JPH09288812A - 二軸制御構造及び回転ヘッド装置 - Google Patents

二軸制御構造及び回転ヘッド装置

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JPH09288812A
JPH09288812A JP12222696A JP12222696A JPH09288812A JP H09288812 A JPH09288812 A JP H09288812A JP 12222696 A JP12222696 A JP 12222696A JP 12222696 A JP12222696 A JP 12222696A JP H09288812 A JPH09288812 A JP H09288812A
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JP
Japan
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piezoelectric
magnetic head
bimorph element
piezoelectric bimorph
controlling
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JP12222696A
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Hiroto Kawaguchi
裕人 川口
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Sony Corp
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被制御部材の二軸方向の調整が可能であるよ
うにした二軸制御構造と、これを利用した磁気ヘッドの
突出し量及び取付高さを調整できるようにした回転ヘッ
ド装置を提供すること。 【解決手段】 二枚の圧電板16,17を有する圧電バ
イモルフ素子と、この圧電バイモルフ素子の自由端に取
り付けられた被制御部材14と、圧電バイモルフ素子の
各圧電板の電極に対して、それぞれ駆動電圧V1,V2
を印加する電源部19と、電源部を制御して、上記各駆
動電圧を調整する、制御部と、を含んでおり、上記制御
部が、各電極に対する駆動電圧の差(V1−V2)を制
御することにより、被制御部材をy方向に位置制御する
と共に、駆動電圧の和(V1+V2)を制御することに
より、被制御部材をx方向に位置制御するように、二軸
制御構造を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電バイモルフ素
子を利用した二軸制御構造に関し、例えば特にビデオテ
ープレコーダ(VTR)装置等の回転ドラムにおける磁
気ヘッドの突出し量及び取付高さを調整できるようにし
た回転ヘッド装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、ビデオテープレコーダ(VT
R),デジタルオーディオテープ(DAT)等における
回転ヘッド装置は、例えば図6に示すように、構成され
ている。図6において、回転ヘッド装置1は、固定ドラ
ム2と、この固定ドラム2に回転可能に支持され且つ図
示しないモータにより回転駆動される回転ドラム3と、
回転ドラム3の周面から僅かに突出するように設けられ
た磁気ヘッド4とから構成されている。
【0003】このような構成の回転ヘッド装置1によれ
ば、テープ記録または再生時には、図7に示すように、
回転ドラム3が高速回転されると共に、この回転ドラム
3の周面の一部に関して、テープ5が巻回される。これ
により、磁気ヘッド4は、図8に示すように、テープ5
に対して、矢印で示すように斜め方向に、所謂ヘッドト
レースにより接触し、記録トラック5aに対して、磁気
記録を行ない、あるいは記録トラック5aに記録された
磁気信号を再生することになる。
【0004】ここで、上記磁気ヘッド4は、図9に示す
ように、回転ドラム3に対して、取付部材4aを介して
固定保持されている。その際、磁気ヘッド4のy方向の
取付高さやx方向の突出し量等に基づいて、磁気ヘッド
4のテープ5との接触状態やテープ5上の記録トラック
5aのパターンに対するトレーサビリティが大きく変動
することになる。例えば、磁気ヘッド4の取付高さがず
れてしまうと、図10に示すように、磁気ヘッド4のテ
ープ5に対する移動軌跡Aは、テープ5の記録トラック
5aのパターンからずれることになり、正確なトレース
ができなくなってしまう。従って、磁気ヘッド5の取付
高さや突出し量は、高精度で調整されなければならな
い。これに対して、テープ5は、テープガイド6や図示
しないテープテンション機構等によって、回転ドラム3
に対して最適な巻付け状態となるように、調整される。
【0005】このため、磁気ヘッド4を回転ドラム3に
対して取り付けるための取付部材として、図11に示す
ように、圧電アクチュエータ7を使用して、磁気ヘッド
4の取付高さを調整可能にした構成が知られている。図
11において、圧電アクチュエータ7は、圧電セラミッ
クスの印加電界に比例した歪みを発生するという逆圧電
効果を利用したアクチュエータであって、一般的に伸縮
しにくい材質の薄板から成る中心材7aの両面に、それ
ぞれ圧電材の薄板から成る圧電板7b,7cを貼り合わ
せることにより、構成されている。
【0006】上記中心材7aは、例えば剛性の高いリン
青銅,カーボン繊維等の材料が使用されている。また、
上記圧電板7b,7cは、例えば圧電性を備えたセラミ
ック,樹脂等から構成されていて、各圧電板7b,7c
の両側には、それぞれメッキ,蒸着,焼き付け等により
電極(図示せず)が形成され、それぞれ互いに逆向きの
分極処理が施されている。これにより、印加される電界
の向き及び大きさに応じて、変位が生じるようになって
いる。
【0007】さらに、圧電アクチュエータ7の一端(図
示の場合、右端)は、固定部材8により挟持されて固定
されていると共に、固定部材8の何れか一方または双方
が、前記回転ドラム3に対してネジ等によって固定され
る。また、圧電アクチュエータ7の他端(図示の場合、
左端)は、その下面に磁気ヘッド4が瞬間接着剤等によ
って固定されており、必要に応じて、例えば紫外線硬化
型樹脂等によって補強されている。
【0008】このような構成の圧電アクチュエータ7に
よれば、上記圧電板7b,7cの電極と中心材7aとの
間に、それぞれ電源部(図示せず)から、駆動電圧が印
加されることにより、一方の圧電板7bは、分極方向と
同じ(または逆)方向に電界が印加されることから、長
手方向に沿って縮むと共に、他方の圧電板7cは、分極
方向と逆(または同じ)方向に電界が印加されることか
ら、長手方向に沿って伸長することになる。従って、圧
電アクチュエータ7は、全体として図12に示すよう
に、左端が上方に屈曲して、y方向に変位することにな
る。この屈曲による変形量は、電界の大きさによって制
御されるので、電界制御型のアクチュエータが得られる
ことになる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな圧電アクチュエータ7を利用した磁気ヘッド4の回
転ドラム3への取付構造においては、磁気ヘッド4の取
付高さの調整は、高精度に行なわれるが、磁気ヘッド4
の突出し量の調整はできない。従って、取付部材として
の圧電アクチュエータ7の回転ドラム3への取付の際
に、磁気ヘッド4の突出し量が所望の値となるように、
高精度で取り付ける必要がある共に、一度取り付けられ
た後は、磁気ヘッドの突出し量の調整を行なうことはで
きず、磁気ヘッド4とテープ5との最適な接触状態を得
ることは困難であった。
【0010】また、使用による磁気ヘッドの摩耗によ
り、磁気ヘッド4とテープ5との接触状態が変化した場
合には、磁気ヘッド4が取り付けられた回転ヘッド3を
交換する必要があるため、交換サイクルが比較的短いと
いう問題もあった。
【0011】本発明は、以上の点に鑑み、被制御部材の
二軸方向の調整が可能であるようにした二軸制御構造
と、これを利用した磁気ヘッドの突出し量及び取付高さ
を調整できるようにした回転ヘッド装置を提供すること
を目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、それぞれx方向に延びていて且つy方向に関して
積層されていて、駆動用の電極を備えた少なくとも二枚
の圧電板を有する圧電バイモルフ素子と、この圧電バイ
モルフ素子の自由端に取り付けられた被制御部材と、前
記圧電バイモルフ素子の各圧電板の電極に対して、それ
ぞれ駆動電圧V1,V2を印加する電源部と、この電源
部を制御して前記各駆動電圧を調整する制御部と、を含
んでおり、前記制御部が、各電極に対する駆動電圧の差
(V1−V2)を制御することにより、被制御部材をy
方向に位置制御すると共に、駆動電圧の和(V1+V
2)を制御することにより、被制御部材をx方向に位置
制御する、二軸制御構造により、達成される。
【0013】また、上記目的は、本発明によれば、固定
ドラムと、この固定ドラムに回転可能に支持され且つ回
転駆動される回転ドラムと、回転ドラムの周面にて所定
の取付高さ及び突出し量で圧電アクチュエータを介して
取り付けられた磁気ヘッドとを含んでおり、前記圧電ア
クチュエータが、それぞれx方向に延びていて且つy方
向に関して積層されていて、駆動用の電極を備えた少な
くとも二枚の圧電板を有する圧電バイモルフ素子を含ん
でおり、この圧電アクチュエータの一端が回転ドラムに
対して固定されると共に、その自由端に前記磁気ヘッド
が取り付けられていて、さらに圧電バイモルフ素子の各
圧電板の電極に対して、それぞれ駆動電圧V1,V2を
印加する電源部と、この電源部を制御して、前記各駆動
電圧を調整する制御部と、を備え、この制御部が、各電
極に対する駆動電圧の差(V1−V2)を制御すること
により、前記磁気ヘッドをy方向に位置制御すると共
に、駆動電圧の和(V1+V2)を制御することによ
り、前記磁気ヘッドをx方向に位置制御する、回転ヘッ
ド装置により、達成される。
【0014】上記構成によれば、各圧電板には、それぞ
れ制御部により制御された駆動電圧V1,V2が印加さ
れ、駆動電圧V1,V2に対応して長手方向(y方向)
に収縮することになる。その際、制御部が、これらの駆
動電圧の差(V1−V2)を制御することにより、各圧
電板の収縮量に差が発生し、圧電バイモルフ素子が屈曲
する。これにより、圧電バイモルフ素子の自由端がy方
向に変位して、被制御部材のy方向調整が行なわれ、例
えば回転ドラムに対する磁気ヘッドの取付高さの調整が
行なわれる。
【0015】また、制御部が、これら駆動電圧の和(V
1+V2)を制御することにより、各圧電板が同じ収縮
量で収縮し、圧電バイモルフ素子全体が収縮する。これ
により、圧電バイモルフ素子の自由端がx方向に変位し
て、被制御部材のx方向調整が行なわれ、例えば回転ド
ラムに対する磁気ヘッドの突出し量の調整が行なわれ
る。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を図1乃至図5を参照しながら、詳細に説明する。尚、
以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例である
から、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、
本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定
する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもの
ではない。
【0017】図1は、本発明による二軸制御構造の一実
施形態を適用した回転ヘッド装置を示している。図1に
おいて、回転ヘッド装置10は、固定ドラム11と、こ
の固定ドラム11に回転可能に支持され且つ図示しない
モータにより回転駆動される回転ドラム12と、回転ド
ラム12の周面に隣接して二軸制御構造としての圧電ア
クチュエータ13を介して取り付けられた磁気ヘッド1
4とから構成されている。
【0018】圧電アクチュエータ13は、圧電セラミッ
クスの印加電界に比例した歪みを発生するという逆圧電
効果を利用したアクチュエータであって、一般的に伸縮
しにくい材質の薄板から成る中心材15の両面に、それ
ぞれ圧電材の薄板から成る圧電板16,17を貼り合わ
せることにより、構成されている。
【0019】上記中心材15は、例えば剛性の高いリン
青銅,カーボン繊維等の材料が使用されている。また、
上記圧電板16,17は、例えば圧電性を備えたセラミ
ック,樹脂等から構成されていて、各圧電板16,17
の外側面には、それぞれメッキ,蒸着,焼き付け等によ
り電極16a,17aが形成されると共に、それぞれ互
いに逆向きの分極処理、即ち図3に示すように、圧電板
16においては全面に亘って上向きに、また圧電板17
においては全面に亘って下向きに、分極処理が施されて
いる。これにより、印加される電界の向き及び大きさに
応じて、変位が生ぜしめられるようになっている。
【0020】さらに、圧電アクチュエータ13の一端
(図示の場合、右端)は、固定部材18により挟持され
て固定されていると共に、固定部材18の何れか一方ま
たは双方が、前記回転ドラム12に対してネジ等によっ
て固定される。また、圧電アクチュエータ13の他端
(図示の場合、左端)は、その下面に磁気ヘッド14が
瞬間接着剤等によって固定されており、必要に応じて、
例えば紫外線硬化型樹脂等によって補強されている。
【0021】回転ヘッド装置10においては、図3に示
すように、圧電アクチュエータ13の各圧電板16,1
7には、電源部19から、それぞれ駆動電圧V1,V2
が印加されるようになっている。この電源部19は、図
示しない制御部によって制御されることにより、その出
力電圧即ち上記駆動電圧V1,V2がそれぞれ調整され
るようになっている。ここで、この制御部は、上記駆動
電圧V1,V2に関して、その差(V1−V2)及び和
(V1+V2)を適宜に調整できるように構成されてい
る。
【0022】本実施形態による回転ヘッド装置10は、
以上のように構成されており、駆動電圧V1,V2の印
加によって、圧電板16,17は共に分極方向に関して
僅かに伸長すると共に、垂直な長手方向(即ちx方向)
に関して、収縮することになる。
【0023】ここで、制御部が、電源部19を制御する
ことにより、駆動電圧の和(V1+V2)を適宜に調整
することにより、各圧電板16,17の収縮量が等しく
なる。従って、圧電バイモルフ素子13は、図3に示す
ように、各圧電板16,17が同量だけ収縮することに
よって、全体としてx方向に収縮することになり、その
自由端そして磁気ヘッド14のx方向位置が変位して、
x方向調整が行われる。従って、磁気ヘッド14は、回
転ドラム12に対して、その半径方向に進退することに
なり、突出し量の調整が行われることになる。
【0024】また、制御部が、電源部19を制御するこ
とにより、駆動電圧の差(V1−V2)を適宜に調整す
ることにより、各圧電板16,17の収縮量に差が生ず
ることになる。従って、圧電バイモルフ素子13は、図
4に示すように、各圧電板16,17が異なる量だけ収
縮することによって、全体としてy方向に屈曲すること
になり、その自由端そして磁気ヘッド14のy方向位置
が変位して、y方向調整が行われる。従って、磁気ヘッ
ド14は、回転ドラム12に対して、その軸方向に変位
することになり、取付高さの調整が行われることにな
る。
【0025】この場合、上述したx方向変位X及びy方
向変位Yは、駆動電圧V1,V2に対して、A,Bを圧
電板16,17の圧電定数や固定条件等によって決まる
比例定数として、近似的に以下のような関係を有してい
る。 X=A×(V1+V2) Y=B×(V1−V2) これにより、x方向の変位量Xは、(V1+V2)に比
例し、y方向の変位量Yは、(V1−V2)に比例する
ことになる。かくして、制御部が、電源部19の各出力
電圧V1,V2を適宜に制御することによって、圧電ア
クチュエータ13の自由端のx方向変位及びy方向変位
が調整されることになる。
【0026】かくして、磁気ヘッド14が、例えば、x
方向に関してヘッドトレース開始から終了まで、マイナ
ス方向に移動させ、且つy方向に関してヘッドトレース
開始から終了まで、プラス方向に移動させたい場合に
は、駆動電圧V1,V2は、制御部によって、図5に示
すように、それぞれ調整されることにより、その和(V
1+V2)及び差(V1−V2)が変動することにな
る。
【0027】この場合、圧電アクチュエータ13は、初
期状態として、駆動電圧V1,V2が印加されることが
前提になっている。これにより、圧電アクチュエータ1
3は、X方向及びy方向に関して、+方向にも−方向に
も変位調整が可能になっている。これにより、例えば磁
気ヘッド14が摩耗した場合には、x方向に関して+方
向に変位させることにより、図1に示すように、磁気ヘ
ッド14とテープ20との接触状態が、常に最適に調整
されることになり、磁気ヘッド14そして回転ドラム1
2の寿命が延びることになる。
【0028】尚、図4において、駆動電圧V1が+であ
る場合には、圧電板16は伸長することになるので、圧
電アクチュエータ13全体は収縮せず、その自由端は、
y方向のみに変位することになる。
【0029】上記実施形態においては、圧電アクチュエ
ータ13は、圧電板16,17を貼り合わせた圧電バイ
モルフ素子として構成されているが、これに限らず、例
えば積層タイプの屈曲型圧電アクチュエータを利用した
二軸制御構造に関しても本発明を適用できることは明ら
かである。
【0030】さらに、上記実施形態においては、制御部
は、単に電源部19の駆動電圧V1,V2を制御するよ
うになっているが、これに限らず、制御部は、磁気ヘッ
ド14の出力信号に基づいて、出力信号が最適となるよ
うに、駆動電圧V1,V2を制御するようにしてもよい
ことは明らかである。
【0031】また、上記実施形態においては、回転ヘッ
ド装置10の磁気ヘッド14の取付高さ及び突出し量を
調整するための二軸制御構造が示されているが、これに
限らず、他の被制御部材の二軸方向の位置を制御するた
めにも、本発明による二軸制御構造が使用されることは
明らかである。
【0032】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、被
制御部材の二軸方向の調整が可能であるようにした二軸
制御構造と、これを利用した磁気ヘッドの突出し量及び
取付高さを調整できるようにした回転ヘッド装置を提供
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による二軸制御構造の一実施形態を組み
込んだ回転ヘッド装置の要部を示す概略断面図である。
【図2】図1の回転ヘッド装置における圧電アクチュエ
ータを示す拡大断面図である。
【図3】図2の圧電アクチュエータにおけるx方向調整
を示す概略図である。
【図4】図2の圧電アクチュエータにおけるy方向調整
を示す概略図である。
【図5】図2の圧電アクチュエータによる磁気ヘッドの
調整例を示すグラフである。
【図6】従来の回転ヘッド装置の一例を示す概略斜視図
である。
【図7】図6の回転ヘッド装置におけるテープ再生時の
状態を示す概略平面図である。
【図8】図6の回転ヘッド装置におけるテープ記録また
は再生時のテープに対するヘッドトレースを示す部分拡
大図である。
【図9】図6の回転ヘッド装置における磁気ヘッドとテ
ープとの接触状態を示す要部断面図である。
【図10】図9の磁気ヘッドに取付高さずれがある場合
のヘッドトレースを示す部分拡大図である。
【図11】図6の回転ヘッド装置における磁気ヘッドを
回転ドラムに取り付けるための圧電アクチュエータを示
す概略断面図である。
【図12】図11の圧電アクチュエータによるy方向調
整を示す概略断面図である。
【符号の簡単な説明】
10・・・回転ヘッド装置、11・・・固定ドラム、1
2・・・回転ドラム、13・・・圧電アクチュエータ、
14・・・磁気ヘッド、15・・・中心材、16,17
・・・圧電板、18・・・固定部材、19・・・電源
部、20・・・テープ。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 それぞれx方向に延びており且つy方向
    に関して積層されていて、駆動用の電極を備えた少なく
    とも二枚の圧電板を有する圧電バイモルフ素子と、 この圧電バイモルフ素子の自由端に取り付けられた被制
    御部材と、 前記圧電バイモルフ素子の各圧電板の電極に対して、そ
    れぞれ駆動電圧V1,V2を印加する電源部と、 この電源部を制御して前記各駆動電圧を調整する制御部
    と、を含んでおり、 前記制御部が、各電極に対する駆動電圧の差(V1−V
    2)を制御することにより、被制御部材をy方向に位置
    制御すると共に、駆動電圧の和(V1+V2)を制御す
    ることにより、被制御部材をx方向に位置制御すること
    を特徴とする二軸制御構造。
  2. 【請求項2】 固定ドラムと、この固定ドラムに回転可
    能に支持され且つ回転駆動される回転ドラムと、回転ド
    ラムの周面にて所定の取付高さ及び突出し量で圧電アク
    チュエータを介して取り付けられた磁気ヘッドとを含ん
    でおり、 前記圧電アクチュエータが、 それぞれx方向に延びていて且つy方向に関して積層さ
    れていて、駆動用の電極を備えた少なくとも二枚の圧電
    板を有する圧電バイモルフ素子を含んでおり、この圧電
    アクチュエータの一端が回転ドラムに対して固定される
    と共に、その自由端に前記磁気ヘッドが取り付けられて
    いて、 さらに圧電バイモルフ素子の各圧電板の電極に対して、
    それぞれ駆動電圧V1,V2を印加する電源部と、 この電源部を制御して、前記各駆動電圧を調整する制御
    部と、を備え、 この制御部が、各電極に対する駆動電圧の差(V1−V
    2)を制御することにより、前記磁気ヘッドをy方向に
    位置制御すると共に、駆動電圧の和(V1+V2)を制
    御することにより、前記磁気ヘッドをx方向に位置制御
    することを特徴とする回転ヘッド装置。
JP12222696A 1996-04-19 1996-04-19 二軸制御構造及び回転ヘッド装置 Pending JPH09288812A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6501625B1 (en) 1999-06-29 2002-12-31 Hutchinson Technology Incorporated Disk drive suspension with multi-layered piezoelectric actuator controlled gram load

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6501625B1 (en) 1999-06-29 2002-12-31 Hutchinson Technology Incorporated Disk drive suspension with multi-layered piezoelectric actuator controlled gram load
US7082670B2 (en) 1999-06-29 2006-08-01 Hutchinson Technology, Inc. Method for actively controlling the gram load on a disk drive suspension assembly

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