WO2005047747A1 - 流動体輸送管、半導体製造ラインシステム及び液晶パネル製造ラインシステム - Google Patents

流動体輸送管、半導体製造ラインシステム及び液晶パネル製造ラインシステム Download PDF

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WO2005047747A1
WO2005047747A1 PCT/JP2004/016959 JP2004016959W WO2005047747A1 WO 2005047747 A1 WO2005047747 A1 WO 2005047747A1 JP 2004016959 W JP2004016959 W JP 2004016959W WO 2005047747 A1 WO2005047747 A1 WO 2005047747A1
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WO
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fluid transport
transport pipe
layer
manufacturing
fluid
Prior art date
Application number
PCT/JP2004/016959
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English (en)
French (fr)
Inventor
Norihiko Miki
Hitoshi Imamura
Yasuyuki Yamaguchi
Tatsuya Higuchi
Original Assignee
Daikin Industries, Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daikin Industries, Ltd. filed Critical Daikin Industries, Ltd.
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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B1/00—Layered products having a non-planar shape
    • B32B1/08—Tubular products

Definitions

  • Fluid transport pipe, semiconductor production line system and liquid crystal panel production line system are Fluid transport pipe, semiconductor production line system and liquid crystal panel production line system
  • the present invention relates to a fluid transport pipe, a fluid transport pipe for identification, a semiconductor manufacturing and processing apparatus, a semiconductor manufacturing line system, a liquid crystal panel manufacturing and processing apparatus, and a liquid crystal panel manufacturing line system.
  • a conductive portion made of a conductive substance such as carbon or iron powder and the PFA is exposed and embedded in the outer peripheral surface in a stripe shape along the longitudinal direction.
  • the number of tubes used for PFA is the number of tubes used in the production line.
  • the amount of fluid flowing through each tube is determined by the description on the tag attached to the tube. It was common to confirm this. It is difficult to easily read the tag description from a distance such as a monitoring monitor, so there was a major problem in terms of maintainability in the event of a problem in liquid transfer.
  • a tube for chemical liquid piping has been proposed in which a polytetrafluoroethylene [PTFE] inner tube having a strong force is impregnated with a PTFE dispersion to form an outer layer and a color mark is discontinuously applied (for example, while Patent Document 4 reference.)
  • PTFE polytetrafluoroethylene
  • Patent Document 1 JP-A-9-137900
  • Patent Document 2 JP-A-2003-4176
  • Patent Document 3 JP 2000-26688 A
  • Patent Document 4 Japanese Patent Publication No. 3-8861
  • An object of the present invention is to make it possible to easily identify a specific fluid transport pipe by visual inspection of another pipe force, to visually recognize the flow state of the internal fluid even with a distance force, and to contaminate the internal fluid.
  • the purpose is to provide a fluid transport pipe that does not.
  • the present invention is a fluid transport tube comprising a melt-processable fluoropolymer layer (A) and a colored melt-processable polymer layer (B) in a laminated state.
  • the fluoropolymer layer (A) is the innermost layer.
  • the present invention relates to a fluid transport tube comprising a melt-processable fluoropolymer layer (A) and a colored melt-processable polymer layer (B) in a laminated state, wherein the melt-processable fluoropolymer layer is (A) is the innermost layer, wherein the fluid transport pipe is characterized in that the area of the outer surface where the visible light transmittance is 25% or more is 90% or more of the entire outer surface area. It is a fluid transport pipe.
  • the present invention relates to the identification fluid transport pipe used when visually distinguishing the identification fluid transport pipe from other fluid transport pipes other than the identification fluid transport pipe, wherein the identification fluid is provided.
  • the transport pipe is the above-described fluid transport pipe
  • the other fluid transport pipe is the above-mentioned fluid transport pipe or another pipe for transporting the fluid
  • the color, Z, or pattern of the body transport tube is different from the color, Z, or pattern of the other fluid transport tube described above.
  • the present invention comprises a manufacturing / processing apparatus for manufacturing a semiconductor or a semiconductor peripheral member, and a fluid transport pipe for transporting a chemical solution used in the manufacturing-processing apparatus.
  • An apparatus for manufacturing and processing semiconductors which is the fluid transport pipe of the present invention.
  • the present invention comprises a manufacturing / processing apparatus for manufacturing a semiconductor or a semiconductor peripheral member, and a fluid transport pipe for transporting a chemical solution used in the manufacturing-processing apparatus. It is a semiconductor production line system characterized by the fluid transport pipe of the present invention.
  • the present invention comprises a production process apparatus for producing a liquid crystal panel, and a fluid transport pipe for transporting a chemical solution used in the production process apparatus.
  • the present invention relates to a manufacturing and processing apparatus for manufacturing a liquid crystal panel, and to transport a chemical solution used in the manufacturing and processing apparatus.
  • the fluid transport tube is the fluid transport tube of the present invention. is there.
  • the fluid transport pipe of the present invention has a visible light transmittance of 25% or more with respect to visible light from all circumferential directions. If the visible light transmittance is less than 25%, it is easy to visually check the flow of the fluid inside the transport pipe from the outside, and the flow of the fluid transport pipe must be checked at a very short distance. Or the fact that it cannot be checked from the outside, it may be inferior in maintainability.
  • the flow rate is preferably 50% or more, more preferably 70% or more. % Is particularly preferable.
  • the "entire outer peripheral direction” is an arbitrary normal direction on the outer periphery of a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the fluid transport pipe.
  • the “visible light transmittance” is the ratio of the transmitted light intensity of the fluid transport tube to the blank intensity measured without placing any sample.
  • the above “visible light transmittance with respect to visible light from all circumferential directions” is expressed by the ratio of the transmitted light intensity.
  • the above-mentioned “transmitted light intensity of the fluid transport tube” refers to the thickness of the fluid transport tube when the fluid transport tube is allowed to stand still on a hot plate at a temperature equal to or higher than its relaxation point.
  • a spacer having a thickness corresponding to twice the thickness was arranged on both sides of the fluid transport pipe, and a flat plate was statically formed on the fluid transport pipe by placing a flat plate on the fluid transport pipe.
  • the sample is cooled as it is (in this specification, the fluid transport tube having the flat portion and cooled is sometimes referred to as a "sample for measuring transmitted light intensity"), and the obtained sample for measuring transmitted light intensity is directly read.
  • a haze meter manufactured by Toyo Seiki Seisaku-sho, Ltd.
  • ASTM D 1003 As the flat plate, a plate having a mass that does not destroy the fluid transport tube when placed on the fluid transport tube by the above method is used.
  • the above haze meter may be replaced with an apparatus having a measurement principle based on JIS K 6714 or PIO IS K 6717.
  • Another fluid transport tube of the present invention is one in which the area of the outer surface having a visible light transmittance of 25% or more is 90% or more of the entire outer surface area. If the area of visible light transmittance of 25% or more of the entire outer surface area of the fluid transport pipe is 90% or more, The portion of the entire outer surface area occupied by the remaining area of less than 10% preferably has a visible light transmittance of 25% or more, but may have a visible light transmittance of 25% or less.
  • the part having a visible light transmittance of 25% or more may be alternately present with the part having a visible light transmittance of 25% or more, or the part having a visible light transmittance of less than 25% may not be divided into two or more.
  • the portion where the visible light transmittance is 25% or more may be located on the viewer side of the fluid transport tube. If the area of the portion where the visible light transmittance is 25% or more of the entire outer surface area of the fluid transport pipe is less than 90%, the flow state from the outside may be difficult to understand.
  • the requirement that the area of the portion having a visible light transmittance of 25% or more of the entire outer surface area of the fluid transport tube is 90% or more is a condition that a 25 cm 2 fluid
  • the evaluation can be confirmed by dividing the evaluation of the transport tube sample into 100 parts for each 5 mm square section, and 90 or more of them show visible light transmittance of 25% or more.
  • Another fluid transport tube of the present invention is characterized in that it has a melt-processable fluoropolymer layer (A) and a colored melt-processable polymer layer (B) in a layered manner. This is common to the fluid transport tube of the present invention in which the visible light transmittance described above is 25% or more with respect to visible light from the entire outer peripheral direction.
  • fluid transport tube of the present invention having a visible light transmittance of 25% or more with respect to the visible light of the total outer circumferential force, and the other fluid flow tube of the present invention described above.
  • the body transport pipe is generically referred to as “fluid transport pipe of the present invention”.
  • the fluid transport tube of the present invention comprises a laminate of a melt-processable fluoropolymer layer (A) and a colored melt-processable polymer layer (B) (hereinafter, referred to as a "colored layer (B)").
  • a colored layer (B) a melt-processable fluoropolymer layer
  • the melt-processable fluoropolymer layer (a) are those wherein the innermost layer (hereinafter, referred to as "innermost layer (a)".) fluid of 0 the present invention Since the transport pipe has the laminated structure, it can be easily distinguished from other pipes, the flow state of the internal fluid can be visually recognized, and the internal fluid is not contaminated. Is played.
  • the fluid may be either a gas or a liquid.
  • the liquid may be a volatile liquid! / And may be a fluid containing solid fine particles such as an abrasive. ,.
  • the fluid is not particularly limited, and examples thereof include foods and drinks such as milk, gas, and drug solutions. I can get lost.
  • the gas is not particularly limited, and includes, for example, ozone, hydrogen, oxygen, low molecular weight fluorocarbon, and the like. These exemplified gases may be gases used in the semiconductor manufacturing field.
  • the chemical is not particularly limited and includes, for example, organic acids such as acetic acid, formic acid, cresol, and phenol; inorganic acids such as hydrofluoric acid, sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid, and hydrochloric acid; and peroxides such as aqueous hydrogen peroxide; A mixed solution of the above inorganic acids such as phosphoric acid peroxide, sulfuric acid peroxide and the like and hydrogen peroxide solution; an alkaline solution such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, and ammonia water; alcohols such as methanol and ethanol; Amines such as ethylenediamine, diethylenetriamine and ethanolamine; amides such as dimethylacetamide; esters such as ethyl acetate and butyl acetate; hydrocarbon solvents such as xylene; chlorine solvents such as trichloroethylene; Ketones; ozone water; ultrapure water; functional water; and liquids such as a mixture of two or more
  • the innermost layer (A) is made of a melt-processable fluoropolymer.
  • the above-mentioned melt-processable fluoropolymer is a polymer having melt processability and having at least one hydrogen atom bonded to a carbon atom replaced by a fluorine atom.
  • melt-processable fluoropolymer is, depending on the type of the fluid flowing through the fluid transport tube of the present invention, a tri-fluoroethylene polymer, a butyl fluoride polymer, a bi-lidene fluoride polymer, / ⁇ is preferably a tetrafluoroethylene polymer in terms of corrosion resistance, and is more preferably a tetrafluoroethylene copolymer in terms of corrosion resistance and corrosion resistance. .
  • the tetrafluoroethylene copolymer is obtained by copolymerizing tetrafluoroethylene [TFE] with a fluoroolefin other than TFE and a Z- or fluorine-free ethylenic monomer. Chino.
  • Fluoroolefins other than the above TFE are not particularly limited, and include, for example, hexafluoro mouth propylene [HFP], perfluoro (alkyl butyl ether) [PAVE], [0020] [Formula 1]
  • Perfluoroethylenic monomers such as bilidenefluoride [VdF], trifluoroethylene, butyl fluoride, trifluoropropylene, pentafluoropropylene, tetrafluoropropylene, hexafluoroisobutene, etc. Hydrogen-containing fluoroethylenic monomer; and chlorine-containing fluoroethylenic monomer such as trifluoroethylene [CTFE].
  • Fluoroolefins other than the above TFE can be used alone or in combination of two or more.
  • the fluorine-free ethylenic monomer is not particularly restricted but includes, for example, ethylene [Et], propylene, butene, pentene and the like having 2 to 10 carbon atoms.
  • alkylbutyl ether having an alkyl group of 120 carbon atoms, such as ethynolebininoleatenore, propinolebininoleatenore, cyclohexinole vinyl ether, hydroxybutyl vinyl ether and butyl vinyl ether.
  • the fluorine-free ethylenic monomer may be used alone or in combination of two or more.
  • the tetrafluoroethylene copolymer is particularly excellent in corrosion resistance and chemical resistance, does not contaminate the internal fluid, and has high visible light transmittance.
  • A] a TFEZHFP copolymer [FEP], an EtZTFE copolymer or a TFEZVdF copolymer, and a transport tube for sterilization of a fluid such as milk flowing inside the obtained fluid transport tube.
  • FEP TFEZHFP copolymer
  • EtZTFE copolymer or a TFEZVdF copolymer a transport tube for sterilization of a fluid such as milk flowing inside the obtained fluid transport tube.
  • UV irradiation or the like it is more preferable to use PFA because heat resistance is required and bacteria are difficult to propagate.
  • PFA is unstable in terms of chemical resistance, such as COF, -CH OH, and CONH.
  • the terminal group of the PFA is preferably CF.
  • the melt-processable fluoropolymer may be a polymer obtained by polymerizing a functional group-containing ethylenic monomer as a comonomer.
  • the above tetrafluoroethylene copolymer is used to improve the adhesiveness with the colored layer (B) or the gas noria layer (C) described below, and the functional group-containing ethylenic monomer is used as a comonomer. It may be polymerized as above.
  • the “functional group-containing ethylenic monomer” refers to a hydroxyl group, a carboxyl group, a carboxyl group forming a salt, an alkoxycarbol group, and a Z or epoxy group as the functional groups. Is an ethylenically unsaturated compound having a fluorine atom directly bonded to a carbon atom.
  • Y represents a hydroxyl group, a carboxyl group, a carboxyl group forming a salt, an alkoxycarbyl group or an epoxy group
  • X 1 and X 2 are the same or different and are a hydrogen atom or a fluorine atom.
  • f represents a fluorine-containing alkylene group or a fluorine-containing alkylene group having an ether bond having 1 to 40 carbon atoms. ) Are preferred.
  • the functional group-containing ethylenic monomer is represented by the following formula:
  • CF 2 CFCFgOCF2CF 2 CF2COOH
  • CF g CFCF 2 OCF2CFCOOCH 3
  • CH 2 CHCF 2 CF 2 CH 2 C3 ⁇ 4C ⁇ OH
  • CH 2 CH (CF2 4 CH 2 CH 2 CH20H
  • the ratio of the functional group-containing ethylenic monomer unit to all monomer units constituting the tetrafluoroethylene copolymer is 0%. . is preferably 002- 30 mol 0/0. 0.002 mol 0/0 not When it is full, the effect of the copolymerization based on the functional group-containing ethylenic monomer is lower than the lower limit that can be detected.
  • a more preferred lower limit is 0.01 mol%, and a still more preferred lower limit is 0.05 mol%.
  • the “all monomer units” means all portions derived from monomers in the molecular structure of the tetrafluoroethylene copolymer.
  • the “functional group-containing ethylenic monomer unit” refers to a portion derived from the functional group-containing ethylenic monomer in the molecular structure of the tetrafluoroethylene copolymer. means.
  • the ratio of the “functional group-containing ethylenic monomer unit” is a value obtained by a melt NMR measurement of the tetrafluoroethylene copolymer at 300 ° C.
  • the thickness of the innermost layer (A) depends on the type of the pigment used in the fluid transport tube of the present invention, as long as it exhibits visible light transmittance within the above range.
  • the colored layer (B) is colored by melt-processable polymer.
  • the melt-processable polymer is not particularly limited as long as the obtained fluid transport tube satisfies the visible light transmittance in the above-mentioned range, but, for example, polyethylene, polypropylene, polyolefins such as Shiridani Bull, Polyamides, polyarylates, polyacetals, aramides, polyimides, fusible fluoropolymers, polyurethanes, polysiloxanes, and the like.For applications requiring heat resistance, chemical resistance, etc. It is preferable to use a melt-processable fluoropolymer.
  • the “melt-processable fluoropolymer” in the colored layer (B) is different from the melt-processable fluoropolymer described above for the innermost layer (A) in that it is used for the colored layer (B). This is a concept that should not be excluded, but it does not exclude the same type of melt-processable fluoropolymer as the innermost layer (A).
  • the colored layer (B) is preferably a layer in which a pigment is dispersed due to the power of a tetrafluoroethylene copolymer.
  • a tetrafluoroethylene copolymer is used as the melt-processable polymer in the colored layer (B).
  • the tetrafluoroethylene copolymer as the melt-processable polymer in the colored layer (B) is the tetrafluoroethylene copolymer as the molten polymer-containing fluoropolymer in the innermost layer (A).
  • the colored layer (B) is also a layer colored by the above-mentioned melt-processable polymer.
  • the coloring in the coloring layer (B) is usually performed by using a pigment.
  • the type of the pigment is not particularly limited as long as the obtained fluid transport tube satisfies the visible light transmittance in the above-mentioned range, and examples thereof include carbon, titanium oxide, red iron oxide, copper oxide, and bismuth oxide.
  • Inorganic acid such as antimony white, antimony white, silicate-coated molybdate orange, silicate-coated iron oxide, cadmium red, cadmium orange, cadmium yellow, ultramarine, conolet, violet, oxychrome, etc.
  • Pigment One or a combination of two or more organic pigments such as a phthalocyanine pigment and a perylene pigment can be used.
  • pigments mentioned above while the burden on the environment is required by companies under the EU Waste Electrical and Electronic Equipment Recycling Order (WEEE) and the ban on the use of specified substances (RoHS), cadmium, lead, cobalt (chemical substances) It is preferable that pigments containing titanium, -nickel, niobium, etc. be used instead of not including emission and transfer notification system (PRTR designation) and antimony [PRTR designation].
  • WEEE EU Waste Electrical and Electronic Equipment Recycling Order
  • RoHS specified substances
  • cadmium cadmium
  • lead cobalt
  • PRTR designation emission and transfer notification system
  • PRTR designation antimony
  • the pigment is used in an amount of 0.1 to 100 parts by mass of the melt-processable polymer so that the obtained fluid transport tube satisfies the visible light transmittance in the above range. Preferably it is 20 parts by mass.
  • “having the innermost layer (A) and the colored layer (B) in a laminated shape” means that the innermost layer (A) and the colored layer (B) May be in contact with each other, but it is not always necessary that the innermost layer (A) and the colored layer (B) are in contact with each other, and between the innermost layer (A) and the colored layer (B). Means that it has another layer.
  • “having the innermost layer (A) and the colored layer (B) in a laminated state” also means that the colored layer (B) is the innermost layer (A) or the other layer provided as desired. It also means that the entire surface of this layer is covered.
  • the colored layer (B) may be a layer that is entirely colored (hereinafter, may be referred to as “entirely colored layer (B)”), or has a partially colored part.
  • the part other than the colored part may be transparent (hereinafter, may be referred to as “partially colored layer (B)”).
  • the colored portion and the transparent portion have continuity due to a melt-processable polymer. Things.
  • the partially colored layer (B) is adhered or formed on the innermost layer (A) or on a surface which is a part, but not all, of the outer surface of the other layer provided as desired in that it has the above continuity. This is different from a coloring material in which the coloring material is discontinuous on the outer surface of the innermost layer (A) or the other layer without the interposition of a transparent member connected by a polymer or the like.
  • the colored layer (B) is formed as a whole colored layer (B) having a matrix force of uniformly dispersing the pigment, or a surface layer which is subjected to a surface treatment such as etching to uniformly disperse the pigment.
  • a pigment is arranged so that a pattern is formed and the other part is transparent, and a pigment is coated in a groove in the surface layer so that the surface layer forms a pattern.
  • a matrix composed of a pigment uniformly dispersed therein, that is, a melt-processable polymer Pigments are preferably dispersed. And more preferably Sig is obtained tetrafluoropropoxy O Roe Chile down copolymer stamina becomes a pigment is dispersed.
  • pattern is a concept including patterns such as stripes, polka dots, spirals, etc. in the usual sense, numbers such as Arabic numerals, Roman numerals, etc .; letters including alphabets, kanji, hiragana, katakana, etc. is there.
  • any of wet mixing and dry mixing can be employed.
  • dry mixing a twin-screw extruder, a Henschel mixer, a tumbler mixer and the like are used.
  • the particle size of the pigment after mixing is preferably 0.1 to 12 m so that the obtained fluid transport tube satisfies the visible light transmittance in the above range.
  • the particle size of the pigment after mixing is an average particle size obtained by measurement using a laser scattering method.
  • the material of the colored layer (B) may be prepared by using color pellets as a master batch and mixing uncolored pellets.
  • the colored layer (B) may have a conductive material as described later.
  • the thickness of the colored layer (B) is preferably 3.5 mm or less. 3. If it exceeds 5 mm, the visible light transmittance of the obtained fluid transport tube may not be in the above range! /. A more preferred upper limit is 3 mm, and a still more preferred upper limit is 1.6 mm.
  • the pigment is not contained in the innermost layer (A) and therefore does not flow out into the fluid transport tube. It is also considered that the coloring layer (B) may be discolored.
  • the fluid transport tube of the present invention comprises the innermost layer (A) and the colored layer (A).
  • a gas barrier layer (C) may be appropriately provided between B and B).
  • the material of the gas barrier layer (C) is not particularly limited, and examples thereof include those having excellent oxygen barrier properties, such as polybutyl alcohol, ethylene Z-butyl alcohol copolymer; Polyfluoro mouth trifluoroethylene [PC
  • TFE ethylene Z black mouth trifluoroethylene copolymer
  • PAN polyacrylonitrile
  • fragrance such as polyethylene terephthalate [PET], polybutylene terephthalate [PBT], polyethylene naphthalate [PEN], polybutylene naphthalate [PBN], etc.
  • Ring-containing polyesters polyphenylene sulfide [PPS]; polyglycolic acid [PGA]; polyvinyl chloride [PVC]; polyvinylidene chloride [PVDC]; polyvinyl fluoride [PVF]; polyvinylidene fluoride [PVDF], and the like.
  • any thickness can be used. You can choose freely.
  • the fluid transport tube of the present invention also includes a colored layer formed by depositing an inorganic coating on the outer surface of the innermost layer (A) or performing a sputtering process on the outer surface of the innermost layer (A). (B) or a gas nolia layer (C) may be provided.
  • a colored layer formed by depositing an inorganic coating on the outer surface of the innermost layer (A) or performing a sputtering process on the outer surface of the innermost layer (A).
  • B or a gas nolia layer (C) may be provided.
  • the above-mentioned coating deposition and sputtering treatment are not preferable in terms of cleanliness and cost performance, they prevent the fluid inside the fluid transport tube from penetrating to the outer surface of the innermost layer (A). May be preferred.
  • the fluid transport tube of the present invention may be one in which the colored layer (B) is the outermost layer, but is further provided with a coating layer (D) on the colored layer (B). It may be.
  • a coating layer (D) As the above-mentioned coating layer (D), a protective layer for protecting the colored layer (B) is preferable, and in addition to the function of protecting the colored layer (B), or instead of the function of protecting the colored layer (B).
  • a conductive layer may be used.
  • the material of the coating layer (D) is not particularly limited, and examples thereof include polyurethane resin; polyester resin; aramide resin; polyimide resin; polyamide imide resin; polyamide resin; polyacetal resin; Acrylic resin; Styrene resin; Atari mouth-tolyl / butadiene Z styrene resin; Polyolefin resin such as polyethylene resin, polypropylene resin, chloride vinyl resin; Cellulose resin; Polybutyl resin Alcohol resin: Ethylene Z-Butyl alcohol copolymer. A resin whose strength is close to that of the fluorine resin in the inner layer in terms of processability and to avoid deterioration of the resin. It is preferable to use! / ,.
  • the coating layer (D) is a conductive layer, it usually contains a conductive substance as the material, and the conductive substance is not particularly limited.
  • the conductive substance is not particularly limited.
  • carbon black acetylene black, Carbon fiber and the like.
  • the amount of the conductive substance to be added to the conductive layer may be a force at which the visible light transmittance of the obtained fluid transport tube becomes 25% or more with respect to the visible light with a total circumferential azimuthal force, or the obtained fluid. If the area of the outer surface of the transport pipe where the visible light transmittance is 25% or more is within the range of 90% or more of the entire outer surface area,
  • the innermost layer (A) and the colored layer (B), and the gas barrier layer (C) and the Z layer or the coating layer (D) to be laminated as required are relatively laminated.
  • a method of laminating an outer layer to be disposed on the outside and an inner layer to be disposed relatively on the inside for example, a method of separately preparing each layer and inserting the inner layer into the outer layer, A method of covering the outer layer, which is a heat-shrinkable tube, with the upper layer of the inner layer.
  • a method of melt coating a method of immersing the inner layer tube in a paint in which the material of the outer layer is dissolved, using a material that can be made into a solution such as PVdF as the material of the outer layer, and appropriately drying and then firing. It is possible to reduce costs and clean In order to keep the degree high, a simultaneous multilayer molding method is generally used.
  • the “outer layer” is used in combination with the term “inner layer”, and is a layer that is relatively outside the inner layer and comes into contact with the inner layer.
  • the fluid transport tube of the present invention uses a melt-processable polymer as the material of the colored layer (B), it is subjected to melt molding using a material composed of a polymer having a melting force, or After the application of a powder puryon or a powder coating and firing, even if the shape of the particles made of the melt-processable polymer is maintained before firing, the shape usually disappears.
  • the coloring layer (B) is particularly in contact with the innermost layer (A), and when a melt-processable fluorine-containing polymer is used as the melt-processable polymer, it has excellent adhesion to the innermost layer (A). A two-layer tube that is difficult to form can be formed.
  • the gas noria layer (C) is laminated between the colored layer (B) and the innermost layer (A)
  • the gas nolia layer (C) is made of the same material as the gas noria layer (C).
  • the pigment contained in the colored layer (B) is cut into the fluid flowing through the fluid transport pipe. It is preferable not to mix them.
  • a force using a joint having a structure in which the fluid does not directly contact the end of the fluid transport tube is used.
  • a force using a joint having such a structure that the fluid does not directly contact include, for example, a method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 05-320991.
  • the fluid transport pipe of the present invention can be used for visually recognizing the type of fluid passing through the fluid transport pipe from the outside.
  • the recognition of the type of the fluid can be performed by using the color or pattern of the fluid transport tube by using the fluid transport tube of the present invention. Therefore, for example, when two or more fluid transport tubes of the present invention are used, or when one or more fluid transport tubes of the present invention and one or more other tubes for transporting a fluid are used, by keeping decide circulating what fluid in the fluid transport pipe of the present invention which were subjected in advance what color or pattern, said flow body transport tube or the other of the tube outside, for example the eye monitor, etc. Relatively far distance Even with the separation force, it is possible to visually check the type of fluid flowing through which fluid transport pipe. If it can be visually recognized from the outside that the other pipe is a pipe different from the fluid transport pipe of the present invention, it is determined in advance what kind of fluid is to be circulated, so that the pipe inside the other pipe is determined. You can know the type of fluid.
  • the type of the fluid is determined based on external characteristics such as coloring of the fluid itself. It may be possible to know.
  • the above-mentioned fluid transport pipe has high visible light transmittance, it is possible to easily recognize the flow state of the fluid by an external force visually, and the maintenance property can be remarkably improved.
  • the fluid transport tube of the present invention can be suitably used for a visual recognition method.
  • the visual recognition method is a method for visually recognizing the type, Z, or distribution state of a fluid passing through a fluid transport pipe by an external force. What is a tube.
  • the identification fluid transport pipe of the present invention is used for visually identifying the identification fluid transport pipe from other fluid transport pipes other than the identification fluid transport pipe.
  • a tube, wherein the fluid transport tube for identification is the fluid transport tube of the present invention, and the other fluid transport tube is the fluid transport tube of the present invention; or
  • the color and Z or pattern of the above-mentioned fluid transport tube for identification is different from the color and Z or pattern of the above-mentioned other fluid transport tube.
  • the fluid transport tube for identification of the present invention may have the same color or pattern as the other fluid transport tube as long as the above-mentioned other fluid transport tube force can be identified. Since the fluid transport tube for identification of the present invention has a colored layer (B), the above-mentioned other fluid transport tubes are not necessarily colored from the viewpoint of distinguishing from the fluid transport tube for identification of the present invention. It is not necessary to cover the entire outer surface area!
  • the fluid transport tube of the present invention can be suitably used for a method for visually identifying a fluid transport tube.
  • the method for visually identifying a fluid transport pipe is a method for visually identifying a specific fluid transport pipe from other fluid transport pipes other than the specific fluid transport pipe,
  • the moving body transport pipe is the above-described fluid transport pipe of the present invention
  • the other fluid transport pipe is the above-described fluid transport pipe of the present invention or another pipe for transporting a fluid.
  • the color, Z, or pattern of the specific fluid transport tube is different from the color, Z, or pattern of the other fluid transport tube.
  • the semiconductor manufacturing / processing apparatus of the present invention comprises a manufacturing / processing apparatus for manufacturing a semiconductor or a semiconductor peripheral member, and a fluid transport pipe for transporting a chemical solution used in the manufacturing / processing apparatus. That is, the fluid transport pipe is the fluid transport pipe of the present invention.
  • the semiconductor manufacturing / processing apparatus of the present invention may be the smallest unit that can be marketed as a manufacturing / processing apparatus, or may be a composite apparatus in which a plurality of the minimum manufacturing / processing apparatuses are combined. Good.
  • the semiconductor manufacturing / processing apparatus of the present invention is one of the above-mentioned factory distribution units when the manufacturing / processing apparatus constituting the semiconductor manufacturing line system of the present invention described below can be divided into several market distribution units. It may be one of the following.
  • the semiconductor manufacturing / processing apparatus is not particularly limited as long as it uses a chemical solution, and examples thereof include a coater, a CMP apparatus, and a cleaning apparatus.
  • the semiconductor production line system of the present invention includes a production process apparatus for producing a semiconductor or a semiconductor peripheral member, and the fluid transport pipe for transporting a chemical solution used in the production process apparatus. It is a production line system.
  • a semiconductor manufacturing line system of the present invention for example, a semiconductor manufacturing / processing apparatus belonging to the above-described semiconductor manufacturing / processing apparatus, or a semiconductor manufacturing / processing apparatus, or a chemical solution tank, a pump, etc.
  • a chemical solution supply system composed of The semiconductor manufacturing line system of the present invention includes one obtained by connecting the above-mentioned chemical liquid supply system by the above-mentioned fluid transport pipe of the present invention between a plurality of manufacturing and processing apparatuses in the manufacturing process, if desired.
  • the liquid crystal panel manufacturing / processing apparatus of the present invention includes a manufacturing / processing apparatus for manufacturing a liquid crystal panel, and a fluid transport pipe for transporting a chemical solution used in the manufacturing / processing apparatus.
  • the fluid transport pipe is the fluid transport pipe of the present invention.
  • the liquid crystal panel manufacturing / processing apparatus of the present invention may be the smallest unit that can be marketed as a manufacturing / processing apparatus, or may be a composite apparatus in which a plurality of the manufacturing / processing apparatuses of the minimum unit are combined. Good.
  • the liquid crystal panel manufacturing / processing apparatus of the present invention is a liquid crystal panel In the case where the manufacturing / processing apparatus constituting the tunnel production line system can be divided into several distribution units, it may be one of the distribution units.
  • the liquid crystal panel manufacturing line system of the present invention includes a manufacturing 'processing apparatus for manufacturing a liquid crystal panel, the fluid transport pipe for transporting a chemical solution used in the manufacturing' processing apparatus, and a capillar. Production line system.
  • the liquid crystal panel manufacturing line system of the present invention includes, for example, a liquid crystal panel manufacturing / processing apparatus consisting of two or more of the above-described liquid crystal panel manufacturing / processing apparatuses, or a liquid crystal panel manufacturing / processing apparatus described above, a chemical tank, a pump, etc. And a powerful chemical liquid supply system.
  • the liquid crystal panel manufacturing line system of the present invention includes one obtained by connecting the above-mentioned chemical liquid supply system with the above-mentioned fluid transport pipe of the present invention between a plurality of manufacturing and processing apparatuses in a manufacturing process, if desired.
  • the fluid transport pipe of the present invention may be used for applications in which prevention of contamination of the fluid flowing inside the fluid transport pipe is desired, such as a pharmaceutical production line, in addition to the semiconductor production line system and the liquid crystal panel production system. It can also be used suitably for applications such as systems and food and beverage production line systems.
  • the fluid transport pipe of the present invention can easily identify a specific fluid transport pipe by visual inspection of another pipe force, and can visually recognize the flow state of the internal fluid even with a distant distance force, thereby enabling the internal fluid flow. It does not pollute the body.
  • PFA pellets (trade name: NEOFLON PFA AP-231SH, manufactured by Daikin Industries) are used as the innermost layer material, and PFA color pellets (trade name: NEOFRON PFA AP-210RD, manufactured by Daikin Industries) are used as the material of the colored layer.
  • the inner diameter is 22 mm
  • the innermost layer thickness is 1.45 mm
  • the outer layer (colored layer) thickness is 15 mm.
  • 80 m average A two-layer tube having a thickness of 50 / zm was prepared. The average thickness was evaluated by an image analyzer on 10 cross sections arbitrarily taken out of an lm tube, and the average value was used to evaluate the average thickness.
  • a 10% by mass aqueous solution of hydrochloric acid was sealed in the obtained tube so that the liquid level was 3 mm, 7 mm, and 12 mm, respectively, when left horizontally, and then left horizontally at a height of 1.5 m from the ground.
  • the liquid level was 3 mm, 7 mm, and 12 mm, respectively, when left horizontally, and then left horizontally at a height of 1.5 m from the ground.
  • the correct answer rate was 100%.
  • the obtained tube is preheated to 200 ° C, hot plate (length 200mm x width 200mm), spacer (length 200mm x width 20mm x thickness 3mm) and flat plate (length 200mm x width 200mm x thickness 5mm) Then, place a flat plate on a tube by the method described above, cool it by leaving it at room temperature for 3 hours to prepare a sample for measuring transmitted light intensity with a thickness of 3 mm, and directly read a chair and meter (Toyo Seiki Seisakusho) The intensity of the transmitted light was measured according to ASTM D 1003 using the following method. The above transmitted light intensity power The calculated visible light transmittance was 25% or more.o
  • the fluid transport pipe of the present invention is a fluid that flows through each transport pipe when two or more transport pipes including the above-described fluid transport pipe of the present invention are used in a production processing apparatus, a production line system, or the like. Can be applied to applications that require identification of the type.

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Abstract

本発明は、ある特定の流動体輸送管を目視により他の管から容易に識別でき、離れた距離からでも内部の流動体の流動状況を視認でき、内部の流動体を汚染しない流動体輸送管を提供することを目的とする。 本発明は、溶融加工性含フッ素ポリマー層（Ａ）と、着色溶融加工性ポリマー層（Ｂ）とを積層状に有してなる流動体輸送管であって、上記溶融加工性含フッ素ポリマー層（Ａ）は、最内層であり、上記流動体輸送管は、可視光透過度が全外周方位からの可視光に対して２５％以上であることを特徴とする流動体輸送管に関するものである。

Description

明 細 書
流動体輸送管、半導体製造ラインシステム及び液晶パネル製造ラインシ ステム
技術分野
[0001] 本発明は、流動体輸送管、識別用流動体輸送管、半導体類製造 ·処理装置、半導 体製造ラインシステム、液晶パネル製造 ·処理装置及び液晶パネル製造ラインシステ ムに関する。
背景技術
[0002] 半導体や液晶パネルの製造には、様々な強い腐食作用を持つ薬液や、研磨剤を含 む界面活性剤入り液剤が用いられる。これらの薬液類を輸送するために、テトラフル ォロエチレン Zパーフルォロ（アルキルビュルエーテル）共重合体〔PFA〕からなるチ ユーブを用いることができることはよく知られている。これは優れた耐食性と、流動体 の輸送状況が視認できる透明性に負うところが大きい。
[0003] 半導体や液晶パネルの製造では、また、薬液類の汚染を防止する必要がある。 PFA を用いた高純度薬品用配管として、耐薬品性を有する PFA力もなる内管と、内管の 外周に密着し耐薬液透過性を有する塩ィ匕ビユリデン等カゝらなる外管とからなる積層 管が開示されている (例えば、特許文献 1参照。 ) o
[0004] 流動体による PFAの帯電を防止するためのチューブとして、カーボン、鉄粉等の導 電性物質と PFAとからなる導電部分を露出させて長手方向にそってストライプ状に 外周面に埋め込んでなるフッ素榭脂チューブが開示されている（例えば、特許文献 2 参照。）。
[0005] PFAからなるチューブは、製造ラインに何本も使用される力 配管された個々のチュ ーブに何の流動体が流通しているかは、そのチューブに掛けられた札の記載によつ て確認することが一般的であった。札の記載は、監視モニター等離れた距離からは 容易に認知することが難 、ので、送液に支障が生じた際のメンテナンス性に大きな 問題があった。
[0006] 電線等では、 PFAに顔料を分散し色分けしてなる被覆電線を作製することにより、個 々の電線を識別することが知られている。しかしながら PFAからなるチューブ等の PF A成形体は、通常そのもの自体に印刷やマーカーによる着色を行うことが不可能で ある。
[0007] PFAと無機顔料とを混合したものとして、更に含フッ素オルガノポリシロキサンィ匕合物 を混合させてなる榭脂組成物とその成形体が開示されて ヽる (例えば、特許文献 3参 照。；)。し力しながら、この成形体では、含まれる顔料が半導体や液晶パネルの製造 ラインで汚染源になってしまう問題があった。
従来、内部の流動体の汚染を防止するとともに、薬液の種類を外部力 識別する PF Aチューブは知られて!/ヽなかった。
[0008] ポリテトラフルォロエチレン〔PTFE〕力もなる内層チューブ上に PTFEデイスパージョ ンを含浸し外層を形成し、カラーマークを不連続に施した薬液配管用チューブが提 案されている（例えば、特許文献 4参照。 )0しカゝしながら、 PTFEは、非溶融加工性 であり焼成によっても PTFE粒子同士の間が融着しにくいので、外層が剥がれ易ぐ また剥がれたものが汚染原因となりやすいという問題があった。また、強度の点でも 問題があった。
特許文献 1：特開平 9— 137900号公報
特許文献 2：特開 2003-4176号公報
特許文献 3：特開 2000 - 26688号公報
特許文献 4:実公平 3— 8861号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0009] 本発明の目的は、ある特定の流動体輸送管を目視により他の管力 容易に識別でき 、離れた距離力もでも内部の流動体の流動状況を視認でき、内部の流動体を汚染し ない流動体輸送管を提供することにある。
課題を解決するための手段
[0010] 本発明は、溶融加工性含フッ素ポリマー層（A)と、着色溶融加工性ポリマー層（B)と を積層状に有してなる流動体輸送管であって、上記溶融加工性含フッ素ポリマー層（ A)は、最内層であり、上記流動体輸送管は、可視光透過度が全外周方位力もの可 視光に対して 25%以上であることを特徴とする流動体輸送管である。
本発明は、溶融加工性含フッ素ポリマー層（A)と、着色溶融加工性ポリマー層（B)と を積層状に有してなる流動体輸送管であって、上記溶融加工性含フッ素ポリマー層（ A)は、最内層であり、上記流動体輸送管は、外表面のうち可視光透過度が 25%以 上である部分の面積が外表面積全体の 90%以上であることを特徴とする流動体輸 送管である。
本発明は、識別用流動体輸送管を上記識別用流動体輸送管以外のその他の流動 体輸送管から目視により識別するときに用いる上記識別用流動体輸送管であって、 上記識別用流動体輸送管は、上記流動体輸送管であり、上記その他の流動体輸送 管は、上記流動体輸送管であるか、又は、流動体を輸送するためのその他の管であ り、上記識別用流動体輸送管の色及び Z又は模様は、上記その他の流動体輸送管 の色及び Z又は模様と異なるものであることを特徴とする識別用流動体輸送管であ る。
本発明は、半導体又は半導体周辺部材を製造するための製造 ·処理装置と、上記製 造-処理装置にて用いる薬液を輸送するための流動体輸送管とからなり、上記流動 体輸送管は上記本発明の流動体輸送管であることを特徴とする半導体類製造'処理 装置である。
本発明は、半導体又は半導体周辺部材を製造するための製造 ·処理装置と、上記製 造-処理装置にて用いる薬液を輸送するための流動体輸送管とからなり、上記流動 体輸送管は上記本発明の流動体輸送管であることを特徴とする半導体製造ラインシ ステムである。
本発明は、液晶パネルを製造するための製造'処理装置と、上記製造'処理装置に て用いる薬液を輸送するための流動体輸送管とからなり、上記流動体輸送管は、上 記本発明の流動体輸送管であることを特徴とする液晶パネル製造 ·処理装置である 本発明は、液晶パネルを製造するための製造'処理装置と、上記製造'処理装置に て用いる薬液を輸送するための流動体輸送管とからなり、上記流動体輸送管は、上 記本発明の流動体輸送管であることを特徴とする液晶パネル製造ラインシステムで ある。
以下に本発明を詳細に説明する。
[0011] 本発明の流動体輸送管は、可視光透過度が全外周方位からの可視光に対して 25 %以上であるものである。上記可視光透過度が 25%未満であると、輸送管内部の流 動体の流通状況を外部から目視で確認することが容易でなぐ流動体輸送管の流通 状況を極めて近距離力 確認せねばならないか又は外部から確認することができな い点で、メンテナンス性に劣ることがある。流動体輸送管の背後から光を照射しても 確認し難い流動体の流通状況を確認するためには、 50%以上であることが好ましぐ 70%以上であることが更に好ましぐ 90%以上であることが特に好ましい。
[0012] 本明細書において、上記「全外周方位」は、流動体輸送管の長手方向に垂直な断面 の外周における任意の法線方向である。
本明細書において、上記「可視光透過度」は、何の試料も置かずに測定したブランク 強度に対する流動体輸送管の透過光強度の比率である。該透過光強度の比率によ り、上記「全外周方位からの可視光に対する可視光透過度」は表される。
本明細書において、上記「流動体輸送管の透過光強度」は、流動体輸送管をその緩 和点以上の温度にあるように熱板の上に静置し、流動体輸送管の厚みの 2倍に相当 する厚みのスぺーサーを上記流動体輸送管の両横に配置し、上記流動体輸送管上 に平板を載せることにより上記流動体輸送管に平面部を静的に生じさせたまま冷却 し (本明細書において、この平面部を有し冷却してなる上記流動体輸送管を「透過光 強度測定用試料」ということがある。）、得られる透過光強度測定用試料を直読ヘイズ メーター (東洋精機製作所社製)を用いて ASTM D 1003に準拠して評価すること により得られる値である。上記平板としては、上記方法により上記流動体輸送管上に 載せた場合、流動体輸送管を破壊しな!、程度の質量を有するものを使用する。 上記ヘイズメーターは、 JIS K 6714又〖お IS K 6717に基づく測定原理を有す る装置で代用してもよい。
[0013] 本発明のもう 1つの流動体輸送管は、外表面のうち可視光透過度が 25%以上である 部分の面積が外表面積全体の 90%以上であるものである。流動体輸送管の外表面 積全体のうち、可視光透過度が 25%以上である部分の面積が 90%以上であれば、 外表面積全体のうち残る 10%未満の面積が占める部分は、可視光透過度が 25% 以上であることが好ましいが、 25%未満であってもよいし、また、可視光透過度が 25 %未満である部分が幾つかに分かれて可視光透過度が 25%以上である部分と交互 に存在していてもよいし、可視光透過度が 25%未満である部分が 2以上に分かれず かたまって存在し、視認性の点ではこの可視光透過度が 25%以上である部分が流 動体輸送管の観察者側に位置して 、るものであってもよ 、。流動体輸送管の外表面 積全体のうち、可視光透過度が 25%以上である部分の面積が 90%未満であると外 部から流動状況が分かりにく 、ことがある。
本明細書において、「流動体輸送管の外表面積全体のうち、可視光透過度が 25% 以上である部分の面積が 90%以上である」という要件は、任意に取り出した 25cm2 の流動体輸送管サンプルについて 5mm角の正方形部分毎に評価を 100分割し、そ の中で 90個以上が可視光透過度 25%以上を示すことにより確認することができる。
[0014] 上記本発明のもう 1つの流動体輸送管は、溶融加工性含フッ素ポリマー層（A)と、着 色溶融加工性ポリマー層（B)とを積層状に有してなる点で、上述した可視光透過度 が全外周方向からの可視光に対して 25%以上である本発明の流動体輸送管と共通 する。
本明細書において、特に別の説明をしない限り、可視光透過度が全外周方向力 の 可視光に対して 25%以上である本発明の流動体輸送管と、上記本発明のもう 1つの 流動体輸送管とを総称して、「本発明の流動体輸送管」と言うこととする。
[0015] 本発明の流動体輸送管は、溶融加工性含フッ素ポリマー層（A)と、着色溶融加工性 ポリマー層（B) (以下、「着色層（B)」という。）とを積層状に有してなるものであって、 上記溶融加工性含フッ素ポリマー層（A)は、最内層であるものである（以下、「最内 層 (A)」という。 )0本発明の流動体輸送管は、該積層構造を有することにより、他の 管との識別が容易であり、内部の流動体の流動状況を視認することができ、内部の 流動体を汚染しな ヽと 、う効果を奏するものである。
[0016] 上記流動体は、気体、液体の何れであってもよぐ上記液体は、揮発性液体であって もよ!/、し、研磨剤等の固体微粒子を含む流体であってもよ 、。
上記流動体としては特に限定されず、例えば、牛乳等の飲食物、ガス、薬液等が挙 げられる。
上記ガスとしては特に限定されず、例えば、オゾン、水素、酸素、低分子量フルォロ カーボン等が挙げられ、これら例示したガスは、半導体製造分野で使用されるガスで あってもよい。
上記薬液としては特に限定されず、例えば酢酸、蟻酸、クレゾール、フエノール等の 有機酸類;フッ化水素酸、硫酸、硝酸、リン酸、塩酸等の無機酸類;過酸化水素水等 の過酸化物；リン酸過水、硫酸過水等の上記無機酸類と過酸化水素水との混合液； 水酸化ナトリウム、水酸ィ匕カリウム、アンモニア水等のアルカリ溶液;メタノール、ェタノ ール等のアルコール類；エチレンジァミン、ジエチレントリァミン、エタノールアミン等 のァミン類；ジメチルァセトアミド等のアミド類；酢酸ェチル、酢酸ブチル等のエステル 類；キシレン等の炭化水素系溶剤；トリクロロエチレン等の塩素系溶剤；アセトン等の ケトン類;オゾン水;超純水;機能水；これらのうち 2種以上の混合液等の液体が挙げ られる。上記機能水は、半導体製造分野において、超純水に水素及びアンモニアを 溶存させてなる液体である。
[0017] 上記最内層（A)は、溶融加工性含フッ素ポリマーからなるものである。上記溶融加工 性含フッ素ポリマーは、溶融加工性を有し炭素原子に結合した水素原子の少なくとも 一つがフッ素原子に置換されてなるポリマーである。
上記溶融加工性含フッ素ポリマーは、本発明の流動体輸送管中を流通する流動体 の種類によってはクロ口トリフルォロエチレン重合体、フッ化ビュル重合体、ビ-リデン フルオライド重合体であってもよ!/ヽが、耐蝕性の点でテトラフルォロエチレン重合体で あることが好ましぐ耐蝕性とカ卩ェ性の点でテトラフルォロエチレン共重合体であるこ とがより好ましい。
[0018] 上記テトラフルォロエチレン共重合体は、テトラフルォロエチレン〔TFE〕と、 TFE以 外のフルォロォレフイン及び Z又はフッ素非含有エチレン性モノマーとを共重合して 得られるちのである。
[0019] 上記 TFE以外のフルォロォレフインとしては特に限定されず、例えば、へキサフルォ 口プロピレン〔HFP〕、パーフルォロ（アルキルビュルエーテル）〔PAVE〕、 [0020] [化 1]
CF = CF
I \
O O
ヽ /
c
F 3 C CF3 、 CF 2 = CFO(CF 2)2CF = CF 2
[0021] 等のパーフルォロエチレン性モノマー；ビ-リデンフルオライド〔VdF〕、トリフルォロェ チレン、フッ化ビュル、トリフルォロプロピレン、ペンタフルォロプロピレン、テトラフル ォロプロピレン、へキサフルォロイソブテン等の水素含有フルォロエチレン性モノマー ；クロ口トリフルォロエチレン〔CTFE〕等の塩素含有フルォロエチレン性モノマー等が 挙げられる。上記 PAVEとしては得られる榭脂の耐クラック性ゃコストの面力 パーフ ノレォロ（プロピノレビ-ノレエーテノレ）ゝパーフノレオ口（ェチノレビ-ノレエーテノレ）ゝパーフノレ ォロ (メチルビ-ルエーテル)等を好適に用いることができる。
上記 TFE以外のフルォロォレフインは、 1種又は 2種以上を組み合わせて用いること ができる。
[0022] 上記フッ素非含有エチレン性モノマーとしては特に限定されず、例えば、エチレン〔E t〕、プロピレン、ブテン、ペンテン等の炭素数 2— 10の α—才レフインモノマー；メチル ビニノレエーテノレ、ェチノレビニノレエーテノレ、プロピノレビニノレエーテノレ、シクロへキシノレ ビニルエーテル、ヒドロキシブチルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル等のアル キル基が炭素数 1一 20のアルキルビュルエーテル等が挙げられる。
上記フッ素非含有エチレン性モノマーは、 1種又は 2種以上を組み合わせて用いるこ とがでさる。
[0023] 上記テトラフルォロエチレン共重合体としては、耐蝕性、耐薬品性に特に優れ、内部 の流動体を汚染せず、かつ可視光透過度が高い点で、 TFEZPAVE共重合体〔PF A]、 TFEZHFP共重合体〔FEP〕、 EtZTFE共重合体、又は、 TFEZVdF共重合 体であることが好ましく、得られる流動体輸送管内部を流通する牛乳等の流動体の 殺菌を目的として輸送管外部から UV照射等を行う場合、耐熱性が要求される点、ま た雑菌が繁殖しにく 、点で、 PFAであることがより好ま 、。
[0024] 上記溶融加工性含フッ素ポリマーとしては、耐薬品性の点で、不安定末端が残存し ていないものが好ましい。
特に、 PFAとしては、耐薬品性の点で、 COF、 -CH OH、 一 CONH等の不安定
2 2
末端が残存していないものが好ましい。上記 PFAの末端基は、 CFであることが好
3
ましい。
[0025] 上記溶融加工性含フッ素ポリマーは、官能基含有エチレン性単量体を共単量体とし て重合したものであってもよ 、。
特に、上記テトラフルォロエチレン共重合体は、後述する着色層（B)又はガスノ リア 層（C)との接着性を向上する目的で、官能基含有エチレン性単量体を共単量体とし て重合したものであってもよ 、。
本明細書において、上記「官能基含有エチレン性単量体」とは、官能基として、ヒドロ キシル基、カルボキシル基、塩を形成しているカルボキシル基、アルコキシカルボ- ル基及び Z又はエポキシ基を有する単量体であって、炭素原子に直接結合して 、る フッ素原子を有するエチレン性不飽和化合物である。
[0026] 上記官能基含有エチレン性単量体としては、下記一般式 (IV)
CX1 =CX2—R—Y (IV)
2 f
(式中、 Yは、ヒドロキシル基、カルボキシル基、塩を形成しているカルボキシル基、ァ ルコキシカルボ-ル基又はエポキシ基を表し、 X1及び X2は、同一又は異なって、水 素原子若しくはフッ素原子を表し、 Rは、炭素数 1 0の
f 一 4 含フッ素アルキレン基又は 炭素数 1一 40のエーテル結合を有する含フッ素アルキレン基を表す。 )で表されるも のが好ましい。
[0027] 上記官能基含有エチレン性単量体としては、下記式
[0028] [化 2]
CF2=CFOCF2CF£CH2OH CF2=CFO(CFa)3COOH CFa=CFOCF2CF2COOCH3 CF2=CFOCF2CFOCF2CF£CH£OH
CF3
CF2=CFCF£COOH CF2=CFCF sCHsOH
Figure imgf000010_0001
CF2=CFCFgOCF2CF2CF2COOH CFg=CFCF2OCF2CFCOOCH3
CH2= CFCFsCF2CH2CHgOH CH2=CFCFECF2COOH
Figure imgf000010_0002
CH2=CFCFgOCF CH2OH CH£=CFCF2OCFCOOH
CF3
CHs = CFCF2OCFCH2OCHgCHCH2 CH2=CFCF2OCFCF2OCFCH2OH
CH2 = CHCF2CF2CH2C¾C〇OH CH2 =CH(CF2 4CH2CH2CH20H
CH2— CHiC ^eCHaCHaCOOCHa
Figure imgf000010_0003
[0029] で表される各化合物等がより好ましい。
上記官能基含有エチレン性単量体を共単量体として用いる場合、上記テトラフルォ 口エチレン共重合体を構成する全単量体単位に占める上記官能基含有エチレン性 単量体単位の割合は、 0. 002— 30モル0 /0であることが好ましい。 0. 002モル0 /0未 満であると、上記官能基含有エチレン性単量体に基づく共重合の効果が検知し得る 下限を下回る。より好ましい下限は 0. 01モル％、更に好ましい下限は、 0. 05モル％ である。本明細書において、上記「全単量体単位」とは、上記テトラフルォロエチレン 共重合体の分子構造のうち、単量体に由来する全ての部分を意味する。本明細書に おいて、上記「官能基含有エチレン性単量体単位」とは、上記テトラフルォロエチレン 共重合体の分子構造のうち、官能基含有エチレン性単量体に由来する部分を意味 する。
上記「官能基含有エチレン性単量体単位」の割合は、 300°Cにおけるテトラフルォロ エチレン共重合体の溶融 NMR測定によって得られる値である。
[0030] 上記最内層（A)の厚みは、本発明の流動体輸送管において用いる顔料の種類にも よる力 上記範囲内の可視光透過度を発揮するものであればよい。
[0031] 上記着色層（B)は、溶融加工性ポリマー力 なり着色したものである。
上記溶融加工性ポリマーとしては、得られる流動体輸送管が上述の範囲の可視光透 過度を満たすものであれば特に限定されないが、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレ ン、塩ィ匕ビュル等のポリオレフイン類、ポリアミド類、ポリアリレート類、ポリアセタール 類、ァラミド類、ポリイミド類、溶融力卩ェ性含フッ素ポリマー、ポリウレタン類、ポリシロキ サン類等が挙げられ、耐熱性、耐薬品性等が要求される用途においては、溶融加工 性含フッ素ポリマーを用いることが好まし 、。
本明細書において、上記着色層（B)における「溶融加工性含フッ素ポリマー」は、着 色層（B)に用いる点で、最内層（A)について上述した溶融加工性含フッ素ポリマー とは区別すべき概念であるが、最内層 (A)と同じ種類の溶融加工性含フッ素ポリマー となることを排除するものではな 、。
[0032] 上記着色層（B)は、テトラフルォロエチレン共重合体力もなり顔料を分散させたもの であることが好ましい。この場合、上記着色層（B)における溶融加工性ポリマーとして は、テトラフルォロエチレン共重合体を用いる。上記着色層（B)における溶融加工性 ポリマーとしてのテトラフルォロエチレン共重合体は、上述の最内層（A)における溶 融カ卩ェ性含フッ素ポリマーとしてのテトラフルォロエチレン共重合体と同様、上記最 内層 (A)又は後述するガスノリア層（C)との接着性を向上する目的で、上述した官 能基含有エチレン性単量体を共単量体として重合して得られたものであってもよい。
[0033] 上記着色層（B)は、上記溶融加工性ポリマー力もなり、着色した層である。上記着色 層（B)における着色は、通常、顔料を用いることにより行う。
上記顔料の種類としては、得られる流動体輸送管が上述の範囲の可視光透過度を 満たすものであれば特に限定されず、例えば、カーボン、酸化チタン、ベンガラ、マイ 力、酸化コバルト、酸化ビスマス、三酸ィ匕アンチモンホワイト、ケィ酸被覆黄鉛、ケィ酸 被覆モリブデートオレンジ、ケィ酸被覆酸化鉄、カドミウムレッド、カドミウムオレンジ、 カドミウムイェロー、群青、コノ レト、バイオレット、酸ィ匕クロム等の無機顔料;フタロシ ァニン系顔料、ペリレン系顔料等の有機顔料等を 1種又は 2種以上を組み合わせて 用いることができる。上記顔料としては、 EU廃電機電子機器リサイクル令〔WEEE〕、 特定物質の使用禁止令〔RoHS〕等で企業に環境保全の負担が求められるなか、顔 料としてはカドミウム、鉛、コバルト〔化学物質排出移動量届出制度 (PRTR)指定〕、 アンチモン〔PRTR指定〕等は含まないことが好ましぐその代替としてチタン、 -ッケ ル、ニオブ等を含む顔料が用いられることが好まし 、。
上記顔料は、用いる種類にもよるが、得られる流動体輸送管が上述の範囲の可視光 透過度を満たすものとなるように、上記溶融加工性ポリマー 100質量部に対して、 0. 1一 20質量部であることが好ましい。
[0034] 本明細書において、上述した「最内層（A)と、着色層（B)とを積層状に有してなる」と は、上記最内層（A)と上記着色層（B)とが接していてもよいが、必ずしも上記最内層 (A)と上記着色層（B)とが接していることを要さず、上記最内層 (A)と、上記着色層（ B)との間に他の層を有して 、てもよ 、ことを意味する。
本明細書において、「最内層（A)と、着色層（B)とを積層状に有してなる」とは、また 、着色層（B)が最内層（A)又は所望により設ける上記他の層の全面を被覆している ことをも意味する。
上記着色層（B)は、全部が着色部分であるもの（以下、「全体着色層（B)」と 、うこと がある。）であってもよいし、一部に着色部分を有しこの着色部分以外の部分が透明 であるもの（以下、「部分的着色層（B)」ということがある）であってもよい。上記部分的 着色層（B)は、着色部分と透明部分とが溶融加工性ポリマーによる連続性を有する ものである。部分的着色層（B)は、上記連続性を有するものである点で、最内層（A) 若しくは所望により設ける上記他の層の外面の全部ではなく一部である面上に付着 又は形成した着色材であって上記最内層（A)又は上記他の層の外面上において上 記着色材同士の間がポリマー等によるつなぎの透明部材を介在することなく不連続 であるものとは異なる。
[0035] 上記着色層（B)は、全体着色層（B)として、顔料を均一に分散したマトリックス力も構 成したもの、表層部にエッチング等の表面処理を施し顔料を均一に分散したもので あるもの等、部分的着色層（B)として、模様が形成されるように顔料を配置し他の部 分が透明であるもの、表層部が模様を形成するように表層部の溝に顔料を埋め込ん だものであるもの、表層部が模様を形成するように上記溝に別途調製してぉ ヽた着 色フィルム片を埋め込んだものであるもの、印刷のように表層部が模様を形成するよ うに顔料を載せたもの等が挙げられ、これらのなかの何れであってもよいが、耐久性 の点で、内部に顔料を均一に分散したマトリックス力 構成したもの、即ち、溶融加工 性ポリマーからなり顔料を分散させたものであることが好ましぐテトラフルォロェチレ ン共重合体力もなり顔料を分散させたものであることがより好ましい。
本明細書において、上記「模様」は、縞、水玉、螺旋等の通常の意味での模様のほ 、アラビア数字、ローマ数字等の数字;アルファベット、漢字、ひらがな、カタカナ等 の文字を含む概念である。
[0036] 上記溶融加工性ポリマーと上記顔料との混合には、湿式混合、乾式混合の何れを採 用することもできる。乾式混合には、二軸押出機、ヘンシェルミキサー、タンブラ一ミキ サ一等が用いられる。
上記混合後の顔料の粒子径は、得られる流動体輸送管が上述の範囲の可視光透過 度を満たすものとなるように、 0. 1一 2 mであることが好ましい。
上記混合後の顔料の粒子径は、レーザー散乱法を用いて測定し得られる平均粒子 径である。
上記着色層（B)の材料は、カラーペレットをマスターバッチとして用い、無着色のペレ ットを混合することにより調製したものであってもよい。
上記着色層（B)は、後述するように導電性物質を有するものであってもよい。 [0037] 上記着色層（B)の厚みは、 3. 5mm以下であることが好ましい。 3. 5mmを超えると、 得られる流動体輸送管の可視光透過度が上述の範囲とならな!/、場合がある。より好 ましい上限は、 3mm、更に好ましい上限は、 1. 6mmである。
[0038] 本発明の流動体輸送管において、上記顔料は最内層（A)には含まれないので流動 体輸送管内部に流出することはないが、最内層（A)から浸透してきた成分により着色 層（B)が変色する可能性があり得るとも考えられる。特に上記流動体がガス成分を含 む場合、一般にガス成分は最内層（A)を透過するほど透過性が高いので、本発明 の流動体輸送管は、上記最内層（A)と着色層（B)との間に適宜ガスバリア層（C)を 設けたものであってもよい。
[0039] 上記ガスバリア層（C)の材料としては特に限定されず、例えば、酸素バリア性に優れ るものとしてポリビュルアルコール、エチレン Zビュルアルコール共重合体；二酸化炭 素、水蒸気等に対するノ リア性に優れるものとしてポリクロ口トリフルォロエチレン〔PC
TFE〕、エチレン Zクロ口トリフルォロエチレン共重合体、ポリアクリロニトリル〔PAN〕； ポリエチレンテレフタレート〔PET〕、ポリブチレンテレフタレート〔PBT〕、ポリエチレン ナフタレート〔PEN〕、ポリブチレンナフタレート〔PBN〕等の芳香環含有ポリエステル； ポリフ 二レンサルファイド〔PPS〕；ポリグリコール酸〔PGA〕；ポリビニルクロライド〔PV C〕；ポリビニリデンク口ライド〔PVDC〕；ポリビニルフルオライド〔PVF〕；ポリビニリデン フルオライド〔PVDF〕等が挙げられるが、バリア性を考慮すべきガス種に対して充分 なノリア性を示し、可視光透過度が前述の範囲内であるものであれば何を用いてもよ ぐ厚みも前述の範囲において自由に選択することができる。
[0040] 本発明の流動体輸送管は、また、最内層 (A)の外面に無機系のコーティングを蒸着 したり、上記最内層（A)の外面にスパッタリング処理を施したりしたうえで着色層（B) 又はガスノリア層（C)を設けたものであってもよい。上記コーティングの蒸着やスパッ タリング処理は、クリーン性やコスト性の面ではあまり好ましくないが、流動体輸送管 内部の流動体が、最内層（A)の外面にまで浸透するのを防止する点で好ましい場合 がある。
[0041] 本発明の流動体輸送管は、上記着色層（B)が最外層であるものであってもよいが、 上記着色層（B)上に更に被覆層 (D)を設けてなるものであってもよい。 上記被覆層 (D)としては、着色層 (B)を保護するための保護層が好ましぐまた、着 色層 (B)を保護する機能とともに若しくは着色層 (B)を保護する機能に代えて、帯電 防止機能をもたせるために、導電層であってもよい。
上記被覆層（D)の材料としては特に限定されないが、例えば、ポリウレタン榭脂；ポリ エステル榭脂；ァラミド榭脂；ポリイミド榭脂；ポリアミドイミド榭脂；ポリアミド系榭脂；ポリ ァセタール樹脂；ポリカーボネート樹脂；アクリル系樹脂;スチレン系樹脂；アタリ口-ト リル/ブタジエン Zスチレン榭脂；ポリエチレン榭脂、ポリプロピレン榭脂、塩化ビ- ル系榭脂等のポリオレフイン系榭脂；セルロース系榭脂；ポリビュルアルコール榭脂； エチレン Zビュルアルコール共重合体力 なる榭脂等が挙げられ、なかでも、加工性 の点で、また、榭脂の劣化を避けるためにも内層のフッ素榭脂と融点が近いものを用 、ることが好まし!/、。
上記被覆層 (D)は、導電層である場合、通常、上記材料として導電性物質を含むも のであり、上記導電性物質としては、特に限定されず、例えば、カーボンブラック、ァ セチレンブラック、炭素繊維等が挙げられる。
上記導電性物質の上記導電層への添加量としては、得られる流動体輸送管の可視 光透過度が全外周方位力もの可視光に対して 25%以上になる力、又は、得られる流 動体輸送管の外表面のうち可視光透過度が 25%以上である部分の面積が外表面 積全体の 90%以上になる範囲であればょ 、。
本発明の流動体輸送管における上記最内層（A)及び着色層（B)、並びに、所望に より積層させるガスバリア層（C)及び Z又は被覆層 (D)の積層方法としては、相対的 に外側に配置されることとなる外層と、相対的に内側に配置されることとなる内層との 積層の方法として、例えば、各層を別個に作製して外層の内部に内層を挿入する方 法、内層の上力ゝら熱収縮チューブである外層を被せる方法、外層の材料より内層の 材料の方が融点が高い場合においては内層チューブ上に電線被覆成形のようにク ロスヘッドを用 、て外層を溶融被覆させる方法、外層の材料として PVdF等の溶液化 可能なものを用いて 、る場合にぉ 、ては外層の材料を溶解した塗料に内層チュー ブを浸漬し適宜乾燥した後焼成する方法等も考えられるが、コストを抑え清浄度を高 く保っために同時多層成形法が一般的である。 本明細書において、上記「外層」は、内層なる語と組み合わせて用いられ、内層に対 して相対的に外にあり、内層に接することとなる層である。
[0043] 本発明の流動体輸送管は、着色層（B)の材料として溶融加工性ポリマーを用いてい るので、溶融力卩ェ性ポリマーカゝらなる材料を用いた溶融成形を経た後、又は、デイス パージヨン若しくは粉体塗料を塗布し焼成を経た後は、焼成前に溶融加工性ポリマ 一からなる粒子の形状が保たれていたとしてもその形状は通常消失する。着色層（B )は、特に最内層（A)と接し上記溶融加工性ポリマーとして溶融加工性含フッ素ポリ マーを用いたものである場合、最内層（A)との接着性が優れるので、剥離しにくい 2 層チューブを形成することができる。また、上記着色層（B)と上記最内層（A)との間 にガスノリア層（C)を積層した場合であっても、ガスノリア層（C)の材料として、最内 層 (A)との接着性、及び、着色層（B)との接着性を考慮したものを選択することにより 、剥離しにく 、3層チューブを形成することができる。
[0044] 本発明の流動体輸送管は、配管施工、修理等の目的で切断した際、上記流動体輸 送管の内部を流通する流動体に着色層（B)に含まれる顔料が切断面から混入しな いようにすることが好ましい。
流動体輸送管の切断面力 流動体への顔料の混入を防ぐ方法としては、例えば、流 動体輸送管の端部に流動体が直接接触しないような構造の継手を用いる力 直接流 動体輸送管の端部同士を溶着する方法等がある。上記「流動体が直接接触しないよ うな構造の継手を用いる方法」としては、例えば、特開平 05— 322091号公報に開示 された方法等が挙げられる。
[0045] 本発明の流動体輸送管は、流動体輸送管内を通過する流動体の種類を外部から目 視して認知するために用いることができる。
上記流動体の種類の認知は、本発明の流動体輸送管を用いることにより、流動体輸 送管の色又は模様によって行うことができる。従って、例えば、本発明の流動体輸送 管を 2本以上用いる場合、又は、本発明の流動体輸送管 1本以上と流動体を輸送す るためのその他の管 1本以上とを用いる場合、予めどのような色又は模様を付した本 発明の流動体輸送管に何の流動体を流通させるかを決めておくことにより、上記流 動体輸送管又は上記その他の管の外部、例えば監視モニター等の比較的離れた距 離力 でも、何れの流動体輸送管に何の流動体が流通しているかその種類を目視に より知ることができる。上記その他の管は、本発明の流動体輸送管とは異なる管であ ることが外部から目視により認知できれば、予め何の流動体を流通させるかを決めて おくことにより、上記その他の管内における流動体の種類を知ることができる。
本発明の流動体輸送管は、また、上述のように外部から管内部が見える視認性を有 するので、流動体自体の着色等の外見的特徴から、何の流動体であるかその種類を 知ることも可能となる場合がある。
上記流動体輸送管は、可視光透過度が高いので、流動体の流通状況の認知を外部 力も目視で容易に行うことができメンテナンス性を格段に向上することができる。
[0046] 本発明の流動体輸送管は、目視認知方法に好適に用いることができる。上記目視認 知方法は、流動体輸送管内を通過する流動体の種類及び Z又は流通状態を外部 力 目視して認知する方法であって、上記流動体輸送管は、上記本発明の流動体 輸送管であるものである。
[0047] 本発明の識別用流動体輸送管は、識別用流動体輸送管を上記識別用流動体輸送 管以外のその他の流動体輸送管から目視により識別するときに用いる上記識別用流 動体輸送管であって、上記識別用流動体輸送管は、上記本発明の流動体輸送管で あり、上記その他の流動体輸送管は、上記本発明の流動体輸送管であるか、又は、 流動体を輸送するためのその他の管であり、上記識別用流動体輸送管の色及び Z 又は模様は、上記その他の流動体輸送管の色及び Z又は模様と異なるものであるも のである。
本発明の識別用流動体輸送管は、上記その他の流動体輸送管力 識別可能であれ ば、上記その他の流動体輸送管と色又は模様の何れかが同じであってもよ 、。 本発明の識別用流動体輸送管は、着色層（B)を有するものであるので、本発明の識 別用流動体輸送管と識別する観点では、上記その他の流動体輸送管は必ずしも着 色して 、る必要はなく、外表面積全体につ!/、て透明であってもよ!/、。
[0048] 本発明の流動体輸送管は、流動体輸送管目視識別方法に好適に用いることができ る。上記流動体輸送管目視識別方法は、特定流動体輸送管を上記特定流動体輸送 管以外のその他の流動体輸送管から目視により識別する方法であって、上記特定流 動体輸送管は、上記本発明の流動体輸送管であり、上記その他の流動体輸送管は 、上記本発明の流動体輸送管であるか、又は、流動体を輸送するためのその他の管 であり、上記特定流動体輸送管の色及び Z又は模様は、上記その他の流動体輸送 管の色及び Z又は模様と異なるものであるものである。
[0049] 本発明の半導体類製造'処理装置は、半導体又は半導体周辺部材を製造するため の製造'処理装置と、上記製造'処理装置にて用いる薬液を輸送するための流動体 輸送管とからなり、上記流動体輸送管は上記本発明の流動体輸送管であるものであ る。本発明の半導体類製造 ·処理装置は、製造 ·処理装置として市場流通可能な最 小単位であってもよいし、上記最小単位の製造 ·処理装置が複数結合してなる複合 装置であってもよい。本発明の半導体類製造 ·処理装置は、後述の本発明の半導体 製造ラインシステムを構成する製造 ·処理装置が幾つかの巿場流通単位に分け得る ものである場合、上記巿場流通単位のうちの 1つとなり得るものであってもよい。
上記半導体類製造'処理装置としては、薬液を用いる装置であれば特に限定されず 、例えば、コーター、 CMP装置、洗浄装置等が挙げられる。
[0050] 本発明の半導体製造ラインシステムは、半導体又は半導体周辺部材を製造するため の製造'処理装置と、上記製造'処理装置にて用いる薬液を輸送するための上記流 動体輸送管とからなる製造ラインシステムである。本発明の半導体製造ラインシステ ムとしては、例えば、上述の半導体類製造 ·処理装置に属する製造 ·処理装置 2以上 力 なるもの、又は、上述の半導体類製造'処理装置と、薬液タンク、ポンプ等からな る薬液供給システムとを含むもの等が挙げられる。本発明の半導体製造ラインシステ ムは、製造工程における複数の製造'処理装置間、所望により更に上記薬液供給シ ステムを、上述の本発明の流動体輸送管によって繋いで得られるものを含む。
[0051] 本発明の液晶パネル製造 ·処理装置は、液晶パネルを製造するための製造 ·処理装 置と、上記製造 ·処理装置にて用いる薬液を輸送するための流動体輸送管とからなり 、上記流動体輸送管は、上記本発明の流動体輸送管であるものである。
本発明の液晶パネル製造 ·処理装置は、製造 ·処理装置として市場流通可能な最小 単位であってもよいし、上記最小単位の製造 ·処理装置が複数結合してなる複合装 置であってもよい。本発明の液晶パネル製造 ·処理装置は、後述の本発明の液晶パ ネル製造ラインシステムを構成する製造 ·処理装置が幾つかの巿場流通単位に分け 得るものである場合、上記巿場流通単位のうちの 1つとなり得るものであってもよい。
[0052] 本発明の液晶パネル製造ラインシステムは、液晶パネルを製造するための製造 '処 理装置と、上記製造'処理装置にて用いる薬液を輸送するための上記流動体輸送管 とカゝらなる製造ラインシステムである。本発明の液晶パネル製造ラインシステムとして は、例えば、上述の液晶パネル製造 ·処理装置に属する製造 ·処理装置 2以上から なるもの、又は、上述の液晶パネル製造'処理装置と、薬液タンク、ポンプ等力 なる 薬液供給システムとを含むもの等が挙げられる。本発明の液晶パネル製造ラインシス テムは、製造工程における複数の製造'処理装置間、所望により更に上記薬液供給 システムを、上述の本発明の流動体輸送管によって繋いで得られるものを含む。
[0053] 本発明の流動体輸送管は、上記半導体製造ラインシステム、液晶パネル製造システ ムのほか、流動体輸送管内部を流通する流動体の汚染防止が望まれる用途、例え ば、医薬品製造ラインシステム、飲食品製造ラインシステム等の用途にも好適に用い ることがでさる。
発明の効果
[0054] 本発明の流動体輸送管は、ある特定の流動体輸送管を目視により他の管力 容易 に識別でき、離れた距離力もでも内部の流動体の流動状況を視認でき、内部の流動 体を汚染しな ヽものとすることができる。
発明を実施するための最良の形態
[0055] 以下に実施例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定 されるものではない。
[0056] 実施例 1
最内層の材料として PFAペレット（商品名：ネオフロン PFA AP— 231SH、ダイキン 工業社製)を用い、また着色層の材料として PFAカラーペレット（商品名：ネオフロン PFA AP— 210RD、ダイキン工業社製）と上記 PFAペレットとを混合したもの（混合 質量比 PFAカラーペレット： PF Aペレット =49 : 1)を用意した。これらの材料を多層 押出機 (株式会社ブラ技研製）に投入し、 390°C、押出圧力 20MPaにて溶融押出を 行い、内径 22mm、最内層厚み 1. 45mm,外層（着色層）厚み 15— 80 m (平均 厚み 50 /z m)の 2層チューブを作製した。なお、上記平均厚みは lmのチューブから 任意に取り出した 10の断面を画像分析機によって評価し、その平均値を以つて平均 厚みと評価した。
次!、で以下の各種評価を行った。
液位確認試,験
得られたチューブの内部に液位が水平静置時にそれぞれ 3mm、 7mm, 12mmとな るよう 10質量％の塩酸水溶液を封入し、地面から 1. 5mの高さに水平静置した。この チューブから 3m離れた位置において、裸眼視力又は矯正視力が 0. 8以上の成人 男性 10人に対して液位の確認を求めたところ、その正答率は 100%であった。
τ祸, 诱渦 沏 I
得られたチューブについて、 200°Cに予熱した熱板（縦 200mm X横 200mm)、ス ぺーサ一（縦 200mm X横 20mm X厚さ 3mm)及び平板（縦 200mm X横 200mm X厚さ 5mm)を用い、上述した方法によりチューブ上に平板を載せて力 室温で 3時 間静置することにより冷却し、厚み 3mmの透過光強度測定用試料を作製し、直読へ イス、メーター (東洋精機製作所社製)を用いて ASTM D 1003に準拠して透過光 強度を測定した。上記透過光強度力 算出された可視光透過度は、 25%以上であ つた o
[0057] 実施例 2
顔料として、 PFAカラーペレット（商品名：ネオフロン PFA AP— 210BU)を用いたほ かは実施例 1と同様にして、 3mm厚みの透過光強度測定用試料を作製し、可視光 透過度測定を行ったところ、可視光透過度は、 25%以上であった。
[0058] 実施例 3
顔料として、 PFAカラーペレット（商品名：ネオフロン PFA AP— 210OR)を用いたほ かは実施例 1と同様にして、 3mm厚みの透過光強度測定用試料を作製し、可視光 透過度測定を行ったところ、可視光透過度は、 25%以上であった。
[0059] 実施例 4
最内層と着色層との間に厚み 0. 15mmのポリクロ口トリフルォロエチレン（商品名：ネ オフロン PCTFE M— 300PL、ダイキン工業社製)からなる層を設けたほかは実施 例 1と同様にして 3層チューブを作製した。これに 12N塩酸を 4LZ分にて流通させ、 色相測定を行ったところ、チューブの色相に 1ヶ月間変化は見られな力つた。なお、 チューブの色相は、カラーコンピュータ (商品名： SM— 7、スガ試験機社製)で評価し 、その数値変化率が 1. 0%未満であったときに色相に変化なしとした。
[0060] 比較例 1
着色層の原料として、 PFA (商品名： AP— 210、ダイキン工業社製） 100質量部に対 し酸化鉄系赤色顔料 (平均粒径 0. 17 m)を 35質量部混合し得られた顔料分散 P FAを用い、外径 25mm、内径 20mm、内層厚み 1. 2mmとしたほかは実施例 1と同 じ条件にて 2層チューブを作製した。該 2層チューブ力も得た 3mm厚みの透過光強 度測定用試料は、可視光透過度が全外周方位力 の可視光に対して 5%未満であ つた o
得られた 2層チューブにつ 、て、実施例 1と同様にして液位確認試験を行ったところ 、正答率は 11%であった。
[0061] 試験例 1
実施例 1にて得られた 2層チューブについて、実施例 4と同条件にて 12N塩酸を流 通させたところ、チューブの色相は 7日目に 3%以上の変化を示した。
この結果より、流動体輸送管は、ガスバリア層（C)を積層することにより着色層（B)に おける変色の防止が可能であることが分力つた。
産業上の利用可能性
[0062] 本発明の流動体輸送管は、上記本発明の流動体輸送管を含む 2本以上の輸送管が 製造処理装置や製造ラインシステム等に用いられる際に、各輸送管を流れる流動体 の種類の識別が必要な用途に適用することができる。

Claims

請求の範囲
[1] 溶融加工性含フッ素ポリマー層（A)と、着色溶融加工性ポリマー層（B)とを積層状に 有してなる流動体輸送管であって、
前記溶融加工性含フッ素ポリマー層（A)は、最内層であり、
前記流動体輸送管は、可視光透過度が全外周方位からの可視光に対して 25%以 上である
ことを特徴とする流動体輸送管。
[2] 溶融加工性含フッ素ポリマー層（A)と、着色溶融加工性ポリマー層（B)とを積層状に 有してなる流動体輸送管であって、
前記溶融加工性含フッ素ポリマー層（A)は、最内層であり、
前記流動体輸送管は、外表面のうち可視光透過度が 25%以上である部分の面積が 外表面積全体の 90%以上である
ことを特徴とする流動体輸送管。
[3] 溶融加工性含フッ素ポリマー層（A)は、テトラフルォロエチレン共重合体力もなるも のである請求項 1又は 2記載の流動体輸送管。
[4] 着色溶融加工性ポリマー層（B)は、テトラフルォロエチレン共重合体力 なり顔料を 分散させたものである請求項 1、 2又は 3記載の流動体輸送管。
[5] テトラフルォロエチレン共重合体は、テトラフルォロエチレン Zパーフルォロ（アルキ ルビ-ルエーテル)共重合体である請求項 3又は 4記載の流動体輸送管。
[6] 溶融加工性含フッ素ポリマー層（A)と着色溶融加工性ポリマー層（B)との間にガス バリア層（C)を有する請求項 1、 2、 3、 4又は 5記載の流動体輸送管。
[7] 流動体輸送管内を通過する流動体の種類を外部から目視して認知するために用い る請求項 1、 2、 3、 4、 5又は 6記載の流動体輸送管。
[8] 識別用流動体輸送管を前記識別用流動体輸送管以外のその他の流動体輸送管か ら目視により識別するときに用いる前記識別用流動体輸送管であって、
前記識別用流動体輸送管は、請求項 1、 2、 3、 4、 5又は 6記載の流動体輸送管であ り、
前記その他の流動体輸送管は、請求項 1、 2、 3、 4、 5又は 6記載の流動体輸送管で あるか、又は、流動体を輸送するためのその他の管であり、
前記識別用流動体輸送管の色及び Z又は模様は、前記その他の流動体輸送管の 色及び Z又は模様と異なるものであることを特徴とする識別用流動体輸送管。
[9] 半導体又は半導体周辺部材を製造するための製造 ·処理装置と、前記製造 ·処理装 置にて用いる薬液を輸送するための流動体輸送管とからなり、
前記流動体輸送管は、請求項 1、 2、 3、 4、 5又は 6記載の流動体輸送管である ことを特徴とする半導体類製造 ·処理装置。
[10] 半導体又は半導体周辺部材を製造するための製造 ·処理装置と、前記製造 ·処理装 置にて用いる薬液を輸送するための流動体輸送管とからなり、
前記流動体輸送管は、請求項 1、 2、 3、 4、 5又は 6記載の流動体輸送管である ことを特徴とする半導体製造ラインシステム。
[11] 液晶パネルを製造するための製造 ·処理装置と、前記製造 ·処理装置にて用いる薬 液を輸送するための流動体輸送管とからなり、
前記流動体輸送管は、請求項 1、 2、 3、 4、 5又は 6記載の流動体輸送管である ことを特徴とする液晶パネル製造'処理装置。
[12] 液晶パネルを製造するための製造'処理装置と、前記製造'処理装置にて用いる薬 液を輸送するための流動体輸送管とからなり、
前記流動体輸送管は、請求項 1、 2、 3、 4、 5又は 6記載の流動体輸送管である ことを特徴とする液晶パネル製造ラインシステム。
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