JPH06326047A - 拡散装置の反応ガス導入管と反応管との接合部構造 - Google Patents
拡散装置の反応ガス導入管と反応管との接合部構造Info
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- JPH06326047A JPH06326047A JP11637094A JP11637094A JPH06326047A JP H06326047 A JPH06326047 A JP H06326047A JP 11637094 A JP11637094 A JP 11637094A JP 11637094 A JP11637094 A JP 11637094A JP H06326047 A JPH06326047 A JP H06326047A
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- reaction gas
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 内部汚染を生じることなく、接合部の完全な
シールを実現し、反応管内の汚染，酸素濃度の低下を防
止し、装置の腐食も防止する。 【構成】 燃焼管１と反応管２との接合部を内，外側２
重シール構造３とし、内側シールは燃焼管１と反応管２
をテーパー摺合せ部４で行い、外側シールは耐真空シー
ルが可能な真空気密パッキン５で行うことを特徴とす
る。
シールを実現し、反応管内の汚染，酸素濃度の低下を防
止し、装置の腐食も防止する。 【構成】 燃焼管１と反応管２との接合部を内，外側２
重シール構造３とし、内側シールは燃焼管１と反応管２
をテーパー摺合せ部４で行い、外側シールは耐真空シー
ルが可能な真空気密パッキン５で行うことを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造に必要な拡散
装置の反応ガス導入管と反応管との接合部構造に関す
る。
装置の反応ガス導入管と反応管との接合部構造に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、拡散装置にてウェット酸化を行う
場合、外部燃焼装置が多く用いられ、メンテナンス上の
問題，石英加工技術から、反応ガス導入管である石英燃
焼管と石英反応管との間に接合部を持つ分割構造となっ
ている。
場合、外部燃焼装置が多く用いられ、メンテナンス上の
問題，石英加工技術から、反応ガス導入管である石英燃
焼管と石英反応管との間に接合部を持つ分割構造となっ
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】接合部のシールにゴム
製パッキンを用いる方式もあるが、パッキンが熱に耐え
られないのでパッキン保護のため石英管を冷却すると内
面に結露し、またパッキン自体が内部を流れるガスと直
接接触するため内部を汚染する等の課題がある。このた
め接合部は通常石英同士の接触によりシールを得るテー
パー摺合せ、または球面摺合せ構造となっているが、完
全なシールが得られず、外気の内部へのリークにより反
応管内が汚染され、内部ガスの外部へのリークにより装
置が腐食される場合がある等の課題がある。
製パッキンを用いる方式もあるが、パッキンが熱に耐え
られないのでパッキン保護のため石英管を冷却すると内
面に結露し、またパッキン自体が内部を流れるガスと直
接接触するため内部を汚染する等の課題がある。このた
め接合部は通常石英同士の接触によりシールを得るテー
パー摺合せ、または球面摺合せ構造となっているが、完
全なシールが得られず、外気の内部へのリークにより反
応管内が汚染され、内部ガスの外部へのリークにより装
置が腐食される場合がある等の課題がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明構造は上記の課題
を解決するため、図示のように拡散装置の反応ガス導入
管としての燃焼管１と反応管２との接合部を内，外側２
重シール構造３としてなる構成になっている。
を解決するため、図示のように拡散装置の反応ガス導入
管としての燃焼管１と反応管２との接合部を内，外側２
重シール構造３としてなる構成になっている。
【０００５】
【作用】このように燃焼管１と反応管２との接合部が
内，外側２重シール構造３になっているため、パッキン
５による内部汚染を生じることなく、接合部の完全なシ
ールを得ることができることになり、外気混入により反
応管内が汚染され、かつ反応管内の酸素濃度が低下する
ことはなく、また内部ガスの酸素濃度が低下することは
なく、また内部ガスの外部への流出により装置が腐食さ
れることがなくなることになる。
内，外側２重シール構造３になっているため、パッキン
５による内部汚染を生じることなく、接合部の完全なシ
ールを得ることができることになり、外気混入により反
応管内が汚染され、かつ反応管内の酸素濃度が低下する
ことはなく、また内部ガスの酸素濃度が低下することは
なく、また内部ガスの外部への流出により装置が腐食さ
れることがなくなることになる。
【０００６】
【実施例】図面により本発明の実施例を説明する。図１
は本発明構造の１実施例の構成を示す断面図である。図
中１は拡散装置の反応ガス導入管としての石英燃焼管
で、反応ガスが導入される。２は石英反応管で、石英燃
焼管１より反応ガスが供給される。石英燃焼管１と石英
反応管２はテーパーまたは球面摺合せ部４で接合されて
おり、石英燃焼管１のフランジ１ａと石英反応管２のフ
ランジ２ｂ間にＯリング等の真空気密パッキン５が介在
されている。テーパー摺合せ部４と真空気密パッキン５
は内，外側２重シール構造３を構成している。
は本発明構造の１実施例の構成を示す断面図である。図
中１は拡散装置の反応ガス導入管としての石英燃焼管
で、反応ガスが導入される。２は石英反応管で、石英燃
焼管１より反応ガスが供給される。石英燃焼管１と石英
反応管２はテーパーまたは球面摺合せ部４で接合されて
おり、石英燃焼管１のフランジ１ａと石英反応管２のフ
ランジ２ｂ間にＯリング等の真空気密パッキン５が介在
されている。テーパー摺合せ部４と真空気密パッキン５
は内，外側２重シール構造３を構成している。
【０００７】真空気密パッキン５部近傍にはフランジを
介し流体ジャケット６が設けられ、テーパー摺合せ部４
と真空気密パッキン５間には不活性ガス流通部７が設け
られている。８は不活性ガス導入管、９は不活性ガス排
気管で、排気装置に連結されている。上記の構成におい
て不活性ガスは不活性ガス導入管８より不活性ガス流通
部７を通り不活性ガス排気管９より排気装置により排気
される。反応ガスは石英燃焼管１より石英反応管２内に
流入されることになり、反応管２内でウェーハへの拡散
装置に供される。
介し流体ジャケット６が設けられ、テーパー摺合せ部４
と真空気密パッキン５間には不活性ガス流通部７が設け
られている。８は不活性ガス導入管、９は不活性ガス排
気管で、排気装置に連結されている。上記の構成におい
て不活性ガスは不活性ガス導入管８より不活性ガス流通
部７を通り不活性ガス排気管９より排気装置により排気
される。反応ガスは石英燃焼管１より石英反応管２内に
流入されることになり、反応管２内でウェーハへの拡散
装置に供される。
【０００８】反応ガスはテーパー摺合せ部４によりシー
ルされ、これよりリークした反応ガスは不活性ガス流通
部７を通る不活性ガスと共に排気管９より排気され、外
部へのリークが防止されることになる。外気は真空気密
パッキン５によりシールされ、同様に真空気密パッキン
５よりリークした外気，脱ガスも排気され、内部へのリ
ークが防止できることになる。
ルされ、これよりリークした反応ガスは不活性ガス流通
部７を通る不活性ガスと共に排気管９より排気され、外
部へのリークが防止されることになる。外気は真空気密
パッキン５によりシールされ、同様に真空気密パッキン
５よりリークした外気，脱ガスも排気され、内部へのリ
ークが防止できることになる。
【０００９】真空気密パッキン５は燃焼管１のフランジ
１ａと反応管２のフランジ２ａ間に挿設され、燃焼管１
及び反応管２内の温度を下げることなく、パッキン５の
みがパッキン流体ジャケット６内を流通する冷却水また
はガス及び不活性ガス流通部７内を流通する不活性ガス
により冷却されることになる。なお、本発明において
は、不活性ガス流通部７を真空排気部とし、排気管９よ
り真空引きするようにしてもよいことは勿論である。
１ａと反応管２のフランジ２ａ間に挿設され、燃焼管１
及び反応管２内の温度を下げることなく、パッキン５の
みがパッキン流体ジャケット６内を流通する冷却水また
はガス及び不活性ガス流通部７内を流通する不活性ガス
により冷却されることになる。なお、本発明において
は、不活性ガス流通部７を真空排気部とし、排気管９よ
り真空引きするようにしてもよいことは勿論である。
【００１０】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、反応ガス
導入管としての燃焼管１と反応管２との接合部が内，外
側２重シール構造３になっているため、真空気密パッキ
ン５による内部汚染を生じることなく、接合部の完全な
シールを得ることができると共に外気混入により反応管
２内が汚染されたり、反応管２内の酸素濃度が低下した
りすることがなくなるばかりでなく、内部ガスの外部へ
の流出による装置の腐食も防止できる等の効果を奏す
る。
導入管としての燃焼管１と反応管２との接合部が内，外
側２重シール構造３になっているため、真空気密パッキ
ン５による内部汚染を生じることなく、接合部の完全な
シールを得ることができると共に外気混入により反応管
２内が汚染されたり、反応管２内の酸素濃度が低下した
りすることがなくなるばかりでなく、内部ガスの外部へ
の流出による装置の腐食も防止できる等の効果を奏す
る。
【００１１】又、接合部の高温部のシールはテーパー摺
合せ部４で、低温部のシールは真空気密パッキン５で行
うことで、完全なシールを得ることができる。更に、
内，外２重シール構造３にすることで、直接、真空気密
パッキン５にガスが接することがないので、真空気密パ
ッキンを腐食させるガスを使用することができると共
に、パッキン流体ジャケット６内の冷却水および不活性
ガスにより、真空気密パッキン６を冷却することができ
る。
合せ部４で、低温部のシールは真空気密パッキン５で行
うことで、完全なシールを得ることができる。更に、
内，外２重シール構造３にすることで、直接、真空気密
パッキン５にガスが接することがないので、真空気密パ
ッキンを腐食させるガスを使用することができると共
に、パッキン流体ジャケット６内の冷却水および不活性
ガスにより、真空気密パッキン６を冷却することができ
る。
【図１】図１は本発明構造の一実施例の構成を示す断面
図である。
図である。
１ （石英）燃焼管（反応ガス導入管） １ａ フランジ ２ （石英）反応管 ２ａ フランジ ３ 内，外２重シール構造 ４ テーパー（球面）摺合せ部 ５ 真空気密パッキン（Ｏ）リング ６ パッキン流体ジャケット ７ 不活性ガス流通部（真空排気部） ８ 不活性ガス導入管 ９ （不活性ガス）排気管
Claims (6)
- 【請求項１】 拡散装置の反応ガス導入管と反応管との
接合部を内，外側２重シール構造としてなる拡散装置の
反応ガス導入管と反応管との接合部構造。 - 【請求項２】 前記内側シールは反応ガス導入管と反応
管をテーパー摺合せ部で行うことを特徴とする請求項第
１項記載の拡散装置の反応ガス導入管と反応管との接合
部構造。 - 【請求項３】 前記外側シールは耐真空シールが可能な
真空気密パッキンで行うことを特徴とする請求項第１項
記載の拡散装置の反応ガス導入管と反応管との接合部構
造。 - 【請求項４】 前記真空気密パッキン部近傍にフランジ
を介しパッキン冷却流体はジャケット部を設けてなる請
求項第３項記載の拡散装置の反応ガス導入管と反応管と
の接合部構造。 - 【請求項５】 前記内側シールは反応ガス導入管と反応
管をテーパー摺合せ部で行い、かつ、前記外側シールは
耐真空シールが可能な真空気密パッキンで行うことを特
徴とする請求項第１項記載の拡散装置の反応ガス導入管
と反応管との接合部構造。 - 【請求項６】 前記内，外側シール間に不活性ガス流通
部または真空排気部を設けてなる請求項第１項乃至第５
項のいずれかに記載の拡散装置の反応ガス導入管と反応
管との接合部構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6116370A JP2591590B2 (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | 拡散装置の反応ガス導入管と反応管との接合部構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6116370A JP2591590B2 (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | 拡散装置の反応ガス導入管と反応管との接合部構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06326047A true JPH06326047A (ja) | 1994-11-25 |
| JP2591590B2 JP2591590B2 (ja) | 1997-03-19 |
Family
ID=14685301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6116370A Expired - Fee Related JP2591590B2 (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | 拡散装置の反応ガス導入管と反応管との接合部構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2591590B2 (ja) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5011076A (ja) * | 1973-05-30 | 1975-02-04 | ||
| JPS58131777A (ja) * | 1982-01-30 | 1983-08-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 周期変動出力装置 |
| JPS6172663A (ja) * | 1984-09-13 | 1986-04-14 | 信越化学工業株式会社 | だれ抵抗性セメントモルタル組成物 |
| JPS6258776A (ja) * | 1985-09-06 | 1987-03-14 | Sharp Corp | 印字装置 |
| JPS62262420A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-14 | Toshiba Corp | 半導体加熱用耐熱管のシ−ル方法 |
| JPS6446919A (en) * | 1987-08-17 | 1989-02-21 | Toshiba Corp | Sealing mechanism of heat-resistant tube for heating wafer |
-
1994
- 1994-05-30 JP JP6116370A patent/JP2591590B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5011076A (ja) * | 1973-05-30 | 1975-02-04 | ||
| JPS58131777A (ja) * | 1982-01-30 | 1983-08-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 周期変動出力装置 |
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| JPS6446919A (en) * | 1987-08-17 | 1989-02-21 | Toshiba Corp | Sealing mechanism of heat-resistant tube for heating wafer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2591590B2 (ja) | 1997-03-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |