JPH0922519A - 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 - Google Patents

磁気ヘッド及び磁気ディスク装置

Info

Publication number
JPH0922519A
JPH0922519A JP16952895A JP16952895A JPH0922519A JP H0922519 A JPH0922519 A JP H0922519A JP 16952895 A JP16952895 A JP 16952895A JP 16952895 A JP16952895 A JP 16952895A JP H0922519 A JPH0922519 A JP H0922519A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic head
magnetic
magnetic disk
slider
reproducing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP16952895A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3752271B2 (ja
Inventor
Hiroyuki Fujita
博之 藤田
Shigeo Nakamura
滋男 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP16952895A priority Critical patent/JP3752271B2/ja
Publication of JPH0922519A publication Critical patent/JPH0922519A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3752271B2 publication Critical patent/JP3752271B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】トラック密度の高い磁気ディスク装置用の磁気
ヘッドを実現する。 【構成】記録素子と再生素子の相対的な運動が可能とな
る微動機構を設ける。 【効果】素子の磁気ディスク円板上の位置に関わらず、
記録素子と再生素子が磁気ディスクの同一半径位置にな
るよう位置決めするので記録素子と再生素子の幅を同じ
にでき、かつ、トラック幅も小さくできる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は磁気ディスク装置に
適用される磁気ヘッドに関わり、特に磁気ディスク装置
の高トラック密度化を実現するのに最適なヘッドの構造
に関する。
【0002】
【従来の技術】現在、磁気ディスク装置に適用される磁
気ヘッドは、一般にスライダと呼ばれる部材に形成さ
れ、磁気ディスク装置は、磁気ディスク上に記録されて
いるサーボ情報を利用し、スライダ上に形成された磁気
ヘッドを任意の磁気ディスク上に位置付ける制御を行
う。
【0003】上記のように用いられる磁気ヘッドは、小
型化が進み、薄膜で形成されているものもある。薄膜で
形成された磁気ヘッドは、大きく二つのタイプがあり、
記録/再生兼用の素子からなる磁気ヘッドと、記録素子
と再生素子が独立して形成された複合型の磁気ヘッドが
ある。これらの薄膜磁気ヘッドは、通常、基材となるス
ライダ本体に形成されている。
【0004】磁気ヘッドを搭載するスライダは、磁気デ
ィスク装置内に設けられたアクチュエータに固定され、
そのアクチュエータを制御することによって磁気ディス
ク上の任意の位置に位置付けられており、将来の高密度
化に対し、更なる磁気ヘッドの高精度な位置決め技術に
ついて種々の提案がなされている。日本応用磁気学会誌
第18巻4号(1944)、867頁、Fig.11に
は、記録/再生兼用素子がスライダに対して微動する構
造が記載されている。この論文では、記録密度を上げる
ために、磁気ディスクのトラック密度の向上に対して着
目しており、Fig.11では磁気ヘッドスライダの中
央部にピエゾ素子を組み込み、両サイドの浮上レール部
分の後端に設けたヘッド素子を微小変異させることがで
きるようにした。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記文献では、磁気ヘ
ッドスライダの長手方向と磁気ヘッドスライダを固定す
るサスペンションの長手方向が90°異なって固定され
ている。また、サスペンションを保持する磁気ヘッドア
ームがどのようなアクチュエータによって駆動されるか
は開示されていない。これらの場合、磁気ヘッドアーム
を駆動するアクチュエータはリニアタイプとロータリー
タイプが考えられる。
【0006】リニアタイプのアクチュエータは磁気ディ
スクの半径方向に対して平行に位置決め動作を行う。リ
ニアアクチュエータによって上記文献のFig.11の
磁気ヘッドスライダを磁気ディスク上に位置決めする場
合、記録素子と再生素子が分離された分離型磁気ヘッド
の記録素子と再生素子が目的のトラックに対して異なる
トラックに位置決めされることは機構上ほぼ無い。しか
しロータリーアクチュエータによって上記文献のFi
g.11の磁気ヘッドスライダを磁気ディスク上に位置
決めする場合、機構上、分離型磁気ヘッドの記録素子と
再生素子の双方が目的のトラックに位置付けられない場
合が生じる。
【0007】従って、特に、磁気ヘッドスライダの長手
方向と磁気ヘッドスライダを固定する磁気ヘッドアーム
の長手方向が一致するインラインタイプのロータリーア
クチュエータを備えた磁気ディスク装置において、分離
型磁気ヘッドの記録素子と再生素子が目的のとラックに
位置付けされないという問題に対して何ら考慮されてい
ないものと推察される。
【0008】この問題についてより詳細に考察する。薄
膜磁気ヘッド、特に記録素子と再生素子とが独立して形
成される複合型薄膜磁気ヘッドをインラインタイプのロ
ータリーアクチュエータによって位置付けさせた場合、
記録素子と再生素子の磁気ディスク上の半径位置が微小
にずれて位置付けされることがある。通常、複合型薄膜
磁気ヘッドは記録素子の中心と再生素子の中心が一致す
るように形成されているが、高トラック密度を達成させ
る場合、記録素子と再生素子のディスク半径位置の差が
問題となる。
【0009】また、再生素子を用いて読みだしたサーボ
情報を使用して位置決めを行った際に、記録素子と再生
素子のディスク半径位置の差があると、記録素子が隣接
する異なったトラックに入らないようにトラック幅をあ
る程度広くしなければならず、高トラック密度化にとっ
て記録素子と再生素子のディスク半径位置の差は非常に
問題となる。
【0010】本発明の目的は、高トラック密度化に対し
て、記録/再生素子が分離したタイプの磁気ヘッドが高
精度にトラック上に位置付け可能な磁気ヘッドを提供す
ることである。
【0011】更に本発明の目的は、ロータリーアクチュ
エータを有する磁気ディスク装置における高精度なトラ
ック位置決めが可能な磁気ヘッドスライダを有する磁気
ディスク装置を提供するものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】基材となる磁気ヘッドス
ライダに対し、記録素子と再生素子を上下方向に設け、
上位素子と下位素子の相対的な運動が可能となるように
上位素子と下位素子の間には分離面があり、素子の相対
位置を変えられるように上位素子が固定されている。そ
して上位素子の下位素子に対する相対位置を変えるため
の、上位素子を基材表面に平行に動かす手段を設け、素
子の磁気ディスク上の位置に関わらず、記録素子と再生
素子の磁気ディスク上の半径位置が、ほぼ同一になるよ
うに相対位置を決定する。
【0013】さらに磁気ヘッドには上位素子が移動した
ことを検出するセンス手段を有しており、このセンス手
段は、下位素子が位置付けられている磁気ディスクの半
径位置とほぼ等しい半径位置に上位素子を位置付けるた
めに必要な情報を出力する。
【0014】記録素子と再生素子が磁気ディスクの同一
半径に位置決めすることができるので、記録素子と再生
素子の幅を同じにでき、かつ、記録素子が隣接するトラ
ックに入らないのでトラック幅も小さくできる。
【0015】また本発明は、磁気ヘッドにより磁気ディ
スクの目的とする位置に情報を記録/再生する磁気ディ
スク装置に適用され、磁気ヘッドが設けられた磁気ヘッ
ドスライダであって、その主要部を構成するスライダ基
材上に、記録及び再生の為の素子が夫々上下に設けられ
た磁気ヘッドが形成され、磁気ヘッドは上位素子と前記
下位素子を独立に形成する分離面を有し、上位素子を基
材表面に平行に動かす移動手段を有する磁気ヘッドスラ
イダと、磁気ヘッドスライダを保持する磁気ヘッドアー
ムと、磁気ヘッドアームを介して回転軸を中心に駆動し
て磁気ヘッドを磁気ディスク上の目的の位置に位置付け
るアクチュエータと、を有したことを特徴とする。
【0016】更に本発明が適用される磁気ディスク装置
は、アクチュエータの回転駆動の状態及び/若しくは磁
気ヘッドによって読みだされた位置情報により、磁気ヘ
ッドの磁気ディスク上の半径位置を認識し、その認識さ
れた半径位置によって磁気ヘッドの上位素子を移動させ
る移動手段を制御する制御手段を有するものである。
【0017】また更に本発明が適用される磁気ディスク
装置は、磁気ヘッドスライダの上位素子が移動したこと
を検出するセンス手段を有し、制御手段はセンス手段か
らの出力によって上位素子を移動させる移動手段を制御
するものである。
【0018】また更に本発明が適用される磁気ディスク
装置は、磁気ヘッドの上位素子が、磁気ディスクの半径
位置に応じて磁気ヘッドスライダの基材面に対し平行移
動させる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
面を用いて説明する。
【0020】図1は本発明の実施例を示したスライダ1
の斜視図、図2は図1のA部の詳細平面図、図3は図1
のB部詳細平面図である。
【0021】スライダ1の流出端2近傍に記録素子3、
再生素子4が設けられている。記録素子3と再生素子4
の間には隙間5が設けられている。記録素子3は下部コ
ア6と上部コア7を有すインダクティブ形薄膜ヘッドで
あり、実質的な素子幅は上部コア7の幅で定まる。記録
素子3は櫛歯形静電駆動の微動アクチュエ−タ8により
駆動される可動部9に形成されており、可動部9はスラ
イダ1と結合する梁10に支えられている。アクチュエ
ータ8によって可動部9が左右に動作すると、梁10は
左右にたわみ記録素子3も左右に動作する。梁10には
歪ゲ−ジ11が設けられ、その出力信号により記録素子
3と再生素子4の相対変位を検出することできる。
【0022】櫛歯形静電駆動を行う微動アクチュエ−タ
8の可動部9を電気的にグランドに落しておき、固定部
12に電圧を加えると、静電気力により可動部9は固定
部12に引き付けられる。図1において記録素子3を右
側に動かしたいときは右側の固定部12aに電圧を加
え、左側に動かしたいときは左側の固定部12bに電圧
を加えれば良い。
【0023】また、櫛歯形静電駆動の微動アクチュエ−
タ8を使って可動部9を左右に動かす他の方法として
は、可動部9にある一定のバイアス電圧を加えておき、
2つの固定部12a、12bにバイアス電圧に対するオ
フセット電圧を同時に、同相で加えてもよい。この場
合、前述に比べ同じ電圧で2倍の加速度を得ることがで
きる。
【0024】図4は位置決め制御のブロック図の一例を
示す。再生素子4は通常の磁気ディスク装置と同様の位
置決めを行う。即ち、通常の磁気ディスク装置の位置決
め処理は、データを再生する再生素子を用いて磁気ディ
スクに記憶されている位置決め信号を検出し、位置決め
処理に用いることである。具体的には、再生素子4の位
置情報14と目標位置情報13とから、目標位置に対す
る再生素子4の位置の差を再生素子位置決め用コントロ
−ラ15に入力する。再生素子位置決め用コントロ−ラ
15の出力が再生素子駆動用アクチュエ−タ16へ入力
され、再生素子4の位置決めがなされる。
【0025】再生素子4の位置情報14は、再生素子4
の位置検出器17によって再生素子位置決め用コントロ
−ラ15の入力側にフィ−ドバックされる。再生素子4
の位置検出器17は、あらかじめ磁気ディスク上に書か
れた位置決め信号を再生素子4により検出し目標位置情
報13と同一のディメンジョンに変換する。
【0026】記録素子3の再生素子4に対する位置決め
は、再生素子4の位置情報14と目標位置情報13から
得られる目標位置と再生素子4の位置との差をもとに、
再生素子4の位置を電気的に作り出すシミュレ−タ18
の出力と、目標位置13に対応する予め定められた再生
素子4に対する記録素子3の目標位置19の和とから記
録素子3の再生素子4に対する位置20をさし引いた信
号を微動アクチュエ−タ用コントロ−ラ21に入力し、
その出力信号を微動アクチュエ−タ8に入力し記録素子
3の位置決めがなされる。
【0027】記録素子3の再生素子4に対する位置は歪
ゲ−ジ11などの検出器によって微動アクチュエ−タ8
用コントロ−ラ21の入力側にフィ−ドバックされる。
シミュレ−タ18は一般の光ディスク装置のコ−スアク
チュエ−タ用のシミュレ−タと同様なものでよい。ま
た、予め定められた再生素子4に対する記録素子3の目
標位置19、即ち、磁気ディスクの半径位置に応じた再
生素子4に対する記録素子3のずれ量を、予め作ってお
いた参照デーブルから目標位置情報13に応じて出力す
ればよい。
【0028】以上のようにすることにより本実施例にお
いては磁気ディスク装置上で記録を行うとき、記録素子
3は微動アクチュエ−タ8により再生素子4と同一半径
上の目標位置に位置決めされる。
【0029】歪ゲ−ジ11のない構成では微動アクチュ
エ−タ8に印加する電圧によるオ−プンル−プ制御で位
置決め制御が可能である。
【0030】微動アクチュエ−タ8としては櫛歯形静電
駆動アクチュエ−タを用いる他に圧電アクチュエ−タを
用いても本実施例と同様の効果がある。また、微動アク
チュエ−タ8の代わりに、梁10をバイモルフ形の圧電
アクチュエ−タで構成しても同様の効果がある。
【0031】梁10をバイモルフ形の圧電アクチュエ−
タで構成する場合には、櫛歯形静電駆動アクチュエ−タ
と同様の構成を静電容量式センサとして用い、歪ゲ−ジ
11の代わりに記録素子3と再生素子4の相対変位の観
測をすることもできる。
【0032】本発明の他の実施例を図面を用いて説明す
る。
【0033】図5は本発明の他の実施例を示したスライ
ダの斜視図である。スライダ本体22の両脇にバイモル
フ形圧電アクチュエ−タ23がスライダ本体22と側部
すきま24をはさみ設けられており、スライダ本体22
とは流入端25近傍で接続されている。2つのバイモル
フ形圧電アクチュエ−タ23は流出端2側で支持梁26
に接続されている。支持梁26とスライダ本体22の間
には数ミクロン程度の微小なすきま5が設けられてい
る。再生素子4はスライダ本体22の流出端2近傍に設
けられており、記録素子3は支持梁26の再生素子4と
対向する位置に設けられている。2つのバイモルフ形圧
電アクチュエ−タ23には歪ゲ−ジ11が設けられてい
る。
【0034】2つのバイモルフ形圧電アクチュエ−タ2
3に電圧を印加すると流出端2は流入端25を支点に左
右に動作する。その動作により支持梁26に設けられた
記録素子3も左右に位置決めされる。バイモルフ形圧電
アクチュエ−タ23としては、例えば村田製作所のP−
7型圧電素子を用いることができる。長さ1ミリ、幅3
00ミクロン、厚さ20ミクロンとし、スライダ本体2
2および支持梁26との取付け長さの和を200ミクロ
ンとした場合、プラスマイナス3Vの印加電圧でプラス
マイナス3ミクロンの変位を得ることができる。
【0035】先の実施例と同様に、磁気ディスク装置上
で記録を行うとき、2つのバイモルフ形圧電アクチュエ
−タ23により記録素子3は再生素子4と磁気ディスク
の同一半径上に位置決めされる。位置決め制御は歪ゲ-
ジ11からの信号を用いフィ−ドバック制御で行う。歪
ゲ−ジ11のない構成では2つのバイモルフ形圧電アク
チュエ−タ23に印加する電圧によるオ−プンル−プ制
御で位置決め制御が可能である。
【0036】バイモルフ形圧電アクチュエ−タ23で駆
動する代わりに、2つのバイモルフ形圧電アクチュエ−
タ23およびスライダ本体22の対向する部分を電極と
する平行平板形静電アクチュエ−タを構成し駆動させて
も同様の効果がある。
【0037】また、バイモルフ形圧電アクチュエ−タ2
3で駆動する場合には歪ゲ−ジ11の出力信号代わり
に、側部すきま24の静電容量を検出し使用しても同様
の効果がある。
【0038】以上の実施例では再生素子4をスライダ1
に固定して記録素子3を微動させていたが、スライダ1
の長手方向の記録素子3と再生素子4の順序を逆にし、
記録素子3をスライダ1に固定して再生素子4を微動さ
せ、記録素子3と再生素子4を磁気ディスクの同一半径
上に位置決めしても同様の効果がある。さらに再生素子
4を微動させる場合には再生時の微小位置決めにも用い
ることができ、位置決め精度の向上が図れるという効果
もある。
【0039】
【発明の効果】本発明によると、素子の磁気ディスク円
板上の半径位置に関わらず記録素子と再生素子が同一半
径位置に位置決めするので、記録素子と再生素子の幅を
同じにでき、かつ、トラック幅も小さくできるので、ト
ラック密度の高い磁気ディスク装置用の磁気ヘッドを実
現できる。
【図面の簡単な説明】
図1 本発明が適用される磁気ヘッドスライダの斜視図
である。 図2 図1のA部詳細平面図である。 図3 図1のB部詳細平面図である。 図4 本発明にかかる位置決め制御のブロック図であ
る。 図5 本発明の他の実施例のスライダの斜視図である。
【符号の説明】
1…スライダ 2…流出端 3…記録素子 4…再生素子 5…すきま 6…下部コア 7…上部コア 8…微動アクチュエ−タ 9…可動部 10…梁 11…歪ゲ−ジ 12…固定部 13…目標位置情報 14…再生素子の位置情報 15…再生素子位置決め用コントロ−ラ 16…再生素子駆動用アクチュエ−タ 17…再生素子の位置検出器 18…シミュレ−タ 19…記録素子の再生素子に対する予め定められた目標
位置 20…記録素子の再生素子に対する位置 21…微動アクチュエ−タ用コントロ−ラ 22…スライダ本体 23…バイモルフ形圧電アクチュエ−タ 24…側部すきま 25…流入端 26…支持梁

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基材上に記録及び再生の為の素子を夫々上
    下に設け、上位素子と下位素子を独立に形成する分離面
    を有し、該上位素子を基材表面に平行に動かす移動手段
    を有したことを特徴とする磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】前記上位素子は前記分離面を介し前記下位
    素子との相対位置を変化可能に固定され、前記移動手段
    は前記上位素子を基板面に対し平行に且つ前記下位素子
    が形成する媒体対向面に対し平行に移動させることを特
    徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
  3. 【請求項3】前記上位素子が移動したことを検出するセ
    ンス手段を有することを特徴とする請求項1記載の磁気
    ヘッド。
  4. 【請求項4】前記上位素子と前記下位素子の磁気記録媒
    体に対向する部分であって、且つ実質的に記録及び再生
    可能な領域の幅がほぼ等しいことを特徴とする請求項1
    記載の磁気ヘッド。
  5. 【請求項5】磁気ヘッドにより磁気ディスクの目的とす
    る位置に情報を記録/再生する磁気ディスク装置におい
    て、 該磁気ヘッドが設けられた磁気ヘッドスライダであっ
    て、その主要部を構成するスライダ基材上に、記録及び
    再生の為の素子が夫々上下に設けられた磁気ヘッドが形
    成され、該磁気ヘッドは前記上位素子と前記下位素子を
    独立に形成する分離面を有し、前記上位素子を前記基材
    表面に平行に動かす移動手段を有する磁気ヘッドスライ
    ダと、 該磁気ヘッドスライダを保持する磁気ヘッドアームと、 該磁気ヘッドアームを介して回転軸を中心に駆動して前
    記磁気ヘッドを前記磁気ディスク上の目的の位置に位置
    付けるアクチュエータと、を有したことを特徴とする磁
    気ディスク装置。
  6. 【請求項6】前記磁気ディスク装置は、前記アクチュエ
    ータの回転駆動の状態及び/若しくは前記磁気ヘッドに
    よって読みだされた位置情報により、前記磁気ヘッドの
    前記磁気ディスク上の半径位置を認識し、その認識され
    た半径位置によって前記磁気ヘッドの前記上位素子を移
    動させる前記移動手段を制御する制御手段を有すること
    を特徴とする請求項5記載の磁気ディスク装置。
  7. 【請求項7】前記磁気ヘッドスライダは前記上位素子が
    移動したことを検出するセンス手段を有し、前記制御手
    段は該センス手段からの出力によって前記上位素子を移
    動させる前記移動手段を制御することを特徴とする請求
    項6記載の磁気ディスク装置。
  8. 【請求項8】前記磁気ヘッドの前記上位素子を、前記磁
    気ディスクの半径位置に応じて該基材面に対し平行移動
    させることを特徴とする請求項5記載の磁気ディスク装
    置。
JP16952895A 1995-07-05 1995-07-05 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 Expired - Fee Related JP3752271B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16952895A JP3752271B2 (ja) 1995-07-05 1995-07-05 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16952895A JP3752271B2 (ja) 1995-07-05 1995-07-05 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0922519A true JPH0922519A (ja) 1997-01-21
JP3752271B2 JP3752271B2 (ja) 2006-03-08

Family

ID=15888180

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16952895A Expired - Fee Related JP3752271B2 (ja) 1995-07-05 1995-07-05 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3752271B2 (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980083237A (ko) * 1997-05-13 1998-12-05 이우복 빗살형 일렉트로스테틱 마이크로 액츄에이터
US6249402B1 (en) * 1998-03-12 2001-06-19 Fujitsu Limited Magnetic head slider
US6317293B1 (en) 1998-03-12 2001-11-13 Fujitsu Limited Magnetic head slider
US6359752B1 (en) * 1998-03-12 2002-03-19 Fujitsu Limited Magnetic head slider and method for forming lead wires used therein
WO2002097803A1 (fr) * 2001-05-25 2002-12-05 Fujitsu Limited Curseur de tete avec actionneur a ralenti et procede de fabrication de ce curseur de tete
US7599145B2 (en) * 2007-03-02 2009-10-06 Fujitsu Limited Storage medium device, deformation controller and head slider
JP2010009708A (ja) * 2008-06-30 2010-01-14 Showa Denko Kk 磁気記憶装置および記憶媒体

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980083237A (ko) * 1997-05-13 1998-12-05 이우복 빗살형 일렉트로스테틱 마이크로 액츄에이터
US6249402B1 (en) * 1998-03-12 2001-06-19 Fujitsu Limited Magnetic head slider
US6317293B1 (en) 1998-03-12 2001-11-13 Fujitsu Limited Magnetic head slider
US6359752B1 (en) * 1998-03-12 2002-03-19 Fujitsu Limited Magnetic head slider and method for forming lead wires used therein
WO2002097803A1 (fr) * 2001-05-25 2002-12-05 Fujitsu Limited Curseur de tete avec actionneur a ralenti et procede de fabrication de ce curseur de tete
US7599145B2 (en) * 2007-03-02 2009-10-06 Fujitsu Limited Storage medium device, deformation controller and head slider
JP2010009708A (ja) * 2008-06-30 2010-01-14 Showa Denko Kk 磁気記憶装置および記憶媒体

Also Published As

Publication number Publication date
JP3752271B2 (ja) 2006-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6704158B2 (en) Shear mode multilayered collocated micro-actuator for dual-stage servo controllers in disk drives
US7375930B2 (en) Apparatus for PZT actuation device for hard disk drives
US6376964B1 (en) Collocated rotating flexure microactuator for dual-stage servo in disk drives
US6611399B1 (en) Micro-actuated micro-suspension(MAMS) slider for both fly height and tracking position
USRE40975E1 (en) Head suspension with resonance feedback transducer
US5898541A (en) Leading surface slider microactuator
US6760194B2 (en) Head gimbal assembly with piezoelectric microactuator
CA1275503C (en) Micro mechanical actual transducer head on a slider
US5189578A (en) Disk system with sub-actuators for fine head displacement
US6590748B2 (en) Combined servo-tracking and preload-controlling microactuator
US8213127B2 (en) Microactuator, head gimbal assembly, and magnetic disk drive
JP2000348321A (ja) 磁気ディスク装置,磁気ヘッド,磁気ヘッドの製造方法および磁気ディスク装置の製造方法
US20020097663A1 (en) Piezoelectric microactuator for improved tracking control of disk drive read/write heads
US20010055182A1 (en) Dual stage actuator systems for high density hard disk drives using annular rotary piezoelectric actuators
US6545846B1 (en) Piezoelectric controlled mechanism for minute movement of a magnetic head
JP4117723B2 (ja) ディスクに記録再生を施すヘッドを微小移動させる機構及びそれを有するディスク装置
JP3752271B2 (ja) 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置
JP2003059219A (ja) マイクロアクチュエータ、読出し/書込みヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ディスクドライブ用アクチュエータアーム、及びディスクドライブ
US6288985B1 (en) Microactuator for fine tracking in a magneto-optical drive
US6362938B1 (en) Fine drive and positioning units and memory apparatus
US20070165332A1 (en) Actuation device and method for high density hard disk drive head
JP2002251855A (ja) 微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダ及び該スライダの製造方法
JPH07201148A (ja) 磁気ディスク装置
US20040061969A1 (en) Method and structure for operating high density hard disk drive head using piezo electric drive
US6563767B1 (en) Connecting unit for connecting the head unit to a head slider in a head actuator for recording and/or reproducing apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Effective date: 20040401

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20040518

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040720

A711 Notification of change in applicant

Effective date: 20041224

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20050222

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050425

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Effective date: 20051129

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Effective date: 20051212

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081216

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 4

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091216

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101216

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101216

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 6

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111216

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111216

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121216

Year of fee payment: 7

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 7

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121216

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees