JPH06334466A - 弾性表面波装置 - Google Patents

弾性表面波装置

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JPH06334466A
JPH06334466A JP12235593A JP12235593A JPH06334466A JP H06334466 A JPH06334466 A JP H06334466A JP 12235593 A JP12235593 A JP 12235593A JP 12235593 A JP12235593 A JP 12235593A JP H06334466 A JPH06334466 A JP H06334466A
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JP
Japan
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surface acoustic
acoustic wave
piezoelectric substrate
converter
wave device
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JP12235593A
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English (en)
Inventor
平治 ▲高▼土
Heiji Takatsuchi
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 吸収帯の形成を容易に行うことのできる弾性
表面波装置を提供すること。 【構成】 圧電基板11の両端への吸収帯13の形成を
薄膜により行った。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波装置に関し、
特に弾性表面波共振器から漏れ出た不要波を吸収する構
造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の弾性表面波装置は、図4に示すよ
うに、長方形状の圧電基板41上に弾性表面波変換器4
2を形成して成る。このような弾性表面波装置では、弾
性表面波変換器42から漏れ出た不要波が表面波進行方
向に関して圧電基板41の端部で反射して振幅特性が歪
むなどの影響がある。この影響を無くす為に、圧電基板
41の端部にシリコーンなどの接着剤を塗布し、基板端
面での反射を防止し、不要波を吸収する吸収帯43を形
成していた。このような弾性表面波装置は、例えば実開
平1−64223号公報に示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、接着剤
塗布により吸収帯43を形成する弾性表面波装置では、
接着剤から発生されるガスによる周波数変動や接着剤固
化時の変形応力による周波数変動を伴い易い。また、製
造工程中でのアニール処理や、接着剤塗布作業において
多大な時間がかかる等の欠点があった。
【0004】それ故、本発明の課題は、吸収帯の形成を
容易に行うことのできる弾性表面波装置を提供すること
にある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波装置
は、圧電基板端部に不要波吸収帯(以下、単に吸収帯と
呼ぶ)形成のために塗布する接着剤の代わりに、膜形成
技術により吸収帯を形成したものである。
【0006】この吸収帯は、表面波の進行方向に関して
圧電基板の端部に向かって密になるように形成した円形
形状や多角形状の微小膜の集合体であることが好まし
い。
【0007】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図1は本発明の一実施例を示す弾性表面波チップで
あり、圧電基板11の上に弾性表面波変換器12が形成
されている。加えて、表面波の進行方向に関して圧電基
板1の両端部には、不要波吸収領域として薄膜による吸
収帯13を弾性表面波変換器12と同等の材質で形成し
ている。
【0008】特に、これらの吸収帯13は、図1のA部
を拡大して図2,図3に例示する如く、表面波の進行方
向に関して圧電基板1の端部に向って密になるように、
例えば直径5λ(λ:表面波の波長)以下の微小な円形
形状膜13−1(図2)や1辺が5λ以下の長さを有す
る二等辺三角形状膜13−2(図3)の集合体である。
これらの吸収帯薄膜はいわば、ドット状の集合膜であ
り、図2,図3に示した以外の多角形形状膜で構成して
も良い。
【0009】なお、図1の実施例は、トランスバーサル
型の構成であるが、他の構成の弾性表面波装置でも同等
の効果が得られることは言うまでもない。
【0010】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、従来の接
着剤塗布により形成される吸収帯に比べて、膜形成技術
により弾性表面波変換器の膜形成工程と同時に吸収帯を
作成することが可能になる為、接着剤塗布、焼付、アニ
ール等の工程が不要になり、大幅に工程を削減すること
ができる。また、弾性表面波変換器から漏れ出た不要波
は、圧電基板の端部で反射する前に吸収帯に導出され、
散乱されて反射のエネルギーが大幅に減衰される。結果
として、周波数特性が安定する等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す平面図である。
【図2】図1のA部の一例を拡大して示した図である。
【図3】図1のA部の他の例を拡大して示した図であ
る。
【図4】従来例を示す平面図である。
【符号の説明】
11,41 圧電基板 12,42 弾性表面波変換器 13,43 吸収帯

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 長方形状の圧電基板上に弾性表面波変換
    器を形成してなる弾性表面波装置において、該圧電基板
    両端に薄膜による吸収帯を形成したことを特徴とする弾
    性表面波装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の弾性表面波装置におい
    て、前記吸収帯は、表面波の進行方向に対し圧電基板の
    端部に向って密になる様に形成した円形形状や多角形形
    状のに微小膜の集合体であることを特徴とする弾性表面
    波装置。
JP12235593A 1993-05-25 1993-05-25 弾性表面波装置 Pending JPH06334466A (ja)

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Cited By (1)

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EP0414433A2 (en) * 1989-08-23 1991-02-27 Showa Aluminum Kabushiki Kaisha Duplex heat exchanger

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19981118