JPH0642201Y2 - Ｘ線回折装置 - Google Patents
Ｘ線回折装置Info
- Publication number
- JPH0642201Y2 JPH0642201Y2 JP4872588U JP4872588U JPH0642201Y2 JP H0642201 Y2 JPH0642201 Y2 JP H0642201Y2 JP 4872588 U JP4872588 U JP 4872588U JP 4872588 U JP4872588 U JP 4872588U JP H0642201 Y2 JPH0642201 Y2 JP H0642201Y2
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- JP
- Japan
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- ray
- rays
- curved mirror
- curved
- divergence
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Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、被測定試料からの回折Ｘ線によって蓄積性蛍
光板上に潜像を形成し、これにレーザ光線等の励起光を
照射して蛍光を発生させて、上記潜像の読取りを行うよ
うな、Ｘ線回折装置に関し、特に、Ｘ線収束手段に特徴
のあるＸ線回折装置に関する。
光板上に潜像を形成し、これにレーザ光線等の励起光を
照射して蛍光を発生させて、上記潜像の読取りを行うよ
うな、Ｘ線回折装置に関し、特に、Ｘ線収束手段に特徴
のあるＸ線回折装置に関する。
［従来の技術］ 蓄積性蛍光板は、従来のＸ線フィルムよりも優れた特性
を有するＸ線用二次元検出器として、最近脚光を浴びて
いるものである。その特徴は、感度の一様性と位置分解
能がＸ線フィルムと同程度に優れている上に、感度はＸ
線フィルムの10倍以上あることである。したがって、こ
の蓄積性蛍光板を利用したＸ線回折装置が既に提案され
ている（特開昭59−15843）。
を有するＸ線用二次元検出器として、最近脚光を浴びて
いるものである。その特徴は、感度の一様性と位置分解
能がＸ線フィルムと同程度に優れている上に、感度はＸ
線フィルムの10倍以上あることである。したがって、こ
の蓄積性蛍光板を利用したＸ線回折装置が既に提案され
ている（特開昭59−15843）。
一方、従来のＸ線フィルムを利用したカメラ法では、露
出時間の短縮化を図るために、点収束光学系を利用し
て、Ｘ線の輝度を高めているものがある。
出時間の短縮化を図るために、点収束光学系を利用し
て、Ｘ線の輝度を高めているものがある。
［考案が解決しようとする課題］ 本考案は、蓄積性蛍光板による優れた感度と、点収束光
学系による高いＸ線輝度とに着目して、これらを組み合
わせることによって、より感度の優れたＸ線回折装置を
開発するに至ったものである。
学系による高いＸ線輝度とに着目して、これらを組み合
わせることによって、より感度の優れたＸ線回折装置を
開発するに至ったものである。
［課題を解決するための手段］ 本考案のＸ線回折装置は、Ｘ線源から蓄積性蛍光板に至
るＸ線通過経路に、第１の湾曲ミラーと、第２の湾曲ミ
ラーと、被測定試料とを配置したものである。そして、
第１の湾曲ミラーでＸ線を全反射させることによって、
特定方向でのＸ線の発散を収束させている。続いて、第
２の湾曲ミラーでＸ線を全反射させることによって、前
記特定方向に垂直な方向でのＸ線の発散をも収束させて
いる。これにより、蓄積性蛍光板上にＸ線を点収束させ
ることができる。
るＸ線通過経路に、第１の湾曲ミラーと、第２の湾曲ミ
ラーと、被測定試料とを配置したものである。そして、
第１の湾曲ミラーでＸ線を全反射させることによって、
特定方向でのＸ線の発散を収束させている。続いて、第
２の湾曲ミラーでＸ線を全反射させることによって、前
記特定方向に垂直な方向でのＸ線の発散をも収束させて
いる。これにより、蓄積性蛍光板上にＸ線を点収束させ
ることができる。
上述の第２の湾曲ミラーは、湾曲結晶モノクロメータに
置き換えることができる。この場合は、湾曲結晶モノク
ロメータでＸ線を回折させることによって、Ｘ線の発散
を収束させ、かる単色化している。
置き換えることができる。この場合は、湾曲結晶モノク
ロメータでＸ線を回折させることによって、Ｘ線の発散
を収束させ、かる単色化している。
［作用］ 請求項１の考案にあっては、第１の湾曲ミラーと第２の
湾曲ミラーとによってＸ線の発散を蓄積性蛍光板上に二
次元的に点収束させている。このような点収束光学系
は、従来の平行ビーム法に比べて、同サイズのＸ線スポ
ットの輝度が格段に高くなる。これに加えて、蓄積性蛍
光板自体、Ｘ線フィルムに比べて感度が格段に優れてい
る。したがって、両者の相乗効果により、本考案のＸ線
回折装置は、従来のカメラ法に比べて、露光時間が極め
て短縮できるものである。
湾曲ミラーとによってＸ線の発散を蓄積性蛍光板上に二
次元的に点収束させている。このような点収束光学系
は、従来の平行ビーム法に比べて、同サイズのＸ線スポ
ットの輝度が格段に高くなる。これに加えて、蓄積性蛍
光板自体、Ｘ線フィルムに比べて感度が格段に優れてい
る。したがって、両者の相乗効果により、本考案のＸ線
回折装置は、従来のカメラ法に比べて、露光時間が極め
て短縮できるものである。
請求項２の考案にあっては、上述の第２の湾曲ミラー
を、湾曲結晶モノクロメータに置き換えている。そのた
め、請求項１の考案よりもＸ線スポットの輝度が低下す
るが、単色性が向上する。
を、湾曲結晶モノクロメータに置き換えている。そのた
め、請求項１の考案よりもＸ線スポットの輝度が低下す
るが、単色性が向上する。
［実施例］ 次に、図面を参照して本考案の実施例を説明する。
第１図は本考案の一実施例のＸ線回折装置におけるＸ線
光学系の斜視図である。Ｘ線源10（白色Ｘ線源）と蓄積
性蛍光板12の間には、第１の湾曲ミラー14と、第２の湾
曲ミラー16と、被測定試料18が配置されている。
光学系の斜視図である。Ｘ線源10（白色Ｘ線源）と蓄積
性蛍光板12の間には、第１の湾曲ミラー14と、第２の湾
曲ミラー16と、被測定試料18が配置されている。
第１の湾曲ミラー14は、ニッケルコーティングを施した
ミラーである。Ｘ線（CuKα）がニッケル表面で全反射
するための臨界入射角は25分である。したがって、Ｘ線
はこれより小さい角度で入射させる必要がある。この実
施例では、入射角は20分に設定されている。したがっ
て、湾曲ミラー14の曲率半径は非常に大きいものとな
り、Ｘ線源10と第１の湾曲ミラー14の距離が数十センチ
メートルのときに曲率半径は数十メートルにもなる。図
面では、ミラーの湾曲は誇張して描いてある。この第１
の湾曲ミラー14は、第１図においてＸ線の上下方向の発
散を収束させている。
ミラーである。Ｘ線（CuKα）がニッケル表面で全反射
するための臨界入射角は25分である。したがって、Ｘ線
はこれより小さい角度で入射させる必要がある。この実
施例では、入射角は20分に設定されている。したがっ
て、湾曲ミラー14の曲率半径は非常に大きいものとな
り、Ｘ線源10と第１の湾曲ミラー14の距離が数十センチ
メートルのときに曲率半径は数十メートルにもなる。図
面では、ミラーの湾曲は誇張して描いてある。この第１
の湾曲ミラー14は、第１図においてＸ線の上下方向の発
散を収束させている。
具体的な例を挙げると、Ｘ線源10から第１の湾曲ミラー
14の中心までの距離は400mmであり、第１の湾曲ミラー1
4の湾曲面の寸法は、70mm×20mmである。そして、この
ミラーの曲率半径は約69mである。そして、Ｘ線源10か
ら350mmの距離に置かれている発散スリット（図示せ
ず）の上下方向のスリット幅は、0.305mmであり、ミラ
ー14に入射するＸ線の、上下方向の発散角は、0.05度で
ある。
14の中心までの距離は400mmであり、第１の湾曲ミラー1
4の湾曲面の寸法は、70mm×20mmである。そして、この
ミラーの曲率半径は約69mである。そして、Ｘ線源10か
ら350mmの距離に置かれている発散スリット（図示せ
ず）の上下方向のスリット幅は、0.305mmであり、ミラ
ー14に入射するＸ線の、上下方向の発散角は、0.05度で
ある。
第２の湾曲ミラー16も、ニッケルコーティングミラーで
あり、これは、Ｘ線の水平方向の発散を収束させてい
る。具体的な例を挙げると、第１の湾曲ミラー14の中心
から、第２の湾曲ミラー16の中心までの距離は110mmで
ある。
あり、これは、Ｘ線の水平方向の発散を収束させてい
る。具体的な例を挙げると、第１の湾曲ミラー14の中心
から、第２の湾曲ミラー16の中心までの距離は110mmで
ある。
Ｘ線源10は、0.2mm×0.2mmの大きさである。このとき、
蓄積性蛍光板12上でのＸ線スポットは0.3mm以内に収ま
る。したがって、反射スポット間の分離能力が高い。
蓄積性蛍光板12上でのＸ線スポットは0.3mm以内に収ま
る。したがって、反射スポット間の分離能力が高い。
蓄積性蛍光板12は、二価のユーロピウムイオンをドープ
したバリウムフロロブロマイド（BaFBr:Eu2+）の粉末結
晶蛍光体を、プラスチックフィルム上に塗布したもので
ある。この蓄積性蛍光板12は、Ｘ線で露光された後、He
−Neレーザ光（ピーク波長633nm）が照射されると、ピ
ーク波長390nmの輝尽性蛍光を発生する。
したバリウムフロロブロマイド（BaFBr:Eu2+）の粉末結
晶蛍光体を、プラスチックフィルム上に塗布したもので
ある。この蓄積性蛍光板12は、Ｘ線で露光された後、He
−Neレーザ光（ピーク波長633nm）が照射されると、ピ
ーク波長390nmの輝尽性蛍光を発生する。
第１図は、Ｘ線回折装置の構成のうち、Ｘ線光学系だけ
を示したが、その他の構成、例えば、試料18の回転駆動
機構や蓄積性蛍光板12の読取り装置などは、公知の技術
をそのまま利用できるので、その説明は省略する。
を示したが、その他の構成、例えば、試料18の回転駆動
機構や蓄積性蛍光板12の読取り装置などは、公知の技術
をそのまま利用できるので、その説明は省略する。
次に、この実施例の動作を、Ｘ線光学系の働きを中心
に、説明する。第１図において、Ｘ線源10から発射され
たＸ線11は、第１の湾曲ミラー14で全反射して、上下方
向で収束されていく。続いて、第２の湾曲ミラー16で全
反射して、水平方向で収束されていく。第２図は、第１
図のＸ線光学系を上から見た平面図であり、第３図はそ
の側面図である。第２図では、第２の湾曲ミラー16によ
るＸ線の収束が良く示され、第３図では、第１の湾曲ミ
ラー14によるＸ線の収束が良く示されている。最終的
に、Ｘ線は、蓄積性蛍光板12上でスポット収束する。結
晶試料18で回折されたＸ線は、蓄積性蛍光板12上に回折
パターンとなって潜像記憶される。その後、この潜像は
レーザ照射され、蛍光として読み取られる。
に、説明する。第１図において、Ｘ線源10から発射され
たＸ線11は、第１の湾曲ミラー14で全反射して、上下方
向で収束されていく。続いて、第２の湾曲ミラー16で全
反射して、水平方向で収束されていく。第２図は、第１
図のＸ線光学系を上から見た平面図であり、第３図はそ
の側面図である。第２図では、第２の湾曲ミラー16によ
るＸ線の収束が良く示され、第３図では、第１の湾曲ミ
ラー14によるＸ線の収束が良く示されている。最終的
に、Ｘ線は、蓄積性蛍光板12上でスポット収束する。結
晶試料18で回折されたＸ線は、蓄積性蛍光板12上に回折
パターンとなって潜像記憶される。その後、この潜像は
レーザ照射され、蛍光として読み取られる。
以上の動作において、Ｘ線源10から発射されたＸ線11
は、２回の全反射によって収束されていくので、蓄積性
蛍光板12上のＸ線スポットの輝度は、従来の平行ビーム
法などに比べて、10倍程度大きくなる。これに加えて、
蓄積性蛍光板12の感度は、従来のＸ線フィルムに比べ
て、10倍程度良好である。したがって、平行ビーム法で
Ｘ線フィルムを露光する場合と比較すれば、この実施例
の装置による露光時間は、100分の１程度で済むことに
なる。また、Ｘ線源を低出力型にすることも可能とな
る。
は、２回の全反射によって収束されていくので、蓄積性
蛍光板12上のＸ線スポットの輝度は、従来の平行ビーム
法などに比べて、10倍程度大きくなる。これに加えて、
蓄積性蛍光板12の感度は、従来のＸ線フィルムに比べ
て、10倍程度良好である。したがって、平行ビーム法で
Ｘ線フィルムを露光する場合と比較すれば、この実施例
の装置による露光時間は、100分の１程度で済むことに
なる。また、Ｘ線源を低出力型にすることも可能とな
る。
ところで、第１図に示す第２の湾曲ミラー16を、湾曲結
晶モノクロメータに変えることもできる。例えば、ゲル
マニウムの（111）面を利用した湾曲結晶モノクロメー
タとすることができる。このとき、第１の湾曲ミラー14
で全反射したＸ線はモノクロメータに対して入射角13.6
度で入射し、その回折線は、0.8度および27.2度のとこ
ろに現れる。この回折線の位置に試料をセットすること
になる。この場合、Ｘ線は、モノクロメータ結晶で回折
して収束していき、単色化されることになる。もちろ
ん、全反射ミラーの場合と比較すれば、Ｘ線輝度は低下
するが、単色性を優先する場合はこのような光学系とす
ることができる。
晶モノクロメータに変えることもできる。例えば、ゲル
マニウムの（111）面を利用した湾曲結晶モノクロメー
タとすることができる。このとき、第１の湾曲ミラー14
で全反射したＸ線はモノクロメータに対して入射角13.6
度で入射し、その回折線は、0.8度および27.2度のとこ
ろに現れる。この回折線の位置に試料をセットすること
になる。この場合、Ｘ線は、モノクロメータ結晶で回折
して収束していき、単色化されることになる。もちろ
ん、全反射ミラーの場合と比較すれば、Ｘ線輝度は低下
するが、単色性を優先する場合はこのような光学系とす
ることができる。
さらに、第２の湾曲ミラーと、湾曲結晶モノクロメータ
とを両方準備することもできて、これらを選択的にＸ線
通路に挿入することもできる。
とを両方準備することもできて、これらを選択的にＸ線
通路に挿入することもできる。
［考案の効果］ 以上説明したように本考案は、点収束光学系と蓄積性蛍
光板とを組み合わせたことにより、Ｘ線回折装置全体の
感度を飛躍的に向上させることができた。
光板とを組み合わせたことにより、Ｘ線回折装置全体の
感度を飛躍的に向上させることができた。
特に、請求項１の考案では、第１の湾曲ミラーと第２の
湾曲ミラーとによって、全反射を利用して、Ｘ線の発散
を二次元的に収束させているので、Ｘ線輝度が格段に高
くなる。
湾曲ミラーとによって、全反射を利用して、Ｘ線の発散
を二次元的に収束させているので、Ｘ線輝度が格段に高
くなる。
これに対して、請求項２の考案では、第２の湾曲ミラー
を、湾曲結晶モノクロメータに置き換えており、請求項
１の考案よりもＸ線輝度は低下するが、単色性が向上す
る。
を、湾曲結晶モノクロメータに置き換えており、請求項
１の考案よりもＸ線輝度は低下するが、単色性が向上す
る。
第１図は本考案の一実施例におけるＸ線光学系を示す斜
視図、 第２図はその平面図、 第３図はその側面図である。 10……Ｘ線源 12……蓄積性蛍光板 14……第１の湾曲ミラー 16……第２の湾曲ミラー 18……被測定試料
視図、 第２図はその平面図、 第３図はその側面図である。 10……Ｘ線源 12……蓄積性蛍光板 14……第１の湾曲ミラー 16……第２の湾曲ミラー 18……被測定試料
Claims (2)
- 【請求項１】蓄積性蛍光板を利用して試料のＸ線回折像
を測定する形式のＸ線回折装置において、 Ｘ線源から蓄積性蛍光板に至るＸ線通過経路に、第１の
湾曲ミラーと、第２の湾曲ミラーと、被測定試料とを配
置し、 前記第１の湾曲ミラーでＸ線を全反射させることによっ
て、特定方向でのＸ線の発散を収束させ、 前記第２の湾曲ミラーでＸ線を全反射させることによっ
て、前記特定方向に垂直な方向でのＸ線の発散を収束さ
せ、 もって、前記蓄積性蛍光板上にＸ線を点収束させること
を特徴とするＸ線回折装置。 - 【請求項２】蓄積性蛍光板を利用して試料のＸ線回折像
を測定する形式のＸ線回折装置において、 Ｘ線源から蓄積性蛍光板に至るＸ線通過経路に、湾曲ミ
ラーと、湾曲結晶モノクロメータと、被測定試料とを配
置し、 前記湾曲ミラーでＸ線を全反射させることによって、特
定方向でのＸ線の発散を収束させ、 前記湾曲結晶モノクロメータでＸ線を回折させることに
よって、前記特定方向に垂直な方向でのＸ線の発散を収
束させ、 もって、前記蓄積性蛍光板上にＸ線を点収束させること
を特徴とするＸ線回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4872588U JPH0642201Y2 (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | Ｘ線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4872588U JPH0642201Y2 (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | Ｘ線回折装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01152249U JPH01152249U (ja) | 1989-10-20 |
| JPH0642201Y2 true JPH0642201Y2 (ja) | 1994-11-02 |
Family
ID=31274859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4872588U Expired - Lifetime JPH0642201Y2 (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | Ｘ線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0642201Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-04-13 JP JP4872588U patent/JPH0642201Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01152249U (ja) | 1989-10-20 |
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