JPS61117192A - アイソレ−シヨンバルブ - Google Patents
アイソレ−シヨンバルブInfo
- Publication number
- JPS61117192A JPS61117192A JP24026184A JP24026184A JPS61117192A JP S61117192 A JPS61117192 A JP S61117192A JP 24026184 A JP24026184 A JP 24026184A JP 24026184 A JP24026184 A JP 24026184A JP S61117192 A JPS61117192 A JP S61117192A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling water
- cooling
- plate
- seal plate
- vessel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/14—Heating of the melt or the crystallised materials
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は単結晶引き上げ装置において、高温加熱中に成
長結晶を取り出すため成長結晶を上方へ移動させ、高温
加熱雰囲気を遮断するために使用するアイソレーション
バルブの構造に関スル。
長結晶を取り出すため成長結晶を上方へ移動させ、高温
加熱雰囲気を遮断するために使用するアイソレーション
バルブの構造に関スル。
従来使用されているアイソレーションバルブは、常温ま
たは常温よりもやや高い温度の真空雰囲気やガス雰囲気
で使用するのが常であるが、ＳＬ単結晶成長の如き場合
には高温雰囲気を遮断するためにシールグレート全水冷
ジャケット構造にしなけ九ばならない。
たは常温よりもやや高い温度の真空雰囲気やガス雰囲気
で使用するのが常であるが、ＳＬ単結晶成長の如き場合
には高温雰囲気を遮断するためにシールグレート全水冷
ジャケット構造にしなけ九ばならない。
この場合の従来のアイソレーションバルブは、水冷ジャ
ケット構造のシールグレートに冷却水導入、導出管を介
して冷却水を流通させて当該シールプレート全冷却する
構造とし、この冷却水導入。
ケット構造のシールグレートに冷却水導入、導出管を介
して冷却水を流通させて当該シールプレート全冷却する
構造とし、この冷却水導入。
導出管の接続部分にゴム製のＯリングやパツキン等のシ
ール材を装着して冷却水が外部に漏ルないようにしてい
る。
ール材を装着して冷却水が外部に漏ルないようにしてい
る。
しかしながら上記のような従来のアイソレーションバル
ブにあっては、シール材の損傷や消耗によって冷却水が
外部に漏れると、成長中の単結晶が不良になることは熱
論のこと、漏ｔ′Ｌ、几冷却水が高温雰囲気にふれて水
蒸気爆発を起し、作業者に危害を及ぼすシそれがあると
いう問題点があった。
ブにあっては、シール材の損傷や消耗によって冷却水が
外部に漏れると、成長中の単結晶が不良になることは熱
論のこと、漏ｔ′Ｌ、几冷却水が高温雰囲気にふれて水
蒸気爆発を起し、作業者に危害を及ぼすシそれがあると
いう問題点があった。
本発明アイル−クョンバルプは上記の問題点を解決し、
気密性を確保して信頼性と安全性を高めるため、図示の
ように容器１のシール面２の形状に合致しこれを開閉す
る水冷ジャケット構造のシールプレート３を回転軸４に
支持し、かつこの回転軸４の側方に接続され当該回転軸
４の一端部の冷却水人口５及び出口６にそ几ぞ几連通す
る冷却水導入、導出管７．８ｔ−水冷ジャケット構造の
シールプレート３に接続すると共に、この冷却水導入、
導出管７，８の接続部分を溶接継手構造９としｔもので
ある。
気密性を確保して信頼性と安全性を高めるため、図示の
ように容器１のシール面２の形状に合致しこれを開閉す
る水冷ジャケット構造のシールプレート３を回転軸４に
支持し、かつこの回転軸４の側方に接続され当該回転軸
４の一端部の冷却水人口５及び出口６にそ几ぞ几連通す
る冷却水導入、導出管７．８ｔ−水冷ジャケット構造の
シールプレート３に接続すると共に、この冷却水導入、
導出管７，８の接続部分を溶接継手構造９としｔもので
ある。
水冷ジャケット構造のシールプレート３が容器１のシー
ル面２に密接した状態で、回転軸４の一端部の冷却水人
口５より冷却水を供給すると、冷却水は冷却水導入管７
１に経てシールプレート３のジャケット内圧導入さ九、
これより冷却水導出管８ｔ−経て回転軸４の一端部の冷
却水出口６から導出され流通する。この流通する冷却水
によってシールプレート３が冷却さ几ることになる。
ル面２に密接した状態で、回転軸４の一端部の冷却水人
口５より冷却水を供給すると、冷却水は冷却水導入管７
１に経てシールプレート３のジャケット内圧導入さ九、
これより冷却水導出管８ｔ−経て回転軸４の一端部の冷
却水出口６から導出され流通する。この流通する冷却水
によってシールプレート３が冷却さ几ることになる。
この場合、シールプレート３は容器１のシール面２に合
致してこ几を密閉しているので、内部の高温加熱雰囲気
を完全に遮断し気密性を保持しており、ｔ７ｔ、冷却水
導入、導出管７，８の接続部分は溶接継手構造９によっ
て完全に密封されているので、冷却水が外部に漏れるお
それはない。
致してこ几を密閉しているので、内部の高温加熱雰囲気
を完全に遮断し気密性を保持しており、ｔ７ｔ、冷却水
導入、導出管７，８の接続部分は溶接継手構造９によっ
て完全に密封されているので、冷却水が外部に漏れるお
それはない。
第１図は本発明アイソレーションパルプの一実施例を示
す簡略横断面図、第２図は第１図の■−■線断面図、第
３図＃ｉ第１図の背面図である。
す簡略横断面図、第２図は第１図の■−■線断面図、第
３図＃ｉ第１図の背面図である。
まず、その構成を説明する。
図面において１はパルプ本体１０内下部に設けｔ容器、
３＃ｉこの容器１のシール面２の形状に合致しこれを開
閉する水冷ジャケット構造のシールプレートで、回転軸
４に支持されている。１１はシールプレート３の中心部
の自在軸、１２は回転軸４に歯車機構１３ｉ介して連結
さ几たハンドル軸のハンドルである。
３＃ｉこの容器１のシール面２の形状に合致しこれを開
閉する水冷ジャケット構造のシールプレートで、回転軸
４に支持されている。１１はシールプレート３の中心部
の自在軸、１２は回転軸４に歯車機構１３ｉ介して連結
さ几たハンドル軸のハンドルである。
７．８はそれぞｎステルヌ製の冷却水導入。
導出管で、自在軸１１の周囲にうセン状に巻回配置さ几
ている。この冷却水導入、導出管７．８の一端部は回転
軸４の側方に接続さ几、回転軸４の一端部の冷却水人口
５及び出口６にそれぞれ通路１４゜１５を介して連通し
ている。ま元冷却水導入、導出管７，８の他端部は水冷
ジャケット構造のシールプレート３に接続さ九ている。
ている。この冷却水導入、導出管７．８の一端部は回転
軸４の側方に接続さ几、回転軸４の一端部の冷却水人口
５及び出口６にそれぞれ通路１４゜１５を介して連通し
ている。ま元冷却水導入、導出管７，８の他端部は水冷
ジャケット構造のシールプレート３に接続さ九ている。
回転軸４と冷却水導入、導出管７．８の接続部分及び冷
却水導入、導出管７．８と水冷ジャケット構造のシール
プレート３の接続部分は溶接による継手構造９になって
いる。
却水導入、導出管７．８と水冷ジャケット構造のシール
プレート３の接続部分は溶接による継手構造９になって
いる。
次にその作用を説明する。
水冷ジャケット構造のシールプレート３が容器１のシー
ル面２に密接した状態で、回転軸４の一端部の冷却水人
口５工り冷却水を供給すると、冷却水は回転軸４内の通
路１４を通り冷却水導入管７を経てシールプレート３の
ジャケット内に導入さＡ。
ル面２に密接した状態で、回転軸４の一端部の冷却水人
口５工り冷却水を供給すると、冷却水は回転軸４内の通
路１４を通り冷却水導入管７を経てシールプレート３の
ジャケット内に導入さＡ。
これより冷却水導出管８を経て回転軸４内の通路１５ヲ
通り回転軸４の一端部の冷却水出口６から導出さ几流通
する。この流通する冷却水によってシールプレート３が
冷却されることになる。
通り回転軸４の一端部の冷却水出口６から導出さ几流通
する。この流通する冷却水によってシールプレート３が
冷却されることになる。
この場合、シールプレート３は容器１のシール面２に合
致してこれを密閉しているので、内部の高温加熱雰囲気
を完全に遮断し気密性を保持しており、ま几、冷却水導
入、導出管７，８の接続部分は溶接継手構造９によって
完全に密封さ几ているので、冷却水が外部に漏几るシそ
れはない。
致してこれを密閉しているので、内部の高温加熱雰囲気
を完全に遮断し気密性を保持しており、ま几、冷却水導
入、導出管７，８の接続部分は溶接継手構造９によって
完全に密封さ几ているので、冷却水が外部に漏几るシそ
れはない。
ハンドル１２を第１図において時計方向く回転して回転
ｌ１ＩＩ＋４を第２図において時計方向に回転すると、
回転軸４に支持さ几たシールプレート３も同じ時計方向
く回転され、該シールプレート３を開くことができ、ハ
ンドル１２ヲ逆方向に回転ず几ばシールプレート３を閉
じることができる。
ｌ１ＩＩ＋４を第２図において時計方向に回転すると、
回転軸４に支持さ几たシールプレート３も同じ時計方向
く回転され、該シールプレート３を開くことができ、ハ
ンドル１２ヲ逆方向に回転ず几ばシールプレート３を閉
じることができる。
本実施例の場合、冷却水導入、導出管７，８全ステンレ
ス製とし、たので、発錆のおそ几がなく信頼性、安全性
を−Ｆｉ高め得るものである。
ス製とし、たので、発錆のおそ几がなく信頼性、安全性
を−Ｆｉ高め得るものである。
上述のように本発明によれば、シールプレート３を容器
１のシールＩＴ［１２に合致してこｆ’Ｌを密閉できる
ので、内部の高温加熱雰囲気を完全に遮断し気密性全保
持することができる。また冷却水導入。
１のシールＩＴ［１２に合致してこｆ’Ｌを密閉できる
ので、内部の高温加熱雰囲気を完全に遮断し気密性全保
持することができる。また冷却水導入。
導出管７，８の接続部分全溶接継手構造９としｔので、
当該接続部分を完全に密封することができ５冷却水が外
部に漏几ることはないから、成長中の単結晶が不良にな
ることも、ｔｅ水蒸気爆発を起して作業者に危害を及ぼ
すおそ几もなく、信頼性、安全性を高めることができる
のみならず、シール材の如き消耗品を使用していないの
で、保守管理が容易になる。
当該接続部分を完全に密封することができ５冷却水が外
部に漏几ることはないから、成長中の単結晶が不良にな
ることも、ｔｅ水蒸気爆発を起して作業者に危害を及ぼ
すおそ几もなく、信頼性、安全性を高めることができる
のみならず、シール材の如き消耗品を使用していないの
で、保守管理が容易になる。
第１図は本発明アイソレーションパルプの一実施例を示
す簡略横断面図、第２図は第１図のＵ −「線断面図、
第３図は第１図の背面図である。 １・・・・・・容器、２・・・・・・シール面、３・・
・・・・水冷ジャケット構造のシールプレート、４・・
・・・・回転軸、５゜６・・・・・・冷却水入口及び出
口、７．８・・・・・・冷却水導入、導出管、９・・・
・・・溶接継手構造、 １４ 、１５・・・・・・通路
。 代理人 弁理士 石 戸 元 算１図 Ｊど 洛２目 寡３目
す簡略横断面図、第２図は第１図のＵ −「線断面図、
第３図は第１図の背面図である。 １・・・・・・容器、２・・・・・・シール面、３・・
・・・・水冷ジャケット構造のシールプレート、４・・
・・・・回転軸、５゜６・・・・・・冷却水入口及び出
口、７．８・・・・・・冷却水導入、導出管、９・・・
・・・溶接継手構造、 １４ 、１５・・・・・・通路
。 代理人 弁理士 石 戸 元 算１図 Ｊど 洛２目 寡３目
Claims (1)
- 容器のシール面の形状に合致しこれを開閉する水冷ジャ
ケット構造のシールプレートを回転軸に支持し、かつこ
の回転軸の側方に接続され当該回転軸の一端部の冷却水
入口及び出口にそれぞれ連通する冷却水導入、導出管を
水冷ジャケット構造のシールプレートに接続すると共に
、この冷却水導入、導出管の接続部分を溶接継手構造と
したことを特徴とするアイソレーションバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24026184A JPS61117192A (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | アイソレ−シヨンバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24026184A JPS61117192A (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | アイソレ−シヨンバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61117192A true JPS61117192A (ja) | 1986-06-04 |
| JPH0217518B2 JPH0217518B2 (ja) | 1990-04-20 |
Family
ID=17056862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24026184A Granted JPS61117192A (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | アイソレ−シヨンバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61117192A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02252687A (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-11 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 単結晶引上装置におけるアイソレーションバルブ |
| JP2003002788A (ja) * | 2001-06-18 | 2003-01-08 | Komatsu Machinery Corp | 半導体単結晶引上装置のゲートバルブ |
| KR101060479B1 (ko) | 2009-11-25 | 2011-08-30 | (주)에스테크 | 잉곳성장장치의 게이트밸브 냉각장치 |
| KR101136066B1 (ko) * | 2009-11-27 | 2012-04-18 | (주)에스테크 | 잉곳성장장치의 게이트밸브 냉각수 공급장치 |
| JP2012101965A (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-31 | Matels Inc | 熱遮蔽機 |
| US8266912B2 (en) | 2008-09-16 | 2012-09-18 | General Electric Company | Reusable weld joint for syngas fuel nozzles |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102330145B (zh) * | 2011-09-28 | 2016-05-04 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 单晶炉隔离系统 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5115140U (ja) * | 1974-07-22 | 1976-02-03 |
-
1984
- 1984-11-13 JP JP24026184A patent/JPS61117192A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5115140U (ja) * | 1974-07-22 | 1976-02-03 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02252687A (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-11 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 単結晶引上装置におけるアイソレーションバルブ |
| JP2003002788A (ja) * | 2001-06-18 | 2003-01-08 | Komatsu Machinery Corp | 半導体単結晶引上装置のゲートバルブ |
| JP4488654B2 (ja) * | 2001-06-18 | 2010-06-23 | コマツ工機株式会社 | 半導体単結晶引上装置のゲートバルブ |
| US8266912B2 (en) | 2008-09-16 | 2012-09-18 | General Electric Company | Reusable weld joint for syngas fuel nozzles |
| KR101060479B1 (ko) | 2009-11-25 | 2011-08-30 | (주)에스테크 | 잉곳성장장치의 게이트밸브 냉각장치 |
| KR101136066B1 (ko) * | 2009-11-27 | 2012-04-18 | (주)에스테크 | 잉곳성장장치의 게이트밸브 냉각수 공급장치 |
| JP2012101965A (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-31 | Matels Inc | 熱遮蔽機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0217518B2 (ja) | 1990-04-20 |
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