JPH06331647A

JPH06331647A - 半導体加速度センサおよび製造方法

Info

Publication number: JPH06331647A
Application number: JP12235693A
Authority: JP
Inventors: Keizo Yamada; 恵三山田
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1993-05-25
Filing date: 1993-05-25
Publication date: 1994-12-02
Anticipated expiration: 2015-12-25
Also published as: JP3119542B2

Abstract

(57)【要約】【目的】半導体加速度センサの感度較正方法およびセ
ンサ構成法を提供し、センサのパーフォーマンスを高め
る。【構成】半導体加速度センサ内部にセンサ較正データ
記録領域２を有し、較正データが蓄えられる。ここには
感度、オフセット、各々の値の温度係数などが記録され
ている。このデータは半導体加速度センサシステム内に
ある信号処理回路１に導かれて、半導体加速度センサの
較正演算に利用される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体加速度センサに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】現在、半導体加速度センサは大量に生産
され実用に供されている。半導体加速度センサはアナロ
グ出力を発生する機能を有したデバイスであり、入力さ
れた加速度に比例した大きさの電圧を発生する。通常、
半導体加速度センサは振動のセンサとして使用されてい
るが、その出力感度はできあがったデバイス毎に異なっ
ているため、実際の加速度に対応させるためには何等か
の較正をする必要があった。

【０００３】従来、加速度センサはピエゾ圧電方式など
に代表されるように、ＡＣの出力のみを出力するセンサ
が利用されていたため、加速度の出力を較正するために
は、実際にセンサを加振器で加振して感度を測定し、そ
の感度に基づいて出力感度を補正している。図１１は、
センサパッケージ１０４に納められた従来の半導体加速
度センサを示している。一般に、感度補正は半導体加速
度センサ素子１０１に併設して設けられた演算増幅器１
０２の増幅度を変化させることによって行われている。
通常は、演算増幅器に併設されたフィードバック抵抗１
０３をレーザートリマーで焼き切って抵抗値を合わせる
手法、あるいはＳＡＥｐａｐｅｒ９１０２７４に見ら
れるようにゼナーダイオードを利用した小規模抵抗アレ
ーを利用して抵抗値を設定することが行われている。図
中、１０５はセンサ出力を示している。

【０００４】図１２に、ＳＡＥｐａｐｅｒ９１０２７
４に見られるようにゼナーダイオードを利用した小規模
抵抗アレーを利用して抵抗値を設定する例を示した。加
速度検出素子（加速度センサチップ）１１１から出力さ
れた信号は併設された検出加速度１１２およびトリミン
グ回路１１３を含む別の半導体チップに導かれる。全体
はパッケージ１１４に納められている。なお図中、１１
５はパッドを示している。

【０００５】従来は、使用状態にある半導体センサを個
別に管理するという概念はなく、破壊が起こって初めて
それに対する処置がとられていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の加速度センサ感
度較正手法では、加速度センサに振動を与えることが必
要で非常に手間がかかるという課題があった。較正デー
タを抵抗値で記録しているため、加速度センサの較正は
アナログ的になり、安定性を欠くという問題があった。
ゼナーザッパを利用した場合には較正そのものはデジタ
ル的に行われるが、本質的にはアナログ技術であり、ゼ
ナーを介して抵抗がぶら下がっているため、ゼナーの温
度特性や、リーク電流などが変動し設定誤差になる。

【０００７】また、一般に従来の加速度センサの較正は
センサ素子の内部のみで行われており、システムに載せ
た後に再度較正を必要とすることを考えると、二度手間
となりパーフォーマンスが劣るという問題があった。

【０００８】更に、センサの較正情報を外に取り出すこ
とができないので、外部で高度な演算を施してセンサの
特性を向上させるなどの手段を採用することができない
問題があった。

【０００９】センサの電源はセンサを動作させるために
必要であるが、従来は電線でつなぐ必要があり、センサ
からの出力線が多くなりかつ電源にノイズが乗るとその
ノイズがセンサの特性を悪化させるなどの問題があっ
た。

【００１０】加速度センサは長期的に利用されるためそ
の性能を管理する必要があるが、現在の加速度センサで
は管理性能は十分でないという問題があった。

【００１１】本発明の目的は、このような問題を解決し
た半導体加速度センサおよび製造方法を提供することに
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の半導体加速度セ
ンサは、感度の値を記録した領域を有し、この領域は電
気信号によって、書換え可能である。

【００１３】また、半導体加速度センサあるいは加速度
センサ応用システム内に記録された、半導体加速度セン
サの電気的特性情報に基づいて、演算を施し半導体加速
度センサの出力特性を補正する手段を有することができ
る。

【００１４】また、半導体加速度センサ内にデジタル記
録された感度情報に基づいて、半導体加速度センサの感
度を補償可能な手段を有することができる。

【００１５】また、半導体加速度センサ内に記録された
基準加速度に対する比感度情報に基づいて、半導体加速
度センサの感度を補償可能な手段を有することができ
る。

【００１６】また、デジタル出力の半導体加速度センサ
と、デジタル演算を施して半導体加速度センサの特性を
補正する手段とを有することができる。

【００１７】また、半導体加速度センサの電気特性を近
似できる関数の係数を記録した領域を有することができ
る。

【００１８】また、与えられる近似式の係数情報に基づ
いて、センサの特性を較正できる手段とを有することが
できる。

【００１９】また、半導体加速度センサの感度の温度特
性、周波数特性、オフセット、オフセットの温度特性の
うち少なくとも１つの情報を記録した領域、あるいは、
半導体加速度センサの最大破壊強度、製造年月日、シリ
アルナンバーのうち少なくとも１つの情報を記録した領
域を有することができる。

【００２０】また、基準加速度を越えた加速度が半導体
加速度センサに印加された回数を自動的に記録可能な手
段を有することができる。

【００２１】また、半導体加速度センサが使用された時
間、あるいは通電された量に比例した値を記録可能な手
段を有することができる。

【００２２】また、センサのスペックなどのセンサ固有
の情報を、シリアルデータに変換する手段と、センサの
スペックなどのセンサ固有の情報を、外部に取り出すた
めの出力ポートとを有することができる。

【００２３】また、半導体加速度センサの出力電圧をデ
ジタル化されたシリアルデータに変換する手段と、シリ
アルデータを取り出すための出力ポートとを有し、デジ
タル出力ポートの出力形態が光強度あるいは波長の変調
によることができる。

【００２４】また、外部からの光エネルギーを、半導体
加速度センサを動作させるための電力に変換する手段を
有することができる。

【００２５】また、入力加速度をデジタル信号に変換
し、加速度を検出する加速度検出手段と、前記加速度検
出手段の出力に基づき、センサの特性を補償する処理を
行う手段と、少なくとも１Ｇ，−１Ｇ，０Ｇのうち１つ
の加速度を加えたときの感度データを記録させた較正デ
ータ記録手段とを有することができる。

【００２６】また本発明の半導体加速度センサの製造方
法によれば、加速度を検出可能センサ装置を製造する最
小限の工程を終えた後に、少なくとも半導体加速度セン
サに１Ｇ，−１Ｇ，０Ｇのうち１つの加速度を加える工
程を含み、その状態でセンサから出力される出力電圧の
電圧値を、センサに設けられた記憶素子に記録する工程
を含んでいる。

【００２７】

【作用】半導体加速度センサの感度は通常アナログ電圧
で出力されているが、その出力をＡＤ変換することによ
り、デジタル信号に変換することが可能である。

【００２８】また、発振器形式のセンサでは出力が周波
数に比例するので、適当な波形整形器を通すことで、デ
ジタル化された信号を得ることができる。デジタル信号
はコンピュータで任意に処理可能であり、半導体加速度
センサの有する非直線特性の逆演算を行うことで半導体
加速度センサの特性を補正するような演算を施すことが
可能である。従って、従来の感度補正方法に見られるよ
うに、半導体加速度センサ内部にある演算増幅器のフィ
ードバック抵抗の値を直接変化させなくても、感度を補
正することができる。

【００２９】また、半導体加速度センサの情報として、
感度、その温度特性、オフセット、オフセットの温度特
性あるいは周波数特性を持つことによって、半導体加速
度センサの特性をそれらのパラメータを利用して演算を
施すことにより特性を補償して、広い範囲で高精度の測
定を可能にできる。

【００３０】また、それらの特性は通常、近似式で与え
ることが可能であるので、その係数を記録することで半
導体加速度センサあるいは半導体加速度システムに記録
すべきデータの量を減らすことができる。特に、近似式
はベキ乗の多項式で表すことが一般的であるが、精度に
合わせて項数を選択することで、任意の精度の補償を可
能にできる。

【００３１】また、加速度センサの電気的特性以外の値
である、半導体加速度センサの破壊強度、保証上限加速
度、製造年月日、シリアルナンバー、使用経過量を同様
に記録可能であるので、これらの値をシステムが引き出
して利用することにより、センサの保守点検の情報を得
ることができる。

【００３２】また、外部の機械がこれらの情報を活用す
るために、これらの情報を外部に取り出す必要がある
が、適当な外部出力ポートを設けることにより可能とな
る。これらの出力は本来最小限必要とされる半導体加速
度センサの出力に対して余分なものなので、そのポート
は小規模であることが必要で、本発明では、内部にデー
タをシリアルデータに変換する変換器を設けて、１ビッ
トの情報とし、１ビットのシリアルポートを介して外部
とやり取りを行う。較正用のデータが１ビットで通信さ
れる際には、半導体加速度センサの出力データそのもの
も１ビットで扱えると大きなシステムを作る際には便利
である。

【００３３】光通信はセンサが使用される過酷な環境下
での通信手段として非常に優れている。従って、半導体
加速度センサに発光素子を備えることで、光ファイバー
１ビットによるデータ通信を行うことは非常に高信頼の
ネットワークを構築できる。

【００３４】一般に、半導体加速度センサは動作のため
に電力を必要とするが、そのために新たに電線を設ける
のは繁雑である。そこで半導体光電池を設けて通信用の
光エネルギー源として使用することによって、電気を直
接与えなくてもセンサを駆動できる。

【００３５】

【実施例】

（実施例１）図１に本発明の第１の実施例を示した。図
中、１は信号処理回路、２はセンサ較正データ記録領
域、３は加速度検出領域、４はリム、５は加速度センサ
チップ、６はセンサ出力、７はデジタルデータバスであ
る。

【００３６】この半導体加速度センサは内部にセンサ較
正データ記録領域２を構成するＥＥＰＲＯＭを有し、較
正データが蓄えられるようになっている。ここには感
度、オフセット、各々の値の温度係数などが記録されて
いる。このデータは半導体加速度センサシステム内にあ
る信号処理回路１を構成するコンピュータに導かれて、
半導体加速度センサの較正演算に利用される。記録され
るデータは特性の基準条件におけるセンサの出力であ
る。

【００３７】本実施例では従来の較正法のように、回路
の定数を直接変更する手続であるような、演算増幅器の
フィードバック抵抗の値を変更したりしないので、較正
は半導体加速度センサの初期電気特性に影響を全く与え
ることなく実施可能である。また、ＥＥＰＲＯＭなど書
き換え可能なＲＯＭを利用しているので、較正データを
いつでも必要な時に書き換えることが可能である。

【００３８】加速度センサの感度補正データとしては、
単位加速度当たりに生じる半導体加速度センサの出力電
圧の他に、特定の半導体加速度センサ応用システムにお
ける基準出力電圧に対する比率を記録しておいてもよ
い。この基準値と実際に測定された値の間には一定の関
係があるので、その関係を用いてデジタル演算を施すこ
とで、検出電圧を標準状態における加速度センサの出力
に変換することができる。

【００３９】（実施例２）図２に半導体加速度センサの
電気特性情報を、半導体加速度センサシステム内に持っ
た場合について示した。図中、２１は信号処理回路、２
２はセンサ較正データ記録領域、２３は加速度センサ、
２４は電源回路、２５は制御回路（マイクロコンピュー
タ）を示す。

【００４０】元々、半導体加速度センサシステムはＥＥ
ＰＲＯＭ領域を有するマイクロコンピュータ２５を外部
装置の制御を行うために有していることが多いので、こ
のＥＥＰＲＯＭを利用した形態を示している。

【００４１】（実施例３）図３には半導体加速度センサ
に、印加された加速度が特定の加速度を越えた場合にそ
の回数をカウントするような機能を有した半導体加速度
センサを示している。図中、３１は信号処理回路、３２
はセンサ較正データ記録領域、３３は加速度検出領域、
３４は電圧比較器およびカウンター、３５はセンサ出
力、３６はデジタルデータバス、３７は加速度センサチ
ップである。

【００４２】この半導体加速度センサは、加速度センサ
の出力電圧を特定の出力電圧と比較する比較器を持って
いる。その比較器はしきい値を越えた際にパルスを発生
する機能を有している。このパルスは、カウンターに導
かれカウンターを１つずつカウントアップする。このカ
ウントはコンピュータに行わせてもよい。また、センサ
に備えられた温度計を利用して特定の温度範囲を越えた
回数を記録したり、センサに加えられた温度衝撃回数を
記録することもできる。

【００４３】（実施例４）図４は半導体加速度センサの
出力データおよび較正データをシリアル化されたデジタ
ル情報に変換する装置を付加したものを示している。図
中、４１は信号処理回路、４２はセンサ較正データ記録
領域、４３は加速度検出領域、４４はデータシリアル変
換回路、４５は加速度センサチップ、４６はセンサ出
力、４７はデジタルデータバスである。

【００４４】このデータシリアル変換回路４４を利用す
ることによって、センサの出力信号およびセンサの較正
情報を１ビットのデジタル情報に変換できる。

【００４５】（実施例５）図５は、センサの出力あるい
はスペックを外部に取り出すための出力ポートを持った
半導体加速度センサを示している。図中、５１はセンサ
スペック取り出し用シリアルポート、５２はアナログ信
号出力端子を示している。

【００４６】この出力ポートはセンサのアナログ出力と
併設する場合にはその個数が少ない方がよいので、本実
施例では、１ビットのポートを設けた例を示している。
このポートからシリアルデータに変換された半導体加速
度センサの感度、あるいは較正情報が外部に取り出され
る。この情報を利用することで、センサの状態を知るこ
とも可能であり、保守点検に利用できる。

【００４７】（実施例６）図６には外部からの光エネル
ギーを電気エネルギーに変換するための変換器を有して
いる半導体加速度センサを示した。図中、６１は光入出
力ポート、６２はフォトダイオード、６３はセンサ回
路、６４は液晶シャッター、６５はハーフミラーであ
る。

【００４８】入力される信号は通常光パルスであるが、
そのパルスをフォトダイオードあるいは太陽電池で受け
て、コンデンサに充電することでシステムが動作するた
めに必要とされる電力を得ている。センサの駆動電流は
ＣＭＯＳ型であれば数μワットと小さいので、充分に駆
動可能である。当然パルスの交流成分は外部コンピュー
タからの通信情報を持っているので、パルスの交流成分
は情報として使用される。この情報にはセンサの割り付
け番地やセンサからの出力センサ設定情報などが含まれ
ている。

【００４９】半導体加速度センサからも光情報を帰す必
要があるが、２つの方法が考えられる。１つは半導体加
速度センサ内に発光素子を設けて発光させる場合と、も
う１つは外からの光信号の透過率を液晶シャッターなど
を利用して変調する方法である。外部光による動作は、
信号のやり取りを同期信号に載せて交互に行うように時
分割することで実現できる。特に、半導体加速度センサ
やコンピュータがＣＭＯＳ化されている際には消費電力
がマイクロワットオーダーと極めて小さいので、このよ
うなシステムは容易に実現できる。

【００５０】（実施例７）図７には第７の実施例を示し
た。この例は、半導体加速度センサの特性データを近似
式で展開し、その係数を記録するようにしたものであ
る。図中、７１はセンサ特性展開係数記録領域、７２は
加速度検出領域、７３は展開係数補正演算回路、７４は
Ａ／Ｄ変換器、７５はセンサ出力を示している。

【００５１】このようにすれば、半導体加速度センサの
特性を比較的小さな記憶容量で正確に記録できるので、
コンピュータを利用して半導体加速度センサを高度に補
正することができる。当然この場合には、コンピュータ
の内部には、近似式をプログラムしてあり、この近似式
に記憶装置からの値を代入することで、センサの特性が
再現される仕組みが備わっている。特に、近似式がベキ
展開された多項式であれば、必要とされる精度に合わせ
て、多項式の項数を識別する番号と共に、係数を配置す
れば可変精度の補正も実施できる。

【００５２】（実施例８）図８には半導体加速度センサ
の最大破壊強度、製造年月日、シリアルナンバーなどを
記録した領域を有した半導体加速度センサを示してい
る。図中、８１はセンサ絶対定格記録領域、８２はセン
サ使用量記録領域、８３は加速度検出領域、８４はＡ／
Ｄ変換器、８５はデジタルデータバスである。

【００５３】この半導体加速度センサによれば、前記情
報は、物理的には、電気特性の情報と同じＥＥＰＲＯＭ
などの記録素子上に記録しておくことができる。これら
の値は、実施例３に示された、センサに対する衝撃計測
の比較データとして利用される。

【００５４】（実施例９）図９に半導体加速度センサに
較正データを記録させるときに利用するテーブルを示し
た。図中、９１は加速度センサ、９２はテーブル、９３
はモーターを示している。

【００５５】このテーブルはモーターを利用した自動傾
斜機能のあるテーブルであり、外部から制御信号を加え
ることにより地球の重力中心に向かって０度，９０度，
１８０度の角度を自動的にとるものである。このテーブ
ルを利用すると半導体加速度センサに地球の重力加速度
１Ｇおよび−１Ｇおよび０Ｇの加速度を正確に加えるこ
とができる。特に、テーブル回転時に、振動を起こさな
いように防振加工を施すと良い結果が得られる。

【００５６】（実施例１０）図１０に加速度センサの使
用量が分かるように、通電量あるいは振動があるしきい
値以上に加えられている時間を測定して記録する機能を
有した加速度センサを示した。図中、１２１は加速度セ
ンサ、１２２は信号処理回路、１２３は電圧検出器、１
２４はカウンターを示している。

【００５７】加速度センサ１２１には電圧検出器１２３
が備えられ、電源電圧が印加されているか否かを判断す
る。その判断に基づいて時計を動かし、センサの累積使
用時間を記録する。一方、振動が加えらえているか否か
を判断するために、センサの出力電圧があるしきい値以
上になったときに信号を発生して時計を動作させる機能
を有することで、センサに振動が加えられていた時間の
総量を知ることができる。この装置の働きによって、セ
ンサの寿命予測、保守点検がセンサ出力に連結されたコ
ンピュータを利用することで、自動的に行える。

【００５８】以上、説明した実施例では、センサ情報の
記録媒体に、ＥＥＰＲＯＭを利用することが述べられて
いるが、記録を行うのみであれば、単なるＲＯＭ、ＣＤ
あるいは磁気記録、光磁気記録、静電容量による手段が
利用可能であり、これらも本発明に含まれる。

【００５９】また実施例では、半導体加速度センサの情
報を外部に取り出すために１ビットのシリアル通信を利
用しているが、通信規模によって、１ビット以上の通信
手段を利用することもでき、これも本発明に含まれる。

【００６０】重力を加速度印加に利用した場合、テーブ
ルの回転速度を滑らかに変化させることで最大加速度の
大きさが精密にプラスマイナス１Ｇである任意の周波数
の加速度を半導体加速度センサに印加することができ
る。このような加速度印加テーブルとしても本発明に係
る加速度印加テーブルは利用できる。

【００６１】また、実施例では半導体加速度センサに対
してのみ応用を示しているが、以上挙げた較正方法、デ
ータ蓄積方法、あるいは加速度印加テーブルが、圧電
型、電磁型など半導体加速度センサ以外の他の加速度セ
ンサにも同様に適用可能であることは言うまでもない。

【００６２】

【発明の効果】本発明を利用すると、従来の時間のかか
るレーザートリミングに比較して非常に短時間で較正を
完了できる。非常に安定な重力加速度を加速度標準とし
て利用しているので非常に高精度な較正が可能である。
重力加速度は広い範囲の場所にわたって一定であるの
で、並列に機械を置くことで、大量にセンサを較正でき
る。測定基準加速度を生じさせるために余分にエネルギ
ーを消費しない。

【００６３】また本発明を用いると、較正を行うために
利用していた演算増幅器のフィードバック抵抗をレーザ
ートリミングする操作が入らなくなるため、半導体加速
度センサの感度較正と半導体加速度センサの出力電圧が
相互干渉することがないという利点が生じる。

【００６４】半導体加速度センサの電気的特性を全て記
録しているので、その情報を取り出して補正を行い半導
体加速度センサの特性の向上を図ることができる。これ
らの較正情報はＥＥＰＲＯＭなどの書き換え可能な媒体
に記録されるので、必要に応じてその内容を変更するこ
とができる。

【００６５】半導体加速度センサの較正情報を１ビット
の出力ポートを利用して出力しているので、端子数が増
加するのを防ぐことができる。

【００６６】また、半導体加速度センサの出力信号も同
じあるいは併設のシリアルポートから取り出すことが可
能であり、配線がスマートになる。

【００６７】使用された年月などの情報を活用すること
で、半導体加速度センサ素子あるいは半導体加速度セン
サシステムからなる、大規模なシステムにおいてその点
検保守を容易に行うことができる。

【００６８】半導体加速度センサを駆動するための電力
を外部からの光エネルギーで与えることが可能なため、
従来の半導体加速度センサで見られたような、通常電源
から電気を与える場合に問題となる外部電磁ノイズによ
る半導体加速度センサ性能の劣化を避けることができ
る。

【００６９】同様に、半導体加速度センサからの出力を
光信号で外部に伝えることができるので、外部電磁ノイ
ズの影響を受けることがないという利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示した図である。

【図２】本発明の第２の実施例を示した図である。

【図３】本発明の第３の実施例を示した図である。

【図４】本発明の第４の実施例を示した図である。

【図５】本発明の第５の実施例を示した図である。

【図６】本発明の第６の実施例を示した図である。

【図７】本発明の第７の実施例を示した図である。

【図８】本発明の第８の実施例を示した図である。

【図９】本発明の第９の実施例を示した図である。

【図１０】本発明の第１０の実施例を示した図である。

【図１１】従来例の半導体素子内部を示した図である。

【図１２】従来例を示した図である。

【符号の説明】

１，２１，３１，４１，１２２信号処理回路２，２２，３２，４２センサ較正データ記録領域３，３３，４３，７２，８３加速度検出領域２３，９１，１０１，１２１加速度センサ２４電源回路２５制御回路３４電圧比較器およびカウンター４４データシリアル変換回路５１センサスペック取り出し用シリアルポート５２アナログ信号出力端子６１光入出力ポート６２フォトダイオード６３センサ回路６４液晶シャッター６５ハーフミラー７１センサ特性展開係数記録領域７３展開係数補正演算回路７４，８４Ａ／Ｄ変換器８１センサ絶対定格記録領域８２センサ使用量記録領域９２テーブル９３モーター１０２演算増幅器１０３フィードバック抵抗１１１加速度検出素子１１２検出回路１１３トリミング回路１１４ＴＯ３パッケージ１２３電圧検出器１２４カウンター

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】感度の値を記録した領域を有し、前記領域
は電気信号によって、書換え可能であることを特徴とす
る半導体加速度センサ。
【請求項２】半導体加速度センサあるいは加速度センサ
応用システム内に記録された、半導体加速度センサの電
気的特性情報に基づいて、演算を施し半導体加速度セン
サの出力特性を補正する手段を有することを特徴とする
半導体加速度センサ。
【請求項３】半導体加速度センサ内にデジタル記録され
た感度情報に基づいて、半導体加速度センサの感度を補
償可能な手段を有することを特徴とする半導体加速度セ
ンサ。
【請求項４】半導体加速度センサ内に記録された基準加
速度に対する比感度情報に基づいて、半導体加速度セン
サの感度を補償可能な手段を有することを特徴とする半
導体加速度センサ。
【請求項５】デジタル出力の半導体加速度センサと、デ
ジタル演算を施して半導体加速度センサの特性を補正す
る手段とを有することを特徴とする請求項１〜４のいず
れかに記載の半導体加速度センサ。
【請求項６】半導体加速度センサの電気特性を近似でき
る関数の係数を記録した領域と、与えられる近似式の係
数情報に基づいて、センサの特性を較正できる手段とを
有することを特徴とする半導体加速度センサ。
【請求項７】半導体加速度センサの感度の温度特性、周
波数特性、オフセット、オフセットの温度特性のうち少
なくとも１つの情報を記録した領域を有することを特徴
とする半導体加速度センサ。
【請求項８】半導体加速度センサの最大破壊強度、製造
年月日、シリアルナンバーのうち少なくとも１つの情報
を記録した領域を有することを特徴とする半導体加速度
センサ。
【請求項９】基準加速度を越えた加速度が半導体加速度
センサに印加された回数を自動的に記録可能な手段を有
することを特徴とする半導体加速度センサ。
【請求項１０】半導体加速度センサが使用された時間、
あるいは通電された量に比例した値を記録可能な手段を
有することを特徴とする半導体加速度センサ。
【請求項１１】センサのスペックなどのセンサ固有の情
報を、シリアルデータに変換する手段と、前記情報を外
部に取り出すための出力ポートとを有することを特徴と
する半導体加速度センサ。
【請求項１２】半導体加速度センサの出力電圧をデジタ
ル化されたシリアルデータに変換する手段と、シリアル
データを取り出すための出力ポートとを有し、デジタル
出力ポートの出力形態が光強度あるいは波長の変調によ
ることを特徴とする半導体加速度センサ。
【請求項１３】外部からの光エネルギーを、半導体加速
度センサを動作させるための電力に変換する手段を有す
ることを特徴とする半導体加速度センサ。
【請求項１４】入力加速度をデジタル信号に変換し、加
速度を検出する加速度検出手段と、前記加速度検出手段
の出力に基づき、センサの特性を補償する処理を行う手
段と、少なくとも１Ｇ，−１Ｇ，０Ｇのうち１つの加速
度を加えたときの感度データを記録させた較正データ記
録手段とを有することを特徴とする半導体加速度セン
サ。
【請求項１５】加速度を検出可能センサ装置を製造する
最小限の工程を終えた後に、少なくとも半導体加速度セ
ンサに１Ｇ，−１Ｇ，０Ｇのうち１つの加速度を加える
工程を含み、その状態でセンサから出力される出力電圧
の電圧値を、センサに設けられた記憶素子に記録する工
程を含むことを特徴とする半導体加速度センサの製造方
法。