JPH05110375A - 弾性表面波回路装置 - Google Patents
弾性表面波回路装置Info
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- JPH05110375A JPH05110375A JP26953991A JP26953991A JPH05110375A JP H05110375 A JPH05110375 A JP H05110375A JP 26953991 A JP26953991 A JP 26953991A JP 26953991 A JP26953991 A JP 26953991A JP H05110375 A JPH05110375 A JP H05110375A
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- acoustic wave
- comb
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 表面波弾性波回路において、不要波の吸収を
効率良くほぼ完全に吸収する。 【構成】 電波が入力電極１に入力され、櫛歯電極６
で、GND５との間の電波の強さに応じて、音波に変換、
発生させて、出力櫛歯電極の方向vBと圧電性基板２の端
部の方向ｖAとの二方向に伝搬する。端部の方向に伝搬
した音波ｖAは不要波であるが、吸音材４により吸収さ
れる。そこで吸収しきれなかった音波は吸音材３で吸収
される。吸音材４は多数列となるように配置してあるの
で、最初の吸音材で吸収しきれなかった音波はその後の
吸音材で吸収される。吸音材は三角形の形なので、音波
vAは、吸音材４により櫛歯電極の方向には反射されな
い。別の方向に反射されるのであるが、そこには別の三
角形の吸音材があり、吸収される。
効率良くほぼ完全に吸収する。 【構成】 電波が入力電極１に入力され、櫛歯電極６
で、GND５との間の電波の強さに応じて、音波に変換、
発生させて、出力櫛歯電極の方向vBと圧電性基板２の端
部の方向ｖAとの二方向に伝搬する。端部の方向に伝搬
した音波ｖAは不要波であるが、吸音材４により吸収さ
れる。そこで吸収しきれなかった音波は吸音材３で吸収
される。吸音材４は多数列となるように配置してあるの
で、最初の吸音材で吸収しきれなかった音波はその後の
吸音材で吸収される。吸音材は三角形の形なので、音波
vAは、吸音材４により櫛歯電極の方向には反射されな
い。別の方向に反射されるのであるが、そこには別の三
角形の吸音材があり、吸収される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、弾性表面波回路装置
に用いるもので、その圧電性基板の不要波の吸収を効率
良くし、櫛歯電極の静電気破壊を防止し、スプリアスの
発生を防止した装置に関するものである。
に用いるもので、その圧電性基板の不要波の吸収を効率
良くし、櫛歯電極の静電気破壊を防止し、スプリアスの
発生を防止した装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図６は例えば特開昭57-199315に記載さ
れている弾性表面波回路装置の正面図である。図におい
て、１は入力電極、２は弾性表面波を伝搬させる圧電性
基板、３は例えばシリコン系樹脂やエポキシ系樹脂から
なる吸音材、５は入力GND、６は櫛歯電極である。
れている弾性表面波回路装置の正面図である。図におい
て、１は入力電極、２は弾性表面波を伝搬させる圧電性
基板、３は例えばシリコン系樹脂やエポキシ系樹脂から
なる吸音材、５は入力GND、６は櫛歯電極である。
【０００３】次に動作について説明する。入力電極１に
電波が入力され、櫛歯電極６で、入力GND５との電波の
強さに応じて、音波を変換、発生させて、出力櫛歯電極
の方向ｖBと圧電性基板２の端部の方向ｖAとの二方向に
伝搬する。端部の方向に伝搬した音波ｖAは不要波であ
るが、吸音材３が無ければ端部で反射し、元の方向へ反
射して来る。そして基本波と干渉して通過帯域内でのリ
ップル等の悪影響を及ぼす。このため素子板端部での反
射を防ぎ、端部で不要音波を吸収する必要がある。その
方法として吸音材３を塗布しておき、その不要波を吸収
する。しかしその形状が、図の様に距離aの長さで、間
隔bの形状にすれば、効率良く吸収できる。但しこれは
ある周波数の場合に有効であり、その寸法と少し異なる
ものがくれば完全に吸収できず、スプリアスを発生させ
る原因にもなる。
電波が入力され、櫛歯電極６で、入力GND５との電波の
強さに応じて、音波を変換、発生させて、出力櫛歯電極
の方向ｖBと圧電性基板２の端部の方向ｖAとの二方向に
伝搬する。端部の方向に伝搬した音波ｖAは不要波であ
るが、吸音材３が無ければ端部で反射し、元の方向へ反
射して来る。そして基本波と干渉して通過帯域内でのリ
ップル等の悪影響を及ぼす。このため素子板端部での反
射を防ぎ、端部で不要音波を吸収する必要がある。その
方法として吸音材３を塗布しておき、その不要波を吸収
する。しかしその形状が、図の様に距離aの長さで、間
隔bの形状にすれば、効率良く吸収できる。但しこれは
ある周波数の場合に有効であり、その寸法と少し異なる
ものがくれば完全に吸収できず、スプリアスを発生させ
る原因にもなる。
【０００４】図９は例えば日刊工業新聞社発行”表面波
デバイスとその応用”電子材料工業編の138ヘ゜ーシ゛の図2.
1に記載されている弾性表面波回路装置の正面図と横断
面図である。図において、１〜６は第６図と同一又は相
当部を、８はベース、９は吸音材を示す。
デバイスとその応用”電子材料工業編の138ヘ゜ーシ゛の図2.
1に記載されている弾性表面波回路装置の正面図と横断
面図である。図において、１〜６は第６図と同一又は相
当部を、８はベース、９は吸音材を示す。
【０００５】次に動作について説明する。電波が入力電
極１に入力され、櫛歯電極６で、GND５との電波の強さ
に応じて、音波を変換、発生させて、出力櫛歯電極の方
向ｖBと圧電性基板２の端部の方向ｖAとの二方向に伝搬
する。端部の方向に伝搬した音波ｖAは不要波である
が、吸音材９が無ければ端部で反射し、元の方向へ反射
して来る。そして基本波と干渉して通過帯域内でのリッ
プル等の悪影響を及ぼす。このため素子板端部での反射
を防ぎ、端部で不要音波を吸収する必要がある。その方
法として吸音材９を塗布しておき、その不要波を吸収す
る。一方、各製造工程にて、例えばエッチング等の工程
で、圧電性基板２は静電気を発生させる。これが櫛歯電
極６の電極線路間で、静電気破壊が発生する。これによ
り、歩留まりが悪くなる。特に1GHz以上の高周波数にな
ると、電極幅と間隔が１μ以下になり、静電気破壊を起
こし易くなり、さらに歩留まりが悪くなる。
極１に入力され、櫛歯電極６で、GND５との電波の強さ
に応じて、音波を変換、発生させて、出力櫛歯電極の方
向ｖBと圧電性基板２の端部の方向ｖAとの二方向に伝搬
する。端部の方向に伝搬した音波ｖAは不要波である
が、吸音材９が無ければ端部で反射し、元の方向へ反射
して来る。そして基本波と干渉して通過帯域内でのリッ
プル等の悪影響を及ぼす。このため素子板端部での反射
を防ぎ、端部で不要音波を吸収する必要がある。その方
法として吸音材９を塗布しておき、その不要波を吸収す
る。一方、各製造工程にて、例えばエッチング等の工程
で、圧電性基板２は静電気を発生させる。これが櫛歯電
極６の電極線路間で、静電気破壊が発生する。これによ
り、歩留まりが悪くなる。特に1GHz以上の高周波数にな
ると、電極幅と間隔が１μ以下になり、静電気破壊を起
こし易くなり、さらに歩留まりが悪くなる。
【０００６】図１３は例えば電子通信学会発行の■弾性
表面波工学■ 柴山幹夫監修の中のP183,図1.5に記載さ
れている弾性表面波回路装置の正面図と横断面図であ
り、図１４は、図１３中Ａ部分の拡大図である。図にお
いて、１０は出力電極、１１は出力GNDである。
表面波工学■ 柴山幹夫監修の中のP183,図1.5に記載さ
れている弾性表面波回路装置の正面図と横断面図であ
り、図１４は、図１３中Ａ部分の拡大図である。図にお
いて、１０は出力電極、１１は出力GNDである。
【０００７】次に動作について説明する。入力電極１に
入力された電波は、櫛歯電極６のパターンにより音波ｖ
に変換され伝搬する。音波ｖは出力櫛歯電極６により、
電波に変換されて、出力電極１０により出力となって出
て行く。入力櫛歯電極６の各位置での電波から音波に変
換されたものは、各櫛歯電極６の下を伝搬する。音波は
この電極の金属の下を伝搬するときの速度と、電極が無
い自由空間を伝搬するときの速度は異なる。それは即ち
金属があるところと、無いところとの境目で、音波の反
射が発生することになる。従来は、この反射の影響を無
くす為に、ダブル電極にしていた。具体的には、音波で
の波長λの間に電極を２本挿入する。そうすることによ
り、最初での反射は大きさがα1であるとすると、最初
の金属を伝搬した後に次の自由空間と次の金属での反射
の大きさが、同じとするとα1の大きさで、位相差がλ/
2で１８０度の位相差ができる。これにより打ち消し合
い、あたかも反射が無い様に見える。次に金属のあると
ころから、次の自由空間出る時の反射も同様に、反射の
大きさは、α2であり、次の電極のあるところから、自
由空間になるところの反射の大きさはα2で、λ/2の位
相差が発生し、１８０度異なっているので、打ち消し合
う。この様にダブル電極にすると、あたかも反射が無い
様に見える。しかし、同じ大きさで無ければ打ち消し合
わないので、大きさが異なると、反射が少し残り発生す
る。又ある一点の周波数では位相差が１８０度になる
が、少しずれた所での周波数では、位相差は１８０度か
らずれて、打ち消し合う事ができなくなる。周波数の帯
域が余り広く取れない事になる。また、1GHzぐらいの高
周波になると、ダブル電極なので、パターン幅と間隔
が、１μ以下となり、製造誤差が厳しいものとなり、歩
留まりが悪くなる。これに比べて、シングル電極の場合
には、λ（波長）間には、１本の電極であるが、この場
合には、反射がλの位相差が、即ち３６０度の位相差が
発生するので、強め合う事になる。そのかわり、電極の
幅と間隔が、ダブル電極の場合に比べて、２倍取れる事
になり、製造誤差に対して余裕度ができる事になる。
入力された電波は、櫛歯電極６のパターンにより音波ｖ
に変換され伝搬する。音波ｖは出力櫛歯電極６により、
電波に変換されて、出力電極１０により出力となって出
て行く。入力櫛歯電極６の各位置での電波から音波に変
換されたものは、各櫛歯電極６の下を伝搬する。音波は
この電極の金属の下を伝搬するときの速度と、電極が無
い自由空間を伝搬するときの速度は異なる。それは即ち
金属があるところと、無いところとの境目で、音波の反
射が発生することになる。従来は、この反射の影響を無
くす為に、ダブル電極にしていた。具体的には、音波で
の波長λの間に電極を２本挿入する。そうすることによ
り、最初での反射は大きさがα1であるとすると、最初
の金属を伝搬した後に次の自由空間と次の金属での反射
の大きさが、同じとするとα1の大きさで、位相差がλ/
2で１８０度の位相差ができる。これにより打ち消し合
い、あたかも反射が無い様に見える。次に金属のあると
ころから、次の自由空間出る時の反射も同様に、反射の
大きさは、α2であり、次の電極のあるところから、自
由空間になるところの反射の大きさはα2で、λ/2の位
相差が発生し、１８０度異なっているので、打ち消し合
う。この様にダブル電極にすると、あたかも反射が無い
様に見える。しかし、同じ大きさで無ければ打ち消し合
わないので、大きさが異なると、反射が少し残り発生す
る。又ある一点の周波数では位相差が１８０度になる
が、少しずれた所での周波数では、位相差は１８０度か
らずれて、打ち消し合う事ができなくなる。周波数の帯
域が余り広く取れない事になる。また、1GHzぐらいの高
周波になると、ダブル電極なので、パターン幅と間隔
が、１μ以下となり、製造誤差が厳しいものとなり、歩
留まりが悪くなる。これに比べて、シングル電極の場合
には、λ（波長）間には、１本の電極であるが、この場
合には、反射がλの位相差が、即ち３６０度の位相差が
発生するので、強め合う事になる。そのかわり、電極の
幅と間隔が、ダブル電極の場合に比べて、２倍取れる事
になり、製造誤差に対して余裕度ができる事になる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の弾
性表面波回路装置では、不要波を効率良く吸収させる事
ができないので、スプリアスを発生させる原因になった
りした。
性表面波回路装置では、不要波を効率良く吸収させる事
ができないので、スプリアスを発生させる原因になった
りした。
【０００９】第１の発明は上記のような問題点を解消す
る為になされたもので、効率良く不要波を吸収する事が
できるので、スプリアスなどを発生させない。
る為になされたもので、効率良く不要波を吸収する事が
できるので、スプリアスなどを発生させない。
【００１０】また、従来の弾性表面波回路装置では、静
電気破壊により歩留まりが悪くなるという問題点があっ
た。
電気破壊により歩留まりが悪くなるという問題点があっ
た。
【００１１】第２の発明は上記のような問題点を解消す
る為になされたもので、静電気破壊を防止できる上に、
同時に不要波を吸収する事ができる。
る為になされたもので、静電気破壊を防止できる上に、
同時に不要波を吸収する事ができる。
【００１２】また、上記のような従来の弾性表面波回路
装置では、周波数が中心周波数からずれると、スプリア
スなどを発生させる事となり、特性の劣化となる。また
高周波になると、ダブル電極の場合には、パターン幅と
間隔が１μ以下となり、製造上厳しい事になり、歩留ま
りが悪くなるなどの問題点があった。
装置では、周波数が中心周波数からずれると、スプリア
スなどを発生させる事となり、特性の劣化となる。また
高周波になると、ダブル電極の場合には、パターン幅と
間隔が１μ以下となり、製造上厳しい事になり、歩留ま
りが悪くなるなどの問題点があった。
【００１３】第３の発明は上記のような問題点を解消す
る為になされたもので、スプリアスの発生を抑制し、高
周波数に於いても、シングル電極でできるので、ダブル
電極の場合に比べて、２倍の製造の余裕度をもたす事を
目的とする。
る為になされたもので、スプリアスの発生を抑制し、高
周波数に於いても、シングル電極でできるので、ダブル
電極の場合に比べて、２倍の製造の余裕度をもたす事を
目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】この発明に係る弾性表面
波回路装置は、吸音材を弾性表面波の伝搬方向に対して
傾斜した面を持たせ、かつ複数列になるように構成した
ものであり、特に吸音材の形状を入力櫛歯電極側に頂点
がくるような三角形にした。
波回路装置は、吸音材を弾性表面波の伝搬方向に対して
傾斜した面を持たせ、かつ複数列になるように構成した
ものであり、特に吸音材の形状を入力櫛歯電極側に頂点
がくるような三角形にした。
【００１５】また、吸音材の密度を入力櫛歯電極から離
れるにしたがって高くしたものである。
れるにしたがって高くしたものである。
【００１６】さらに吸音材の膜厚を入力櫛歯電極から離
れるにしたがって厚くしたものである。
れるにしたがって厚くしたものである。
【００１７】第２の発明に係る弾性表面波回路装置は、
櫛歯電極の電極の一部と、アースの一部とにまたがっ
て、静電気防止用吸音材を一様に塗布した。
櫛歯電極の電極の一部と、アースの一部とにまたがっ
て、静電気防止用吸音材を一様に塗布した。
【００１８】さらに基板とその下部に設けられたベース
とを接着性を有する静電気防止用吸音材により接着し
た。
とを接着性を有する静電気防止用吸音材により接着し
た。
【００１９】第３の発明に係る弾性表面波回路装置は、
誘電性の低い材質からなる基板上に入出力の櫛歯電極を
設け、前記櫛歯電極に対して隙間を有するように圧電性
基板を設けたものである。
誘電性の低い材質からなる基板上に入出力の櫛歯電極を
設け、前記櫛歯電極に対して隙間を有するように圧電性
基板を設けたものである。
【００２０】また、誘電性の低い材質からなる基板を分
割し、各基板に入力又は出力の櫛歯電極を設置したもの
である。
割し、各基板に入力又は出力の櫛歯電極を設置したもの
である。
【００２１】さらに前記基板上に弾性表面波回路以外の
回路を設けたものである。
回路を設けたものである。
【００２２】
【作用】この発明においては、吸音材を弾性表面波の伝
搬方向に対して傾斜させたので、圧電性基板と吸音材の
界面における反射波が入力櫛歯電極に帰らず、また、複
数列としたことで後列からの反射が前列により吸収され
るため、不要波の吸収を効率良く、ほぼ完全に行えるの
でスプリアスの発生を防止できる。特に吸音材の形状を
入力櫛歯電極側を頂点とする三角形とすると効果が高ま
る。
搬方向に対して傾斜させたので、圧電性基板と吸音材の
界面における反射波が入力櫛歯電極に帰らず、また、複
数列としたことで後列からの反射が前列により吸収され
るため、不要波の吸収を効率良く、ほぼ完全に行えるの
でスプリアスの発生を防止できる。特に吸音材の形状を
入力櫛歯電極側を頂点とする三角形とすると効果が高ま
る。
【００２３】吸音材の密度を変化させることで、表面弾
性波の反射波が少なくなり、また、反射しても入力櫛歯
電極に近い吸音材により吸収されることになる。
性波の反射波が少なくなり、また、反射しても入力櫛歯
電極に近い吸音材により吸収されることになる。
【００２４】入力櫛歯電極に近い吸音材は薄く構成され
ているので、弾性表面波の反射が少ない一方、入力櫛歯
電極から離れるにしたがって厚くなっているので反射波
の吸収を効率をより良く、ほぼ完全に行えるのでスプリ
アスの発生を防止できる。
ているので、弾性表面波の反射が少ない一方、入力櫛歯
電極から離れるにしたがって厚くなっているので反射波
の吸収を効率をより良く、ほぼ完全に行えるのでスプリ
アスの発生を防止できる。
【００２５】第２の発明においては、静電気の発生を防
止できる上に、同時に不要波の吸収をもできる。
止できる上に、同時に不要波の吸収をもできる。
【００２６】また、静電気の発生を防止できる上に、同
時に不要波の吸収を、さらに弾性表面波回路の基板をそ
の下の保持しているベースへも取付が同時にできる。
時に不要波の吸収を、さらに弾性表面波回路の基板をそ
の下の保持しているベースへも取付が同時にできる。
【００２７】第３の発明に係る弾性表面波回路装置は、
電極を圧電性基板の上に、作っていないので、圧電性基
板の上を伝搬する音波は、影響を受けず、反射を発生さ
せない。よってスプリアスなどが発生しない。
電極を圧電性基板の上に、作っていないので、圧電性基
板の上を伝搬する音波は、影響を受けず、反射を発生さ
せない。よってスプリアスなどが発生しない。
【００２８】電極を各々別々に作ったので、スプリアス
を発生させない上に、遅延時間の調整をできる利点があ
る。
を発生させない上に、遅延時間の調整をできる利点があ
る。
【００２９】ガラス材質の上に種々の回路を作ってお
き、弾性表面波回路が必要なところを、圧電性基板を密
接させて、その部分を弾性表面波回路化できる。
き、弾性表面波回路が必要なところを、圧電性基板を密
接させて、その部分を弾性表面波回路化できる。
【００３０】
【実施例】実施例１.以下第１の発明の一実施例を図に
ついて説明する。図１において、１〜３、５、６は、従
来例と同一又は相当部を示し、４は吸音材である。
ついて説明する。図１において、１〜３、５、６は、従
来例と同一又は相当部を示し、４は吸音材である。
【００３１】次に動作について説明する。入って来た入
力電波が入力電極１に入り、櫛歯電極６で、GND５との
間の電波の強さに応じて、音波に変換、発生させて、出
力櫛歯電極の方向ｖBと圧電性基板２の端部の方向ｖAと
の二方向に伝搬する。端部の方向に伝搬した音波ｖAは
不要波であるが、吸音材４により吸収される。そこで吸
収しきれなかった音波は吸音材３で吸収される。吸音材
４は、間隔をおいて配置してあるので、最初の吸音材で
吸収しきれなかった音波はその後の吸音材で吸収され
る。最後まで残ったものは、吸音材３で吸収される。吸
音材は三角形の形なので、音波ｖAは、吸音材４で入力
櫛歯電極の方向には反射されない。別の方向に反射され
るのであるが、そこには別の三角形の吸音材があり、吸
収される。このようにして多くの吸音材があるので、ほ
ぼ完全に吸収できる事になる。本実施例では、各吸音材
の配列は、幾何学的に後列において反射された波は前列
の後面で吸収されることとなっているが、これに限られ
るものではなく、種々の波の合成等を考慮してより効率
よく吸収するものをも含まれる。
力電波が入力電極１に入り、櫛歯電極６で、GND５との
間の電波の強さに応じて、音波に変換、発生させて、出
力櫛歯電極の方向ｖBと圧電性基板２の端部の方向ｖAと
の二方向に伝搬する。端部の方向に伝搬した音波ｖAは
不要波であるが、吸音材４により吸収される。そこで吸
収しきれなかった音波は吸音材３で吸収される。吸音材
４は、間隔をおいて配置してあるので、最初の吸音材で
吸収しきれなかった音波はその後の吸音材で吸収され
る。最後まで残ったものは、吸音材３で吸収される。吸
音材は三角形の形なので、音波ｖAは、吸音材４で入力
櫛歯電極の方向には反射されない。別の方向に反射され
るのであるが、そこには別の三角形の吸音材があり、吸
収される。このようにして多くの吸音材があるので、ほ
ぼ完全に吸収できる事になる。本実施例では、各吸音材
の配列は、幾何学的に後列において反射された波は前列
の後面で吸収されることとなっているが、これに限られ
るものではなく、種々の波の合成等を考慮してより効率
よく吸収するものをも含まれる。
【００３２】実施例２.他として実施例で、吸音材２の
形を円形にしたものを図２に示す。これによれば、どち
らの方向からの反射波にも対処できる事を特徴とした。
形を円形にしたものを図２に示す。これによれば、どち
らの方向からの反射波にも対処できる事を特徴とした。
【００３３】実施例３.図３のように吸音材４の形をド
ットタイプの点形にしてもよい。これにより、きめ細か
に吸収できるので効率良く対処できる事を特徴とした。
この場合、吸音材４はランダムに配置されており、特定
の周波数のみ吸収するという、いわゆる吸収の周波数依
存がなくなり、全周波数に対して均一に吸収することが
できる。しかしながら、吸音材４自体の形状は、三角
形、円形、点形に限らず、弾性表面波の伝搬方向に対し
て、傾斜した面を有していればよい。係る傾斜により、
反射波が入力櫛歯電極に戻らないからである。一方、各
実施例における吸音材はすべて、同一形状となっていた
が、これに限らず、異なる形状、大きさのものが含まれ
ていてもよい。また、この実施例では、基板の端部に吸
音材を位置したが、場合によっては、基板中央部に設け
てもよく、その位置は限定しない。
ットタイプの点形にしてもよい。これにより、きめ細か
に吸収できるので効率良く対処できる事を特徴とした。
この場合、吸音材４はランダムに配置されており、特定
の周波数のみ吸収するという、いわゆる吸収の周波数依
存がなくなり、全周波数に対して均一に吸収することが
できる。しかしながら、吸音材４自体の形状は、三角
形、円形、点形に限らず、弾性表面波の伝搬方向に対し
て、傾斜した面を有していればよい。係る傾斜により、
反射波が入力櫛歯電極に戻らないからである。一方、各
実施例における吸音材はすべて、同一形状となっていた
が、これに限らず、異なる形状、大きさのものが含まれ
ていてもよい。また、この実施例では、基板の端部に吸
音材を位置したが、場合によっては、基板中央部に設け
てもよく、その位置は限定しない。
【００３４】実施例４.図５及び図６に示すような弾性
表面波回路装置では、入力櫛歯電極に近い吸音材は薄く
構成されているので、弾性表面波の反射が少ない一方、
入力櫛歯電極から離れるにしたがって厚くなっているの
で反射波の吸収を良く、ほぼ完全に行えるのでスプリア
スの発生を効果的に防止できる。
表面波回路装置では、入力櫛歯電極に近い吸音材は薄く
構成されているので、弾性表面波の反射が少ない一方、
入力櫛歯電極から離れるにしたがって厚くなっているの
で反射波の吸収を良く、ほぼ完全に行えるのでスプリア
スの発生を効果的に防止できる。
【００３５】実施例５.以下第２の発明の一実施例を図
について説明する。図７において、１〜６は従来例と同
一又は相当部を、７は静電気防止用吸音材、８はベース
である。静電気防止用吸音材には、例えば、樹脂の内部
と表面に導電性を持つ特殊な高分子で微細な回路が形成
されたものである。
について説明する。図７において、１〜６は従来例と同
一又は相当部を、７は静電気防止用吸音材、８はベース
である。静電気防止用吸音材には、例えば、樹脂の内部
と表面に導電性を持つ特殊な高分子で微細な回路が形成
されたものである。
【００３６】次に動作について説明する。電波が入力電
極１に入力され、櫛歯電極６で、入力GND５との電波の
強さに応じて、音波を変換、発生させて、出力櫛歯電極
の方向ｖBと圧電性基板２の端部の方向ｖAとの二方向に
伝搬する。端部の方向に伝搬した音波ｖAは不要波であ
るが、静電気防止用吸音材（接着剤）７で吸収される。
又各製造工程にて、例えばエッチング等の工程で、圧電
性基板２は静電気を発生させる。これが櫛歯電極６の電
極線路間で、静電気破壊が発生する。ここでは、入力電
極を伸ばしてその一部に、静電気防止用吸音材（接着
剤）を塗布して、それを伸ばし、アース電極の一部を伸
ばしたところまでに塗布して、入力電極とアース電極間
に発生する静電気を、放電させて静電気破壊を防止す
る。
極１に入力され、櫛歯電極６で、入力GND５との電波の
強さに応じて、音波を変換、発生させて、出力櫛歯電極
の方向ｖBと圧電性基板２の端部の方向ｖAとの二方向に
伝搬する。端部の方向に伝搬した音波ｖAは不要波であ
るが、静電気防止用吸音材（接着剤）７で吸収される。
又各製造工程にて、例えばエッチング等の工程で、圧電
性基板２は静電気を発生させる。これが櫛歯電極６の電
極線路間で、静電気破壊が発生する。ここでは、入力電
極を伸ばしてその一部に、静電気防止用吸音材（接着
剤）を塗布して、それを伸ばし、アース電極の一部を伸
ばしたところまでに塗布して、入力電極とアース電極間
に発生する静電気を、放電させて静電気破壊を防止す
る。
【００３７】実施例６.図８に示すように、静電気防止
用吸音材（接着剤）７を、基板２をその下のベース８に
も、塗布する事により、弾性表面波回路の基板を、ベー
スに同時に取付られることを特徴とした。
用吸音材（接着剤）７を、基板２をその下のベース８に
も、塗布する事により、弾性表面波回路の基板を、ベー
スに同時に取付られることを特徴とした。
【００３８】実施例７.第３の発明の一実施例を図につ
いて説明する。図１０において、１〜１１は、従来例と
同一又は相当部を、１２は保持層、１３は基板を示す。
いて説明する。図１０において、１〜１１は、従来例と
同一又は相当部を、１２は保持層、１３は基板を示す。
【００３９】次に動作について説明する。入力電極１に
入って来た電波は、スルホールを介在して、裏側の電極
へつながり、入力GND５もスルホールを通じて裏面へ通
じて、櫛歯電極６のパターンに、即ち電極とGND間に電
界を生じる。この時に、保持層１２で、少し隙間を開け
て、圧電性基板２を、密接させる。基板１３の比誘電率
を小さくしておき、例えば石英であれば１０ぐらいであ
る。圧電性基板２の比誘電率は普通４５ぐらいであるの
で、櫛歯電極６より発生する電界は、比誘電率の大きい
方に左右される。その電界の大きいところの、圧電性基
板２の方に、音波ｖに変換され伝搬する。音波ｖは出力
櫛歯電極６により、入力と同じ様に、入力の逆の動作に
より、密接に近接している基板１３の電極の櫛歯電極６
の電波に変換されて、スルホールを介在して、出力電極
１０により出力となって出て行く。入力櫛歯電極６の各
位置での電波から音波に変換されたものは、電極が付い
ていないので、電極が無い自由空間を伝搬するので、音
波の速度はどこも同じである。音波の反射が発生しない
ことになる。この反射の影響が無い為、ダブル電極にす
る必要が無く、シングル電極で行ける事になる。周波数
の帯域を広くとる事ができる。又高周波になり、1GHzぐ
らいになっても、シングル電極であれば、パターン幅と
間隔が、2μぐらいの寸法精度で良いので、製造しやす
くなる。1μぐらいの製造能力があれば、2GHzぐらいま
で、設計、製作ができる。
入って来た電波は、スルホールを介在して、裏側の電極
へつながり、入力GND５もスルホールを通じて裏面へ通
じて、櫛歯電極６のパターンに、即ち電極とGND間に電
界を生じる。この時に、保持層１２で、少し隙間を開け
て、圧電性基板２を、密接させる。基板１３の比誘電率
を小さくしておき、例えば石英であれば１０ぐらいであ
る。圧電性基板２の比誘電率は普通４５ぐらいであるの
で、櫛歯電極６より発生する電界は、比誘電率の大きい
方に左右される。その電界の大きいところの、圧電性基
板２の方に、音波ｖに変換され伝搬する。音波ｖは出力
櫛歯電極６により、入力と同じ様に、入力の逆の動作に
より、密接に近接している基板１３の電極の櫛歯電極６
の電波に変換されて、スルホールを介在して、出力電極
１０により出力となって出て行く。入力櫛歯電極６の各
位置での電波から音波に変換されたものは、電極が付い
ていないので、電極が無い自由空間を伝搬するので、音
波の速度はどこも同じである。音波の反射が発生しない
ことになる。この反射の影響が無い為、ダブル電極にす
る必要が無く、シングル電極で行ける事になる。周波数
の帯域を広くとる事ができる。又高周波になり、1GHzぐ
らいになっても、シングル電極であれば、パターン幅と
間隔が、2μぐらいの寸法精度で良いので、製造しやす
くなる。1μぐらいの製造能力があれば、2GHzぐらいま
で、設計、製作ができる。
【００４０】実施例８.なお上記実施例では入出力電極
を同じ基板１３で製作したのであるが、図１１に示すよ
うに入出力電極を別々の１３a,１３bの基板に設けても
よい。この構成をとることにより入出力の間隔を調整し
て、遅延時間などを可変できる。また、圧電性基板２と
基板１３の距離を調節することにより、入力電波と出力
電波の変換効率を変えることができる。
を同じ基板１３で製作したのであるが、図１１に示すよ
うに入出力電極を別々の１３a,１３bの基板に設けても
よい。この構成をとることにより入出力の間隔を調整し
て、遅延時間などを可変できる。また、圧電性基板２と
基板１３の距離を調節することにより、入力電波と出力
電波の変換効率を変えることができる。
【００４１】実施例９.なお上記実施例では圧電性基板
２をベースに、外部より電界を与えて、表面波弾性波を
発生させ、伝搬させたのであるが、図１２に示すように
基板１３をベースに高周波回路を構成し、表面弾性波を
必要とするところに、圧電性基板を近づけて、上記と同
じ様にして、基板１３のベースでの櫛歯電極６による電
界で、圧電性基板２に、音波を発生、伝搬させて、回路
を構成する。但し、ベースに構成した回路は高周波回路
に限られず、その他の回路を構成してもよい。
２をベースに、外部より電界を与えて、表面波弾性波を
発生させ、伝搬させたのであるが、図１２に示すように
基板１３をベースに高周波回路を構成し、表面弾性波を
必要とするところに、圧電性基板を近づけて、上記と同
じ様にして、基板１３のベースでの櫛歯電極６による電
界で、圧電性基板２に、音波を発生、伝搬させて、回路
を構成する。但し、ベースに構成した回路は高周波回路
に限られず、その他の回路を構成してもよい。
【００４２】
【発明の効果】第１の発明においては、吸音材を弾性表
面波の伝搬方向に対して傾斜させ、複数列としたこと
で、不要波の吸収を効率良く、ほぼ完全に行えるのでス
プリアスの発生を防止できる。特に吸音材の形状を入力
櫛歯電極側を頂点とする三角形とすると効果が高まる。
面波の伝搬方向に対して傾斜させ、複数列としたこと
で、不要波の吸収を効率良く、ほぼ完全に行えるのでス
プリアスの発生を防止できる。特に吸音材の形状を入力
櫛歯電極側を頂点とする三角形とすると効果が高まる。
【００４３】吸音材の密度を変化させることで、表面弾
性波の反射波が少なくなり、また、反射しても入力櫛歯
電極に近い吸音材により吸収されることになる。
性波の反射波が少なくなり、また、反射しても入力櫛歯
電極に近い吸音材により吸収されることになる。
【００４４】入力櫛歯電極に近い吸音材は薄く構成され
ているので、弾性表面波の反射が少ない一方、入力櫛歯
電極から離れるにしたがって厚くなっているので反射波
の吸収を効率良く、ほぼ完全に行えるのでスプリアスの
発生を防止できる。
ているので、弾性表面波の反射が少ない一方、入力櫛歯
電極から離れるにしたがって厚くなっているので反射波
の吸収を効率良く、ほぼ完全に行えるのでスプリアスの
発生を防止できる。
【００４５】第２の発明では、静電気防止用吸音材を塗
布したので、静電気の発生を防止できる上に、同時に不
要波の吸収をもできる。
布したので、静電気の発生を防止できる上に、同時に不
要波の吸収をもできる。
【００４６】さらに弾性表面波回路の基板を、ベースに
同時に取付られる。
同時に取付られる。
【００４７】第３の発明によれば、音波が伝搬するとこ
ろは、電極が無い自由空間でるので、金属による反射が
無くなり、スプリアスの少ない高性能のものを得ること
ができる。
ろは、電極が無い自由空間でるので、金属による反射が
無くなり、スプリアスの少ない高性能のものを得ること
ができる。
【００４８】また、電極の位置をずらすことができるの
で、遅延時間を調整する事ができるので、スプリアスの
少ない高性能のものを得る事ができ、しかも調整でき
る。
で、遅延時間を調整する事ができるので、スプリアスの
少ない高性能のものを得る事ができ、しかも調整でき
る。
【００４９】さらに、他の回路を普通の基板に組んでお
き、表面弾性波回路を必要とするところに、圧電性基板
を隙間を隔てて、設置すれば表面弾性波回路とその他の
回路の複合回路が実現できる。
き、表面弾性波回路を必要とするところに、圧電性基板
を隙間を隔てて、設置すれば表面弾性波回路とその他の
回路の複合回路が実現できる。
【図１】第１の発明の一実施例による弾性表面波回路装
置を示す正面図である。
置を示す正面図である。
【図２】第１の発明の他の実施例による弾性表面波回路
装置を示す正面図である。
装置を示す正面図である。
【図３】第１の発明の他の実施例による弾性表面波回路
装置を示す正面図である。
装置を示す正面図である。
【図４】第１の発明の他の実施例による弾性表面波回路
装置を示す側面図である。
装置を示す側面図である。
【図５】第１の発明の他の実施例による弾性表面波回路
装置を示す側面図である。
装置を示す側面図である。
【図６】従来例による弾性表面波回路装置を示す正面図
である。
である。
【図７】第２の発明の一実施例による弾性表面波回路装
置を示す正面図と横断面図である。
置を示す正面図と横断面図である。
【図８】第２の発明の他の実施例による弾性表面波回路
装置を示す正面図と横断面図である。
装置を示す正面図と横断面図である。
【図９】従来例による弾性表面波回路装置を示す正面図
と横断面図である。
と横断面図である。
【図１０】第３の発明の一実施例による弾性表面波回路
装置を示す正面図と横断面図である。
装置を示す正面図と横断面図である。
【図１１】第３の発明の一実施例による弾性表面波回路
装置を示す正面図と横断面図である。
装置を示す正面図と横断面図である。
【図１２】第３の発明の一実施例による弾性表面波回路
装置を示す正面図と横断面図である。
装置を示す正面図と横断面図である。
【図１３】従来の弾性表面波回路装置を示す正面図と横
断面図である。
断面図である。
【図１４】従来の弾性表面波回路装置を示す拡大図であ
る。
る。
１ 入力電極 ２ 圧電性基板 ３ 吸音材 ４ 吸音材 ５ 入力GND ６ 櫛歯電極 ７ 静電気防止用吸音材（接着剤） ８ ベース ９ 吸音材 １０ 出力電極 １１ 出力GND １２ 保持層 １３ 基板
Claims (9)
- 【請求項１】 入力櫛歯電極と、前記櫛歯電極から発生
する弾性表面波を伝搬させる圧電性基板と、前記弾性表
面波を吸収する吸音材とを備えた弾性表面波回路装置に
おいて、前記吸音材は、前記弾性表面波の伝搬方向に対
して傾斜した面を持ち、かつ複数列からなることを特徴
とする弾性表面波回路装置。 - 【請求項２】 前記吸音材は入力櫛歯電極側を頂点とす
る三角形であることを特徴とする請求項１記載の弾性表
面波回路装置。 - 【請求項３】 入力櫛歯電極と、前記櫛歯電極から発生
する弾性表面波を伝搬させる圧電性基板と、前記弾性表
面波を吸収する吸音材とを備えた弾性表面波回路装置に
おいて、前記圧電性基板上における前記吸音材の密度
は、前記櫛歯電極から離れるにしたがって高いことを特
徴とする弾性表面波回路装置。 - 【請求項４】 入力櫛歯電極と、前記櫛歯電極から発生
する弾性表面波を伝搬させる圧電性基板と、前記弾性表
面波を吸収する吸音材とを備えた弾性表面波回路装置に
おいて、前記吸音材の膜厚は、前記櫛歯電極から離れる
にしたがって厚いことを特徴とする弾性表面波回路装
置。 - 【請求項５】 入力櫛歯電極と、前記櫛歯電極から発生
する弾性表面波を伝搬させる圧電性基板と、前記弾性表
面波を吸収する吸音材とを備えた弾性表面波回路装置に
おいて、前記吸音材は、静電気防止用素材からなり、か
つ前記入力櫛歯電極の電極とアースとを接続しているこ
とを特徴とする弾性表面波回路装置。 - 【請求項６】 前記吸音材は、接着性を有し、前記圧電
性基板と前記圧電性基板の下部に設けられたベースとを
接着することを特徴とする請求項５記載の弾性表面波回
路装置。 - 【請求項７】 誘電性の低い材質からなる基板と、前記
基板上に設けられた入出力の櫛歯電極と、前記櫛歯電極
に対して隙間を有するように設けられかつ前記櫛歯電極
から発生する弾性表面波を伝搬させる圧電性基板とを備
えた弾性表面波回路装置。 - 【請求項８】 誘電性の低い材質からなる第１及び第２
の基板と、前記第１の基板上に設けられた入力の櫛歯電
極と、前記第２の基板上に設けられた出力の櫛歯電極
と、前記入出力の櫛歯電極に対して隙間を有するように
設けられかつ前記櫛歯電極から発生する弾性表面波を伝
搬させる圧電性基板とを備えた弾性表面波回路装置。 - 【請求項９】 前記誘電性の低い材質からなる基板上に
弾性表面波回路以外の回路部分を有することを特徴とす
る請求項７又は請求項８記載の弾性表面波回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26953991A JPH05110375A (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | 弾性表面波回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26953991A JPH05110375A (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | 弾性表面波回路装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05110375A true JPH05110375A (ja) | 1993-04-30 |
Family
ID=17473792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26953991A Pending JPH05110375A (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | 弾性表面波回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05110375A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06334466A (ja) * | 1993-05-25 | 1994-12-02 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
| JP2008224601A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Olympus Corp | 攪拌装置及び自動分析装置 |
| JP2017015606A (ja) * | 2015-07-02 | 2017-01-19 | 多摩川精機株式会社 | 弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造、および加速度センサ |
| CN109462384A (zh) * | 2018-12-28 | 2019-03-12 | 河北时硕微芯科技有限公司 | 一种声表滤波器及制作方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50120795A (ja) * | 1974-03-08 | 1975-09-22 | ||
| JPS5260547A (en) * | 1975-11-14 | 1977-05-19 | Toshiba Corp | Elastic surface wave absorber |
| JPS53109457A (en) * | 1977-03-07 | 1978-09-25 | Hitachi Ltd | Element for elastic surface wave propagation |
| JPS5412545A (en) * | 1977-06-30 | 1979-01-30 | Toshiba Corp | Absorbing body for elstic surface wave element |
| JPS5591852A (en) * | 1978-12-30 | 1980-07-11 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Hybrid semiconductor device containing elastic surface wave element |
| JPS5974719A (ja) * | 1982-09-23 | 1984-04-27 | シ−メンス・アクチエンゲゼルシヤフト | 表面波フイルタおよびその製造方法 |
-
1991
- 1991-10-17 JP JP26953991A patent/JPH05110375A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS50120795A (ja) * | 1974-03-08 | 1975-09-22 | ||
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| JPS5974719A (ja) * | 1982-09-23 | 1984-04-27 | シ−メンス・アクチエンゲゼルシヤフト | 表面波フイルタおよびその製造方法 |
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| JP2008224601A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Olympus Corp | 攪拌装置及び自動分析装置 |
| WO2008114854A1 (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Olympus Corporation | 攪拌装置及び自動分析装置 |
| JP2017015606A (ja) * | 2015-07-02 | 2017-01-19 | 多摩川精機株式会社 | 弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造、および加速度センサ |
| CN109462384A (zh) * | 2018-12-28 | 2019-03-12 | 河北时硕微芯科技有限公司 | 一种声表滤波器及制作方法 |
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