JPH06327060A - 装置状況監視システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 複数のホストコントローラ１ａ，１ｂ，…の
いずれか１台、例えば１ａにて監視対象となる装置２
ａ，２ｂ，…の集合である装置集合を指定手段５ａによ
り指定すると、その装置集合をなす装置の接続先が割出
され、これが他のホストコントローラの場合にはホスト
コントローラ同士の通信によりその装置の状況データが
取得される。よって、いずれのホストコントローラ１
ａ，１ｂ，…を操作しても監視対象がいずれのホストコ
ントローラ１ａ，１ｂ，…に接続されているかに関係な
く全ての装置２ａ，２ｂ，…の状況データを得られる。 【効果】 １台のホストコントローラの操作だけで全て
の装置の状況監視を行える。また、監視対象をファイル
３ａ，４ａで管理するため、監視対象をソフトウエア的
に任意に設定でき、装置群に変更があっても簡単に対応
可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は各種の装置、例えば生産
ラインの製造装置、材料格納装置等の正常／異常、より
詳しくは負荷の現状、処理進行度合い等の各種の状況を
監視する装置状況監視システムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造ラインはほとんどが自動化さ
れ、その自動化製造装置の連携でラインは成立してい
る。よって、各装置が正常に動作しないことには生産能
率、品質管理上で問題があるため、各製造装置の状況監
視システムが付設されている。

【０００３】従来、この種のシステムは、何台かのホス
トコントローラを持ち、それらにラインを構成する複数
の装置を適当な台数ずつ割当て、各ホストコントローラ
が自己にオンライン接続された製造装置について自動で
状況監視を行うように構成されている。これにより、こ
の監視システムは、作業者に対する監視の負担を著しく
削減することとなった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のシステムでは、各ホストコントローラが自己にオン
ライン接続された製造装置についてしか監視することが
できないために、監視したい装置が２以上のホストコン
トローラに分散している場合、その２以上のホストコン
トローラを使用する必要があり、オペレータにとって面
倒でその点に改良の余地が残された。

【０００５】本発明は上記従来技術の有する問題点に鑑
みてなされたもので、その目的とするところは監視した
い装置が２以上のホストコントローラに分散している場
合であっても１台のホストコントローラの使用だけで全
ての監視したい装置の状況データを得ることができる装
置状況監視システムを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、それぞれ特定
の機能を持つ複数の装置を複数のホストコントローラに
よって監視する装置状況監視システムであって、上記複
数のホストコントローラ各々は、上記複数の装置のうち
上記複数のホストコントローラ各々に接続されたものの
一つ一つの装置名がそのホストコントローラ名に対応し
た形で整理された管理マスタファイルと、それぞれ上記
複数の装置の中の１または２以上の監視対象からなる１
または２以上の装置集合について当該装置集合を構成す
る監視対象一つ一つの装置名がその集合名に対応した形
で整理された装置集合マスタファイルと、装置集合を指
定する装置集合指定手段と、上記装置集合マスタファイ
ルの参照によりその指定装置集合をなす上記監視対象の
装置名を取出す装置名取得手段と、上記管理マスタファ
イルの参照により上記複数のホストコントローラのうち
この取得装置名の示す監視対象の接続されたホストコン
トローラ名を取出す管理ホストコントローラ名取得手段
と、この取得ホストコントローラ名が自己を示すときに
は当該監視対象から直接その状況データを取得し、上記
取得ホストコントローラ名が自己以外のホストコントロ
ーラを示すときには当該ホストコントローラとの交信を
介してこの監視対象の状況データを取得する状況データ
取得手段とを備えていることを特徴とする。

【０００７】

【作用】本発明によれば、複数あるホストコントローラ
のいずれか１台において監視対象となる装置の集合であ
る装置集合を指定手段によって指定すると、その装置集
合をなす装置の接続先が割出され、これが他のホストコ
ントローラの場合にはホストコントローラ同士の通信に
よりその装置の状況データが取得されるため、いずれの
ホストコントローラを操作しても監視対象がいずれのホ
ストコントローラに接続されているかに関係なく全ての
装置の状況データを得られることとなり、１台のホスト
コントローラの操作だけで全ての装置の状況監視を行う
ことができる。

【０００８】また、監視対象をファイルで管理するよう
になっているため、監視対象を任意に設定することがで
き、装置群に変更があってもソフトウエア的に簡単に対
応可能である。

【０００９】

【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
つつ説明する。

【００１０】まず、図１は本発明の一実施例に係る装置
状況監視システムの構成を示すものである。

【００１１】この図において、１ａ，１ｂ，…はホスト
コントローラであり、これらホストコントローラ１ａ，
１ｂ，…はネットワークバスＢによりオンライン接続さ
れているとともに、ホストコントローラ１ａには監視対
象となる各種装置２ａ〜２ｄが接続され、ホストコント
ローラ１ｂには同じく各種装置２ｅ〜２ｈが接続されて
いる。図外のホストコントローラにも同様に監視したい
装置が１台あるいは複数台接続される。

【００１２】ホストコントローラ１ａは、管理マスタフ
ァイル３ａと装置集合マスタファイル４ａと指定手段５
ａと装置集合名取得手段６ａとホストコントローラ名取
得手段７ａと通信手段８ａと起動手段９ａと第１データ
取得手段１０ａと第２データ取得手段１１ａとを備えて
いる。

【００１３】管理マスタファイル３ａは、装置２ａ，２
ｂ，…各々がホストコントローラ１ａ，１ｂのうちいず
れに接続されているかを示すもので、図２に示すように
各ホストコントローラ名１ａ´，１ｂ´に各装置名２ａ
´，２ｂ´，…を対応させた形で整理された構造を有す
る。なお、言うまでもないかもしれないが、ホストコン
トローラＡはホストコントローラ１ａの名前、同じくＢ
はホストコントローラ１ｂの名前、装置Ａ，Ｂ，…は装
置２ａ，２ｂ，…の名前を示している。

【００１４】装置集合マスタファイル４ａは、装置２
ａ，２ｂ，…の各種組合わせからなる各種装置集合の構
成要素となる装置が何かを示すものであって、図３に示
すように、各装置集合を構成する装置一つ一つの装置名
２ａ´，２ｂ´，…がその集合名２０ａ´，２０ｂ´，
２０ｃ´に対応した形で整理された構成を有する。この
ファイルは、図４に示すように、装置集合２０ａが装置
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを構成要素とし、装置集合２０
ｂが装置２ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈを構成要素とし、装置
集合２０ｃが２ｄ，２ｇ，２ｈを構成要素としているこ
とを示している。これら装置集合のうち符号２０ｃで示
すものは監視対象が２台のホストコントローラ１ａ，１
ｂに分散されている。

【００１５】指定手段５ａは監視したい装置集合を指定
するもので、この場合、ホストコントローラ等のディス
プレイに各種のメニュを表示させ、その中から監視メニ
ュが選択されたとき装置集合名２０ａ，２０ｂ，２０ｃ
を含む監視対象メニュを表示し、それらのうち一つを選
択入力する。

【００１６】装置名取得手段６ａは指定手段５ａからの
装置集合名に基づいて装置集合マスタファイル３ａを参
照し、入力された装置集合名に対応する装置名を取出
し、これをホストコントローラ名取得手段７ａに渡す。
このホストコントローラ名取得手段７ａは装置名取得手
段６ａから渡された取得装置名の示す監視対象装置の接
続されたホストコントローラ名を取出し、それらホスト
コントローラ名に応じて第１、第２のデータ取得手段１
０ａ，１１ａが起動されるように起動手段９ａへ第１、
第２のデータ取得要求を発生する。

【００１７】通信手段８ａは他のホストコントローラと
の通信を行うもので、後述するデータ通信要求を受信す
ると起動手段９ａに第３のデータ取得要求を発生するも
のである。

【００１８】この起動手段９ａは、第１のデータ取得要
求を受けると、装置２ａ〜２ｄの状況データを取得し、
かつディスプレイへの表示やプリントアウトによる出力
第１のデータ取得手段１０ａに指図する第１の起動命令
を発生し、第２データ取得要求を受けると、装置２ｅ〜
２ｈの状況データを取得し、かつディスプレイへの表示
やプリントアウトによる出力を第２のデータ取得手段１
１ａに指図する第２の起動命令を発生し、第３のデータ
取得要求を受けると、装置２ａ〜２ｄの状況データを取
得し、かつホストコントローラ１ｂへ転送するように第
１のデータ取得手段１０ａへ指図する第３の起動命令を
発生する。

【００１９】第１データ取得手段１０ａは、第１の起動
命令を受けると、装置２ａ〜２ｄから直接その状況デー
タを取得し、出力手段１２ａに供給する。すると、出力
手段１２ａはその状況データをディスプレイに表示した
り、プリントアウトする。また、第１のデータ取得手段
１０ａは、第３の起動命令を受けると、取得した装置２
ａ〜２ｄの状況データを通信手段８ａに与える。する
と、通信手段８ａはその状況データをホストコントロー
ラ１ｂに向けてバスＢ上に送出する。

【００２０】第２データ取得手段１１ａは、ホストコン
トローラ１ａ以外のホストコントローラ１ｂ，…に１対
１で対設されるもので、第２の起動命令はそのいずれか
一つを起動させるものである。例えば図示するホストコ
ントローラ１ｂに対応する第２データ取得手段１１ａが
第２の起動命令を受けたとすると、この第２データ取得
手段１１ａは、装置２ｅ〜２ｈの状況データを取得すべ
く次のように動作する。まず、この第２データ取得手段
１１ａはデータ通信命令を通信手段８ａに与える。する
と、この通信手段８ａは、ホストコントローラ１ｂに向
けてデータ通信要求を発生し、やがてホストコントロー
ラ１ｂから送られてくる状況データを受信し、第２デー
タ取得手段１１ａに与える。これにより第２データ取得
手段１１ａは初期の目的を達成し、得られた状況データ
を出力手段１２ａに与え、ディスプレイに表示、プリン
トアウト等を行わせる。

【００２１】ホストコントローラ１ｂは上記ホストコン
トローラ１ａと同様の構成を有しているため、ここでは
その対応要素の符号へ“ａ”の代りに“ｂ”を付してそ
の説明を省略する。また、その他のホストコントローラ
も同様の構成とされる。

【００２２】次に上記システムの動作について説明す
る。

【００２３】まず、オペレータがホストコントローラ１
ａを使用する場合を考える。

【００２４】指定手段５ａは上記監視対象メニュをディ
スプレイに表示し、オペレータにより３種類のうちの一
つの装置集合を選択させる。装置集合が選択されると、
前述したようにそれを装置名取得手段６ａに渡す。

【００２５】ここで、オペレータが装置集合２０ａを選
択した場合、それを構成する装置２ａ〜２ｄは全て使用
中のホストコントローラ１ａに接続されているものであ
るから、装置名取得手段６ａによる装置名２ａ´〜２ｄ
´の取得、ホストコントローラ取得手段７ａによるホス
トコントローラ名１ａ´の取得、起動手段９ａの第１起
動命令による第１データ取得手段１０ａのみの起動を介
して、この第１データ取得手段８ａにより装置２ａ〜２
ｄから状況データが直接取得される。この取得されたデ
ータは出力手段１２ａにより所定の出力形式で出力され
る。例えば、半導体製造を考えた場合、情況データに
は、嵌装地の稼動状態、処理ロット数（ウェーハ枚
数）、アラーム状態などが含まれる。

【００２６】次に、オペレータが集合２０ｂを選択した
場合、それを構成する装置２ｅ〜２ｈは全て他方のホス
トコントローラ１ｂに接続されているものであるから、
装置名取得手段６ａによる装置名２ｅ´〜２ｈ´の取
得、ホストコントローラ名取得手段７ａによるホストコ
ントローラ名１ｂ´の取得、起動手段９ａの第２起動命
令による第２データ取得手段１１ａの起動、この第２デ
ータ取得手段１１ａによるデータ通信命令の出力、通信
手段８ａによるデータ通信要求の出力、ホストコントロ
ーラ１ｂの通信手段８ｂによるデータ取得要求の出力、
起動手段９ｂの第３起動命令による第１データ取得手段
１０ｂの起動、この第１データ取得手段１０ｂから通信
手段８ｂへの装置２ｅ〜２ｈの状況データ出力、通信手
段８ａの当該状況データ受信を介して、第２データ取得
手段１１ａが装置２ｅ〜２ｈの状況データを取得し、こ
れを出力手段１２ａに供給することとなる。これにより
オペレータはホストコントローラ１ａの使用で他方のホ
ストコントローラ１ｂに接続された装置２ｅ〜２ｈの状
況監視を行うことができることとなる。

【００２７】さらに、オペレータが集合２０ｃを選択し
た場合、それを構成する装置２ｄ，２ｇ，２ｈのうち装
置２ｄはホストコントローラ１ａに接続され、装置２
ｇ，２ｈはホストコントローラ１ｂに接続されているも
のであるから、装置名取得手段６ａによる装置名２ｄ
´，２ｇ´，２ｈ´の取得、ホストコントローラ取得手
段７ａによるホストコントローラ名１ａ´，１ｂ´の取
得、起動手段９ａの第１起動命令による第１データ取得
手段１０ａの起動及び第２起動命令による第２データ取
得手段１１ｂの起動に始まり、第１データ取得手段１０
ａによる装置２ｄの状況データの取得と、第２データ取
得手段１０ｂによる装置２ｇ，２ｈの状況データ取得が
行われることとなり、オペレータはホストコントローラ
１ａだけの使用でホストコントローラ１ｂの方に接続さ
れた装置２ｇ，２ｈも含めた全ての状況監視を行うこと
ができることとなる。

【００２８】以上から明らかなように、本実施例によれ
ば、ホストコントローラ１ａ，１ｂいずれを操作しても
監視対象がいずれのホストコントローラに接続されてい
るかに関係なく全ての装置２ａ〜２ｈの状況データを得
られるため、ホストコントローラ１ａ，１ｂのいずれか
一方の操作だけで全ての装置２ａ〜２ｈの状況監視を行
うことができる。

【００２９】また、監視対象をファイル３，４で管理す
るようになっているため、監視対象を任意に設定するこ
とができ、装置群に削除・変更があっても簡単に対応可
能である。

【００３０】よって、装置として、技術進歩の度合いか
ら見て変化の激しい半導体製造ラインを構成する製造装
置を考えたとき非常に大きな利益が得られる。

【００３１】なお、上記実施例ではホストコントローラ
が２台、装置が８台設けられている場合について説明し
たが、勿論これに限定されることはない。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、複
数あるホストコントローラのいずれか１台において監視
対象となる装置の集合である装置集合を指定手段によっ
て指定すると、その装置集合をなす装置の接続先が割出
され、これが他のホストコントローラの場合にはホスト
コントローラ同士の通信によりその装置の状況データが
取得されるため、いずれのホストコントローラを操作し
ても監視対象がいずれのホストコントローラに接続され
ているかに関係なく全ての装置の状況データを得られる
こととなり、１台のホストコントローラの操作だけで全
ての装置の状況監視を行うことができる。

【００３３】また、監視対象をファイルで管理するよう
になっているため、監視対象をソフトウエア的に任意に
設定することができ、装置群に削除・変更があっても簡
単に対応可能となるという利点もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る装置状況監視システム
の構成を示すブロック図。

【図２】図１に示す管理マスタファイルの構成を示す説
明図。

【図３】図１に示す装置集合マスタファイルの構成を示
す説明図。

【図４】図３に示す装置集合マスタファイルの内容を図
解する説明図。

【符号の説明】

１ａ，１ｂ ホストコントローラ １ａ´，１ｂ´ ホストコントローラ名 ２ａ〜２ｈ 監視したい各種の装置 ２ａ´〜２ｈ´ 装置名 ３ａ，３ｂ 管理マスタファイル ４ａ，４ｂ 装置集合マスタファイル ５ａ，５ｂ 装置集合指定手段 ６ａ，６ｂ 装置名取得手段 ７ａ，７ｂ ホストコントローラ名取得手段 ８ａ，８ｂ 通信手段 ９ａ，９ｂ 起動手段 １０ａ，１０ｂ 第１データ取得手段 １１ａ，１１ｂ 第２データ取得手段 １２ａ，１２ｂ 出力手段 ２０ａ〜２０ｃ 装置集合 ２０ａ´〜２０ｃ´ 装置集合名 Ｂ ネットワークバス

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】それぞれ独自の機能を持つ複数の装置を複
   数のホストコントローラによって監視する装置状況監視
   システムであって、 前記複数のホストコントローラ各々は、 前記複数の装置のうち前記複数のホストコントローラ各
   々に接続されたものの一つ一つの装置名がそのホストコ
   ントローラ名に対応した形で整理された管理マスタファ
   イルと、 それぞれ前記複数の装置の中の１または２以上の監視対
   象からなる１または２以上の装置集合について当該装置
   集合を構成する監視対象一つ一つの装置名がその集合名
   に対応した形で整理された装置集合マスタファイルと、 装置集合を指定する装置集合指定手段と、 前記装置集合マスタファイルの参照によりその指定装置
   集合をなす前記監視対象の装置名を取出す装置名取得手
   段と、 前記管理マスタファイルの参照により前記複数のホスト
   コントローラのうち該取得装置名の示す監視対象の接続
   されたホストコントローラ名を取出す管理ホストコント
   ローラ名取得手段と、 該取得ホストコントローラ名が自己を示すときには当該
   監視対象から直接その状況データを取得し、前記取得ホ
   ストコントローラ名が自己以外のホストコントローラを
   示すときには当該ホストコントローラとの交信を介して
   該監視対象の状況データを取得する状況データ取得手段
   とを備えている装置状況監視システム。