JPH0635987B2 - 流速検出装置 - Google Patents
流速検出装置Info
- Publication number
- JPH0635987B2 JPH0635987B2 JP62102582A JP10258287A JPH0635987B2 JP H0635987 B2 JPH0635987 B2 JP H0635987B2 JP 62102582 A JP62102582 A JP 62102582A JP 10258287 A JP10258287 A JP 10258287A JP H0635987 B2 JPH0635987 B2 JP H0635987B2
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- JP
- Japan
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- temperature
- heating
- flow velocity
- transistor
- heating element
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は流速検出装置に関し、気体、液体等の流体の流
速を検出しようとするものである。
速を検出しようとするものである。
本発明は、測温素子及び加熱素子を有する流速検出装置
において、定温度差加熱制御回路を用いて加熱素子の温
度を制御することによつて、周囲温度及び又は流速が急
激に変化したとき、速やかに誤差のない流速検出をなし
得る。
において、定温度差加熱制御回路を用いて加熱素子の温
度を制御することによつて、周囲温度及び又は流速が急
激に変化したとき、速やかに誤差のない流速検出をなし
得る。
従来この種の流速検出装置、例えば風速計においては、
トランジスタ等でなる加熱素子を発熱させ、その熱の一
部を大気中に放出することにより、発熱量及び放出量が
平衡する温度に加熱素子の温度が安定することを利用し
て風速を検出する方法が用いられている（特公昭59-483
40号公報）。
トランジスタ等でなる加熱素子を発熱させ、その熱の一
部を大気中に放出することにより、発熱量及び放出量が
平衡する温度に加熱素子の温度が安定することを利用し
て風速を検出する方法が用いられている（特公昭59-483
40号公報）。
この風速計は、加熱素子から放出される熱エネルギー
が、いわゆるキングの実験式と呼ばれる関数で表される
関係にあることを利用して風速を検出し得るようになさ
れている。
が、いわゆるキングの実験式と呼ばれる関数で表される
関係にあることを利用して風速を検出し得るようになさ
れている。
すなわち第２図に示すように風速計１は、周囲の温度例
えば気温ｔＡを、測定するための測温トランジスタＱＴ
及び風速計測用の加熱トランジスタＱＨを含むプローブ
２及び検出回路部３を有する。
えば気温ｔＡを、測定するための測温トランジスタＱＴ
及び風速計測用の加熱トランジスタＱＨを含むプローブ
２及び検出回路部３を有する。
加熱トランジスタＱＨのコレクタには、検出回路部３の
電源＋Ｅに接続された第１の定電流源４より定電流ＩＨ
が供給され、かつエミツタは検出回路部３において接地
されている。加熱トランジスタＱＨのベースには、直流
定電圧Ｅ１を第１の抵抗Ｒ１を介して反転入力端に受
け、かつフイードバツク抵抗Ｒ２を有する演算増幅器６
の出力端に得られる電流ＩＢが与えられ、かくして加熱
トランジスタＱＨはベース電流ＩＢに応じた内部損失に
よつて熱を発生する。
電源＋Ｅに接続された第１の定電流源４より定電流ＩＨ
が供給され、かつエミツタは検出回路部３において接地
されている。加熱トランジスタＱＨのベースには、直流
定電圧Ｅ１を第１の抵抗Ｒ１を介して反転入力端に受
け、かつフイードバツク抵抗Ｒ２を有する演算増幅器６
の出力端に得られる電流ＩＢが与えられ、かくして加熱
トランジスタＱＨはベース電流ＩＢに応じた内部損失に
よつて熱を発生する。
この状態において、加熱トランジスタＱＨから放熱され
る熱量は風速に応じた値になることにより、コレクタ電
圧が風速に対応した値になり、これが風速信号ｅＶとし
て送出される。
る熱量は風速に応じた値になることにより、コレクタ電
圧が風速に対応した値になり、これが風速信号ｅＶとし
て送出される。
以上の構成に加えて、測温トランジスタＱＴはダイオー
ド接続されており、そのコレクタに検出回路部３の電源
＋Ｅに接続された第２の定電流源５より電流ＩＴが供給
され、かつエミツタは検出回路部３において接地されて
いる。さらに測温トランジスタＱＴはプローブ２内にお
いて加熱トランジスタＱＨの発熱の影響を受けない位置
に配設され、これにより気温ｔＡに応じた電圧ｅＴを分
圧抵抗Ｒ３、Ｒ４を介して温度検出信号として演算増幅
器６の非反転入力端に入力するようになされている。
ド接続されており、そのコレクタに検出回路部３の電源
＋Ｅに接続された第２の定電流源５より電流ＩＴが供給
され、かつエミツタは検出回路部３において接地されて
いる。さらに測温トランジスタＱＴはプローブ２内にお
いて加熱トランジスタＱＨの発熱の影響を受けない位置
に配設され、これにより気温ｔＡに応じた電圧ｅＴを分
圧抵抗Ｒ３、Ｒ４を介して温度検出信号として演算増幅
器６の非反転入力端に入力するようになされている。
かくして演算増幅器６は気温ｔＡの変化すなわち温度検
出信号ｅＴの変化に応じて加熱トランジスタＱＨのベー
ス電流ＩＢを制御することにより、気温ｔＡが変化した
ときその影響が風速信号ｅＶに生じないように補正す
る。
出信号ｅＴの変化に応じて加熱トランジスタＱＨのベー
ス電流ＩＢを制御することにより、気温ｔＡが変化した
ときその影響が風速信号ｅＶに生じないように補正す
る。
ところが従来の風速計は、いわゆるオープンループ制御
により、加熱トランジスタＱＨ及び測温トランジスタＱ
Ｔの温度差を補正するようになされているため、気温ｔ
Ａ及び又は風速ｖＡの変化に対して発熱量を高い精度で
しかも高速度で追従させ得ない問題がある。
により、加熱トランジスタＱＨ及び測温トランジスタＱ
Ｔの温度差を補正するようになされているため、気温ｔ
Ａ及び又は風速ｖＡの変化に対して発熱量を高い精度で
しかも高速度で追従させ得ない問題がある。
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、周囲温度
及び又は流速の急激な変化に確実に追従して温度補正動
作することにより正確な流速を簡易な構成によつて検出
し得るようにした流速検出装置を提案しようとするもの
である。
及び又は流速の急激な変化に確実に追従して温度補正動
作することにより正確な流速を簡易な構成によつて検出
し得るようにした流速検出装置を提案しようとするもの
である。
かかる問題点を解決するため本発明においては、通電内
部損失によつて発熱するように電流ＩＨが供給される加
熱素子ＱＨ及びその加熱素子ＱＨの発熱の影響を受けず
に周囲温度ｔＡを検出する測温素子ＱＴが配置された検
出部２を所定の流体中に晒して、その流体の流速ｖＡを
検出する流速検出装置１０において、加熱素子ＱＨより
得られる第１の温度信号ｅＢと、測温素子ＱＴより得ら
れる第２の温度信号ｅＴとを比較して、第１の温度信号
ｅＢ及び第２の温度信号ｅＴが所定の温度差ΔＴを有す
るように加熱素子ＱＨを制御する定温度差加熱制御回路
１３、１４を設けるようにする。
部損失によつて発熱するように電流ＩＨが供給される加
熱素子ＱＨ及びその加熱素子ＱＨの発熱の影響を受けず
に周囲温度ｔＡを検出する測温素子ＱＴが配置された検
出部２を所定の流体中に晒して、その流体の流速ｖＡを
検出する流速検出装置１０において、加熱素子ＱＨより
得られる第１の温度信号ｅＢと、測温素子ＱＴより得ら
れる第２の温度信号ｅＴとを比較して、第１の温度信号
ｅＢ及び第２の温度信号ｅＴが所定の温度差ΔＴを有す
るように加熱素子ＱＨを制御する定温度差加熱制御回路
１３、１４を設けるようにする。
定温度差加熱制御回路１３、１４を用いて、加熱素子Ｑ
Ｈより得られる第１の温度信号ｅＢと、測温素子ＱＴよ
り得られる第２の温度信号ｅＴを比較し、当該比較結果
に基づいて第１の温度信号ｅＢ及び第２の温度信号ｅＴ
が所定の温度差ΔＴを有するように加熱素子ＱＨを制御
することによつて加熱素子ＱＨを測温素子ＱＴに対して
常に一定の温度差となし得る。
Ｈより得られる第１の温度信号ｅＢと、測温素子ＱＴよ
り得られる第２の温度信号ｅＴを比較し、当該比較結果
に基づいて第１の温度信号ｅＢ及び第２の温度信号ｅＴ
が所定の温度差ΔＴを有するように加熱素子ＱＨを制御
することによつて加熱素子ＱＨを測温素子ＱＴに対して
常に一定の温度差となし得る。
以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。
第２図との対応部分に同一符号を付して示す第１図にお
いて、風速計１０のプローブ２内の測温トランジスタＱ
Ｔより得られる測温信号ｅｔは、検出回路部１１に供給
され、電圧フオロワ接続されてバツフアを構成する第１
の演算増幅器１２の非反転入力端に入力され、その出力
電圧ｅＴは、入力抵抗Ｒ１０を介して、フイードバツク
抵抗Ｒ１１を有する第２の演算増幅器１３の反転入力端
に入力される。
いて、風速計１０のプローブ２内の測温トランジスタＱ
Ｔより得られる測温信号ｅｔは、検出回路部１１に供給
され、電圧フオロワ接続されてバツフアを構成する第１
の演算増幅器１２の非反転入力端に入力され、その出力
電圧ｅＴは、入力抵抗Ｒ１０を介して、フイードバツク
抵抗Ｒ１１を有する第２の演算増幅器１３の反転入力端
に入力される。
第２の演算増幅器１３の非反転入力端には、プローブ２
内の加熱トランジスタＱＨに供給されるベース電圧ｅＢ
が与えられており、その出力電圧ｅＣは第１の入力抵抗
Ｒ１２を介して、第２の入力抵抗Ｒ１４を介して入力さ
れる直流定電圧Ｅ１と共に、フイードバツク抵抗Ｒ１３
を有する第３の演算増幅器１４の反転入力端に加算入力
として与えられる。
内の加熱トランジスタＱＨに供給されるベース電圧ｅＢ
が与えられており、その出力電圧ｅＣは第１の入力抵抗
Ｒ１２を介して、第２の入力抵抗Ｒ１４を介して入力さ
れる直流定電圧Ｅ１と共に、フイードバツク抵抗Ｒ１３
を有する第３の演算増幅器１４の反転入力端に加算入力
として与えられる。
かくして演算増幅器１４の出力端には、入力された信号
ｅＣ及び直流定電圧Ｅ１の和に対応して加熱トランジス
タＱＨのベースに供給すべきベース電流ＩＢが送出され
る。
ｅＣ及び直流定電圧Ｅ１の和に対応して加熱トランジス
タＱＨのベースに供給すべきベース電流ＩＢが送出され
る。
以上の構成において、測温トランジスタＱＴのベース電
圧、すなわち測温信号ｅｔ及び気温ｔＡの間には、第２
の電流源５より定電流ＩＴが流れている状態で次式、 ｅｔ＝ＡＴ−ＢＴ・ｔＡ……（１） で表される関係がある。ここでＡＴ、ＢＴは、測温トラ
ンジスタＱＴの温度及び電圧に関する特性定数で、電流
ＩＴが一定値なのでＡＴ、ＢＴ共に一定値を有する。
圧、すなわち測温信号ｅｔ及び気温ｔＡの間には、第２
の電流源５より定電流ＩＴが流れている状態で次式、 ｅｔ＝ＡＴ−ＢＴ・ｔＡ……（１） で表される関係がある。ここでＡＴ、ＢＴは、測温トラ
ンジスタＱＴの温度及び電圧に関する特性定数で、電流
ＩＴが一定値なのでＡＴ、ＢＴ共に一定値を有する。
また、第１の演算増幅器１２の入力インピーダンスは十
分大きな値に選定されているので、第２の電流源５で発
生した電流ＩＴは全て測温トランジスタＱＴに引き込ま
れる。従つて温度検出信号ｅＴは、（１）式より、 ｅＴ＝ｅｔ＝ＡＴ−ＢＴ・ｔＡ……（２） になる。
分大きな値に選定されているので、第２の電流源５で発
生した電流ＩＴは全て測温トランジスタＱＴに引き込ま
れる。従つて温度検出信号ｅＴは、（１）式より、 ｅＴ＝ｅｔ＝ＡＴ−ＢＴ・ｔＡ……（２） になる。
また、第２の演算増幅器１３の反転入力端に温度検出信
号ｅＴが入力されると共に、非反転入力端に第３の演算
増幅器１４の出力電圧、すなわち加熱トランジスタＱＨ
のベース電圧ｅＢが入力されていることにより、出力端
に得られる出力電圧ｅＣは次式、 ｅＣ＝−Ｘ・ｅＴ＋（１＋Ｘ）ｅＢ……（３） で表される。ここで、Ｘは第１及び第２の抵抗Ｒ１０及
びＲ１１で設定された第２の演算増幅器１３の増幅率
で、 である。
号ｅＴが入力されると共に、非反転入力端に第３の演算
増幅器１４の出力電圧、すなわち加熱トランジスタＱＨ
のベース電圧ｅＢが入力されていることにより、出力端
に得られる出力電圧ｅＣは次式、 ｅＣ＝−Ｘ・ｅＴ＋（１＋Ｘ）ｅＢ……（３） で表される。ここで、Ｘは第１及び第２の抵抗Ｒ１０及
びＲ１１で設定された第２の演算増幅器１３の増幅率
で、 である。
さらに第３の演算増幅器１４の出力端に得られる出力電
圧、すなわち加熱トランジスタＱＨのベース電圧ｅＢは
次式、 ｅＢ＝−Ｙ・ｅＣ−Ｚ・Ｅ１……（５） で表される。ここで、Ｙ、Ｚはそれぞれ第３及び第４の
抵抗Ｒ１２及Ｒ１３、第５及び第４の抵抗Ｒ１４及びＲ
１３で設定される第３の演算増幅器１４の増幅率で、 である。そこで（３）式を（５）式に代入して加熱トラ
ンジスタＱＨのベース電圧ｅＢを求めると、 になる。
圧、すなわち加熱トランジスタＱＨのベース電圧ｅＢは
次式、 ｅＢ＝−Ｙ・ｅＣ−Ｚ・Ｅ１……（５） で表される。ここで、Ｙ、Ｚはそれぞれ第３及び第４の
抵抗Ｒ１２及Ｒ１３、第５及び第４の抵抗Ｒ１４及びＲ
１３で設定される第３の演算増幅器１４の増幅率で、 である。そこで（３）式を（５）式に代入して加熱トラ
ンジスタＱＨのベース電圧ｅＢを求めると、 になる。
この（８）式に（２）式で表される第１の演算増幅器１
２の出力電圧ｅＴを代入すると、次式、 で表されるように、加熱トランジスタＱＨのベース電圧
ｅＢが気温ｔＡに比例することが分かる。
２の出力電圧ｅＴを代入すると、次式、 で表されるように、加熱トランジスタＱＨのベース電圧
ｅＢが気温ｔＡに比例することが分かる。
加熱トランジスタＱＨの温度をｔＨとし、温度ｔＨの気
温ｔＡからの温度上昇分をΔＴとすると温度ｔＨは次
式、 ｔＨ＝ｔＡ＋ΔＴ……（10） によつて表すことができると共に、加熱トランジスタＱ
Ｈのコレクタに第１の定電流源４から、一定電流ＩＨが
流れていることから、加熱トランジスタＱＨのベース電
圧ｅＢは次式、 ｅＢ＝ＡＨ−ＢＨ・ｔＨ……（11） で表される。ここで、ＡＨ、ＢＨは加熱トランジスタＱ
Ｈの温度及び電圧に関する特性定数で、電流ＩＨが一定
値なのでＡＨ、ＢＨ共に一定値を有する。
温ｔＡからの温度上昇分をΔＴとすると温度ｔＨは次
式、 ｔＨ＝ｔＡ＋ΔＴ……（10） によつて表すことができると共に、加熱トランジスタＱ
Ｈのコレクタに第１の定電流源４から、一定電流ＩＨが
流れていることから、加熱トランジスタＱＨのベース電
圧ｅＢは次式、 ｅＢ＝ＡＨ−ＢＨ・ｔＨ……（11） で表される。ここで、ＡＨ、ＢＨは加熱トランジスタＱ
Ｈの温度及び電圧に関する特性定数で、電流ＩＨが一定
値なのでＡＨ、ＢＨ共に一定値を有する。
そこで、（11）式を（10）式に代入すると加熱トランジ
スタＱＨのベース電圧ｅＢは、 ｅＢ＝−ＢＨ・ｔＡ＋（ＡＨ−ＢＨ・ΔＴ）……（12）
になる。
スタＱＨのベース電圧ｅＢは、 ｅＢ＝−ＢＨ・ｔＡ＋（ＡＨ−ＢＨ・ΔＴ）……（12）
になる。
なお（９）式及び（12）式は、同じ接続点の電圧を表し
ているから、 の関係が成り立つ。従つて（13）式の両辺の定数が互い
に等しいという条件から で表される関係を満足すれば、（９）式及び（12）式の
電圧ｅＢが気温ｔＡに無関係に成り立つことが分かる。
ているから、 の関係が成り立つ。従つて（13）式の両辺の定数が互い
に等しいという条件から で表される関係を満足すれば、（９）式及び（12）式の
電圧ｅＢが気温ｔＡに無関係に成り立つことが分かる。
この状態において、風速信号ｅＶは加熱トランジスタＱ
Ｈのコレクタ電圧であり、（14）式を満足することは、
加熱トランジスタＱＨのベース電圧ｅＢが有する温度特
性、すなわち（12）式における気温ｔＡの項を第３の演
算増幅器１４の出力電圧によつて相殺するようになさ
れ、この結果加熱トランジスタＱＨのコレクタ電圧すな
わち風速信号ｅＶも気温ｔＡの影響を受けないように制
御されている。かくして風速信号ｅＶが気温ｔＡの影響
を受けずに風速ｖＡのみを検出し得ることにより、風速
の温度補償をし得る。
Ｈのコレクタ電圧であり、（14）式を満足することは、
加熱トランジスタＱＨのベース電圧ｅＢが有する温度特
性、すなわち（12）式における気温ｔＡの項を第３の演
算増幅器１４の出力電圧によつて相殺するようになさ
れ、この結果加熱トランジスタＱＨのコレクタ電圧すな
わち風速信号ｅＶも気温ｔＡの影響を受けないように制
御されている。かくして風速信号ｅＶが気温ｔＡの影響
を受けずに風速ｖＡのみを検出し得ることにより、風速
の温度補償をし得る。
また加熱トランジスタＱＨの気温ｔＡからの温度上昇分
ΔＴは、（15）式を変形することにより、 で表される。
ΔＴは、（15）式を変形することにより、 で表される。
（16）式から明らかなように、その右辺を構成する各項
は、それぞれ定数の組み合わせでなり、この結果加熱ト
ランジスタＱＨの気温ｔＡからの温度上昇分ΔＴは一定
値となる。
は、それぞれ定数の組み合わせでなり、この結果加熱ト
ランジスタＱＨの気温ｔＡからの温度上昇分ΔＴは一定
値となる。
かくして、加熱トランジスタＱＨの気温ｔＡからの温度
上昇分ΔＴを一定にし得ることにより、定温度差加熱制
御を実現し得る。
上昇分ΔＴを一定にし得ることにより、定温度差加熱制
御を実現し得る。
以上の構成によれば、風速計１０の定温度差加熱制御回
路を構成する第２の演算増幅器１３において、温度検出
信号ｅＴ及び加熱トランジスタＱＨの温度信号ｅＢを比
較し、その比較結果によつて第３の演算増幅器１４を介
して加熱トランジスタＱＨの温度が温度検出信号ｅＴに
対して常に所定の温度差ΔＴを有するように加熱トラン
ジスタＱＨの発熱量を制御するようにしたことにより、
加熱トランジスタＱＨの温度を速やかに設定温度に制御
することができ、かくして周囲の気温ｔＡ及び又は風速
ｖＡが急激に変化したときに、追従性良く風速検出をな
し得る簡易な構成の風速計１０を実現できる。
路を構成する第２の演算増幅器１３において、温度検出
信号ｅＴ及び加熱トランジスタＱＨの温度信号ｅＢを比
較し、その比較結果によつて第３の演算増幅器１４を介
して加熱トランジスタＱＨの温度が温度検出信号ｅＴに
対して常に所定の温度差ΔＴを有するように加熱トラン
ジスタＱＨの発熱量を制御するようにしたことにより、
加熱トランジスタＱＨの温度を速やかに設定温度に制御
することができ、かくして周囲の気温ｔＡ及び又は風速
ｖＡが急激に変化したときに、追従性良く風速検出をな
し得る簡易な構成の風速計１０を実現できる。
なお上述の実施例においては、本発明を空気の動き、す
なわち風速を検出する風速計に適用した一実施例を示し
たが、本発明はこれに限らず、例えば他の気体、又は水
等の液体の流速を検出する流速検出装置に広く適用し得
る。
なわち風速を検出する風速計に適用した一実施例を示し
たが、本発明はこれに限らず、例えば他の気体、又は水
等の液体の流速を検出する流速検出装置に広く適用し得
る。
上述のように本発明によれば、測温素子及び加熱素子を
有する流速検出装置において、定温度差加熱制御回路を
用いて、加熱素子より得られる第１の温度信号及び測温
素子より得られる第２の温度信号が所定の温度差を有す
るように加熱素子を制御することができ、かくして加熱
素子をクローズループ制御し得ることにより周囲温度及
び又は流速が急激に変化したときに、速やかに誤差のな
い流速検出をなし得る流速検出装置を簡易な構成で実現
できる。
有する流速検出装置において、定温度差加熱制御回路を
用いて、加熱素子より得られる第１の温度信号及び測温
素子より得られる第２の温度信号が所定の温度差を有す
るように加熱素子を制御することができ、かくして加熱
素子をクローズループ制御し得ることにより周囲温度及
び又は流速が急激に変化したときに、速やかに誤差のな
い流速検出をなし得る流速検出装置を簡易な構成で実現
できる。
第１図は本発明による流速検出装置の一実施例を示す接
続図、第２図は従来の流速検出装置を示す接続図であ
る。 １、１０……流速検出装置、２……プローブ、３、１１
……検出回路部、４、５……定電流源、６、１２、１
３、１４……演算増幅器、ＱＨ……加熱素子、ＱＴ……
測温素子。
続図、第２図は従来の流速検出装置を示す接続図であ
る。 １、１０……流速検出装置、２……プローブ、３、１１
……検出回路部、４、５……定電流源、６、１２、１
３、１４……演算増幅器、ＱＨ……加熱素子、ＱＴ……
測温素子。
Claims (1)
- 【請求項１】通電内部損失によつて発熱するように電流
が供給される加熱素子及び当該加熱素子の発熱の影響を
受けずに周囲温度を検出する測温素子が配置された検出
部を所定の流体中に晒して、当該流体の流速を検出する
流速検出装置において、 上記加熱素子より得られる第１の温度信号と、上記測温
素子より得られる第２の温度信号とを比較して、上記第
１の温度信号及び上記第２の温度信号が所定の温度差を
有するように上記加熱素子を制御する定温度差加熱制御
回路 を具えることを特徴とする流速検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62102582A JPH0635987B2 (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | 流速検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62102582A JPH0635987B2 (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | 流速検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63266360A JPS63266360A (ja) | 1988-11-02 |
| JPH0635987B2 true JPH0635987B2 (ja) | 1994-05-11 |
Family
ID=14331222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62102582A Expired - Fee Related JPH0635987B2 (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | 流速検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0635987B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03176668A (ja) * | 1989-12-05 | 1991-07-31 | Murata Mfg Co Ltd | 風速センサ |
| DE102021211022A1 (de) * | 2021-09-30 | 2023-03-30 | Skf Lubrication Systems Germany Gmbh | Fluidgeschwindigkeitssensoreinheit und/oder Fluidvolumenstromsensoreinheit und Bestimmungsverfahren |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61189416A (ja) * | 1985-02-19 | 1986-08-23 | Nippon Soken Inc | 直熱式流量センサ |
| JPS61223565A (ja) * | 1985-03-28 | 1986-10-04 | Toshiba Corp | 半導体流速検出器 |
-
1987
- 1987-04-24 JP JP62102582A patent/JPH0635987B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63266360A (ja) | 1988-11-02 |
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