JPH11193891A - 相互に異なる材質から成る２つの部材を真空密に結合するための装置 - Google Patents
相互に異なる材質から成る２つの部材を真空密に結合するための装置Info
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- JPH11193891A JPH11193891A JP10289486A JP28948698A JPH11193891A JP H11193891 A JPH11193891 A JP H11193891A JP 10289486 A JP10289486 A JP 10289486A JP 28948698 A JP28948698 A JP 28948698A JP H11193891 A JPH11193891 A JP H11193891A
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- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
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- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C30B31/00—Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor
- C30B31/06—Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor by contacting with diffusion material in the gaseous state
- C30B31/10—Reaction chambers; Selection of materials therefor
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16L21/02—Joints with sleeve or socket with elastic sealing rings between pipe and sleeve or between pipe and socket, e.g. with rolling or other prefabricated profiled rings
- F16L21/04—Joints with sleeve or socket with elastic sealing rings between pipe and sleeve or between pipe and socket, e.g. with rolling or other prefabricated profiled rings in which sealing rings are compressed by axially-movable members
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16L27/00—Adjustable joints, Joints allowing movement
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 少ない構成要素からなり、容易に取り付けお
よび取り外し可能であり、かつ極めて大きな温度差や極
めて低い圧力にも高い密閉度を有する、相互に異なる材
質からなる２つ部材を結合するための装置を提供するこ
と。 【解決手段】 ２つ部材の材質は相互に異なり、例えば
石英部材または金属部材であり、前記部材はそれぞれ実
質的に管状の端部区分（２０，３０）を有し、結合され
た状態では、前記第１の部材の前記管状端部区分（３
０）の少なくとも１部分は、前記第２の部材の前記管状
端部区分（２０）を取り囲む形式の結合装置において、
中間チャネル（１３０）と、パッキング（１００，１５
０）とを有し、前記中間チャネル（１３０）は前記２つ
の管状端部区分（２０，３０）の間に設け、前記パッキ
ング（１００，１５０）は前記中間チャネル（１３０）
を密閉すること特徴とする結合装置を構成する。
よび取り外し可能であり、かつ極めて大きな温度差や極
めて低い圧力にも高い密閉度を有する、相互に異なる材
質からなる２つ部材を結合するための装置を提供するこ
と。 【解決手段】 ２つ部材の材質は相互に異なり、例えば
石英部材または金属部材であり、前記部材はそれぞれ実
質的に管状の端部区分（２０，３０）を有し、結合され
た状態では、前記第１の部材の前記管状端部区分（３
０）の少なくとも１部分は、前記第２の部材の前記管状
端部区分（２０）を取り囲む形式の結合装置において、
中間チャネル（１３０）と、パッキング（１００，１５
０）とを有し、前記中間チャネル（１３０）は前記２つ
の管状端部区分（２０，３０）の間に設け、前記パッキ
ング（１００，１５０）は前記中間チャネル（１３０）
を密閉すること特徴とする結合装置を構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は請求項１または請求
項４の上位概念に基づく、２つの部材例えば石英製の部
材と金属製の部材とを真空密に結合するための装置に関
する。またこの本発明による結合装置を使用するエピタ
キシャル装置に関する。
項４の上位概念に基づく、２つの部材例えば石英製の部
材と金属製の部材とを真空密に結合するための装置に関
する。またこの本発明による結合装置を使用するエピタ
キシャル装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】本発明は例えばエピタキシャル装置に使
用される。エピタキシャル装置においては、膜形成を行
うべき材料、例えば膜形成を行うウェーハを収容するた
めに石英管または石英容器が設けられている。蒸着を行
うべき材料は、石英ボートを用いて、石英管の一方の側
からこの石英管に、真空密に密閉可能なロックゲートを
介して導入される。石英管の他方の側は例えば金属ケー
シングを介して真空ポンプ装置に真空密に接続されてい
る。石英管内の温度は５００℃〜８００℃となることが
あり、しかも極めて低い圧力（例えば１０-10ｈＰａ）
となるため、石英と金属との結合には、とりわけ真空技
術の高い要求が課せられ、この結果として煩雑で、コス
トのかかる結合が必要である。
用される。エピタキシャル装置においては、膜形成を行
うべき材料、例えば膜形成を行うウェーハを収容するた
めに石英管または石英容器が設けられている。蒸着を行
うべき材料は、石英ボートを用いて、石英管の一方の側
からこの石英管に、真空密に密閉可能なロックゲートを
介して導入される。石英管の他方の側は例えば金属ケー
シングを介して真空ポンプ装置に真空密に接続されてい
る。石英管内の温度は５００℃〜８００℃となることが
あり、しかも極めて低い圧力（例えば１０-10ｈＰａ）
となるため、石英と金属との結合には、とりわけ真空技
術の高い要求が課せられ、この結果として煩雑で、コス
トのかかる結合が必要である。
【０００３】Wutz，Adam，Walcher，ViewegおよびSohn
による刊行物「真空技術の理論と実際」（Theorie und
Praxis der Vakuumtechnik），Braunschweig，１９８２
年刊、第４７８〜４７９ページからガラス管と金属管の
結合が公知である。このガラス管の１端部区分は金属管
に挿入され、このガラス管を取り囲むねじで金属管と結
合されている。２つのＯリングがパッキングとして使用
されている。しかしながらこの結合が適してるのは、ガ
ラス製の真空測定管を金属装置に接続する場合のみであ
る。ガラス管内が５００℃〜８００℃の温度および極め
て低い圧力になる場合には、この結合では信頼性のある
密閉を得ることはできない。さらに高温に熱した場合に
このガラス管が金属管と接触することがあるが、これを
回避するための予防対策を講じることはできない。
による刊行物「真空技術の理論と実際」（Theorie und
Praxis der Vakuumtechnik），Braunschweig，１９８２
年刊、第４７８〜４７９ページからガラス管と金属管の
結合が公知である。このガラス管の１端部区分は金属管
に挿入され、このガラス管を取り囲むねじで金属管と結
合されている。２つのＯリングがパッキングとして使用
されている。しかしながらこの結合が適してるのは、ガ
ラス製の真空測定管を金属装置に接続する場合のみであ
る。ガラス管内が５００℃〜８００℃の温度および極め
て低い圧力になる場合には、この結合では信頼性のある
密閉を得ることはできない。さらに高温に熱した場合に
このガラス管が金属管と接触することがあるが、これを
回避するための予防対策を講じることはできない。
【０００４】上記の刊行物の第４７８ページから２つ管
をフランジ結合することが公知である。このフランジ結
合は、真空化可能な中間チャネルで２重に密閉を行って
いる。このためにフランジ間に２つのリング状の室が延
びており、このリング状室にはそれにそれぞれ１つずつ
Ｏリングが取り付けられている。２つのＯリングの間に
は真空化可能な中間チャネルがある。
をフランジ結合することが公知である。このフランジ結
合は、真空化可能な中間チャネルで２重に密閉を行って
いる。このためにフランジ間に２つのリング状の室が延
びており、このリング状室にはそれにそれぞれ１つずつ
Ｏリングが取り付けられている。２つのＯリングの間に
は真空化可能な中間チャネルがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、少な
い構成要素からなり、容易に取り付けおよび取り外し可
能であり、かつ極めて大きな温度差や極めて低い圧力に
も高い密閉度を有する、相互に異なる材質からなる２つ
部材を結合するための装置を提供することである。
い構成要素からなり、容易に取り付けおよび取り外し可
能であり、かつ極めて大きな温度差や極めて低い圧力に
も高い密閉度を有する、相互に異なる材質からなる２つ
部材を結合するための装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】２つの部材の真空密に結
合するための装置であって、前記部材の材質は相互に異
なり、例えば石英部材または金属部材であり、前記部材
はそれぞれ実質的に管状の端部区分を有し、結合された
状態では、前記第１部材の前記管状端部区分は、前記第
２部材の前記管状端部区分の少なくとも一部分を取り囲
む形式の結合装置において、中間チャネルと、パッキン
グとを有し、前記中間チャネルは前記２つの管状端部区
分の間に設けられ、前記パッキングは前記中間チャネル
を密閉することを特徴とする結合装置を構成することに
よって解決される。
合するための装置であって、前記部材の材質は相互に異
なり、例えば石英部材または金属部材であり、前記部材
はそれぞれ実質的に管状の端部区分を有し、結合された
状態では、前記第１部材の前記管状端部区分は、前記第
２部材の前記管状端部区分の少なくとも一部分を取り囲
む形式の結合装置において、中間チャネルと、パッキン
グとを有し、前記中間チャネルは前記２つの管状端部区
分の間に設けられ、前記パッキングは前記中間チャネル
を密閉することを特徴とする結合装置を構成することに
よって解決される。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の装置は、相互に異なる材
質の２つ部材、例えば石英部材および金属部材を真空密
に結合するために構成された装置である。これら２つの
部材はそれぞれ実質的に管状の端部区分を有し、結合さ
れた状態では第１部材の管状端部区分は、第２部材の端
部区分の少なくとも一部を取り囲んでいる。さらに前記
の２つの管状端部区分の間に、２つの密閉リングによっ
て密閉された中間チャネルが少なくとも１つ設けられて
いる。この中間チャネルは吸入装置と結合されており、
この吸入装置は密閉リングから流出した気体を中間チャ
ネルから除去する。
質の２つ部材、例えば石英部材および金属部材を真空密
に結合するために構成された装置である。これら２つの
部材はそれぞれ実質的に管状の端部区分を有し、結合さ
れた状態では第１部材の管状端部区分は、第２部材の端
部区分の少なくとも一部を取り囲んでいる。さらに前記
の２つの管状端部区分の間に、２つの密閉リングによっ
て密閉された中間チャネルが少なくとも１つ設けられて
いる。この中間チャネルは吸入装置と結合されており、
この吸入装置は密閉リングから流出した気体を中間チャ
ネルから除去する。
【０００８】効果的な密閉効果を得るために、少なくと
も１つの第１の圧力装置９０が、結合された状態では２
つの管状端部区分の間の少なくとも１部分に延びてい
る。結合された状態では、２つの密閉リングのうちの１
つは、２つの管状端部区分とこの圧力装置との間で圧着
される。第１の弾性変形可能なスペーサーホルダーが、
第１の圧力装置と第２部材の端部区分との間に設けられ
ており、２つの部材が著しい温度差で接触することを回
避している。２つの端部区分の半径方向の膨張は、弾性
変形可能なスペーサーホルダーによって補償される。
も１つの第１の圧力装置９０が、結合された状態では２
つの管状端部区分の間の少なくとも１部分に延びてい
る。結合された状態では、２つの密閉リングのうちの１
つは、２つの管状端部区分とこの圧力装置との間で圧着
される。第１の弾性変形可能なスペーサーホルダーが、
第１の圧力装置と第２部材の端部区分との間に設けられ
ており、２つの部材が著しい温度差で接触することを回
避している。２つの端部区分の半径方向の膨張は、弾性
変形可能なスペーサーホルダーによって補償される。
【０００９】本発明の別の実施形態では、第１圧力装置
内の凹部が中間チャネルを形成する。
内の凹部が中間チャネルを形成する。
【００１０】また択一的な実施形態では、中間チャネル
に代わり、結合状態では２つの管状端部区分の間の少な
くとも一部分に延びている第１の圧力装置が含まれてい
る。第１のパッキングは、結合状態では管状端部区分と
圧力装置との間で圧着されるように設けられている。第
１の弾性変形可能なスペーサーホルダーが第１圧力装置
と第２部材の端部区分との間に設けられている。
に代わり、結合状態では２つの管状端部区分の間の少な
くとも一部分に延びている第１の圧力装置が含まれてい
る。第１のパッキングは、結合状態では管状端部区分と
圧力装置との間で圧着されるように設けられている。第
１の弾性変形可能なスペーサーホルダーが第１圧力装置
と第２部材の端部区分との間に設けられている。
【００１１】本発明の有利な実施例は従属請求項に記載
されている。
されている。
【００１２】要求される結合の密閉度を達成するため
に、第２の圧力装置が設けられている。この圧力装置
は、結合状態では、第１圧力装置と第２部材の端部区分
との間の少なくとも一部分に延びており、第２のパッキ
ングを、第１圧力装置と第２部材の端部区分との協働に
より圧着する。これにより第１および第２のパッキング
は、結合されるべき管状端部区分に対して圧着可能であ
り、目標とされる密閉度が達成される。
に、第２の圧力装置が設けられている。この圧力装置
は、結合状態では、第１圧力装置と第２部材の端部区分
との間の少なくとも一部分に延びており、第２のパッキ
ングを、第１圧力装置と第２部材の端部区分との協働に
より圧着する。これにより第１および第２のパッキング
は、結合されるべき管状端部区分に対して圧着可能であ
り、目標とされる密閉度が達成される。
【００１３】第２部材が圧力装置および第１部材と接触
することないことを確保するために、第２部材の端部区
分と、第２圧力装置との間に弾性変形可能な第２のスペ
ーサーホルダーが設けられている。
することないことを確保するために、第２部材の端部区
分と、第２圧力装置との間に弾性変形可能な第２のスペ
ーサーホルダーが設けられている。
【００１４】スペーサーホルダーを、それぞれの圧力装
置の、相応のリング状の切り欠き部にそれぞれ設けると
有利である。第１圧力装置と、第１部材の端部区分との
間に設けられた第３のパッキングは、本発明の結合装置
の密閉能力をさらに向上させる。
置の、相応のリング状の切り欠き部にそれぞれ設けると
有利である。第１圧力装置と、第１部材の端部区分との
間に設けられた第３のパッキングは、本発明の結合装置
の密閉能力をさらに向上させる。
【００１５】スペーサーホルダーの材質としては、例え
ばポリテトラフルオロエチレンを使用することが可能で
ある。
ばポリテトラフルオロエチレンを使用することが可能で
ある。
【００１６】本発明の結合装置の特に簡単な取り付けお
よび取り外しは、第１および第２圧力装置を実質的にＬ
字型に形成することによって達成される。第１圧力装置
の第１脚部は、結合すべき２つの部材の端部区分の間の
少なくとも一部分に述べており、かつ第２脚部が、第１
部材の端部区分の端面部の少なくとも１部分を取り囲ん
でいる。第２圧力装置の第１脚部は、第１圧力装置の第
１脚部と、第２部材の端部区分との間の少なくとも一部
分に延びており、かつ第２圧力装置の第２脚部は、第１
圧力装置の第２脚部の少なくとも一部分を取り囲んでい
る。
よび取り外しは、第１および第２圧力装置を実質的にＬ
字型に形成することによって達成される。第１圧力装置
の第１脚部は、結合すべき２つの部材の端部区分の間の
少なくとも一部分に述べており、かつ第２脚部が、第１
部材の端部区分の端面部の少なくとも１部分を取り囲ん
でいる。第２圧力装置の第１脚部は、第１圧力装置の第
１脚部と、第２部材の端部区分との間の少なくとも一部
分に延びており、かつ第２圧力装置の第２脚部は、第１
圧力装置の第２脚部の少なくとも一部分を取り囲んでい
る。
【００１７】第１および／または第２圧力装置を第１部
材とねじで固定すると有利である。パッキングとしては
有利にはＯリングを使用する。
材とねじで固定すると有利である。パッキングとしては
有利にはＯリングを使用する。
【００１８】本発明による結合装置は、とりわけ低い圧
力下にあり、高い温度にさらされる石英管、例えば膜形
成を行うウェーハを収容するために使用される石英管を
有するエピタキシャル装置に好適である。
力下にあり、高い温度にさらされる石英管、例えば膜形
成を行うウェーハを収容するために使用される石英管を
有するエピタキシャル装置に好適である。
【００１９】
【実施例】本発明を以下図面を参照し実施例を用いて詳
しく説明する。
しく説明する。
【００２０】本発明による結合装置は、図１で一般的に
参照符号１０で示した圧着結合部（Quetschverbindun
g）と見なすことができる。図１はこの圧着結合部１０
を断面図で示している。この圧着結合部は例えば図示し
ていない、例えばウェーハの膜形成のためのエピタキシ
ャル装置に使用することができる。このようなエピタキ
シャル装置には例えば石英管が使用される。石英管につ
いては単に管状の端部区分２０だけが示されている。こ
の石英管の１つの端部は、例えば真空密に密閉可能なロ
ックゲートによって閉じられている。このロックゲート
を通して石英ボートによって膜形成を行うべきウェーハ
を、石英管内に入れることが可能である。石英管の内部
は例えば１０-10ｈＰａであり、極めて低圧である。管
状端部区分２０においてこの石英管は、金属ケーシング
３０と真空密に結合されている。５００℃〜８００℃に
もなることがある石英管内の高温によって生ずる、石英
管の長手方向の膨張を受容可能するために、石英管の管
状端部区分２０は、蛇腹４０で閉じられている。この蛇
腹４０は石英管を、フランジ５０を備えた管状付加部を
介して、例えば超真空ポンプ装置と接続している。蛇腹
４０が横方向の力の影響を受けないように、ケーシング
３０は、複数の連結金具６０を介してエピタキシャル装
置のケーシングフランジ５０に固定される。図示のよう
に管状端部区分２０はストッパーリング８０を介して蛇
腹４０の上にのっている。ストッパーリングは例えばＰ
ＴＦＥ（Polytetrafluorethylen）リングである。
参照符号１０で示した圧着結合部（Quetschverbindun
g）と見なすことができる。図１はこの圧着結合部１０
を断面図で示している。この圧着結合部は例えば図示し
ていない、例えばウェーハの膜形成のためのエピタキシ
ャル装置に使用することができる。このようなエピタキ
シャル装置には例えば石英管が使用される。石英管につ
いては単に管状の端部区分２０だけが示されている。こ
の石英管の１つの端部は、例えば真空密に密閉可能なロ
ックゲートによって閉じられている。このロックゲート
を通して石英ボートによって膜形成を行うべきウェーハ
を、石英管内に入れることが可能である。石英管の内部
は例えば１０-10ｈＰａであり、極めて低圧である。管
状端部区分２０においてこの石英管は、金属ケーシング
３０と真空密に結合されている。５００℃〜８００℃に
もなることがある石英管内の高温によって生ずる、石英
管の長手方向の膨張を受容可能するために、石英管の管
状端部区分２０は、蛇腹４０で閉じられている。この蛇
腹４０は石英管を、フランジ５０を備えた管状付加部を
介して、例えば超真空ポンプ装置と接続している。蛇腹
４０が横方向の力の影響を受けないように、ケーシング
３０は、複数の連結金具６０を介してエピタキシャル装
置のケーシングフランジ５０に固定される。図示のよう
に管状端部区分２０はストッパーリング８０を介して蛇
腹４０の上にのっている。ストッパーリングは例えばＰ
ＴＦＥ（Polytetrafluorethylen）リングである。
【００２１】石英管の管状端部区分２０は、図示のよう
に金属製の管状付加部３０に挿入されている。この金属
管状付加部３０は実質的にＬ字型の断面を有している。
端部区分２０に対して横方向に延びる、管状付加部３０
の脚部３２は、端部区分２０に対して平行に延びる脚部
３４よりも、端部区分２０に接近して設けられている。
管状付加部３０の脚部３２は、管状の端部区分２０へ延
びており、つばを形成している。このつばの内側に蛇腹
４０の端部区分が挿入される。長手の脚部３４はその端
面３６においてフランジ状に延長され、脚部３２と共に
環状の溝を形成している。この溝に環状の冷却水室１８
０が設けられている。この冷却水室は冷却水配管１９０
と接続され圧着結合部１０を冷却する。実質的にＬ字型
の、例えば鋼鉄製の第１の圧力リング９０が、管状端部
区分２０と金属管状付加部３０の脚部３４との間に組み
込まれている。この圧力リング９０は実質的に長手の、
端部区分２０に平行に延びる脚部９２を有する。この脚
部９２は、管状付加部３０の下方の脚部３２まで延びて
おり、脚部３２の上にのっている。管状付加部３０の脚
部３２は管状端部区分２０に向かって例えば面取りされ
ている。この面取りにより脚部３２は端部区分２０と例
えばくさび状の環状溝を形成しており、この環状溝にＯ
リング１００が取り付けられる。結合状態では圧力リン
グ９０の脚部９２はＯリング１００をくさび状の環状溝
に圧着している。著しい温度差でも、石英管が圧力リン
グ９０と接触し、場合により破損することがないよう
に、圧力リング９０の脚部９２には、リング状の凹部が
設けられており、この凹部に弾性変形可能なスペーサー
ホルダー１１０が挿入される。このスペーサーホルダー
１１０もポリテトラフルオロエチレン製とすることが可
能である。圧力リング９０はさらに管状端部区分２０に
垂直に延びる脚部９４を有する。この例ではこの脚部９
４は金属管状付加部３０の、フランジ状の端面３６を完
全に覆っている。フランジ状の脚部３４は、管状端部区
分２０に向かう方向に面取りされており、結合状態で
は、圧力リング９０の、相互に当接する２つの脚部９４
と９２と共に、別のパッキング１２０に対する圧着座を
形成している。本発明による圧着結合部１０の密閉度を
向上させるために、圧力リング９０の脚部９２に別のリ
ング状の凹部が設けられている。この凹部はいわゆる中
間チャネル１３０を形成し、この中間チャネルの境界を
成しているのが管状端部区分２０である。中間チャネル
１３０は、結合管１４０を介して図示されていない排気
装置と接続されている。この排気装置は一方では石英管
から中間チャネル１３０に漏れる気体を、また他方では
パッキング１５０を介して出る気体を排気する。この際
に、中間チャネル１３０は石英管におけるＵＨＶ圧力を
達成するための圧力段の機能を有する。中間チャネル１
３０は一方ではパッキング１００により、また他方では
パッキング１５０により密閉されている。図に示したよ
うに、圧力リング９０の縦長の脚部９２は、階段状の断
面を、石英管の長手軸線に対して平行に有している。こ
の断面は脚部９４を起点として、第１の区分９６を有し
ている。この区分９６の内径は、これに連続する区分９
５の内径よりも大きい。したがって区分９５は区分９６
に対して階段状の突出部を有する。この突出部は実質的
に端部区分２０に達しているが、しかし接触はしていな
い。脚部の区分９５は面取りされており、この面取りに
より区分９５は管状端部区分２０と実質的にくさび状の
環状溝を形成している。この環状溝にＯリングが挿入さ
れる。圧力リング９０の脚部９２の区分９６と、管状端
部区分２０との間の空間には、別の圧力リング１６０が
取り付けられている。この圧力リング１６０は類似にＬ
字型に成形されており、短い目の、端部区分２０に平行
に延びている脚部１６２が、脚部９２の区分９６と端部
区分２０との間に設けられている。これに対して圧力リ
ング１６０の長手の脚部１６４は、圧力リング９０の脚
部９４を完全に覆っている。著しく大きい温度差によっ
てガラス状の端部区分２０が圧力リング１６０と接触し
ないように、脚部１６２にはリング状溝が設けられてい
る。このリング状溝に別の弾性変形可能なスペーサーホ
ルダー１７０が挿入されている。相互に一直線上に並ん
だ孔が、圧力リング１６０の脚部１６４、圧力リング９
０の脚部９４、および金属ケーシング３０のフランジ形
状の脚部３４に設けられている。これらの孔を通るねじ
によって、圧着結合部１０は迅速かつ簡単に取り付けお
よび取り外しが可能である。
に金属製の管状付加部３０に挿入されている。この金属
管状付加部３０は実質的にＬ字型の断面を有している。
端部区分２０に対して横方向に延びる、管状付加部３０
の脚部３２は、端部区分２０に対して平行に延びる脚部
３４よりも、端部区分２０に接近して設けられている。
管状付加部３０の脚部３２は、管状の端部区分２０へ延
びており、つばを形成している。このつばの内側に蛇腹
４０の端部区分が挿入される。長手の脚部３４はその端
面３６においてフランジ状に延長され、脚部３２と共に
環状の溝を形成している。この溝に環状の冷却水室１８
０が設けられている。この冷却水室は冷却水配管１９０
と接続され圧着結合部１０を冷却する。実質的にＬ字型
の、例えば鋼鉄製の第１の圧力リング９０が、管状端部
区分２０と金属管状付加部３０の脚部３４との間に組み
込まれている。この圧力リング９０は実質的に長手の、
端部区分２０に平行に延びる脚部９２を有する。この脚
部９２は、管状付加部３０の下方の脚部３２まで延びて
おり、脚部３２の上にのっている。管状付加部３０の脚
部３２は管状端部区分２０に向かって例えば面取りされ
ている。この面取りにより脚部３２は端部区分２０と例
えばくさび状の環状溝を形成しており、この環状溝にＯ
リング１００が取り付けられる。結合状態では圧力リン
グ９０の脚部９２はＯリング１００をくさび状の環状溝
に圧着している。著しい温度差でも、石英管が圧力リン
グ９０と接触し、場合により破損することがないよう
に、圧力リング９０の脚部９２には、リング状の凹部が
設けられており、この凹部に弾性変形可能なスペーサー
ホルダー１１０が挿入される。このスペーサーホルダー
１１０もポリテトラフルオロエチレン製とすることが可
能である。圧力リング９０はさらに管状端部区分２０に
垂直に延びる脚部９４を有する。この例ではこの脚部９
４は金属管状付加部３０の、フランジ状の端面３６を完
全に覆っている。フランジ状の脚部３４は、管状端部区
分２０に向かう方向に面取りされており、結合状態で
は、圧力リング９０の、相互に当接する２つの脚部９４
と９２と共に、別のパッキング１２０に対する圧着座を
形成している。本発明による圧着結合部１０の密閉度を
向上させるために、圧力リング９０の脚部９２に別のリ
ング状の凹部が設けられている。この凹部はいわゆる中
間チャネル１３０を形成し、この中間チャネルの境界を
成しているのが管状端部区分２０である。中間チャネル
１３０は、結合管１４０を介して図示されていない排気
装置と接続されている。この排気装置は一方では石英管
から中間チャネル１３０に漏れる気体を、また他方では
パッキング１５０を介して出る気体を排気する。この際
に、中間チャネル１３０は石英管におけるＵＨＶ圧力を
達成するための圧力段の機能を有する。中間チャネル１
３０は一方ではパッキング１００により、また他方では
パッキング１５０により密閉されている。図に示したよ
うに、圧力リング９０の縦長の脚部９２は、階段状の断
面を、石英管の長手軸線に対して平行に有している。こ
の断面は脚部９４を起点として、第１の区分９６を有し
ている。この区分９６の内径は、これに連続する区分９
５の内径よりも大きい。したがって区分９５は区分９６
に対して階段状の突出部を有する。この突出部は実質的
に端部区分２０に達しているが、しかし接触はしていな
い。脚部の区分９５は面取りされており、この面取りに
より区分９５は管状端部区分２０と実質的にくさび状の
環状溝を形成している。この環状溝にＯリングが挿入さ
れる。圧力リング９０の脚部９２の区分９６と、管状端
部区分２０との間の空間には、別の圧力リング１６０が
取り付けられている。この圧力リング１６０は類似にＬ
字型に成形されており、短い目の、端部区分２０に平行
に延びている脚部１６２が、脚部９２の区分９６と端部
区分２０との間に設けられている。これに対して圧力リ
ング１６０の長手の脚部１６４は、圧力リング９０の脚
部９４を完全に覆っている。著しく大きい温度差によっ
てガラス状の端部区分２０が圧力リング１６０と接触し
ないように、脚部１６２にはリング状溝が設けられてい
る。このリング状溝に別の弾性変形可能なスペーサーホ
ルダー１７０が挿入されている。相互に一直線上に並ん
だ孔が、圧力リング１６０の脚部１６４、圧力リング９
０の脚部９４、および金属ケーシング３０のフランジ形
状の脚部３４に設けられている。これらの孔を通るねじ
によって、圧着結合部１０は迅速かつ簡単に取り付けお
よび取り外しが可能である。
【００２２】
【発明の効果】本発明により、極めて大きな温度差（５
００℃〜８００℃）においても、また極めて低圧力（例
えば１０-10ｈＰａ）においても、信頼性が高く、高い
密閉度を有する圧着結合部を、比較的少なく、かつ簡単
に成形される構成要素によって提供することが可能であ
る。このために例えば単に２つの、実質的にＬ字型の、
鋼鉄製の圧力リング９０および１６０が設けられる。結
合状態ではこれらの圧力リングと管との間に設けられた
パッキング１００，１５０および１２０は、ケーシング
３０に対して圧着され、高い密閉度が保証される。さら
に圧力リング９０に中間チャネル１３０が設けられてお
り、この中間チャネル１３０に排気装置が接続され、流
出する気体を排気することができる。
００℃〜８００℃）においても、また極めて低圧力（例
えば１０-10ｈＰａ）においても、信頼性が高く、高い
密閉度を有する圧着結合部を、比較的少なく、かつ簡単
に成形される構成要素によって提供することが可能であ
る。このために例えば単に２つの、実質的にＬ字型の、
鋼鉄製の圧力リング９０および１６０が設けられる。結
合状態ではこれらの圧力リングと管との間に設けられた
パッキング１００，１５０および１２０は、ケーシング
３０に対して圧着され、高い密閉度が保証される。さら
に圧力リング９０に中間チャネル１３０が設けられてお
り、この中間チャネル１３０に排気装置が接続され、流
出する気体を排気することができる。
【図１】本発明の結合装置の半断面図である。
１０ 圧着結合部 ２０ 石英管の管状端部区分 ３０ 金属ケーシングの管状端部区分 ３２，３４ 金属ケーシングの管状端部区分の第１，第
２脚部 ３６ 端部 ４０ 蛇腹 ５０ フランジ ９０ 第１圧力装置（圧力リング） ９２ 第１圧力装置の第１脚部 ９４ 第１圧力装置の第２脚部 １００ 第１パッキング（Ｏリング） １１０ 第１スペーサーホルダー １２０ 第３パッキング（Ｏリング） １３０ 中間チャネル １６０ 第２圧力装置（圧力リング） １６２ 第２圧力装置の第１脚部 １６４ 第２圧力装置の第２脚部 １７０ 第２スペーサーホルダー １８０ 冷却水室 １９０ 冷却水配管
２脚部 ３６ 端部 ４０ 蛇腹 ５０ フランジ ９０ 第１圧力装置（圧力リング） ９２ 第１圧力装置の第１脚部 ９４ 第１圧力装置の第２脚部 １００ 第１パッキング（Ｏリング） １１０ 第１スペーサーホルダー １２０ 第３パッキング（Ｏリング） １３０ 中間チャネル １６０ 第２圧力装置（圧力リング） １６２ 第２圧力装置の第１脚部 １６４ 第２圧力装置の第２脚部 １７０ 第２スペーサーホルダー １８０ 冷却水室 １９０ 冷却水配管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヴィンフリート シュルマン ドイツ連邦共和国 クラインオストハイム ハイデルベルガー シュトラーセ ３ (72)発明者 ヘルムート カイザー ドイツ連邦共和国 ブルーフケーベル イ ンネラー リング １ツェー (72)発明者 ウド ヴェンスケ ドイツ連邦共和国 ブルーフケーベル ユ スティス−フォン−リービッヒ−シュトラ ーセ ４
Claims (14)
- 【請求項１】 ２つの部材を真空密に結合するための装
置であって、 前記部材の材質は相互に異なり、前記部材はそれぞれ実
質的に管状の端部区分（２０，３０）を有し、 結合された状態では、前記第１部材の前記管状端部区分
（３０）は、前記第２部材の前記管状端部区分（２０）
の少なくとも一部分を取り囲む形式の結合装置におい
て、 中間チャネル（１３０）と、２つのパッキング（１０
０，１５０）とを有し、 前記中間チャネル（１３０）は、前記２つの管状端部区
分（２０，３０）の間に形成され、 前記パッキング（１００，１５０）は前記中間チャネル
（１３０）を密閉することを特徴とする結合装置。 - 【請求項２】 結合状態では、少なくとも１つの第１の
圧力装置（９０）が、管状端部区分（２０，３０）の間
の少なくとも１部分に延びており、 結合状態では前記第１のパッキング（１００）は、管状
端部区分（２０，３０）と圧力装置（９０）との間で圧
着され、 第１の弾性変形可能なスペーサーホルダー（１１０）
が、第１圧力装置（９０）と前記第２部材の端部区分
（２０）との間に設けられている請求項１に記載の結合
装置。 - 【請求項３】 第１圧力装置（９０）の凹部が、中間チ
ャネル（１３０）を形成する請求項１または２に記載の
結合装置。 - 【請求項４】 ２つの部材の真空密に結合するための装
置であって、 前記部材の材質は相互に異なり、前記部材はそれぞれ実
質的に管状の端部区分（２０，３０）を有し、 結合された状態では、前記第１部材の前記管状端部区分
（３０）は前記第２部材の前記管状端部区分（２０）の
少なくとも一部分を取り囲む形式の結合装置において、 少なくとも１つの第１の圧力装置（９０）と、第１のパ
ッキング（１００）と、第１の弾性変形可能なスペーサ
ーホルダー（１１０）とを有し、 前記第１圧力装置（９０）は、結合状態では前記２つの
管状端部区分（２０，３０）の間の少なくとも一部分に
延びており、 前記第１のパッキング（１００）は、結合状態では管状
端部区分（２０，３０）と圧力装置（９０）との間で圧
着され、 前記第１の弾性変形可能なスペーサーホルダー（１１
０）は、第１圧力装置（９０）と前記第２部材の端部区
分（２０）との間に設けられることを特徴とする結合装
置。 - 【請求項５】 第２の圧力装置（１６０）を有し、 該第２圧力装置（１６０）は、結合状態では第１圧力装
置（９０）と前記第２部材の端部区分（２０）との間の
少なくとも一部分に延びており、 前記第２のパッキング（１５０）を、第１圧力装置（９
０）ならびに前記第２部材の端部区分（２０）との協働
により圧着する請求項１から４までのいずれか１項に記
載の結合装置。 - 【請求項６】 第２の弾性変形可能なスペーサーホルダ
ー（１７０）を有し、該スペーサーホルダーは、前記第
２部材の端部区分（２０）と、第２圧力装置（１６０）
との間に設けられている請求項５に記載の結合装置。 - 【請求項７】 第３のパッキング（１２０）を有し、該
パッキングは、第１圧力装置（９０）と、前記第１部材
の端部区分（３０，３４）との間に設けられている請求
項１から６までのいずれか１項に記載の結合装置。 - 【請求項８】 前記スペーサーホルダーはポリテトラフ
ルオロエチレン製である請求項１から７までいずれか１
項に記載の結合装置。 - 【請求項９】 第１および第２の圧力装置（９０，１６
０）は実質的にＬ字型に成形されており、 第１圧力装置（９０）の第１の脚部（９２）は、結合す
べき部材の端部区分（２０，３０）の間の少なくとも一
部分に延びており、 第２の脚部（９４）は、前記第１部材の端部区分（３
０）の端面部（３４）の少なくとも一部分を取り囲み、 第２圧力装置（１６０）の第１の脚部（１６２）は、第
１圧力装置（９０）の第１脚部（９２）と、前記第２部
材の端部区分（２０）との間の少なくとも一部分に延び
ており、 第２圧力装置（１６０）の第２の脚部（１６４）は、第
１圧力装置（９０）の第２脚部（９４）の少なくとも一
部分を取り囲む請求項１から８までのいずれか１項に記
載の結合装置。 - 【請求項１０】 前記第１および第２圧力装置は、前記
第１部材とねじで固定され、前記パッキングはＯリング
である請求項１から９までのいずれか１項に記載の結合
装置。 - 【請求項１１】 石英管を備えたエピタキシャル装置に
おいて、 請求項１から１０までのいずれ１項に記載の結合装置を
用いて、金属ケーシングが結合されることを特徴とする
エピタキシャル装置。 - 【請求項１２】 石英管の長手方向の膨張を受容するた
めに蛇腹を有し、 該蛇腹は前記石英管の管状端部区分を密閉し、 実質的にリング形状のストッパー要素が、前記金属ケー
シングと、前記石英管の端部区分と、前記蛇腹との間に
設けられている請求項１１に記載のエピタキシャル装
置。 - 【請求項１３】 前記中間チャネルは排気装置と接続さ
れ、 該排気装置を介してパッキング（１００，１５０）から
漏れた気体を前記中間チャネル（１３０）から除去する
請求項１から１０までのいずれか１項に記載の結合装
置。 - 【請求項１４】 前記中間チャネルは排気装置と接続さ
れ、 該排気装置を介してパッキング（１００，１５０）から
漏れた気体を前記中間チャネル（１３０）から除去する
請求項１１または１２に記載のエピタキシャル装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19745185.3 | 1997-10-13 | ||
| DE19745185A DE19745185A1 (de) | 1997-10-13 | 1997-10-13 | Vorrichtung zum vakuumdichten Verbinden von zwei Körpern aus unterschiedlichen Materialien |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11193891A true JPH11193891A (ja) | 1999-07-21 |
Family
ID=7845407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10289486A Pending JPH11193891A (ja) | 1997-10-13 | 1998-10-12 | 相互に異なる材質から成る２つの部材を真空密に結合するための装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6412821B1 (ja) |
| EP (1) | EP0915191B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11193891A (ja) |
| CA (1) | CA2249703A1 (ja) |
| DE (2) | DE19745185A1 (ja) |
| TW (1) | TW401502B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019035409A (ja) * | 2017-08-21 | 2019-03-07 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 緩衝体 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19919326A1 (de) * | 1999-04-28 | 2000-11-02 | Leybold Systems Gmbh | Kammer für eine chemische Dampfbeschichtung |
| US20160033070A1 (en) * | 2014-08-01 | 2016-02-04 | Applied Materials, Inc. | Recursive pumping member |
| CN111627837B (zh) * | 2020-06-02 | 2023-05-05 | 青岛佳恩半导体有限公司 | 一种快恢复整流二极管的封装装置及制造方法 |
| LU501139B1 (en) * | 2021-12-31 | 2023-07-03 | Aexor Sas | Connector with pressurized sealing chamber for process tube of a process furnace |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3151763A (en) * | 1963-07-22 | 1964-10-06 | Merquardt Corp | Cryogenic glass-to-metal seal |
| BE737920A (ja) * | 1968-08-27 | 1970-02-25 | ||
| FR2275719A1 (fr) * | 1974-06-18 | 1976-01-16 | Saphymo Stel | Dispositif de raccordement rapide et etanche pour elements a embout tubulaire |
| DE2436643A1 (de) * | 1974-07-30 | 1976-02-19 | Siemens Ag | Vorrichtung zum insbesondere vakuumdichten verschliessen |
| FR2536677A1 (fr) * | 1982-11-26 | 1984-06-01 | Elf Aquitaine | Systeme perfectionne d'etancheite dans un appareil chimique entre une enceinte en materiau cassant et des parties metalliques |
| DE3346959A1 (de) * | 1983-12-24 | 1985-07-04 | Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Dichte gekuehlte verbindung |
| DE3403317A1 (de) * | 1984-01-31 | 1985-08-01 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Vorrichtung zur halterung der die mit substraten bestueckten boote tragenden quarzueberrohre an horizontalen einschwebvorrichtungen von niederdruckphasenbeschichtungsanlagen |
| DE3426379C2 (de) * | 1984-07-18 | 1986-06-05 | Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Rohrförmiges Bauteil aus Quarzglas oder Quarzgut |
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| DE3843155C1 (en) * | 1988-12-22 | 1990-08-02 | Deutsche Forschungsanstalt Fuer Luft- Und Raumfahrt Ev, 5300 Bonn, De | Device for the vacuum-tight closure or connection of a pipe end |
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| JPH04347096A (ja) * | 1991-05-21 | 1992-12-02 | Seiko Instr Inc | 石英チューブの気密シール構造及び気密シール方法 |
| CA2160364A1 (en) * | 1993-04-27 | 1994-11-10 | Philip Andrew Sawin | Antiperspirant stick compositions exhibiting improved wash-off performance |
| DE19523954C2 (de) * | 1995-07-05 | 1998-01-29 | Heraeus Quarzglas | Rohrförmiges Bauteil aus transparentem Quarzglas |
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-
1997
- 1997-10-13 DE DE19745185A patent/DE19745185A1/de not_active Withdrawn
-
1998
- 1998-08-12 DE DE59812632T patent/DE59812632D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-08-12 EP EP98115131A patent/EP0915191B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-09-23 TW TW087115838A patent/TW401502B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-10-07 CA CA002249703A patent/CA2249703A1/en not_active Abandoned
- 1998-10-12 JP JP10289486A patent/JPH11193891A/ja active Pending
- 1998-10-13 US US09/170,091 patent/US6412821B1/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019035409A (ja) * | 2017-08-21 | 2019-03-07 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 緩衝体 |
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|---|---|
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| EP0915191B1 (de) | 2005-03-09 |
| CA2249703A1 (en) | 1999-04-13 |
| EP0915191A3 (de) | 2000-07-26 |
| EP0915191A2 (de) | 1999-05-12 |
| TW401502B (en) | 2000-08-11 |
| DE59812632D1 (de) | 2005-04-14 |
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