JPH0641337A - プラスチックの表面エネルギー制御方法 - Google Patents
プラスチックの表面エネルギー制御方法Info
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- JPH0641337A JPH0641337A JP15494691A JP15494691A JPH0641337A JP H0641337 A JPH0641337 A JP H0641337A JP 15494691 A JP15494691 A JP 15494691A JP 15494691 A JP15494691 A JP 15494691A JP H0641337 A JPH0641337 A JP H0641337A
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- treatment
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- plasma treatment
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Abstract
(57)【要約】
【目的】プラズマ処理或いはコロナ処理によってプラス
チックの表面エネルギーを任意に制御すること。 【構成】プラズマ処理或いはコロナ処理によって疎水性
を付与するＣＦ4、Ｃ2Ｆ6、ＳＦ6等の含フッ素化合物
と、親水性を付与するガスとの混合ガスを用い、混合ガ
スの混合比を調整し、プラスチックの表面をプラズマ処
理或いはコロナ処理する。 【効果】プラスチック表面の分子が直接フッ化反応する
ので、表面層が剥離するおそれが全くなく、またその度
合いが任意に制御でき、疎水性にも親水性にもすること
ができる。
チックの表面エネルギーを任意に制御すること。 【構成】プラズマ処理或いはコロナ処理によって疎水性
を付与するＣＦ4、Ｃ2Ｆ6、ＳＦ6等の含フッ素化合物
と、親水性を付与するガスとの混合ガスを用い、混合ガ
スの混合比を調整し、プラスチックの表面をプラズマ処
理或いはコロナ処理する。 【効果】プラスチック表面の分子が直接フッ化反応する
ので、表面層が剥離するおそれが全くなく、またその度
合いが任意に制御でき、疎水性にも親水性にもすること
ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフッ素化合物あるいは他
の種々の気体の混合ガスを用いてプラスチック表面をプ
ラズマ処理あるいはコロナ処理し、プラスチックの表面
エネルギーを制御する方法に関する。
の種々の気体の混合ガスを用いてプラスチック表面をプ
ラズマ処理あるいはコロナ処理し、プラスチックの表面
エネルギーを制御する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
含フッ素化合物あるいは他の種々の気体を用いて、プラ
スチック表面をプラズマ処理あるいはコロナ処理するこ
とにより、該プラスチック表面をフッ素化あるいはコ−
ティングし、表面硬度、撥水性、親水性の付与、接着性
の向上あるいは可塑剤の移行防止またはプラズマエッチ
ング等、固体表面のさまざまな機能化が行われている。
含フッ素化合物あるいは他の種々の気体を用いて、プラ
スチック表面をプラズマ処理あるいはコロナ処理するこ
とにより、該プラスチック表面をフッ素化あるいはコ−
ティングし、表面硬度、撥水性、親水性の付与、接着性
の向上あるいは可塑剤の移行防止またはプラズマエッチ
ング等、固体表面のさまざまな機能化が行われている。
【０００３】例えば、特開昭５５−９９９３２号に開示
されているように、ＣＦ4等を用いて有機高分子の表面
をプラズマ処理することにより、該有機高分子の表面
に、耐水性、耐薬品性、耐摩耗性を付与している。特開
昭５８−１８０５０３号ではＣＦ4、Ｃ2Ｆ4等を用いて
ゴム、プラスチック、金属のガス透過性、表面硬度の機
能を付与することが開示されている。特開昭５９−１５
９８０６号ではフルオロアルケンおよびフルオロアルカ
ンを用いてポリエチレン、ポリアクリレ−ト等に耐水
性、耐溶剤性、表面硬度を付与することが開示されてい
る。特開昭６０−９０２２５号では、少量のメチルエチ
ルケトンとＳＦ6等を用いてコロナ処理を行い、ポリエ
ステル、ポリエチレン、ポリアミド等の表面の不動態化
を行うこと、フッ化炭素、ジフロロエチレン等の炭素含
有モノマを用い、大気圧に近い圧力でプラスチック等の
表面にコロナ処理を行ない不動態化を行なうことが開示
されている。特開昭５６−１１８４３０号では塩化ビニ
ル系樹脂等の成形品の可塑剤の溶出を防止するため、フ
ッ素ガス或いはフレオンガスとＡｒ、ＣＯなどとの混合
ガスを用いて低温プラズマ処理を行ない、輸液バッグ、
血液バッグ等の要求される血小板の保存性を向上させる
ため、塩化ビニル系樹脂成形品の表面の少なくとも一部
を架橋させ、この架橋層の一部をフッ素化することが記
載されている。
されているように、ＣＦ4等を用いて有機高分子の表面
をプラズマ処理することにより、該有機高分子の表面
に、耐水性、耐薬品性、耐摩耗性を付与している。特開
昭５８−１８０５０３号ではＣＦ4、Ｃ2Ｆ4等を用いて
ゴム、プラスチック、金属のガス透過性、表面硬度の機
能を付与することが開示されている。特開昭５９−１５
９８０６号ではフルオロアルケンおよびフルオロアルカ
ンを用いてポリエチレン、ポリアクリレ−ト等に耐水
性、耐溶剤性、表面硬度を付与することが開示されてい
る。特開昭６０−９０２２５号では、少量のメチルエチ
ルケトンとＳＦ6等を用いてコロナ処理を行い、ポリエ
ステル、ポリエチレン、ポリアミド等の表面の不動態化
を行うこと、フッ化炭素、ジフロロエチレン等の炭素含
有モノマを用い、大気圧に近い圧力でプラスチック等の
表面にコロナ処理を行ない不動態化を行なうことが開示
されている。特開昭５６−１１８４３０号では塩化ビニ
ル系樹脂等の成形品の可塑剤の溶出を防止するため、フ
ッ素ガス或いはフレオンガスとＡｒ、ＣＯなどとの混合
ガスを用いて低温プラズマ処理を行ない、輸液バッグ、
血液バッグ等の要求される血小板の保存性を向上させる
ため、塩化ビニル系樹脂成形品の表面の少なくとも一部
を架橋させ、この架橋層の一部をフッ素化することが記
載されている。
【０００４】一般的には含フッ素化合物のプラズマを用
いた場合は、プラズマ中に生じたフッ素原子が処理すべ
きプラスチック表面の結合手と非選択的にフッ化反応を
行なうため、プラスチック表面はフッ素原子で覆おわ
れ、処理後の該プラスチック表面エネルギ−は瞬時にポ
リテトラフルオロエチレン（テフロン）と同様に極端に
低下する。一方、酸素等の酸化性の気体のプラズマ中で
は逆に強い酸化反応が起り、プラスチック表面は親水性
基で覆おわれ、その結果表面エネルギ−は極端に上昇し
てしまうことが知られている。この場合、非酸化性のＡ
ｒ、Ｎ等を用いても空気中に取り出された後は表面は強
く親水性となることは同様である。従って、上記従来技
術においては、プラスチック表面の表面エネルギ−をい
かに短時間に高くあるいは低くするかということが目的
であり、所望する値の表面エネルギ−値を任意に得るこ
とは極めて困難であった。換言するならば、従来技術は
単に親水化するかフッ素化するかということだけであ
り、表面エネルギーを任意に制御する方法は提案されて
いない。混合ガスを用いたフッ素化方法（特開昭５６−
１１８４３０号）でも表面エネルギーを任意に制御する
ものではない。
いた場合は、プラズマ中に生じたフッ素原子が処理すべ
きプラスチック表面の結合手と非選択的にフッ化反応を
行なうため、プラスチック表面はフッ素原子で覆おわ
れ、処理後の該プラスチック表面エネルギ−は瞬時にポ
リテトラフルオロエチレン（テフロン）と同様に極端に
低下する。一方、酸素等の酸化性の気体のプラズマ中で
は逆に強い酸化反応が起り、プラスチック表面は親水性
基で覆おわれ、その結果表面エネルギ−は極端に上昇し
てしまうことが知られている。この場合、非酸化性のＡ
ｒ、Ｎ等を用いても空気中に取り出された後は表面は強
く親水性となることは同様である。従って、上記従来技
術においては、プラスチック表面の表面エネルギ−をい
かに短時間に高くあるいは低くするかということが目的
であり、所望する値の表面エネルギ−値を任意に得るこ
とは極めて困難であった。換言するならば、従来技術は
単に親水化するかフッ素化するかということだけであ
り、表面エネルギーを任意に制御する方法は提案されて
いない。混合ガスを用いたフッ素化方法（特開昭５６−
１１８４３０号）でも表面エネルギーを任意に制御する
ものではない。
【０００５】更に、特開昭６０−９０２２５号に記載さ
れる方法ではプラスチック等の表面に不動態化した薄膜
が積層されるため、プラスチック等との接着が強くない
など実用上の問題があり、モノマー活性化の際に生ずる
有毒物質の処理も必要であった。
れる方法ではプラスチック等の表面に不動態化した薄膜
が積層されるため、プラスチック等との接着が強くない
など実用上の問題があり、モノマー活性化の際に生ずる
有毒物質の処理も必要であった。
【０００６】
【目的】本発明はこのような従来の難点に鑑みなされた
もので、プラズマ処理あるいはコロナ処理時に生成され
たフッ素ラジカルによりプラスチック表面の分子を直接
フッ化反応させることにより、或いは含酸素ガスによる
直接反応を行なわせることにより、疎水性物質をプラス
チック表面にコーティング或いは積層する場合のような
プラスチック表面と薄膜との接着強度の問題が全くない
表面改質方法を提供することを目的とする。さらに本発
明は、プラスチック表面に単に親水性または疎水性を付
与するのみならず、その表面エネルギーを任意に制御す
るプラスチックの表面エネルギー制御方法を提供するこ
とを目的とする。
もので、プラズマ処理あるいはコロナ処理時に生成され
たフッ素ラジカルによりプラスチック表面の分子を直接
フッ化反応させることにより、或いは含酸素ガスによる
直接反応を行なわせることにより、疎水性物質をプラス
チック表面にコーティング或いは積層する場合のような
プラスチック表面と薄膜との接着強度の問題が全くない
表面改質方法を提供することを目的とする。さらに本発
明は、プラスチック表面に単に親水性または疎水性を付
与するのみならず、その表面エネルギーを任意に制御す
るプラスチックの表面エネルギー制御方法を提供するこ
とを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るため本発明者等は、プラスチック表面を含フッ素化合
物を用いて、プラズマ処理あるいはコロナ処理を行い、
プラスチック表面の表面エネルギ−を制御する方法につ
いて鋭意研究を行った結果、プラズマ処理によりプラス
チック表面に疎水性を与える含フッ素化合物とプラズマ
処理により親水性を与える酸素、窒素、水素、アルゴ
ン、ヘリウムあるいはネオン等の調整ガスを適当量混合
し、該混合ガスを用いてプラズマ処理あるいはコロナ処
理を行うと、処理時間や、温度、周波数等の制御を必要
とせずにプラスチック表面の表面エネルギ−を任意に制
御できることを見出し、本発明を完成させた。
るため本発明者等は、プラスチック表面を含フッ素化合
物を用いて、プラズマ処理あるいはコロナ処理を行い、
プラスチック表面の表面エネルギ−を制御する方法につ
いて鋭意研究を行った結果、プラズマ処理によりプラス
チック表面に疎水性を与える含フッ素化合物とプラズマ
処理により親水性を与える酸素、窒素、水素、アルゴ
ン、ヘリウムあるいはネオン等の調整ガスを適当量混合
し、該混合ガスを用いてプラズマ処理あるいはコロナ処
理を行うと、処理時間や、温度、周波数等の制御を必要
とせずにプラスチック表面の表面エネルギ−を任意に制
御できることを見出し、本発明を完成させた。
【０００８】即ち、本発明のプラスチックの表面エネル
ギー制御方法は、プラズマ処理あるいはコロナ処理によ
りプラスチック表面に疎水性を付与する含フッ素化合物
と、プラズマ処理あるいはコロナ処理によりプラスチッ
ク表面に親水性を付与するガスとを混合した混合ガスを
用いてプラスチック表面をプラズマ処理あるいはコロナ
処理する際に、混合ガスの混合比を変化させることによ
りプラスチック表面の表面エネルギ−を任意に制御する
ものである。
ギー制御方法は、プラズマ処理あるいはコロナ処理によ
りプラスチック表面に疎水性を付与する含フッ素化合物
と、プラズマ処理あるいはコロナ処理によりプラスチッ
ク表面に親水性を付与するガスとを混合した混合ガスを
用いてプラスチック表面をプラズマ処理あるいはコロナ
処理する際に、混合ガスの混合比を変化させることによ
りプラスチック表面の表面エネルギ−を任意に制御する
ものである。
【０００９】ここで、本発明に用いられる含フッ素化合
物は常温あるいはプラズマ処理（コロナ処理）時の温度
でガス状であればいずれも使用できる。好ましくは、低
毒性、不燃性である飽和フッ化炭素化合物あるいは飽和
フッ化イオウ化合物で、常温で気体あるいは放電処理時
の温度で気体化する物を使用する。このような化合物と
して例えば、低毒性且つ不燃性であるＣＦ4、Ｃ2Ｆ
6等、また不燃性且つ非腐食性であるＳＦ6、ＮＦ3等が
挙げられる。
物は常温あるいはプラズマ処理（コロナ処理）時の温度
でガス状であればいずれも使用できる。好ましくは、低
毒性、不燃性である飽和フッ化炭素化合物あるいは飽和
フッ化イオウ化合物で、常温で気体あるいは放電処理時
の温度で気体化する物を使用する。このような化合物と
して例えば、低毒性且つ不燃性であるＣＦ4、Ｃ2Ｆ
6等、また不燃性且つ非腐食性であるＳＦ6、ＮＦ3等が
挙げられる。
【００１０】また、プラズマ処理（コロナ処理）により
親水性を与えるガスとしては、酸素、窒素、水素、さら
にアルゴン、ヘリウムあるいはネオン等の不活性ガスま
たはそれらの混合物が挙げられる。また、本発明により
処理できるプラスチックとしては、成形品となりうる一
般の高分子化合物が適用できる。例えば、ポリエ−テル
スルフォン、ポリエ−テルエ−テルケトン、ポリエチレ
ン、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、黒鉛添
加ポリエチレン等である。これらプラスチックの形状は
繊維状、板状、シ−ト状、ブロック状等のいかなる形状
のものであっても差し支えない。
親水性を与えるガスとしては、酸素、窒素、水素、さら
にアルゴン、ヘリウムあるいはネオン等の不活性ガスま
たはそれらの混合物が挙げられる。また、本発明により
処理できるプラスチックとしては、成形品となりうる一
般の高分子化合物が適用できる。例えば、ポリエ−テル
スルフォン、ポリエ−テルエ−テルケトン、ポリエチレ
ン、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、黒鉛添
加ポリエチレン等である。これらプラスチックの形状は
繊維状、板状、シ−ト状、ブロック状等のいかなる形状
のものであっても差し支えない。
【００１１】これら被処理プラスチックの表面エネルギ
ーは、含フッ素化合物と親水性を与えるガスとの混合ガ
スの混合比を変えることによって制御される。この混合
比は、処理するプラスチックにより異なるが、処理時間
１５分で、例えばポリエチレンテレフタレートの場合、
Ｏ2：ＣＦ4が０：１００で水による接触角が１０１度、
５：９５で９０度、５０：５０で２４度、７５：２５で
１．５度に変化させることができる。また、ポリイミド
の場合、Ｏ2：ＣＦ4が０：１００で水による接触角が８
８度、５：９５で８２度、５０：５０で１６．５度、７
５：２５で０度となり、超親水性に改質することができ
る。黒鉛添加ポリエチレンではＯ2：ＣＦ4が、５：９５
で１６５度、５０：５０で１０１．５度、７５：２５で
２０．５度、１００：０で０度と制御することができ
る。図１０、図１１及び図１２に、上記プラスチックに
ついての混合気体中の酸素の比率と接触角との関係を示
した。
ーは、含フッ素化合物と親水性を与えるガスとの混合ガ
スの混合比を変えることによって制御される。この混合
比は、処理するプラスチックにより異なるが、処理時間
１５分で、例えばポリエチレンテレフタレートの場合、
Ｏ2：ＣＦ4が０：１００で水による接触角が１０１度、
５：９５で９０度、５０：５０で２４度、７５：２５で
１．５度に変化させることができる。また、ポリイミド
の場合、Ｏ2：ＣＦ4が０：１００で水による接触角が８
８度、５：９５で８２度、５０：５０で１６．５度、７
５：２５で０度となり、超親水性に改質することができ
る。黒鉛添加ポリエチレンではＯ2：ＣＦ4が、５：９５
で１６５度、５０：５０で１０１．５度、７５：２５で
２０．５度、１００：０で０度と制御することができ
る。図１０、図１１及び図１２に、上記プラスチックに
ついての混合気体中の酸素の比率と接触角との関係を示
した。
【００１２】プラズマ処理において好ましく用いられる
プラズマ放電装置は、プラズマ発生方法として、内部電
極方式による直流グロ−放電ならびに低周波放電、内部
電極方式、外部電極方式およびコイル型方式による高周
波放電、導波管型方式によるマイクロ波放電および電子
サイクロトロン共鳴放電（ＥＣＲ放電）等があるが、こ
れに限らずプラズマを発生し、かつこれにより表面に反
応を起す方法であれば、他の方法も使用することができ
る。コロナ処理は先端極部放電であり、フッ化化合物の
解離反応が充分行なえる密度であれば低周波放電、高周
波放電のいずれでもよい。
プラズマ放電装置は、プラズマ発生方法として、内部電
極方式による直流グロ−放電ならびに低周波放電、内部
電極方式、外部電極方式およびコイル型方式による高周
波放電、導波管型方式によるマイクロ波放電および電子
サイクロトロン共鳴放電（ＥＣＲ放電）等があるが、こ
れに限らずプラズマを発生し、かつこれにより表面に反
応を起す方法であれば、他の方法も使用することができ
る。コロナ処理は先端極部放電であり、フッ化化合物の
解離反応が充分行なえる密度であれば低周波放電、高周
波放電のいずれでもよい。
【００１３】
【実施例】以下実施例を挙げて本発明を更に説明する
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。 実施例 １ 基材として、市販の厚さ１００μのポリエ−テルスルフ
ォン（ＰＥＳ）フィルムを、含フッ素化合物としてＣＦ
4を、調整ガスとして酸素を、プラズマ放電装置として
図１に示した高周波によるプラズマ放電装置を用いて、
ポリエ−テルスルフォンフィルム表面を放電処理した。
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。 実施例 １ 基材として、市販の厚さ１００μのポリエ−テルスルフ
ォン（ＰＥＳ）フィルムを、含フッ素化合物としてＣＦ
4を、調整ガスとして酸素を、プラズマ放電装置として
図１に示した高周波によるプラズマ放電装置を用いて、
ポリエ−テルスルフォンフィルム表面を放電処理した。
【００１４】図１に示したプラズマ装置は、プラズマ発
生系（高周波電源およびインピ−ダンス整合回路）１、
ガラス容器２、ＣＦ4用のガス供給路３、酸素用のガス
供給路４、ＣＦ4および酸素の混合ガス供給路５、及び
排気路６より基本的に構成され、前記プラズマ反応系に
は１.５cmの間隔を保って電極７、７'が配置され、下部
電極７'上に被処理物８であるポリエ−テルスルフォン
フィルムをセットした。
生系（高周波電源およびインピ−ダンス整合回路）１、
ガラス容器２、ＣＦ4用のガス供給路３、酸素用のガス
供給路４、ＣＦ4および酸素の混合ガス供給路５、及び
排気路６より基本的に構成され、前記プラズマ反応系に
は１.５cmの間隔を保って電極７、７'が配置され、下部
電極７'上に被処理物８であるポリエ−テルスルフォン
フィルムをセットした。
【００１５】ＣＦ4と酸素の比率が７５：２５(容積比)
である混合ガスを３Torrの圧力で、２００cm/分の流速
でガス供給路３、４、５を経由してプラズマ反応系であ
るガラス容器２に導入し、実効電力５０Ｗで、１３.５
６ＭＨzの高周波電力を電極７、７'に印加して放電を起
させ、１分、５分、１５分、３０分そして６０分間ＰＥ
Ｓフィルム表面をプラズマ処理した。 実施例 ２〜７ ＣＦ4酸素の比率をそれぞれ、60：40、50：50、40：6
0、25：75、0：100および100：00（容積比）で実施例１
と同様にプラズマ処理を行った。
である混合ガスを３Torrの圧力で、２００cm/分の流速
でガス供給路３、４、５を経由してプラズマ反応系であ
るガラス容器２に導入し、実効電力５０Ｗで、１３.５
６ＭＨzの高周波電力を電極７、７'に印加して放電を起
させ、１分、５分、１５分、３０分そして６０分間ＰＥ
Ｓフィルム表面をプラズマ処理した。 実施例 ２〜７ ＣＦ4酸素の比率をそれぞれ、60：40、50：50、40：6
0、25：75、0：100および100：00（容積比）で実施例１
と同様にプラズマ処理を行った。
【００１６】処理後の表面に対し、表面エネルギ−の指
標となる水滴の接触角を測定した。実施例１〜７におけ
る水滴接触角の変化を、プラズマ放電処理時間との関係
で図３〜図９に示した。尚、この接触角の値は測定後、
数ケ月間空気中に放置しても変化することは無かった。
上記、結果から判るように、いずれも５分間の処理で平
衡状態になっている。
標となる水滴の接触角を測定した。実施例１〜７におけ
る水滴接触角の変化を、プラズマ放電処理時間との関係
で図３〜図９に示した。尚、この接触角の値は測定後、
数ケ月間空気中に放置しても変化することは無かった。
上記、結果から判るように、いずれも５分間の処理で平
衡状態になっている。
【００１７】また、各実施例で１５分間プラズマ処理を
行った後のプラスチック表面の接触角と、ＣＦ4と酸素
の比率との関係を図２に示した。図２から判るように、
得ようとする表面エネルギ−に相当するＣＦ4と酸素の
容積比を得ることができる。
行った後のプラスチック表面の接触角と、ＣＦ4と酸素
の比率との関係を図２に示した。図２から判るように、
得ようとする表面エネルギ−に相当するＣＦ4と酸素の
容積比を得ることができる。
【００１８】
【発明の効果】以上の実施例からも明らかなように本発
明のプラスチックの表面エネルギー制御方法によれば、
プラスチック表面の表面エネルギ−を任意に制御でき、
このことは、例えば、プラスチック表面のヌレを任意に
変化させることができるということである。
明のプラスチックの表面エネルギー制御方法によれば、
プラスチック表面の表面エネルギ−を任意に制御でき、
このことは、例えば、プラスチック表面のヌレを任意に
変化させることができるということである。
【００１９】この場合は、接着性あるいは離型性に非常
に有効である。ある接着剤を個体表面に接着させようと
する場合、その接着剤を構成する個体、例えば合成高分
子であれば、その合成高分子固有のヌレと同じ値になる
ように被接着個体表面を前記の方法で処理すれば最高の
接着力が得られることは明白なことである。粘着剤の離
型に利用するならば同一粘着剤を用いて、種々の剥離強
度を得ることができる。
に有効である。ある接着剤を個体表面に接着させようと
する場合、その接着剤を構成する個体、例えば合成高分
子であれば、その合成高分子固有のヌレと同じ値になる
ように被接着個体表面を前記の方法で処理すれば最高の
接着力が得られることは明白なことである。粘着剤の離
型に利用するならば同一粘着剤を用いて、種々の剥離強
度を得ることができる。
【００２０】また、使用する含フッ化合物は、低毒性、
不燃性を有する飽和フッ化炭素化合物あるいは不燃性、
非腐食性を有するフッ化イオウ化合物を用いれば、爆発
等の危険性が少なく、更には、既存のプラズマ装置を用
いて単純な方法でプラスチック表面の改質が行える。
不燃性を有する飽和フッ化炭素化合物あるいは不燃性、
非腐食性を有するフッ化イオウ化合物を用いれば、爆発
等の危険性が少なく、更には、既存のプラズマ装置を用
いて単純な方法でプラスチック表面の改質が行える。
【図１】本発明のプラスチックの表面エネルギー制御方
法に用いられるプラズマ放電装置の概略図。
法に用いられるプラズマ放電装置の概略図。
【図２】プラズマ処理プラスチック表面の水滴接触角と
ＣＦ4と酸素の比率との関係を示すグラフ。
ＣＦ4と酸素の比率との関係を示すグラフ。
【図３】実施例１のプラズマ処理プラスチック表面の水
滴接触角と処理時間の関係を示すグラフ。
滴接触角と処理時間の関係を示すグラフ。
【図４】実施例２のプラズマ処理プラスチック表面の水
滴接触角と処理時間の関係を示すグラフ。
滴接触角と処理時間の関係を示すグラフ。
【図５】実施例３のプラズマ処理プラスチック表面の水
滴接触角と処理時間の関係を示すグラフ。
滴接触角と処理時間の関係を示すグラフ。
【図６】実施例４のプラズマ処理プラスチック表面の水
滴接触角と処理時間の関係を示すグラフ。
滴接触角と処理時間の関係を示すグラフ。
【図７】実施例５のプラズマ処理プラスチック表面の水
滴接触角と処理時間の関係を示すグラフ。
滴接触角と処理時間の関係を示すグラフ。
【図８】実施例６のプラズマ処理プラスチック表面の水
滴接触角と処理時間の関係を示すグラフ。
滴接触角と処理時間の関係を示すグラフ。
【図９】実施例７のプラズマ処理プラスチック表面の水
滴接触角と処理時間の関係を示すグラフ。
滴接触角と処理時間の関係を示すグラフ。
【図１０】ポリエチレンテレフタレートについて、混合
気体中の酸素の比率と処理後の接触角との関係を示す
図。
気体中の酸素の比率と処理後の接触角との関係を示す
図。
【図１１】ポリイミドについて、混合気体中の酸素の比
率と処理後の接触角との関係を示す図。
率と処理後の接触角との関係を示す図。
【図１２】黒鉛添加ポリエチレンについて、混合気体中
の酸素の比率と処理後の接触角との関係を示す図。
の酸素の比率と処理後の接触角との関係を示す図。
１・・・・・・・プラズマ発生系 ２・・・・・・・ガラス容器 ３、４・・・ガス供給路 ５・・・・・・・混合ガス供給路 ６・・・・・・・排気路 ７、７'・・・・電極 ８・・・・・・・被処理物
Claims (1)
- 【請求項１】プラズマ処理あるいはコロナ処理によりプ
ラスチック表面に疎水性を付与する含フッ素化合物と、
プラズマ処理あるいはコロナ処理により前記プラスチッ
ク表面に親水性を付与するガスとを混合した混合ガスを
用いて前記プラスチック表面をプラズマ処理あるいはコ
ロナ処理する際に、前記混合ガスの混合比を変化させる
ことにより前記プラスチック表面の表面エネルギ−を任
意に制御することを特徴とするプラスチックの表面エネ
ルギー制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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-
1991
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