JP2591590C - - Google Patents
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- JP2591590C JP2591590C JP2591590C JP 2591590 C JP2591590 C JP 2591590C JP 2591590 C JP2591590 C JP 2591590C
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は半導体製造に必要な拡散装置の反応ガス導入管と反応管との接合部構
造に開する。 【０００２】 【従来の技術】 従来、拡散装置にてウェット酸化を行う場合、外部燃焼装置が多く用いられ、
メンテナンス上の問題，石英加工技術から、反応ガス導入管である石英燃焼管と
石英反応管との間に接合部を持つ分割構造となっている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】 接合部のシールにゴム製パッキンを用いる方式もあるが、パッキンが熱に耐え
られないのでパッキン保護のため石英管を冷却すると内面に結露し、またパッキ
ン自体が内部を流れるガスと直接接触するため内部を汚染する等の課題がある。 このため接合部は通常石英同士の接触によりシールを得るテーパー摺合せ、ま
たは球面摺合せ構造となっているが、完全なシールが得られず、外気の内部への
リークにより反応管内が汚染され、内部ガスの外部へのリークにより装置が腐食
される場合がある等の課題がある。 【０００４】 【課題を解決するための手段】 本発明構造は上記の課題を解決するため、図示のように拡散装置の反応ガス導
入管としての燃焼管１と反応管２との接合部を内，外側２重シール構造３とし、
前記内側シールは反応ガス導入管１と反応管２をテーパー摺合せ部４で行い、か
つ、前記外側シールは耐真空シールが可能な真空気密パッキン５で行う構成にな
っている。更に、前記内，外側シール間に、不活性ガス流通部または真空排気部
、および前記不活性ガス流通部または前記真空排気部に連なる排気管、を設けた
。 【０００５】 【作用】 このように燃焼管１と反応管２との接合部が内，外側２重シール構造３になっ
ているため、パッキン５による内部汚染を生じることなく、接合部の完全なシー
ルを得ることができることになり、外気混入により反応管内が汚染され、かつ反
応管内の酸素濃度が低下することはなく、また内部ガスの酸素濃度が低下するこ
とはなく、また内部ガスの外部への流出により装置が腐食されることがなくなる
ことになる。 【０００６】 【実施例】 図面により本発明の実施例を説明する。 図１は本発明構造の１実施例の構成を示す断面図である。図中１は拡散装置の
反応ガス導入管としての石英燃焼管で、反応ガスが導入される。２は石英反応管
で、石英燃焼管１より反応ガスが供給される。石英燃焼管１と石英反応管２はテ
ーパーまたは球面摺合せ部４で接合されており、石英燃焼管１のフランジ１ａと
石英反応管２のフランジ２ｂ間にＯリング等の真空気密パッキン５が介在されて
いる。テーパー摺合せ部４と真空気密パッキン５は内，外側２重シール構造３を
構成している。 【０００７】 真空気密パッキン５部近傍にはフランジを介し流体ジャケット６が設けられ、
テーパー摺合せ部４と真空気密パッキン５間には不活性ガス流通部７が設けられ ている。８は不活性ガス導入管、９は不活性ガス排気管で、排気装置に連結され
ている。 上記の構成において不活性ガスは不活性ガス導入管８より不活性ガス流通部７
を通り不活性ガス排気管９より排気装置により排気される。反応ガスは石英燃焼
管１より石英反応管２内に流入されることになり、反応管２内でウェーハへの拡
散処理に供される。 【０００８】 反応ガスはテーパー摺合せ部４によりシールされ、これよりリークした反応ガ
スは不活性ガス流通部７を通る不活性ガスと共に排気管９より排気され、外部へ
のリークが防止されることになる。 外気は真空気密パッキン５によりシールされ、同様に真空気密パッキン５より
リークした外気，脱ガスも排気され、内部へのリークが防止できることになる。 【０００９】 真空気密パッキン５は燃焼管１のフランジ１ａと反応管２のフランジ２ａ間に
挿設され、燃焼管１及び反応管２内の温度を下げることなく、パッキン５のみが
パッキン流体ジャケット６内を流通する冷却水またはガス及び不活性ガス流通部
７内を流通する不活性ガスにより冷却されることになる。 なお、本発明においては、不活性ガス流通部７を真空排気部とし、排気管９よ
り真空引きするようにしてもよいことは勿論である。 【００１０】 【発明の効果】 上述のように本発明によれば、反応ガス導入管としての燃焼管１と反応管２と
の接合部を内，外側２重シール構造３とし、前記内側シールは反応ガス導入管１
と反応管２をテーパー摺合せ部４で行い、かつ、前記外側シールは耐真空シール
が可能な真空気密パッキン５で行う構成になっているため、真空気密パッキン５
による内部汚染を生じることなく、接合部の完全なシールを得ることができると
共に外気混入により反応管２内が汚染されたり、反応管２内の酸素濃度が低下し
たりすることがなくなるばかりでなく、内部ガスの外部への流出による装置の腐
食も防止できる等の効果を奏する。 【００１１】 又、接合部の高温部のシールはテーパー摺合せ部４で、低温部のシールは真空
気密パッキン５で行うことで、完全なシールを得ることができる。更に、内，外
２重シール構造３にすることで、直接、真空気密パッキン５にガスが接すること
がないので、真空気密パッキンを腐食させるガスを使用することができると共に
、パッキン流体ジャケット６内の冷却水および不活性ガスにより、真空気密パッ
キン６を冷却することができる。
造に開する。 【０００２】 【従来の技術】 従来、拡散装置にてウェット酸化を行う場合、外部燃焼装置が多く用いられ、
メンテナンス上の問題，石英加工技術から、反応ガス導入管である石英燃焼管と
石英反応管との間に接合部を持つ分割構造となっている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】 接合部のシールにゴム製パッキンを用いる方式もあるが、パッキンが熱に耐え
られないのでパッキン保護のため石英管を冷却すると内面に結露し、またパッキ
ン自体が内部を流れるガスと直接接触するため内部を汚染する等の課題がある。 このため接合部は通常石英同士の接触によりシールを得るテーパー摺合せ、ま
たは球面摺合せ構造となっているが、完全なシールが得られず、外気の内部への
リークにより反応管内が汚染され、内部ガスの外部へのリークにより装置が腐食
される場合がある等の課題がある。 【０００４】 【課題を解決するための手段】 本発明構造は上記の課題を解決するため、図示のように拡散装置の反応ガス導
入管としての燃焼管１と反応管２との接合部を内，外側２重シール構造３とし、
前記内側シールは反応ガス導入管１と反応管２をテーパー摺合せ部４で行い、か
つ、前記外側シールは耐真空シールが可能な真空気密パッキン５で行う構成にな
っている。更に、前記内，外側シール間に、不活性ガス流通部または真空排気部
、および前記不活性ガス流通部または前記真空排気部に連なる排気管、を設けた
。 【０００５】 【作用】 このように燃焼管１と反応管２との接合部が内，外側２重シール構造３になっ
ているため、パッキン５による内部汚染を生じることなく、接合部の完全なシー
ルを得ることができることになり、外気混入により反応管内が汚染され、かつ反
応管内の酸素濃度が低下することはなく、また内部ガスの酸素濃度が低下するこ
とはなく、また内部ガスの外部への流出により装置が腐食されることがなくなる
ことになる。 【０００６】 【実施例】 図面により本発明の実施例を説明する。 図１は本発明構造の１実施例の構成を示す断面図である。図中１は拡散装置の
反応ガス導入管としての石英燃焼管で、反応ガスが導入される。２は石英反応管
で、石英燃焼管１より反応ガスが供給される。石英燃焼管１と石英反応管２はテ
ーパーまたは球面摺合せ部４で接合されており、石英燃焼管１のフランジ１ａと
石英反応管２のフランジ２ｂ間にＯリング等の真空気密パッキン５が介在されて
いる。テーパー摺合せ部４と真空気密パッキン５は内，外側２重シール構造３を
構成している。 【０００７】 真空気密パッキン５部近傍にはフランジを介し流体ジャケット６が設けられ、
テーパー摺合せ部４と真空気密パッキン５間には不活性ガス流通部７が設けられ ている。８は不活性ガス導入管、９は不活性ガス排気管で、排気装置に連結され
ている。 上記の構成において不活性ガスは不活性ガス導入管８より不活性ガス流通部７
を通り不活性ガス排気管９より排気装置により排気される。反応ガスは石英燃焼
管１より石英反応管２内に流入されることになり、反応管２内でウェーハへの拡
散処理に供される。 【０００８】 反応ガスはテーパー摺合せ部４によりシールされ、これよりリークした反応ガ
スは不活性ガス流通部７を通る不活性ガスと共に排気管９より排気され、外部へ
のリークが防止されることになる。 外気は真空気密パッキン５によりシールされ、同様に真空気密パッキン５より
リークした外気，脱ガスも排気され、内部へのリークが防止できることになる。 【０００９】 真空気密パッキン５は燃焼管１のフランジ１ａと反応管２のフランジ２ａ間に
挿設され、燃焼管１及び反応管２内の温度を下げることなく、パッキン５のみが
パッキン流体ジャケット６内を流通する冷却水またはガス及び不活性ガス流通部
７内を流通する不活性ガスにより冷却されることになる。 なお、本発明においては、不活性ガス流通部７を真空排気部とし、排気管９よ
り真空引きするようにしてもよいことは勿論である。 【００１０】 【発明の効果】 上述のように本発明によれば、反応ガス導入管としての燃焼管１と反応管２と
の接合部を内，外側２重シール構造３とし、前記内側シールは反応ガス導入管１
と反応管２をテーパー摺合せ部４で行い、かつ、前記外側シールは耐真空シール
が可能な真空気密パッキン５で行う構成になっているため、真空気密パッキン５
による内部汚染を生じることなく、接合部の完全なシールを得ることができると
共に外気混入により反応管２内が汚染されたり、反応管２内の酸素濃度が低下し
たりすることがなくなるばかりでなく、内部ガスの外部への流出による装置の腐
食も防止できる等の効果を奏する。 【００１１】 又、接合部の高温部のシールはテーパー摺合せ部４で、低温部のシールは真空
気密パッキン５で行うことで、完全なシールを得ることができる。更に、内，外
２重シール構造３にすることで、直接、真空気密パッキン５にガスが接すること
がないので、真空気密パッキンを腐食させるガスを使用することができると共に
、パッキン流体ジャケット６内の冷却水および不活性ガスにより、真空気密パッ
キン６を冷却することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
図１は本発明構造の一実施例の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１ （石英）燃焼管（反応ガス導入管）
１ａ フランジ
２ （石英）反応管
２ａ フランジ
３ 内，外２重シール構造
４ テーパー（球面）摺合せ部
５ 真空気密パッキン（Ｏ）リング
６ パッキン流体ジャケット
７ 不活性ガス流通部（真空排気部）
８ 不活性ガス導入管
９ （不活性ガス）排気管
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 拡散装置の反応ガス導入管と反応管との接合部を内，外側２重
シール構造とし、前記内側シールは反応ガス導入管と反応管をテーパー摺合せ部
で行い、かつ、前記外側シールは耐真空シールが可能な真空気密パッキンで行い
、更に、前記内，外側シール間に、不活性ガス流通部または真空排気部、および
前記不活性ガス流通部または前記真空排気部に連なる排気管、を設けたことを特
徴とする拡散装置の反応ガス導入管と反応管との接合部構造。
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