JPH0640014B2 - フォトダイオ−ドアレイの取付装置 - Google Patents

フォトダイオ−ドアレイの取付装置

Info

Publication number
JPH0640014B2
JPH0640014B2 JP62144784A JP14478487A JPH0640014B2 JP H0640014 B2 JPH0640014 B2 JP H0640014B2 JP 62144784 A JP62144784 A JP 62144784A JP 14478487 A JP14478487 A JP 14478487A JP H0640014 B2 JPH0640014 B2 JP H0640014B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
mounting
photodiode array
mounting hole
rotary encoder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP62144784A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS63308516A (ja
Inventor
進清 安藤
俊夫 斉藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP62144784A priority Critical patent/JPH0640014B2/ja
Publication of JPS63308516A publication Critical patent/JPS63308516A/ja
Publication of JPH0640014B2 publication Critical patent/JPH0640014B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Transform (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、光学式のロータリーエンコーダに用いるフォ
トダイオードアレイ(以下、PDAとする)を、エンコ
ーダの固定部に位置決めして取付ける装置に関するもの
である。
[従来の技術] 光学式のロータリーエンコーダは、円板形状になってい
て円周方向にスリット列が形成されたスリット板に発光
素子例えば発光ダイオードの光を当て、スリットの通過
光を受光素子例えばPDAで検出し、検出光をもとにス
リット板の回転を検出するものである。
このようなロータリーエンコーダでは、PDAが発光ダ
イオードに対して精密に位置決めされていないと、PD
Aにスリットの通過光が当たらなくなる。
従来、PDAをエンコーダの固定部に位置決めして取付
ける装置として、例えば第3図に示す構成のものがあっ
た。
図で、1は円板形状になっていて中心に取付穴2が明け
られた基板、3,3は取付穴2に対して位置決めさ
れて基板1に接着されたPDAのチップである。4はエ
ンコーダの固定部5に、エンコーダの中心軸と同心軸に
なるように位置決めされて立てられた取付軸である。
取付軸4は取付穴2に嵌合されることによって基板1は
固定部5に位置決めされて取付られ、これによりPDA
,3も位置決めされる。
[発明が解決しようとする問題点] しかし、このような取付装置では、PDAを精度良く位
置決めするにあたって、2回の精密加工が必要になる。
すなわち、 取付穴2を明ける位置の精密な位置決め PDA3,3の基板1への接着位置の精密な位置
決め の加工が必要になる。
つまり、第3図の装置には2個の誤差要因があり、要求
精度を満足させるためには、上述した,の工程の精
度はそれぞれ要求精度の2倍の精度が必要になる。
また、PDAは2個実装されているため、それらの相対
位置精度も確保する必要がある。
このように第3図の装置では所望の位置精度を満たそう
とすると、厳しい加工精度が必要となる。
本発明はこのような問題点を解決するためになされたも
のであり、PDAの位置決めの誤差要因が少なく、容易
な加工でPDAを精密に位置決めできるフォトダイオー
ドアレイの取付装置を実現することを目的とする。
[問題点を解決するための手段] 本発明は、次の構成にしたことを特徴とするフォトダイ
オードアレイの取付装置である。
(1) 光学式のロータリーエンコーダのスリットを通過
した光を検出するフォトダイオードアレイを固定部に位
置決めして取付ける装置において、 円板形状になっていて、中心に取付穴が形成されるとと
もに、ICプロセスでフォトダイオードアレイがこの取
付穴に対して位置決めされて形成されている基板と、 ロータリーエンコーダの固定部に位置決めされて立てら
れていて、前記基板の取付穴と嵌め合される取付軸、 を具備したことを特徴とするフォトダイオードアレイの
取付装置。
(2) 光学式のロータリーエンコーダのスリットを通過
した光を検出するフォトダイオードアレイを固定部に位
置決めして取付ける装置において、 円板形状になっていて、中心に取付穴が形成されるとと
もに、ICプロセスでフォトダイオードアレイがこの取
付穴に対して位置決めされて形成されている基板と、 この基板よりも丈夫な材料で構成されていて、中心に取
付穴が形成されていて、この取付穴と前記基板の取付穴
を合せた状態で基板と接着される構造材と、 ロータリーエンコーダの固定部に位置決めされて立てら
れていて、前記接着された基板と構造材の取付穴と嵌め
合される取付軸、 を具備したことを特徴とするフォトダイオードアレイの
取付装置。
[実施例] 以下、図面を用いて本発明を説明する。
第1図は本発明にかかるフォトダイオードアレイの取付
装置の一実施例の構成分解図である。第1図で、第3図
と同一のものは同一符号を付ける。
図で、6は基板であり、中心に形成された取付穴7と、
ICプロセス(集積回路プロセス)でこの取付穴7に対
して位置決めされて形成されたPDA8,8を有す
る。このような基板6としては、例えばシリンコウエハ
上に2個のPDAを形成したものを用いる。
9は基板6より丈夫な構造材であり、中心には取付穴1
0が明けられている。この構造材9としては例えば基板
6よりも丈夫な基板を用いる。
基板6と構造材9は取付穴7と10を合せて接着され、
合せられた穴に取付軸4が嵌合されることによって、基
板6と構造材9は位置決めされて固定部5に取付けられ
る。これにより、PDA8,8も位置決めされる。
第2図は本発明にかかるフォトダイオードアレイの取付
装置の他の実施例の要部構成図であり、基板の構成を示
したものである。
第2図の基板では、4組のPDAのペア8〜8を形
成し、これらの中の良品のペアを選択して使う。これに
よって歩留りが向上する。
ICプロセスでは、1組のPDAを形成するのも複数組
のPDAを形成するのも工数は同じである。
なお、PDAのペアと各PDAの信号処理回路を同一プ
ロセスで形成するようにしてもよい。このとき、PDA
のペアは1組であっても複数組であってもよい。
また、PDAを形成する基板に厚く機械強度の十分なシ
リコンウエハを用いて構造材を省略した構成にしてもよ
い。
[効果] 本発明によれば、ICプロセスにより基板6に直接PD
Aが形成されているため、PDAを取付穴7に対して精
密に位置決めできる。これによってPDAの取付位置の
誤差要因が少なくなり、PDAをエンコーダの固定部に
精密に位置決めできる。また、基板内のPDAどうしの
相対位置精度も良好になる。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明にかかるフォトダイオードアレイの取付
装置の一実施例の構成分解図、第2図は本発明にかかる
フォトダイオードアレイの取付装置の他の実施例の要部
構成図、第3図はフォトダイオードアレイの取付装置の
従来例の構成分解図である。 4……取付軸、5……固定部、6……基板、7,10…
…取付穴、8〜8……フォトダイオードアレイ、9
……構造材。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光学式のロータリーエンコーダのスリット
    を通過した光を検出するフォトダイオードアレイを固定
    部に位置決めして取付ける装置において、 円板形状になっていて、中心に取付穴が形成されるとと
    もに、ICプロセスでフォトダイオードアレイがこの取
    付穴に対して位置決めされて形成されている基板と、 ロータリーエンコーダの固定部に、ロータリーエンコー
    ダの中心軸と同心軸になるように位置決めされて立てら
    れていて、前記基板の取付穴と嵌め合される取付軸 を具備したことを特徴とするフォトダイオードアレイの
    取付装置。
  2. 【請求項2】光学式のロータリーエンコーダのスリット
    を通過した光を検出するフォトダイオードアレイを固定
    部に位置決めして取付ける装置において、 円板形状になっていて、中心に取付穴が形成されるとと
    もに、ICプロセスでフォトダイオードアレイがこの取
    付穴に対して位置決めされて形成されている基板と、 この基板よりも丈夫な材料で構成されていて、中心に取
    付穴が形成されていて、この取付穴と前記基板の取付穴
    を合せた状態で基板と接着される構造材と、 ロータリーエンコーダの固定部に、ロータリーエンコー
    ダの中心軸と同心軸になるように位置決めされて立てら
    れていて、前記接着された基板と構造材の取付穴と嵌め
    合される取付軸、 を具備したことを特徴とするフォトダイオードアレイの
    取付装置。
JP62144784A 1987-06-10 1987-06-10 フォトダイオ−ドアレイの取付装置 Expired - Lifetime JPH0640014B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62144784A JPH0640014B2 (ja) 1987-06-10 1987-06-10 フォトダイオ−ドアレイの取付装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62144784A JPH0640014B2 (ja) 1987-06-10 1987-06-10 フォトダイオ−ドアレイの取付装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63308516A JPS63308516A (ja) 1988-12-15
JPH0640014B2 true JPH0640014B2 (ja) 1994-05-25

Family

ID=15370364

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62144784A Expired - Lifetime JPH0640014B2 (ja) 1987-06-10 1987-06-10 フォトダイオ−ドアレイの取付装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0640014B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS63308516A (ja) 1988-12-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0753893B1 (en) An image sensor assembly and packaging method
US4906920A (en) Self-leveling membrane probe
JPS5850024B2 (ja) 集積回路装置
US4959574A (en) Precision Gap Magnetic Encode Device
KR100551625B1 (ko) 접착기의 본딩헤드를 정렬하기 위한 방법 및 장치
JPS6134418A (ja) 光学変換器
JPH0640014B2 (ja) フォトダイオ−ドアレイの取付装置
JP2010105153A (ja) Mems装置およびマイクロエレクトロメカニカルシステム(mems)を組み立てる方法
US10539433B2 (en) Light detector employing trapezoidal chips and associated methods
US4625109A (en) Optical encoder apparatus and methods
US8669633B2 (en) Packaged device with an image sensor aligned to a faceplate using fiducial marks and connection bodies registered thereto
JPH0587176B2 (ja)
JP2780817B2 (ja) 精密ステージ装置
JPH06105790B2 (ja) 光検出装置
JPS6025530Y2 (ja) 光電式ロ−タリ−エンコ−ダ
KR100420434B1 (ko) 반도체패키지용 회로기판
JP3202039B2 (ja) X線露光用マスクおよびマスク保持装置
JP2531360B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP2003114138A (ja) エンコーダ
JPS61214528A (ja) 電子装置およびその製造装置
JPS6148781B2 (ja)
JPH0472169B2 (ja)
JP2006090975A (ja) 3軸加速度センサおよびその製造方法
JP2000241161A (ja) 測距装置
JPH10153615A (ja) 加速度センサ