JPH06334466A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH06334466A JPH06334466A JP12235593A JP12235593A JPH06334466A JP H06334466 A JPH06334466 A JP H06334466A JP 12235593 A JP12235593 A JP 12235593A JP 12235593 A JP12235593 A JP 12235593A JP H06334466 A JPH06334466 A JP H06334466A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic wave
- piezoelectric substrate
- converter
- wave device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 吸収帯の形成を容易に行うことのできる弾性
表面波装置を提供すること。 【構成】 圧電基板１１の両端への吸収帯１３の形成を
薄膜により行った。
表面波装置を提供すること。 【構成】 圧電基板１１の両端への吸収帯１３の形成を
薄膜により行った。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波装置に関し、
特に弾性表面波共振器から漏れ出た不要波を吸収する構
造に関する。
特に弾性表面波共振器から漏れ出た不要波を吸収する構
造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の弾性表面波装置は、図４に示すよ
うに、長方形状の圧電基板４１上に弾性表面波変換器４
２を形成して成る。このような弾性表面波装置では、弾
性表面波変換器４２から漏れ出た不要波が表面波進行方
向に関して圧電基板４１の端部で反射して振幅特性が歪
むなどの影響がある。この影響を無くす為に、圧電基板
４１の端部にシリコーンなどの接着剤を塗布し、基板端
面での反射を防止し、不要波を吸収する吸収帯４３を形
成していた。このような弾性表面波装置は、例えば実開
平１−６４２２３号公報に示されている。
うに、長方形状の圧電基板４１上に弾性表面波変換器４
２を形成して成る。このような弾性表面波装置では、弾
性表面波変換器４２から漏れ出た不要波が表面波進行方
向に関して圧電基板４１の端部で反射して振幅特性が歪
むなどの影響がある。この影響を無くす為に、圧電基板
４１の端部にシリコーンなどの接着剤を塗布し、基板端
面での反射を防止し、不要波を吸収する吸収帯４３を形
成していた。このような弾性表面波装置は、例えば実開
平１−６４２２３号公報に示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、接着剤
塗布により吸収帯４３を形成する弾性表面波装置では、
接着剤から発生されるガスによる周波数変動や接着剤固
化時の変形応力による周波数変動を伴い易い。また、製
造工程中でのアニール処理や、接着剤塗布作業において
多大な時間がかかる等の欠点があった。
塗布により吸収帯４３を形成する弾性表面波装置では、
接着剤から発生されるガスによる周波数変動や接着剤固
化時の変形応力による周波数変動を伴い易い。また、製
造工程中でのアニール処理や、接着剤塗布作業において
多大な時間がかかる等の欠点があった。
【０００４】それ故、本発明の課題は、吸収帯の形成を
容易に行うことのできる弾性表面波装置を提供すること
にある。
容易に行うことのできる弾性表面波装置を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波装置
は、圧電基板端部に不要波吸収帯（以下、単に吸収帯と
呼ぶ）形成のために塗布する接着剤の代わりに、膜形成
技術により吸収帯を形成したものである。
は、圧電基板端部に不要波吸収帯（以下、単に吸収帯と
呼ぶ）形成のために塗布する接着剤の代わりに、膜形成
技術により吸収帯を形成したものである。
【０００６】この吸収帯は、表面波の進行方向に関して
圧電基板の端部に向かって密になるように形成した円形
形状や多角形状の微小膜の集合体であることが好まし
い。
圧電基板の端部に向かって密になるように形成した円形
形状や多角形状の微小膜の集合体であることが好まし
い。
【０００７】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例を示す弾性表面波チップで
あり、圧電基板１１の上に弾性表面波変換器１２が形成
されている。加えて、表面波の進行方向に関して圧電基
板１の両端部には、不要波吸収領域として薄膜による吸
収帯１３を弾性表面波変換器１２と同等の材質で形成し
ている。
る。図１は本発明の一実施例を示す弾性表面波チップで
あり、圧電基板１１の上に弾性表面波変換器１２が形成
されている。加えて、表面波の進行方向に関して圧電基
板１の両端部には、不要波吸収領域として薄膜による吸
収帯１３を弾性表面波変換器１２と同等の材質で形成し
ている。
【０００８】特に、これらの吸収帯１３は、図１のＡ部
を拡大して図２，図３に例示する如く、表面波の進行方
向に関して圧電基板１の端部に向って密になるように、
例えば直径５λ（λ：表面波の波長）以下の微小な円形
形状膜１３−１（図２）や１辺が５λ以下の長さを有す
る二等辺三角形状膜１３−２（図３）の集合体である。
これらの吸収帯薄膜はいわば、ドット状の集合膜であ
り、図２，図３に示した以外の多角形形状膜で構成して
も良い。
を拡大して図２，図３に例示する如く、表面波の進行方
向に関して圧電基板１の端部に向って密になるように、
例えば直径５λ（λ：表面波の波長）以下の微小な円形
形状膜１３−１（図２）や１辺が５λ以下の長さを有す
る二等辺三角形状膜１３−２（図３）の集合体である。
これらの吸収帯薄膜はいわば、ドット状の集合膜であ
り、図２，図３に示した以外の多角形形状膜で構成して
も良い。
【０００９】なお、図１の実施例は、トランスバーサル
型の構成であるが、他の構成の弾性表面波装置でも同等
の効果が得られることは言うまでもない。
型の構成であるが、他の構成の弾性表面波装置でも同等
の効果が得られることは言うまでもない。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、従来の接
着剤塗布により形成される吸収帯に比べて、膜形成技術
により弾性表面波変換器の膜形成工程と同時に吸収帯を
作成することが可能になる為、接着剤塗布、焼付、アニ
ール等の工程が不要になり、大幅に工程を削減すること
ができる。また、弾性表面波変換器から漏れ出た不要波
は、圧電基板の端部で反射する前に吸収帯に導出され、
散乱されて反射のエネルギーが大幅に減衰される。結果
として、周波数特性が安定する等の効果がある。
着剤塗布により形成される吸収帯に比べて、膜形成技術
により弾性表面波変換器の膜形成工程と同時に吸収帯を
作成することが可能になる為、接着剤塗布、焼付、アニ
ール等の工程が不要になり、大幅に工程を削減すること
ができる。また、弾性表面波変換器から漏れ出た不要波
は、圧電基板の端部で反射する前に吸収帯に導出され、
散乱されて反射のエネルギーが大幅に減衰される。結果
として、周波数特性が安定する等の効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す平面図である。
【図２】図１のＡ部の一例を拡大して示した図である。
【図３】図１のＡ部の他の例を拡大して示した図であ
る。
る。
【図４】従来例を示す平面図である。
１１，４１ 圧電基板 １２，４２ 弾性表面波変換器 １３，４３ 吸収帯
Claims (2)
- 【請求項１】 長方形状の圧電基板上に弾性表面波変換
器を形成してなる弾性表面波装置において、該圧電基板
両端に薄膜による吸収帯を形成したことを特徴とする弾
性表面波装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の弾性表面波装置におい
て、前記吸収帯は、表面波の進行方向に対し圧電基板の
端部に向って密になる様に形成した円形形状や多角形形
状のに微小膜の集合体であることを特徴とする弾性表面
波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12235593A JPH06334466A (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12235593A JPH06334466A (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06334466A true JPH06334466A (ja) | 1994-12-02 |
Family
ID=14833865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12235593A Pending JPH06334466A (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06334466A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0414433A2 (en) * | 1989-08-23 | 1991-02-27 | Showa Aluminum Kabushiki Kaisha | Duplex heat exchanger |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS542333B2 (ja) * | 1973-03-15 | 1979-02-06 | ||
| JPS59210715A (ja) * | 1984-04-16 | 1984-11-29 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
| JPS62161209A (ja) * | 1986-01-10 | 1987-07-17 | Daiwa Shinku Kogyosho:Kk | 弾性表面波装置 |
| JPH05110375A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波回路装置 |
-
1993
- 1993-05-25 JP JP12235593A patent/JPH06334466A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS542333B2 (ja) * | 1973-03-15 | 1979-02-06 | ||
| JPS59210715A (ja) * | 1984-04-16 | 1984-11-29 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
| JPS62161209A (ja) * | 1986-01-10 | 1987-07-17 | Daiwa Shinku Kogyosho:Kk | 弾性表面波装置 |
| JPH05110375A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波回路装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0414433A2 (en) * | 1989-08-23 | 1991-02-27 | Showa Aluminum Kabushiki Kaisha | Duplex heat exchanger |
| EP0414433B1 (en) * | 1989-08-23 | 1995-05-24 | Showa Aluminum Kabushiki Kaisha | Duplex heat exchanger |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19981118 |