JPH06337083A - チューブ束 - Google Patents
チューブ束Info
- Publication number
- JPH06337083A JPH06337083A JP12589193A JP12589193A JPH06337083A JP H06337083 A JPH06337083 A JP H06337083A JP 12589193 A JP12589193 A JP 12589193A JP 12589193 A JP12589193 A JP 12589193A JP H06337083 A JPH06337083 A JP H06337083A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- fluororesin
- tubes
- holes
- compact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Rigid Pipes And Flexible Pipes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 腐食性液体や半導体製造工程に用いる超純水
の送液等に使用するチューブに関する。 【構成】 フッ素樹脂から成る複数本のチューブであ
り、各チューブをその一端側においてフッ素樹脂により
束ね、他端側は自由端とする。
の送液等に使用するチューブに関する。 【構成】 フッ素樹脂から成る複数本のチューブであ
り、各チューブをその一端側においてフッ素樹脂により
束ね、他端側は自由端とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は腐食性液体や半導体製造
工程に用いる超純水の送液等に使用するチューブに関す
る。
工程に用いる超純水の送液等に使用するチューブに関す
る。
【0002】
【従来の技術】腐食性液体や半導体製造工程に用いる超
純水の送液に際し、これらの液を分岐あるいは集結させ
る場合は、接液面を全てフッ素樹脂製にしなければなら
ず、このためフッ素樹脂製T型継手を用いている。
純水の送液に際し、これらの液を分岐あるいは集結させ
る場合は、接液面を全てフッ素樹脂製にしなければなら
ず、このためフッ素樹脂製T型継手を用いている。
【0003】しかし、T型継手を用いる方法では配管が
多岐にわたる場合には多数の継手を要し、配管システム
が複雑化、大型化し、そのため高価なものとなるといっ
た問題があった。
多岐にわたる場合には多数の継手を要し、配管システム
が複雑化、大型化し、そのため高価なものとなるといっ
た問題があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は構造が簡単で
且つ安価なチューブ束を提供するものである。
且つ安価なチューブ束を提供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明に係るチューブ束
は複数本のフッ素樹脂製チューブから成り、各チューブ
がその一端側において束ねられていることを特徴とする
ものである。
は複数本のフッ素樹脂製チューブから成り、各チューブ
がその一端側において束ねられていることを特徴とする
ものである。
【0006】本発明においてはポリテトラフルオロエチ
レン(PTFE)、テトラフルオロエチレン−ヘキサフ
ルオロプロピレン共重合体(FEP)、テトラフルオロ
エチレン−パーフロオロアルキルビニルエーテル共重合
体(PFA)、エチレン−テトラフルオロエチレン共重
合体(ETFE)、ポリクロロトリフルオロエチレン
(PCTFE)、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)等
のフッ素樹脂から成るチューブを用いる。そして、この
チューブとして肉厚(この値を「A」とする)を内径
(この値を「B」とする)で除した値、即ち、A/Bが
0.05以上であるものを使用した場合、該チューブの
曲げ半径(R)を150mm程度としても折れが発生し
難く、コンパクトな配管、設計自由度の高い配管にでき
るという利点が得られ、特に好ましいことが判明してい
る。
レン(PTFE)、テトラフルオロエチレン−ヘキサフ
ルオロプロピレン共重合体(FEP)、テトラフルオロ
エチレン−パーフロオロアルキルビニルエーテル共重合
体(PFA)、エチレン−テトラフルオロエチレン共重
合体(ETFE)、ポリクロロトリフルオロエチレン
(PCTFE)、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)等
のフッ素樹脂から成るチューブを用いる。そして、この
チューブとして肉厚(この値を「A」とする)を内径
(この値を「B」とする)で除した値、即ち、A/Bが
0.05以上であるものを使用した場合、該チューブの
曲げ半径(R)を150mm程度としても折れが発生し
難く、コンパクトな配管、設計自由度の高い配管にでき
るという利点が得られ、特に好ましいことが判明してい
る。
【0007】本発明においては複数本のフッ素樹脂製チ
ューブがその一端側において束ねられる。図1は複数本
のフッ素樹脂製チューブを引き揃え、その一端側を束ね
た実例を示している。図1において、1はフッ素樹脂か
ら成るチューブであり、各チューブはその一端側で束ね
られており、他端側は自由端とされている。チューブの
束ねはチューブ1の一端側をフッ素樹脂製の成形体2の
孔に各々挿入し、その後該成形体の融点以上の温度に加
熱すると共に加圧することにより、各チューブの一端側
を成形体と接合する方法により行うことができる。な
お、この加熱加圧作業に際しては、チューブの変形を防
止するために各チューブ内にその内径とほぼ同径の外径
を有する耐熱性芯体(例えば、金属棒)を挿入しておく
のが好ましい。
ューブがその一端側において束ねられる。図1は複数本
のフッ素樹脂製チューブを引き揃え、その一端側を束ね
た実例を示している。図1において、1はフッ素樹脂か
ら成るチューブであり、各チューブはその一端側で束ね
られており、他端側は自由端とされている。チューブの
束ねはチューブ1の一端側をフッ素樹脂製の成形体2の
孔に各々挿入し、その後該成形体の融点以上の温度に加
熱すると共に加圧することにより、各チューブの一端側
を成形体と接合する方法により行うことができる。な
お、この加熱加圧作業に際しては、チューブの変形を防
止するために各チューブ内にその内径とほぼ同径の外径
を有する耐熱性芯体(例えば、金属棒)を挿入しておく
のが好ましい。
【0008】各チューブをその一端側で束ねるには上記
の方法以外に、各チューブの一端側を成形体の孔に挿入
した後、該孔に溶融したフッ素樹脂を注入して、この溶
融フッ素樹脂により成形体とチューブとを接合する方法
や、各チューブの一端側および/または成形体の貫通孔
に接着剤を塗布し、該接着剤によりチューブと成形体を
接合する方法等を採用できる。
の方法以外に、各チューブの一端側を成形体の孔に挿入
した後、該孔に溶融したフッ素樹脂を注入して、この溶
融フッ素樹脂により成形体とチューブとを接合する方法
や、各チューブの一端側および/または成形体の貫通孔
に接着剤を塗布し、該接着剤によりチューブと成形体を
接合する方法等を採用できる。
【0009】なお、成形体とチューブとの接合強度を向
上させるため、成形体の貫通孔および/またはチューブ
一端側の外周面にコロナ放電処理、スパッタエッチング
処理、金属ナトリウム処理等の公知の接着処理を施して
おくことができる。また、各チューブの他端側にフレア
ー加工等を施したり、このフレアー加工部に袋ナットを
取付けたりすることができる。
上させるため、成形体の貫通孔および/またはチューブ
一端側の外周面にコロナ放電処理、スパッタエッチング
処理、金属ナトリウム処理等の公知の接着処理を施して
おくことができる。また、各チューブの他端側にフレア
ー加工等を施したり、このフレアー加工部に袋ナットを
取付けたりすることができる。
【0010】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳細に説明
する。
する。
【0011】実施例 直径60mm、高さ30mmのPTFE製の円柱状成形
体に高さ方向に沿って5つの貫通孔(直径6mm)を設
ける。一方、これとは別に外径6mm、肉厚0.5mm
のPTFE製チューブを5本用意する。そして、成形体
の貫通孔および各チューブの一端側外周面をアルカリ金
属処理液(株式会社 潤工社製、商品名テトラエッチ)
により接着処理する。
体に高さ方向に沿って5つの貫通孔(直径6mm)を設
ける。一方、これとは別に外径6mm、肉厚0.5mm
のPTFE製チューブを5本用意する。そして、成形体
の貫通孔および各チューブの一端側外周面をアルカリ金
属処理液(株式会社 潤工社製、商品名テトラエッチ)
により接着処理する。
【0012】次に、各チューブの接着処理面にエポキシ
系接着剤(コニシ株式会社製、商品名Eセットクリア
ー)を塗布し、成形体の貫通孔に挿入してチューブと成
形体を接合させて図1に示すのと同構造のチューブ束を
得た。
系接着剤(コニシ株式会社製、商品名Eセットクリア
ー)を塗布し、成形体の貫通孔に挿入してチューブと成
形体を接合させて図1に示すのと同構造のチューブ束を
得た。
【0013】
【発明の効果】本発明に係るチューブ束は上記のように
フッ素樹脂製チューブの一端側を束ねた構成としたの
で、構造が簡単で安価である。
フッ素樹脂製チューブの一端側を束ねた構成としたの
で、構造が簡単で安価である。
【図1】本発明に係るチューブ束の実例を示す正面図で
ある。
ある。
1 チューブ 2 成形体
Claims (2)
- 【請求項1】 複数本のフッ素樹脂製チューブから成
り、各チューブがその一端側において束ねられているこ
とを特徴とするチューブ束。 - 【請求項2】 肉厚を内径で除した値が0.05以上で
あるフッ素樹脂製チューブを用いた請求項1記載のチュ
ーブ束。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12589193A JPH06337083A (ja) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | チューブ束 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12589193A JPH06337083A (ja) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | チューブ束 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06337083A true JPH06337083A (ja) | 1994-12-06 |
Family
ID=14921481
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12589193A Pending JPH06337083A (ja) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | チューブ束 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06337083A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005047747A1 (ja) * | 2003-11-14 | 2005-05-26 | Daikin Industries, Ltd. | 流動体輸送管、半導体製造ラインシステム及び液晶パネル製造ラインシステム |
JP2005315362A (ja) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Nitta Moore Co | 流体配管用チューブ |
-
1993
- 1993-05-27 JP JP12589193A patent/JPH06337083A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005047747A1 (ja) * | 2003-11-14 | 2005-05-26 | Daikin Industries, Ltd. | 流動体輸送管、半導体製造ラインシステム及び液晶パネル製造ラインシステム |
JP2005315362A (ja) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Nitta Moore Co | 流体配管用チューブ |
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