JPH0641019Y2 - 真空用シール機構 - Google Patents
真空用シール機構Info
- Publication number
- JPH0641019Y2 JPH0641019Y2 JP1988059344U JP5934488U JPH0641019Y2 JP H0641019 Y2 JPH0641019 Y2 JP H0641019Y2 JP 1988059344 U JP1988059344 U JP 1988059344U JP 5934488 U JP5934488 U JP 5934488U JP H0641019 Y2 JPH0641019 Y2 JP H0641019Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lip
- sub
- grease
- filled
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 「考案の目的」 本考案は真空シール軸承機構に係り、真空条件を維持し
た機器と外界との間において圧接時のリップ先端におけ
る反曲傾向を適切に防止し有効な軸承シール性能を発揮
することのできるシール軸承機構を提供しようとするも
のである。
た機器と外界との間において圧接時のリップ先端におけ
る反曲傾向を適切に防止し有効な軸承シール性能を発揮
することのできるシール軸承機構を提供しようとするも
のである。
（産業上の利用分野） 真空条件を維持しつつ回転軸を軸承するためのシール機
構。
構。
（従来の技術） 機器その他の設備において機内を真空条件に維持するこ
とが被処理物や機構運転に必要な資料などの流動性、反
応性、気化性、分散性その他の特性を有利に利用し得る
場合が多く、このような場合には機器ないし設備の一部
または全部を真空条件に維持して内部機構を回転駆動す
ることが行われている。
とが被処理物や機構運転に必要な資料などの流動性、反
応性、気化性、分散性その他の特性を有利に利用し得る
場合が多く、このような場合には機器ないし設備の一部
または全部を真空条件に維持して内部機構を回転駆動す
ることが行われている。
上記のような設備においてその回転駆動される軸材を外
界（大気圧条件）との境界部に支承せしめて前記したよ
うな回転駆動を行わせることとなるが、このような回転
軸部分については外気侵入をシールすることが必要であ
って、従来は一般的なシール材を圧入しシールすること
が行われている。
界（大気圧条件）との境界部に支承せしめて前記したよ
うな回転駆動を行わせることとなるが、このような回転
軸部分については外気侵入をシールすることが必要であ
って、従来は一般的なシール材を圧入しシールすること
が行われている。
なお実公昭35-21614や実公昭36-13018においては櫛歯状
に多段のリップを列設したシール材を用い、即ち段階状
に４〜５段のリップを形成させたものを用いて回転軸と
の間をシールすることが提案されている。
に多段のリップを列設したシール材を用い、即ち段階状
に４〜５段のリップを形成させたものを用いて回転軸と
の間をシールすることが提案されている。
（考案が解決しようとする課題） 上記したような従来のものにおいては、シール材を強力
に圧入することによって外気侵入を阻止し真空条件を略
満足し得るとしても、この場合においてはシール材が固
定部と回転部との間に強く圧接シールされるので回転ト
ルクが大となり、又軸材やシール材における摩耗が大と
ならざるを得ない。
に圧入することによって外気侵入を阻止し真空条件を略
満足し得るとしても、この場合においてはシール材が固
定部と回転部との間に強く圧接シールされるので回転ト
ルクが大となり、又軸材やシール材における摩耗が大と
ならざるを得ない。
更に上記のように摩耗することからそのシール性能が変
化し、安定したシール特性を求め得ない。
化し、安定したシール特性を求め得ない。
特にこのような真空条件の場合においては外界の空気な
どによる気体分子の大きさは２〜５Åのように著しく小
さいものであって液体などよりは著しく小さいので漏洩
発生の可能性が非常に高いことになり、安定したシール
状態を確保することができない。例えば空気を構成する
N2は3.75Å、O2は3.64Åであり、H2は2.75Å、水蒸気は
4.68Åのように微小な分子であって液体分子より格段に
小さく、液体の漏洩を防止できても上記のような気体の
漏洩防止は著しく困難であり、特に回転作動する回転軸
との間において有効なシールを確保し難い。
どによる気体分子の大きさは２〜５Åのように著しく小
さいものであって液体などよりは著しく小さいので漏洩
発生の可能性が非常に高いことになり、安定したシール
状態を確保することができない。例えば空気を構成する
N2は3.75Å、O2は3.64Åであり、H2は2.75Å、水蒸気は
4.68Åのように微小な分子であって液体分子より格段に
小さく、液体の漏洩を防止できても上記のような気体の
漏洩防止は著しく困難であり、特に回転作動する回転軸
との間において有効なシールを確保し難い。
斯かる関係についてより具体的に説明すると、真空蒸着
その他の機器に関してその真空度を高めることが枢要で
あることは当然であるが、このような機器においてその
回転軸部分のシールを従来法により１気圧程度の外気圧
に耐えるように線状シール部でシールするには一般的に
25kg/cm2以上、特に28kg/cm2以上の圧接シール力を必要
とすることは実験的に明らかである。またシール材リッ
プ部を上記のように強く圧接すると先端部の反曲浮上状
態が発生し、即ちリップ先端より相当に離れた側面部分
に最大摩耗域の発生することが確認されるもので、何れ
にしてもこのようなシール状態では好ましいシールが得
られない。然してこのように高いシール力で回転軸を封
止した場合においては前記したようなシール部材におけ
る損耗が著しく、若干の運転によって気密性が確保し難
くなり、耐用性の低いものとならざるを得ない。このよ
うな損耗は回転軸側においても発生し、即ち鋼材の如き
による回転軸であってもシール材の圧接部分に溝が発生
し、この点においても安定なシール作用を維持し得ない
こととなる。
その他の機器に関してその真空度を高めることが枢要で
あることは当然であるが、このような機器においてその
回転軸部分のシールを従来法により１気圧程度の外気圧
に耐えるように線状シール部でシールするには一般的に
25kg/cm2以上、特に28kg/cm2以上の圧接シール力を必要
とすることは実験的に明らかである。またシール材リッ
プ部を上記のように強く圧接すると先端部の反曲浮上状
態が発生し、即ちリップ先端より相当に離れた側面部分
に最大摩耗域の発生することが確認されるもので、何れ
にしてもこのようなシール状態では好ましいシールが得
られない。然してこのように高いシール力で回転軸を封
止した場合においては前記したようなシール部材におけ
る損耗が著しく、若干の運転によって気密性が確保し難
くなり、耐用性の低いものとならざるを得ない。このよ
うな損耗は回転軸側においても発生し、即ち鋼材の如き
による回転軸であってもシール材の圧接部分に溝が発生
し、この点においても安定なシール作用を維持し得ない
こととなる。
前記実公昭35-21614および実公昭36-13018のものは多段
の直角状のリップ並列突設されたものであるから回転軸
に圧接した場合に圧接量が大となるとリップ先端が屈曲
することとなって回転軸面から浮上し、有効なシール作
用を求め得ない。
の直角状のリップ並列突設されたものであるから回転軸
に圧接した場合に圧接量が大となるとリップ先端が屈曲
することとなって回転軸面から浮上し、有効なシール作
用を求め得ない。
「考案の構成」 （課題を解決するための手段） ベース部の一側から接合リップ部を延出形成し、該接合
リップ部には主リップ、副リップおよびグリース封入リ
ップをそれぞれ形成すると共にそれらのリップ間に真空
グリース封入部を凹入して形成し、しかもベース部と接
合リップ部との間に形成された切込部における主リップ
と副リップとの中間部に該部分を回転軸に対し圧接する
ガータスプリングを装着したものにおいて、前記主リッ
プ、副リップを傾斜突出せしめて形成すると共に上記グ
リース封入リップを直角状に突設し、前記主リップおよ
び副リップの回転軸に対する非接合面側先端部に鈍角状
とした端面を形成したことを特徴とする真空用シール機
構。
リップ部には主リップ、副リップおよびグリース封入リ
ップをそれぞれ形成すると共にそれらのリップ間に真空
グリース封入部を凹入して形成し、しかもベース部と接
合リップ部との間に形成された切込部における主リップ
と副リップとの中間部に該部分を回転軸に対し圧接する
ガータスプリングを装着したものにおいて、前記主リッ
プ、副リップを傾斜突出せしめて形成すると共に上記グ
リース封入リップを直角状に突設し、前記主リップおよ
び副リップの回転軸に対する非接合面側先端部に鈍角状
とした端面を形成したことを特徴とする真空用シール機
構。
（作用） ベース部により機体取付部に組付け、接合リップ部で回
転軸に接合し、しかもガータスプリングで回転軸に圧着
する。
転軸に接合し、しかもガータスプリングで回転軸に圧着
する。
接合リップにおける主リップと副リップとが外部大気側
に傾斜して圧接せしめられ、グリース封入リップが内部
真空側において直角状に接合することによりバランスし
た圧接関係が形成され、しかもこれらリップ間にグリー
スを充填して圧接することにより比較的軽い圧接力で有
効なシール関係が形成される。
に傾斜して圧接せしめられ、グリース封入リップが内部
真空側において直角状に接合することによりバランスし
た圧接関係が形成され、しかもこれらリップ間にグリー
スを充填して圧接することにより比較的軽い圧接力で有
効なシール関係が形成される。
回転軸の回転は上記のように充填されたグリースによる
潤滑性とこの比較的軽い圧接力とが相俟って頗る低トル
ク化され、従って又各部材の摩耗なども充分に低減され
る。
潤滑性とこの比較的軽い圧接力とが相俟って頗る低トル
ク化され、従って又各部材の摩耗なども充分に低減され
る。
主リップおよび副リップは傾斜突出されたものであるこ
とから回転軸に対する圧接によっても該回転軸面から浮
上する傾向が乏しく、特にそれら主リップおよび副リッ
プの回転軸に対する非接合面側先端部に鈍角状とした端
面を形成したのでそれらのリップ先端部が屈曲しようと
する傾向をその鈍角部分で適切に抑圧して安定なシール
接合状態を形成する。従ってこれらの主リップおよび副
リップはその先端部外面における限定された線状圧接に
よって有効なシール状態を確保する。
とから回転軸に対する圧接によっても該回転軸面から浮
上する傾向が乏しく、特にそれら主リップおよび副リッ
プの回転軸に対する非接合面側先端部に鈍角状とした端
面を形成したのでそれらのリップ先端部が屈曲しようと
する傾向をその鈍角部分で適切に抑圧して安定なシール
接合状態を形成する。従ってこれらの主リップおよび副
リップはその先端部外面における限定された線状圧接に
よって有効なシール状態を確保する。
（実施例） 上記したような本考案によるものの具体的な実施態様を
添附図面に示すものについて説明すると、本考案におい
ては第１図に示すようにベース部１の一側から接合リッ
プ部２を屈曲して延出形成し、該接合リップ部２には主
リップ３と副リップ４を夫々傾斜突出せしめて形成する
と共にグリース封入リップ５を直角状に突設し、それら
のリップ３、４、５間に真空グリース封入部６、７を凹
入して形成したものであり、このような接合リップ部２
の基端部端面に埋装補強板14を取付け、又ベース部１と
接合リップ部２との間に形成された切込部８における主
リップ３と副リップ４との中間部にガータスプリング９
を装着したものであるが、上記した主リップ３と副リッ
プ４の回転軸に対する非接合面側先端部を鈍角状とした
端面31、41としたものである。なおベース部１の基端部
側面には比較的小さなシール突起11を形成して機体設定
時に該部分において機体内真空側のシールを図り、又該
ベース部１の大気側には若干鋭角化した外側リップ13を
形成し同様にシールするように成っている。
添附図面に示すものについて説明すると、本考案におい
ては第１図に示すようにベース部１の一側から接合リッ
プ部２を屈曲して延出形成し、該接合リップ部２には主
リップ３と副リップ４を夫々傾斜突出せしめて形成する
と共にグリース封入リップ５を直角状に突設し、それら
のリップ３、４、５間に真空グリース封入部６、７を凹
入して形成したものであり、このような接合リップ部２
の基端部端面に埋装補強板14を取付け、又ベース部１と
接合リップ部２との間に形成された切込部８における主
リップ３と副リップ４との中間部にガータスプリング９
を装着したものであるが、上記した主リップ３と副リッ
プ４の回転軸に対する非接合面側先端部を鈍角状とした
端面31、41としたものである。なおベース部１の基端部
側面には比較的小さなシール突起11を形成して機体設定
時に該部分において機体内真空側のシールを図り、又該
ベース部１の大気側には若干鋭角化した外側リップ13を
形成し同様にシールするように成っている。
上記したような本考案によるものの機体軸受部に対する
設定状態は第２図に示す如くで、機体10に形成された収
容部12に上記したようなベース部１を収容し、回転軸15
に対して上述したような主リップ３、副リップ４および
グリース封入リップ５を夫々接合しガータスプリング９
を主リップ３と副リップ４との間の真空グリース封入リ
ップ部６部分を緊圧するように成っている。
設定状態は第２図に示す如くで、機体10に形成された収
容部12に上記したようなベース部１を収容し、回転軸15
に対して上述したような主リップ３、副リップ４および
グリース封入リップ５を夫々接合しガータスプリング９
を主リップ３と副リップ４との間の真空グリース封入リ
ップ部６部分を緊圧するように成っている。
即ち第１図のように傾斜突出した主リップ３は上記した
ような回転軸15に対する装着で回転軸15に接着し、副リ
ップ４と共に外部大気側に傾斜するがそれらのリップ
３、４における先端部には回転軸15に対する非接合面側
を鈍角状とした端面31、41が形成されているのでリップ
先端がこれらの端面31、41域を越えて突出することが皆
無状態で回転軸15面からリップ先端が反曲浮上すること
を適切に防止する。一方これらのリップ３、４より低い
グリース封入リップ５はその直角状先端部が回転軸15の
表面に接合して内部真空側に位置した状態に設定される
ものであり、埋装補強板14は収容部12の側壁に接してシ
ール機構全般を適正な状態に保持する。主リップ３と副
リップ４との間の真空グリース封入部６とこれに隣接し
たグリース封入リップ５との間のグリース封入部７に充
填封入されたグリース16は潤滑性を確保すると共にシー
ル性を得しめ、ガータスプリング９は前記リップ３、４
を浮上らせない程度の軽い圧接力を附与することによっ
て回転軸15に対し安定したシール面圧を与える。外側リ
ップ13は収容部12内にあって外部大気圧を１次封止し、
シール突起11は内部真空側において大気を２次封止す
る。何れにしても封止の困難な回転軸側にあって各リッ
プ３〜５間に一連の面シールを形成することができ、特
にグリース封入部６、７に充填され且つガータスプリン
グによる面圧を受けるグリース16もシール材的に機能す
ることから比較的低い面圧によって適切な真空シールを
完成し得る。実験によるときは1kg/cm2程度の接触圧で
大気圧を充分に遮断シールすることができ、従って回転
軸15の回転も軽快に行われる。
ような回転軸15に対する装着で回転軸15に接着し、副リ
ップ４と共に外部大気側に傾斜するがそれらのリップ
３、４における先端部には回転軸15に対する非接合面側
を鈍角状とした端面31、41が形成されているのでリップ
先端がこれらの端面31、41域を越えて突出することが皆
無状態で回転軸15面からリップ先端が反曲浮上すること
を適切に防止する。一方これらのリップ３、４より低い
グリース封入リップ５はその直角状先端部が回転軸15の
表面に接合して内部真空側に位置した状態に設定される
ものであり、埋装補強板14は収容部12の側壁に接してシ
ール機構全般を適正な状態に保持する。主リップ３と副
リップ４との間の真空グリース封入部６とこれに隣接し
たグリース封入リップ５との間のグリース封入部７に充
填封入されたグリース16は潤滑性を確保すると共にシー
ル性を得しめ、ガータスプリング９は前記リップ３、４
を浮上らせない程度の軽い圧接力を附与することによっ
て回転軸15に対し安定したシール面圧を与える。外側リ
ップ13は収容部12内にあって外部大気圧を１次封止し、
シール突起11は内部真空側において大気を２次封止す
る。何れにしても封止の困難な回転軸側にあって各リッ
プ３〜５間に一連の面シールを形成することができ、特
にグリース封入部６、７に充填され且つガータスプリン
グによる面圧を受けるグリース16もシール材的に機能す
ることから比較的低い面圧によって適切な真空シールを
完成し得る。実験によるときは1kg/cm2程度の接触圧で
大気圧を充分に遮断シールすることができ、従って回転
軸15の回転も軽快に行われる。
「考案の効果」 以上説明したような本考案によるときは主リップおよび
副リップの先端における反曲傾向を有効に防止して1kg/
cm2程度の軽い線状圧接シール力で回転軸部分に対する
有効な真空シール関係を形成、維持することができ、従
って回転軸駆動に関して過大な負荷を与えることがない
と共にシール部材および回転軸部分における損耗を大幅
に低減し軽快で耐用性の高い機構を提供し得るものであ
るから実用上その効果の大きい考案である。
副リップの先端における反曲傾向を有効に防止して1kg/
cm2程度の軽い線状圧接シール力で回転軸部分に対する
有効な真空シール関係を形成、維持することができ、従
って回転軸駆動に関して過大な負荷を与えることがない
と共にシール部材および回転軸部分における損耗を大幅
に低減し軽快で耐用性の高い機構を提供し得るものであ
るから実用上その効果の大きい考案である。
図面は本考案の技術的内容を示すものであって、第１図
は本考案によるシール機構の断面図、第２図はその機器
取付部と回転軸との間における取付状態を示した断面図
である。 然してこれらの図面において、１はベース部、２は接合
リップ部、３は主リップ、４は副リップ部、５はグリー
ス封入リップ、６、７はグリース封入部、８は切込部、
９はガータスプリング、10は機体、11はシール突起、12
は収容部、13は外側リップ、14は補強板、15は回転軸、
16はグリースを示すものである。
は本考案によるシール機構の断面図、第２図はその機器
取付部と回転軸との間における取付状態を示した断面図
である。 然してこれらの図面において、１はベース部、２は接合
リップ部、３は主リップ、４は副リップ部、５はグリー
ス封入リップ、６、７はグリース封入部、８は切込部、
９はガータスプリング、10は機体、11はシール突起、12
は収容部、13は外側リップ、14は補強板、15は回転軸、
16はグリースを示すものである。
Claims (1)
- 【請求項１】ベース部の一側から接合リップ部を延出形
成し、該接合リップ部には主リップ、副リップおよびグ
リース封入リップをそれぞれ形成すると共にそれらのリ
ップ間に真空グリース封入部を凹入して形成し、しかも
ベース部と接合リップ部との間に形成された切込部にお
ける主リップと副リップとの中間部に該部分を回転軸に
対し圧接するガータスプリングを装着したものにおい
て、前記主リップ、副リップを傾斜突出せしめて形成す
ると共に上記グリース封入リップを直角状に突設し、前
記主リップおよび副リップの回転軸に対する非接合面側
先端部に鈍角状とした端面を形成したことを特徴とする
真空用シール機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988059344U JPH0641019Y2 (ja) | 1988-05-06 | 1988-05-06 | 真空用シール機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988059344U JPH0641019Y2 (ja) | 1988-05-06 | 1988-05-06 | 真空用シール機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01163256U JPH01163256U (ja) | 1989-11-14 |
| JPH0641019Y2 true JPH0641019Y2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=31285120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988059344U Expired - Lifetime JPH0641019Y2 (ja) | 1988-05-06 | 1988-05-06 | 真空用シール機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0641019Y2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001023789A1 (fr) * | 1999-09-27 | 2001-04-05 | Koyo Seiko Co., Ltd. | Joint et ensemble tournant l'utilisant |
| JP2001099328A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-10 | Koyo Seiko Co Ltd | シール |
| JP2001099327A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-10 | Koyo Seiko Co Ltd | シールおよび回転アセンブリ |
| JP2001159467A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-06-12 | Koyo Seiko Co Ltd | シール |
| JP2001159466A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-06-12 | Koyo Seiko Co Ltd | シール |
| WO2009020146A1 (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | パッキン及び蒸気調理器並びに蒸気調理器の製造方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2518346Y2 (ja) * | 1990-10-12 | 1996-11-27 | 光洋精工株式会社 | シール装置 |
| JP5041137B2 (ja) * | 2007-01-29 | 2012-10-03 | Ｎｏｋ株式会社 | 密封装置 |
| JP7106264B2 (ja) * | 2017-11-15 | 2022-07-26 | 光洋シーリングテクノ株式会社 | 密封装置 |
-
1988
- 1988-05-06 JP JP1988059344U patent/JPH0641019Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001023789A1 (fr) * | 1999-09-27 | 2001-04-05 | Koyo Seiko Co., Ltd. | Joint et ensemble tournant l'utilisant |
| JP2001099328A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-10 | Koyo Seiko Co Ltd | シール |
| JP2001099327A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-10 | Koyo Seiko Co Ltd | シールおよび回転アセンブリ |
| JP2001159467A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-06-12 | Koyo Seiko Co Ltd | シール |
| JP2001159466A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-06-12 | Koyo Seiko Co Ltd | シール |
| WO2009020146A1 (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | パッキン及び蒸気調理器並びに蒸気調理器の製造方法 |
| JP2009041661A (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-26 | Sharp Corp | パッキン及び蒸気調理器並びに蒸気調理器の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01163256U (ja) | 1989-11-14 |
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