JPS6161512A - 弾性表面波共振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、圧電性基板上に設けられた電極と反射器から
成る弾性表面波共振装置に関する。

〔発明の背景〕

従来の弾性表面波共振装置のスプリアス抑圧方法として
は、特開昭５８−１９０１４号公報に記載のように、弾
性表面波反射器上に吸音材層を設け、反射波の不要な成
分を除去し共振装置の特性を改善する方法が用いられて
いた。

この方法により、弾性表面波反射器に表面波の進行方向
に対しである角度を持って入射する不要な表面波は、反
射器に表面波が入射あるいは反射器から反射する際に吸
音材層により吸収あるいは減衰するために、弾性表面波
装置のスプリアスをなくすことができる。特に前記特許
の第５図に示される塗布形状では良好な効果が得られて
いる。

しかしこの方法ではホトリソグラフ工程後、あらたに吸
音材層を金属膜ｌこよる反射器上に形成しなければなら
ず、量産性に関しては考慮されていなかった。さらに反
射器部分に金属ストリップを用いた場合、金属ストリッ
プ部分と金属ストリップのない基板面とでの熱膨張係数
が異なるため、吸音材層の剥離等が発生し、信頼性にお
いての問題点が残っていた。

又、電極構成により不要波を抑圧する方法としては、特
開昭５８−８４５１７号公報に記載のように、電極指対
の交差部分の電極指幅を変える方法があるが、これはく
し形電極の電極部と間隔部の音響インピーダンスとの差
から生ずる音響的反射と、くし形電極の電気的な再励起
により生ずる電気的反射波とを相殺して、帯域内に発生
するトリプルトランシットエコーを抑圧するものであり
、本発明における共振装置のスプＩ　　　　リアス抑圧
方法とは大きく異なる。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、前記した従来技術の欠点をなくし、量
産性の良い弾性表面波共振装置を提供することにある。

〔発明の概要〕

上記目的を達成するために本発明においては、反射器部
分の金属ストリップあるいは溝によって不要な反射波を
抑圧する様にした。すなわち吸音材層を設けて不要な反
射波を抑圧するかわりに、従来吸音材層を設けていた反
射器部分の金属ストリップあるいは溝の形成周期を、音
響的反射波の発生しない周期とする。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を図により説明する。

図において１は圧電性基板、２はくし形電極。

３．４は金属ス）　ＩＪツブからなる反射器部分を示し
ている。これは通常−開口型の弾性表面波共振装置と呼
ばれている。。

又、図において金属ストリップの各々の間隔λ０．λｌ
、λ２は弾性表面波装置の共振周波数ｆＯに対する波長
で示しておりλｏ＝ｖ／ｆｏ　（ｖ　＝基板の音速）で
ある。又λ１けλｏ　／　４であり、λ２はほぼλｏ　
／　８である。

弾性表面波共振装置が、くし形電極２で発生する表面波
を反射器部分３，４で反射さぜ定在波共振を行わせくし
形電極２で再び電気信号に変換して発振させる事は良く
知られており、その発振周波数が金属ストリップの間隔
λｌで決まる事は公知である。ところで金属ストリップ
の間隔をλ２におくと隣接する金属ストリップでの音響
的反射波は互いに打ち消しあうため、２２部分での表面
波の反射は起らない。すなわち、反射器部分の構成を図
に示す様な、λｌの間隔とλ２の間隔を持つ金属ストリ
ップを純み合せて用いる事によって、従来性われている
吸音材層と同様な効果を狙ったものである。図において
金属ス）　ＩＪツブ間隔λｌの反射器部分においては、
反射された表面波が互いζこ加わり合ってくし形電極２
に達するために共振装置となるが、金属ストリップ間隔
λ２の反射器部分では隣り合う電極同志の反射波が打ち
消されるために表面波が櫛形電極２に達しない。この事
は弾性表面波共振装置において従来性われている吸音材
層部分で反射波をなくす事と同様の効果が得られる。

本発明によれば、ホトリックラフ工程において不要な反
射波を抑圧する金属ストＩＪツブ（間隔：λ２）の作成
が、定在波を発生させる金属ストリップ（間隔部λｌ）
の作成と同時に行えるため量産性にすぐれ、又吸音材層
の形成ミス、吸音材層の剥離等もない事から歩留りや信
稙性の向上の効果も得ら第１．る。

〔発明の効果〕

本発明によｉｔば、−回のホトリソグラフ工程で従来の
吸音材層による不要波抑圧と同様な効果を持つ不要反射
波抑圧用の金属ス）ＩＪツブが作成でき、特に量産性に
対する改善度は大きい。

又吸音材層の形成においてマスクあるいはスクリーン等
による吸音材層の位置すれかなく、さらに吸音材層の剥
離等もない事がら歩留り、信頼性の向上も行える。

尚、図では一開口型の共振装置に関して述べているが、
反射器を用いる筒底で与えられる弾性表面波共振装置（
例えば二開ロ型等）においても本発明が適用できる。又
λ２幅の電極と２１幅の電極との境界部分を結ぶ線が図
に示した様な直線形状である必要は無く、不要反射波の
発生部分および共振装置の応答波形に応じて隋円形状あ
るいは放物線形状にしても良い事は言うまでもない。さ
らに、従来の弾性表面波装置に用いられている様に、基
板の端部もしく（′は基板の周辺部全部に吸音材を設け
ても良い、っ

【図面の簡単な説明】

図は本発明による弾性表面波共振装置の一実施例を示す
平面内である。 １・・・圧電性基板 ２・・・入出力電極 ５．４・・・反射器

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、圧電性基板と、該基板上に少なくとも一個の櫛型電
   極からなる変換器と、該変換器の弾性表面波伝搬方向に
   設けられ、一対以上の金属ストリップあるいは溝によつ
   て構成された反射器部分から成る弾性表面波共振装置に
   おいて、該反射器部分の少なくとも一つの金属ストリッ
   プあるいは溝の幅が、該金属ストリップあるいは溝の一
   部分において異なる事を特徴とする弾性表面波共振装置
   。 ２、金属ストリップあるいは溝から成る反射器部分が、
   くし形電極からなる変換器に向つて開いたＶ字もしくは
   Ｕ字形状を有する事を特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載の弾性表面波共振装置。 ５、反射部分における金属ストリップあるいは溝の幅の
   一部分がほぼλ＿０／８である事を特徴とする特許請求
   の範囲第１項又は第２項記載の弾性表面波共振装置。 ただし、λ＿０は該弾性表面波共振装置の中心周波数に
   おける波長である。