅に改善できるもの
である。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成のヘッドアクチュエータでは、バイモルフ板を構
成する圧電体を直接基台や固定台に固定するため、バイ
モルフ板を駆動した時に圧電体の固定部に応力が集中
し、クラックなどによる破損が生じ易く信頼性の点で大
きな問題である。

【００１７】また、圧電セラミックは自重や磁気ヘッド
質量などにより自然に垂れるため、磁気ヘッドを磁気テ
ープに対する位置が経時的に変化し、磁気ヘッドの位置
制御上問題がある。

【００１８】さらに、圧電体は破損し易いため均一固定
を実現することは難しく、固定状態や固定条件により共
振周波数や変位量が大きくばらつくため、特性の安定性
や生産性に大きな問題がある。

【００１９】本発明は上記問題点を解決したヘッドアク
チュエータを提供することを目的とするものである。

【００２０】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のヘッドアクチュエータは、第１の圧電体と第
２の圧電体を弾性シム材を介して貼合わせたバイモルフ
素子で、少なくともバイモルフ素子の固定端側において
は第１と第２の圧電体よりも弾性シム材が突出する形に
貼合わせて形成し、圧電体より突出した部分の弾性シム
材部を固定台で完全に固定し、かつ第１と第２の圧電体
の一部を弾性的に支持固定する構造とすることにより上
記課題を解決するものである。

【００２１】

【作用】この本発明の構成によって、圧電体を固定台で
直接固定せず弾性的に支持固定し、弾性シム材を完全固
定するという新たな構造を取ることによって、バイモル
フ素子の変形により発生する圧電体と固定台の固定端部
との応力集中を解消できる。

【００２２】また、金属材料や炭素繊維系の材料からな
る弾性シム材部を完全固定し、圧電体を弾性支持するた
め、圧電体の固定端の応力集中を緩和するするととも
に、確実な位置固定が可能となり、弾性シム材の弾性範
囲内であれば磁気ヘッドの磁気テープに対する位置を高
精度に保証できるものである。

【００２３】さらに、完全固定部を固定台の内部に形成
するため、圧電体は完全固定でなくなるため大きな変位
量が得られるとともに、共振周波数はほぼバイモルフ素
子の圧電体固定端部から自由端部までの長さで決まるた
め共振周波数の高いヘッドアクチュエータを得ることが
できるものである。

【００２４】

【実施例】

（実施例１）以下本発明の実施例１について、図面を参
照しながら説明する。

【００２５】図１は、本発明の実施例１のヘッドアクチ
ュエータの断面図である。同図において、１は第１の圧
電体、２は第２の圧電体で、３は弾性シム材、４は第１
の圧電体１と第２の圧電体２を弾性シム材３の両面に貼
合わせて構成したバイモルフ素子、５はバイモルフ素子
４を固定する固定台、６はヘッド支持部材で７は磁気ヘ
ッドである。

【００２６】同図において、第１と第２の圧電体１、２
を、少なくとも変形方向には高い弾性率を有する、例え
ばリン青銅、インバーやチタン等の金属材料や炭素繊維
系材料からなる弾性シム材３の両面に、弾性シム材の固
定部３ａを除いた部分に接着等により貼付けてバイモル
フ素子４を形成する。このバイモルフ素子４の弾性シム
材の固定部３ａを固定台５で完全にネジなどを用いて固
定する。

【００２７】一方、固定台５のバイモルフ素子４の固定
端から固定台５の内側部分の圧電体部と弾性シム部をエ
ポキシ系の接着剤等の弾性部材８で支持固定する。そし
て、バイモルフ素子４の自由端にヘッド支持部材６をど
ちらか一方の圧電体面に図のように接着固定し、その先
端に磁気ヘッド７を設けた構成とするものである。

【００２８】なお、弾性部材７を実施例ではエポキシ系
の接着剤としたが、圧電体よりも弾性率の小さい材料、
例えば硬質ゴム材やプラスチック材等、であれば何でも
よい。また、磁気ヘッド７の取り付け位置も本実施例の
位置に限定されたものではなく、例えばヘッド支持部材
７の下面に取り付けてもよいが、好ましくは弾性シム材
３の延長線上に設ける方が最適である。

【００２９】次に、図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の動作
説明図を用いてその動作原理を説明する。同図（ｂ）に
おいて、第１の圧電体１と第２の圧電体２の分極軸は図
に示すように弾性シム材３の方に向いている。ここで分
極軸方向に電界を印加すると分極軸方向に伸びるため圧
電体は長さ方向に縮み、同図（ａ）に示すように上に変
位する。逆の場合は、同図（ｃ）に示すように、その反
対の変位を生じる。

【００３０】これにより、第１の圧電体と第２の圧電体
の外側の電極間に電界を印加すれば、印加電界の極性に
応じてバイモルフ素子４は、図中のＣ方向に上下に変位
することになる。しかし、通常、圧電体には抗電場（圧
電性が無くなる電界強度）が存在するため上述のような
駆動方法は用いず、分極する方向の電界のみを印加する
片側駆動だけかまたは、抗電場以内までの電界がかかる
ようにダイオードを設けて抗電場までは第１と第２の圧
電体の両方を駆動し、それ以上の電界では片側駆動でバ
イモルフ素子４を変位させている。

【００３１】以上のように本発明の実施例１によれば、
バイモルフ素子４の第１と第２の圧電体の一部分を固定
台５で直接固定せず接着剤等の弾性部材８で支持固定
し、かつ弾性シム材の固定部３ａを固定台５で完全固定
することにより、バイモルフ素子４の変形により、圧電
体と固定台の固定端部で生じる応力集中を緩和できるた
め、バイモルフ素子４に貼合わせた圧電体の歪限界まで
撓み変形を許容できるので大きな変位量が得られるとと
もに、圧電体にクラックなどが発生しないので信頼性や
特性のばらつきの非常に少ない優れたヘッドアクチュエ
ータが得られる。

【００３２】また、弾性シム材の固定部３ａでバイモル
フ素子を完全固定するため、従来構成において発生して
いた圧電体の固定端にかかる自重やヘッド質量による応
力によって圧電体の形状変形に伴うバイモルフ素子の歪
を伴わないダレの発生を皆無とすることにより、固定台
で完全固定した弾性シム材の弾性限度内であれば、磁気
ヘッドの磁気テープに対する位置を常に高精度に保つこ
とができる。

【００３３】さらに、完全固定部を固定台の内部に形成
するため、圧電体の圧電効果によるバイモルフ素子の変
形が固定端より内側を起点として生じるため変位量の拡
大が容易に図られる。また、共振周波数はバイモルフ素
子の固定端部から自由端部までの長さで決まるため共振
周波数と変位量の相反する関係を改善し、より高性能の
ヘッドアクチュエータを得ることができるものである。

【００３４】（実施例２）以下本発明の実施例２につい
て、図面を参照しながら説明する。

【００３５】本実施例２は、図３に示すように実施例１
のヘッドアクチュエータの構造において、バイモルフ素
子４の自由端部の弾性シム材３を第１と第２の圧電体
１、２よりも長く形成し、貼付け部３ｂを設け、この貼
付け部３ｂとバイモルフ素子４の何れかの圧電体の表面
の両方にヘッド支持部材６を接着等で貼付け、さらに磁
気ヘッド７をヘッド支持部材６に取り付けたヘッドアク
チュエータであり、他の構成は実施例１と同様である。

【００３６】上記のように本発明の実施例２によれば、
実施例１と同様の効果が得られるとともに、実施例１に
おけるヘッド支持部材６とバイモルフ素子４の圧電体と
の接着強度の不安定さを、弾性シム材３の貼付け部３ｂ
と圧電体の両方にヘッド支持部材を取り付けることによ
り、接着面積の増加と良好な接着性を有する弾性シム材
３の採用により、接着強度を大幅に改善し、バイモルフ
素子の変形による接着部の引っ張りと圧縮の繰り返しに
よる負荷変動に対する信頼性を大幅に向上するものであ
る。

【００３７】また、圧電体へのヘッド支持部材６の取り
付け時、接着位置ばらつきによるヘッドアクチュエータ
長の変化を、弾性シム材３の貼付け部３ｂと圧電体とに
よりヘッド支持部材６の位置決めが確実にできるため、
磁気ヘッド７の取り付け調整が簡略化でき、生産性を大
幅に向上できる。

【００３８】なお、バイモルフ素子の圧電体と接着する
部分のヘッド支持部材６’を図４のような構造としても
良いことは言うまでもない。また、磁気ヘッド７の取り
付け位置やヘッド支持部材６’の取り付け形状も本実施
例の構造に特に限定されるものではない。

【００３９】（実施例３）図５は、本発明の実施例３の
ヘッドアクチュエータの断面図である。同図において、
実施例３は実施例１のバイモルフ素子とヘッド支持部材
と磁気ヘッドからなるヘッドアクチュエータを２組用い
て、互いに平行となるように構成し、各自由端部をヘッ
ド支持部材等を介して連結し、磁気ヘッドを設けた構成
とするものであり、本構成により実施例１にはない大き
な効果を生じるものである。

【００４０】以下、本発明の実施例３について、図面を
参照しながら説明する。９は第１の圧電体、１０は第２
の圧電体で、１１は第１の弾性シム材、１２は第１の圧
電体９と第２の圧電体１０を第１の弾性シム材１１の両
面に貼合わせて構成した第１のバイモルフ素子、１３は
第３の圧電体、１４は第４の圧電体で、１５は第２の弾
性シム材、１６は第３の圧電体１３と第４の圧電体１４
を第２の弾性シム材１５の両面に貼合わせて構成した第
２のバイモルフ素子、１７は第１と第２のバイモルフ素
子を固定する固定台、１８は第１と第２のバイモルフ素
子を連結するヘッド支持部材で１９は磁気ヘッドであ
る。

【００４１】同図において、第１と第２の圧電体９、１
０および第３と第４の圧電体１３、１４を、少なくとも
変形方向には高い弾性率を有する、例えばリン青銅、イ
ンバーやチタン等の金属材料や炭素繊維系材料からなる
第１および第２の弾性シム材１１、１５の両面に、弾性
シム材の固定部１１ａ、１５ａを除いた部分に接着等に
より貼付けて第１と第２のバイモルフ素子１２、１６を
形成する。この第１と第２のバイモルフ素子１２、１６
の第１と第２の弾性シム材１１、１５の固定部１１ａ、
１５ａを所定の間隔を設け、互いに平行になるように配
置して固定台１７に完全にネジなどを用いて固定する。

【００４２】一方、固定台１７の第１と第２のバイモル
フ素子１２、１６の固定端部から固定台１７の内側部分
の圧電体部と弾性シム部をエポキシ系の接着剤等の弾性
部材２０で支持固定する。

【００４３】つぎに、第１と第２のバイモルフ素子１
２、１６の各自由端同士をヘッド支持部材１８をどちら
か一方の圧電体に接着固定することにより互いに平行に
連結し、その先端に磁気ヘッド１９を設けた構成とする
ものである。

【００４４】なお、弾性部材２０を実施例３ではエポキ
シ系の接着剤としたが、圧電体よりも弾性率の小さい材
料、例えば硬質ゴム材やプラスチック材等、であれば何
でもよい。また、磁気ヘッド１９の取り付け位置も本実
施例の位置に限定されたものではなく、例えばヘッド支
持部材１８の上面に取り付けてもよいが、好ましくは第
１と第２のバイモルフ素子１２、１６間の中央の延長線
上に設ける方が最適である。

【００４５】次に、図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の動作
説明図を用いて、その動作原理を説明する。同図におい
て、基本的な動作原理は図２で説明したものと同じであ
り、ここでは、実施例３で新たに加わる動作について以
下に説明する。

【００４６】図６（ａ）、（ｃ）から、第１と第２のバ
イモルフ素子の自由端を連結するように設けられたヘッ
ド支持部材１８の曲がり部１８ａの長さは、第１と第２
のバイモルフ素子の変形時においても変化しないため、
図に示すように磁気ヘッド１９は磁気テープに対して、
平行に移動する。これによって、磁気ヘッド１９と磁気
テープ間のスペーシング角がほぼゼロとなるので、記録
・再生信号の劣化を未然に防止できるものである。

【００４７】以上のように本発明の実施例３によれば、
バイモルフ素子の固定部構造を採用することにより、実
施例１と同様の効果を得ることができる。

【００４８】そして、２組のバイモルフ素子をヘッド支
持部材で平行に連結することにより、磁気ヘッドと磁気
テープとのスペーシング角をほぼゼロとできるため、記
録・再生信号の劣化を防止し、より高性能で高画質を達
成できるヘッドアクチュエータを得ることができる。ま
た、２組のバイモルフ素子の平行構造により、ヘッド質
量等の負荷による共振周波数の低下等の特性に与える影
響を大きく改善できる。さらに、各圧電体の厚みバラツ
キや弾性シム材と圧電体との接着状態のバラツキに起因
する撓み変形と直交する方向の変形により生じる磁気ヘ
ッドのねじれを、平行構造による、ねじれを磁気ヘッド
を平行にする原理と同様の矯正する効果により、つねに
磁気ヘッド位置が安定し、かつ磁気テープとの相対位置
の矯正などの取り付け調整が簡単なヘッドアクチュエー
タを得ることができる。

【００４９】（実施例４）以下、本発明の実施例４につ
いて、図面を参照しながら説明する。

【００５０】本実施例４は、図７に示すように実施例３
のヘッドアクチュエータの構造において、第１と第２の
バイモルフ素子１２、１６の各自由端部の第１と第２の
弾性シム材１１、１５を第１と第２および第３と第４の
圧電体９、１０と１３、１４よりも長く形成し、貼付け
部１１ｂ、１５ｂを設け、この貼付け部１１ｂ、１５ｂ
と第１と第２のバイモルフ素子１２、１６のいずれかの
圧電体の表面の両方に図に示したヘッド支持部材１８を
接着等で貼付け、さらに磁気ヘッド１９をヘッド支持部
材１８に取り付けた構成のヘッドアクチュエータであ
り、他の構成は実施例３と同様である。

【００５１】上記のように本発明の実施例４によれば、
実施例３と同様の効果が得られるとともに、実施例３に
おけるヘッド支持部材１８と第１と第２のバイモルフ素
子１２、１６の圧電体との接着強度の不安定さを、第１
と第２の弾性シム材１１、１５の貼付け部１１ｂ、１５
ｂと圧電体の両方にヘッド支持部材１８を取り付けるこ
とにより、接着面積の増加と良好な接着性を有する弾性
シム材の採用により、接着強度を大幅に改善し、バイモ
ルフ素子の変形による接着部の引っ張りと圧縮の繰り返
しによる負荷変動に対する信頼性を大幅に向上するもの
である。

【００５２】また、圧電体へのヘッド支持部材の取り付
け時、接着位置ばらつきによるヘッドアクチュエータ長
の変化を、弾性シム材の貼付け部と圧電体とによりヘッ
ド支持部材の位置決めが確実にできるため、磁気ヘッド
の取り付け調整が簡略化でき、生産性を大幅に向上でき
る。

【００５３】さらに、ヘッド支持部材をバイモルフ素子
の変形の中性面近傍の弾性シム材に設けることにより、
磁気ヘッドの変形により生じる磁気テープと磁気ヘッド
との間隔（以後は突出量と記す。）をヘッドアクチュエ
ータの変形方向による差をなくすることができるととも
に、突出量の絶対値をも小さくすることができるため、
磁気ヘッドの磁気テープとの位置関係による記録再生信
号の劣化を大きく改善できる。

【００５４】なお、バイモルフ素子の圧電体と接着する
ヘッド支持部材１８’を図８のような構造としても良い
ことは言うまでもない。また、磁気ヘッド１９の取り付
け位置やヘッド支持部材１８’の取り付け形状も本実施
例の構造に特に限定されるものではない。

【００５５】

【発明の効果】上述したように本発明は、圧電体自体を
固定台に直接固定せず、接着剤等の弾性部材で弾性的に
支持固定し、弾性シム材を固定台に完全固定することに
よって、バイモルフ素子の変形により発生する圧電体と
固定台の固定端部との応力集中を解消できため信頼性の
高いヘッドアクチュエータを得ることができる。

【００５６】また、金属材料や炭素繊維系の材料からな
る弾性シム材部を固定台に完全固定するため、圧電体の
固定端にかかる自重やヘッド質量等による応力によって
生じる圧電体自体の変形が皆無となり、弾性シム材の弾
性範囲内であれば磁気ヘッドの磁気テープに対する絶対
位置を高精度に保証できるものである。

【００５７】さらに、バイモルフ素子の弾性シム材によ
る完全固定部を固定台の内部に形成するため、圧電体の
圧電効果によるバイモルフ素子の変形が固定端より内側
から生じるので、変位量を拡大できるとともに、共振周
波数はバイモルフ素子の固定端部から自由端部までの長
さで決まるため共振周波数の高いヘッドアクチュエータ
を得ることができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１のヘッドアクチュエータの断
面図

【図２】同実施例のヘッドアクチュエータの動作原理を
示す図

【図３】本発明の実施例２のヘッドアクチュエータの断
面図

【図４】同実施例おいて可能な別のヘッド支持部材の例
を示す図

【図５】本発明の実施例３のヘッドアクチュエータの断
面図

【図６】同実施例のヘッドアクチュエータの動作原理を
示す図

【図７】本発明の実施例４のヘッドアクチュエータの断
面図

【図８】同実施例において可能な別のヘッド支持部材の
例を示す図

【図９】従来例の磁気ヘッド装置の概略を示す一部切り
欠き斜視図

【図１０】従来例のヘッドアクチュエータの断面図

【図１１】従来例の別のヘッドアクチュエータの断面図

【符号の説明】

１、９、１３、 第１の圧電体 ２、１０、１４ 第２の圧電体 ３ 弾性シム材 １１ 第１の弾性シム材 １５ 第２の弾性シム材 ３ａ、１１ａ、１５ａ 弾性シム材の固定部 ３ｂ、１１ｂ、１５ｂ 弾性シム材の貼付け部 ４ バイモルフ素子 １２ 第１のバイモルフ素子 １６ 第２のバイモルフ素子 ５、１７ 固定台 ６、１８ ヘッド支持部材 ７、１９ 磁気ヘッド ８、２０ 弾性部材 ２１、３１、３２ バイモルフ板 ２４ 中央補強金属板 ３３、３７ 電気−機械変換素子

フロントページの続き (72)発明者 武田 克 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 住原 正則 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 川崎 修 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】分極軸方向の上下表面に電極を形成した第
   １の圧電体と第２の圧電体を弾性シム材を介して貼合わ
   せたバイモルフ素子において、少なくとも前記バイモル
   フ素子の固定端では前記第１と第２の圧電体よりも長く
   形成した前記弾性シム材を固定台で完全に固定し、かつ
   前記第１と第２の圧電体の一部を弾性的に支持固定し、
   前記バイモルフ素子の自由端にヘッド支持部材を介して
   磁気ヘッドを設けたことを特徴とするヘッドアクチュエ
   ータ。
2. 【請求項２】バイモルフ素子の自由端において、第１と
   第２の圧電体よりも弾性シムを長く形成し、ヘッド支持
   部材が前記弾性シム材と、少なくとも何れか一方の圧電
   体表面の両方に貼合わされた請求項１記載のヘッドアク
   チュエータ。
3. 【請求項３】分極軸方向の上下表面に電極を形成した第
   １の圧電体と第２の圧電体を第１の弾性シム材を介して
   貼合わせた第１のバイモルフ素子と、第３の圧電体と第
   ４の圧電体を第２の弾性シム材を介して貼合わせた第２
   のバイモルフ素子からなり、少なくとも前記第１と第２
   のバイモルフ素子の固定端では前記第１、第２、第３と
   第４の各圧電体よりも長く形成した前記第１と第２の弾
   性シム材を固定台によって互いに平行となるように完全
   に固定し、かつ前記第１と第２の圧電体および第３と第
   ４の圧電体の一部を弾性的に支持固定し、前記第１と第
   ２のバイモルフ素子の自由端をヘッド支持部材を介して
   互いに連結し、前記ヘッド固定部材に磁気ヘッドを設け
   たことを特徴とするヘッドアクチュエータ。
4. 【請求項４】第１と第２のバイモルフ素子の自由端にお
   いて、第１と第２の圧電体および第３と第４の圧電体よ
   りも第１と第２の弾性シム材を長く形成し、前記第１と
   第２のバイモルフ素子を互いに連結するヘッド支持部材
   が、前記第１および第２の弾性シム材と、少なくとも前
   記第１と第２のバイモルフ素子の何れか一方の圧電体表
   面の両方に貼合わされた請求項３に記載のヘッドアクチ
   ュエータ。