JPH06316055A - スキージ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スクリーン印刷により電子部品を製造する場
合において、均一な膜厚で印刷形成できるスキージ装置
を提供することを目的とする。 【構成】 スクリーン版に対してスキージ２６を所定角
度を保った状態で固定するスキージ固定部２５と、スキ
ージ２６を上下運動させる上下移動部２４とを、複数位
置においてフレキシブルな接続機構で接続することによ
り、スキージ２６をスクリーン版に対して所定角度を保
ったまま、被印刷体２７等のうねりに追従しながらスキ
ージ２６を左右単独で上下しながらスキージ作業のでき
るスキージ装置が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、主にハイブリッドＩＣ
やセラミック多層基板を含む各種回路基板、各種高周波
フィルタ類を含む複合セラミック電子部品、あるいは単
品の各種電子部品の製造を特にセラミックインキ等を厚
塗りするスクリーン印刷方法により行う際に用いるスキ
ージ装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ハイブリッドＩＣやセラミッ
ク多層基板を含む各種回路基板、各種フィルタ関係を含
む複合セラミック電子部品、あるいは単品の各種電子部
品の製造において、広くスクリーン印刷方法が用いられ
ている。

【０００３】まず、図８を用いてスクリーン印刷の原理
について説明する。１はスクリーンメッシュであり、金
属または樹脂製のメッシュ表面に乳剤層を形成して構成
され、スクリーン枠２に張られている。３はスキージ
で、硬質ゴム製である。４はインキである。スキージ３
が矢印方向に移動することにより、インキ４をスクリー
ンメッシュ１に押し付け、スクリーンメッシュ１の下に
密着して設置された被印刷体（図示せず）に対して、乳
剤層に形成されたパターンに応じて被印刷体表面にイン
キ４が印刷される。

【０００４】通常、メッシュは網状に織られている（以
下、網メッシュと呼ぶ）が、最近では各種メッキ方法や
エッチング方法によって作成されたメッシュ（以下、一
体型メッシュと呼ぶ）も、広く利用されている。このよ
うな一体型メッシュは細線が編まれているものではない
ため、従来の網メッシュに比べてメッシュ厚みが薄くで
き、メッシュが一体化されているので伸びにくく、ファ
インパターンにおける印刷性および印刷の絶対寸法の面
で優れた効果を持っている。

【０００５】次に、図９と図１０を用いてスクリーン印
刷におけるスキージ装置について説明する。図９は通常
のスキージ装置を説明するためのものである。図９にお
いて、移動部５は軸６に沿って矢印方向にスライドす
る。スキージホルダ７ａはスキージゴム８ａを固定し、
ホルダー固定部９ａはスキージホルダ７ａを所定角度で
移動部５に固定している。また１０は被印刷体、１１は
スクリーンメッシュであり、表面にパターンニングされ
た乳剤層が形成されている。

【０００６】このようにスクリーン印刷では、スキージ
ゴム８ａはスクリーンメッシュ１１を介して被印刷体１
０に押しつけられ、矢印方向に移動し、印刷が行なわれ
ることになる。１２ａは変形したスキージゴムであり、
スキージゴム８ａが被印刷体１０に押しつけられて、変
形した様子を説明するためのものである。こうして印刷
中のスキージゴム８ａはスキージゴム１２ａのように変
形することになる。

【０００７】一般的にスクリーン印刷において印刷適正
に影響を与える変動要因としては、スキージゴムの硬
度、スキージ角度、印刷速度以外にも、インキのレオロ
ジー、スクリーンメッシュの構成、押し付け圧力、被印
刷体の凹凸度合、さらには被印刷体とスクリーンメッシ
ュとのギャップ、スクリーンメッシュのテンション等の
影響がある。このような変動要因が、１枚のサンプルの
印刷途中において、複雑に関係するが、このような変動
要因を抑えきることは実質的に不可能であるため、通常
のスクリーン印刷においては、このような変動要因に対
しては、スキージゴム８ａをスキージゴム８ａからスキ
ージゴム１２ａへの変形量分変形させることにより対処
していることが多い。

【０００８】すなわち、スキージゴム８ａを変形したス
キージゴム１２ａのような状態にしてインキの押し出し
効果を含んだ緩衝材として用い、これら変動要因から回
避している。このようにして、よりファインなパターン
をスクリーン印刷で行おうとする場合は、試行錯誤的に
印刷の条件出しを行っていた。しかし、電子部品の製造
工程においては、さらに高精度スクリーン印刷技術が求
められている。

【０００９】以下、スクリーン印刷においてさらに高精
度印刷のために従来行われていた改良点について説明す
る。まず、スキージ角度の変化を低減する手法の一例に
ついて説明する。図１０は通常のスキージ固定方法に工
夫を加えた場合の例を説明するためのものである。図９
と図１０の違いは、図１０ではスキージゴム８ｂの後ろ
に当て板１３が置かれている点であり、当て板１３を置
くことによりスキージの精度を上げることができる。ま
た、現在ではスキージゴムに当て板を固定し一体化した
もの等が提案されている（例えば、ガラスエポキシ板等
で当て板をつくり、この当て板の先端の一部分にスキー
ジゴムを一体成形したものがある）。

【００１０】さらに、スキージ装置に工夫をこらしたも
のとして、移動部５を空気圧で保持するスクリーン印刷
方法も提案されている。これは、スキージ移動部ごと、
スキージユニットを空気圧（押し上げ圧と押し下げ圧）
のバランスによって保持する手法である。

【００１１】次に、これらのスクリーン印刷方法を用い
て、実際に被印刷体に均一なインキ皮膜を印刷形成する
場合について説明する。図１１および図１２は被印刷体
上に通常のスクリーン印刷方法でインキを印刷形成する
場合を説明するためのものである。

【００１２】図１１および図１２において、１４はスク
リーンメッシュ、１５は乳剤層、１６ａおよび１６ｂは
印刷されたインキパターン、１７は被印刷体、１８ａお
よび１８ｂは印刷されたパターン１６ａ，１６ｂの端
部、１９ａおよび１９ｂは印刷されたパターン１６ａ，
１６ｂの中心部である。２０はメタルマスクである。

【００１３】図１１はスクリーンメッシュ１４上に通常
のスキージ装置を用いてスクリーン印刷した場合の、印
刷されたインキパターンの断面の様子を示すものであ
り、印刷されたインキパターン１６ａの端部１８ａと中
心部１９ａとを比較すると、端部１８ａの方がインキ膜
厚が厚い。この現象を周辺強調効果と呼ぶ。このような
周辺強調効果は凸版印刷の場合でも観察され、凸版印刷
の場合はマージナルゾーン現象と呼ばれている。

【００１４】以下、スクリーン印刷の場合の周辺強調効
果について説明する。まず、スクリーン印刷の際スキー
ジがスクリーンメッシュ１４を介して被印刷体に押しつ
けられ、乳剤層１５の無い部分から、スクリーンメッシ
ュ１４の隙間を介してインキが被印刷体１７の表面に転
写される。ここで乳剤層１５が被印刷体１７に押し当て
られた場合、乳剤層１５の近くでは乳剤層１５の厚みの
影響を受け、印刷されたインキパターン１６ａの端部１
８ａが局所的に厚めに転移される。

【００１５】一方、乳剤層の無い部分、すなわち印刷さ
れたインキパターン１６ａの中心部１９ａでは、乳剤層
１５の厚みの影響を受けず、メッシュ１４は被印刷体１
７の表面にまで押しつけられ、印刷されたインキパター
ン１６ａの中心部１９ａが局所的に薄く転移されること
になる。

【００１６】図１２はメタルマスクを用いてスクリーン
印刷した場合の、印刷されたインキパターンの断面の様
子を説明するものである。メタルマスクを用いた場合も
図１１同様の現象が発生しやすく、印刷されたインキパ
ターン１６ｂの端部１８ｂと中心部１９ｂでインキの膜
厚が異なる。このようなメタルマスクの場合の周辺強調
効果も、メッシュを用いてスクリーン印刷した場合と同
様の原因による。しかも、メタルマスクの場合は、メタ
ルマスクのパターンの中心部１９ｂにはメッシュも何も
無いため、中心部１９ｂのインキ膜厚は極端に変化しや
すく、スキージゴムの変形度合いによっては中心部１９
ｂにインキが印刷されない場合もある。

【００１７】一方、従来のスクリーン印刷においては、
今までに説明したようにスキージゴムの変形が回避でき
ないため、スクリーンメッシュやメタルマスクを用いた
スクリーン印刷においては、印刷されたインキパターン
の周辺強調効果を無くすことができなかった。また、ス
キージ固定方法やスキージゴムの固定方法について工夫
をしても、図１１および図１２で説明したようにインキ
膜厚が不均一になりやすい。このため、ハイブリッドＩ
Ｃ等の印刷積層体の製造時においては、メッシュ痕によ
るピンホール等の不良の発生を防止するためにも、２回
印刷（すなわち、印刷、乾燥、印刷、乾燥）が行われて
いる。しかし、このような２回印刷等の複数回の印刷を
行うと、周辺強調効果がさらに大きくなる欠点もある。

【００１８】このため、最近では改良型スキージ（硬質
材料と通常のスキージゴムを組み合わせたスキージ）等
が用いられることが多い。このような改良型スキージと
は、例えば特開平２−２６７４１号公報、実開昭５９−
１０４７２８号公報、実開平１−７６２２９号公報、実
開平１−９１５３６号公報、実開平２−９４７６号公
報、実開平２−１０４２３２号公報、実開平２−１１２
４３１号公報、実開平３−５５２３０号公報、実開平３
−６２８３６号公報等で提案されているものである。特
に従来のスキージ装置では、このような改良型スキージ
の場合、スキージ自体の変形（図９参照）が発生しにく
く、被印刷体の素材のうねりや被印刷体上に形成された
パターン等によって発生する細かいうねりのため印刷性
に影響を受けやすかった。

【００１９】このため、さらにスキージ装置の改良が行
われてきた。たとえば、特開昭５９−１５８２５９号公
報で提案されているスクリーン印刷機におけるスキージ
圧均等装置では、スキージの左右にエアーシリンダが取
り付けられ、前記左右のエアーシリンダに空気を送り、
その圧力に応じたスクリーン圧力が印刷体に均等にかか
るようにレギュレータ等により自由に制御し、被印刷物
に対するスキージの圧力を左右均等にするというスキー
ジ圧均等装置である。しかしこの提案では、構造上、ス
キージおよびスキージ取付バーは、縦列ベアリングで上
下運動する部分に直接ねじ止めされているため、前記ス
キージの自由度（フレキシビリティ）は限られている。
具体的には、被印刷面に大きなうねりがあった場合、ス
キージは前記うねりに対して追従することはできない。

【００２０】また、特開平３−２３１８２４号公報で提
案されているスクリーン印刷用スキージでは、剛体を素
材とするスキージの摺動部分を織布型でない印刷用メッ
シュ表面に押圧させながら移動した場合、メッシュ表面
において伸び縮み減少を生じないため、前記スキージが
通過したインキ表面を常に水平にして摺動することによ
り、インキ上部を水平にするものである。しかしこのよ
うな剛体をスキージとした場合、前記剛体と被印刷物表
面との間に非常に正確な平行関係を保つように調節して
おかないと、均一な印刷ができないばかりか剛体または
印刷用メッシュを破壊してしまう可能性もある。また被
印刷面に大きなうねりがあった場合、スキージは前記う
ねりに対して追従することができない。

【００２１】また、実公昭６１−１２１１０号公報はス
クリーン印刷に使用するスキージ装置に関するもので、
支持軸に装着したスプリングによってスキージエッジ部
をその屈曲方向と逆の方向に押圧することにより、一定
の圧力で導体インキの印刷を高精度で行えるようにする
ものである。しかしこの場合、スキージは支持軸に対し
て蝶番状のものを介して接続されているので、被印刷面
に大きなうねりがあった場合、スキージ角度が変わって
しまう問題点がある。

【００２２】また、実開昭５８−８５３８４号公報で
は、スクリーン印刷用スキージホルダとして、ゴムスキ
ージの両端部の反りをスプリング圧により常に補正しよ
うとするものである。しかし、実用的にはゴムスキージ
をホルダ等に固定した状態で、スキージ研磨機等を用い
てスキージの直線性を出す手法が一般的であり、このよ
うな補正は不要である。逆にこのようなスプリング圧を
かけることにより、余分な調節の手間がかかってしまう
可能性がある。さらにこのようなスプリング機構を付け
るには、その部分のスキージゴムを浮かせる構造が必要
になる。

【００２３】しかし、被印刷体上に大きなうねりや多層
配線等による複雑な３次元凹凸がある場合は、改良型ス
キージや硬質樹脂あるいはセラミック製のような硬質の
スキージを用いても、スクリーン版に局所的に力がかか
りすぎて、スクリーン版が傷付き易く、十分なスキージ
ング作業を行うことができなかった。

【００２４】

【発明が解決しようとする課題】このような従来のスク
リーン版では、スキージゴムの変形のために、印刷され
たインキパターンの中心部と端部とでインキ膜厚が異な
ってしまい、均一なインキ膜厚を形成することができな
かった。また印刷時のメッシュ痕によるピンホールの発
生を防止するため、同一被印刷体表面に複数回印刷を行
うと、このインキ膜厚の差がさらに大きくなるという問
題があった。

【００２５】本発明は上記課題を解決するもので、スク
リーン版に傷つけ難く、印刷されたインキパターンのイ
ンキ膜厚が一定になるようなスキージ装置を提供するこ
とを目的としている。

【００２６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明はスキージと、スクリーン版に対して前記スキ
ージを所定角度を保った状態で保持するスキージ固定部
と、前記スキージ固定部とフレキシブルな状態で接続し
かつ前記スキージ固定部とともに垂直方向に各々単独で
上下移動する複数の上下移動部と、この複数の上下移動
部各々の両側部に上下移動部とフレキシブルな状態で設
けた移動部とから成り、前記複数の上下移動部各々は前
記移動部内を単独で上下移動することを特徴とするもの
である。

【００２７】

【作用】本発明は上記の構成によって、被印刷体の表面
うねりや凹凸に対しても、改良型スキージを含むスキー
ジにおいても所定角度を保った状態で、スクリーン版に
押し当てながらスクリーン印刷することで、インキパタ
ーン膜厚の不均一性を防止でき、一定膜厚を保ったまた
再現性のよいスクリーン印刷を行うことができる。特に
改良型スキージ以外にも、セラミックスキージ、硬質ス
キージ（たとえば、超高分子ポリエチレン樹脂製、ガラ
スエポキシ樹脂製、ステンレス製、鋼製、シリコン樹脂
製、フッ素樹脂製等）を用いた場合でも、スクリーン版
を傷つけることなく、スキージ角度を一定に保ちながら
高精度印刷を行うことができる。

【００２８】特に本発明に用いるスキージとしては、フ
ァインパターンの印刷性に優れた改良型スキージ（硬質
材料と通常のスキージゴムを組み合わせたスキージ）を
含む硬質スキージ等が効果的である。一般的にスキージ
が硬質になるほど、スキージ自体の変形が起こりにくく
なり、さらにファインパターンを印刷するために、前記
スキージのエッジをシャープに研磨するほど、スクリー
ン版を傷つけやすい。しかし本発明のスキージ装置の場
合は、こうした問題を発生させ難く、さらに被印刷体表
面の複雑な凹凸に対しても、スキージを所定角度を保っ
た状態でスクリーン版に押し当てる構造を有することに
より、硬質スキージの場合でもその特性を十分活かすこ
とができる。

【００２９】

【実施例】

（実施例１）以下、本発明の一実施例について図面を参
照しながら説明する。図１、図２、図３は本発明の第１
の実施例におけるスキージ装置の構成とその動作を説明
するためのものである。図１において、２１は軸、２２
は移動部、２３はリニアベアリング部、２４は上下移動
部、２５はスキージ固定部、２６はスキージで剛性材料
からできている。２７は被印刷体である。なお図１〜図
３において、被印刷体２７とスキージ固定部２５の間
に、印刷時に存在するスクリーン（図９および図１０の
スクリーンメッシュ１１に相当）については図示を省い
ている。

【００３０】図１は、第１の実施例におけるスキージ装
置の要部側断面図である。スキージ２６はスキージ固定
部２５の板状部２５１にねじ等を用いて被印刷体２７に
対し所定角度を保つよう固定されている。移動部２２は
軸２１に沿って移動し、移動部２２の内側面にはリニア
ベアリング部２３が固定されている。上下移動部２４は
リニアベアリング部２３を介して移動部２２に対しフレ
キシブルな状態であり、図１の矢印のように、リニアベ
アリング部２３内部をリニアベアリング部２３に沿って
自由に上下でき、スキージ固定部２５の棒状部２５２は
ベアリング等を介して、上下移動部２４にフレキシブル
な自由度を持って接続されており、軸２１を中心に若干
回転できるようになっている。また上下移動部２４はば
ね等によって被印刷体２７に押しつけることができる。

【００３１】次に図２と図３を用いて、さらに詳しく説
明する。図２、図３は本実施例におけるスキージ装置の
要部断面図である。なお、図１で図示していたスキージ
２６は図２、図３では省略し図示していない。

【００３２】左右の上下移動部２４はリニアベアリング
部２３内部を矢印のように単独でも自由に上下でき、ま
たスキージ固定部２５は上下移動部２４とベアリング等
を介して自由度を持って接続されているため、図３に示
すように複数の上下移動部２４の内の１本だけでも独立
して上下運動できる。このような自由度（フレキシブル
な接続）が得られるのは、前述したように上下移動部２
４とスキージ固定部２５とがベアリング等を介して接続
されているためである。以上の構成によって、本発明の
スキージ装置は一定のスキージ角度を保った状態で基板
等のうねりに追従できることになる。

【００３３】（実施例２）次に本発明の第２の実施例に
ついて、図面を参照しながら説明する。図４は本発明の
第２の実施例におけるスキージ装置の要部側断面図であ
る。実施例１と実施例２の違いは、実施例１においてス
キージ２６は上下移動部２４の中心線の延長上にはなか
ったものが、実施例２においてはスキージ２６ａの先端
が上下移動部２４の中心線上に位置している点である。
図４は図１とこの点を除くと同じ構成になっている。

【００３４】ここで、スキージ２６ａはスキージ固定部
２５ａにねじ等で固定されている。また軸２１に沿って
移動部２２が移動する。移動部２２の内側面にはリニア
ベアリング部２３が固定され、上下移動部２４はリニア
ベアリング部２３を介して移動部２２に対しフレキシブ
ルな状態であり、図４の矢印のようにリニアベアリング
部２３内部をリニアベアリング部２３に沿って自由に上
下できるようになっている。上下移動部２４とスキージ
固定部２５ａは、図２および図３で説明したように、ベ
アリング等を介してフレキシブルに接続されている。上
下移動部２４はばねやエアシリンダ等を用いて、それぞ
れ独立的に調節可能な所定の荷重（または押圧）によっ
て、スクリーン版（図示省略）を介して、被印刷体２７
に押しつけられる。

【００３５】以上のように、実施例２の場合、スキージ
２６ａの先端が上下移動部２４の延長線上にあるので、
スキージ２６ａの上下動作を容易にする。すなわち、ス
キージ２６ａの変位速度およびスクリーン版を介して被
印刷体２７に印加する力の方向に対して、上下移動部２
４がそれらの方向の延長上にあるので、スキージ２６ａ
の力または変位速度を容易に緩和させることができる。
従って、スキージ２６ａの上下運動の応答性（または変
動追従性）が改良され、スキージ特性を改良することが
できる。

【００３６】次に、実施例１および実施例２のように構
成したスキージ装置による実際の印刷についてさらに詳
しく説明する。まず、印刷機は市販のスクリーン印刷機
を用いた。スクリーン版は３４０ｍｍ角のアルミ製版枠
の内部に、３２５メッシュの市販のステンレスメッシュ
を一定の張力で張り付け、この上に乳剤層を塗布、露
光、現像して所定のパターンの形成したものを用いた。

【００３７】次に本実施例のスキージ装置の機構につい
て説明する。まず本実施例のスキージ装置としては、実
施例１と２（図１，２と図４）に示したものを、アルミ
合金を主体とする材料で試作した。なお、本実施例のス
キージ装置の大きさおよび重量は、従来例で示したスキ
ージと同様になるように設計した。特に本発明で提案す
るスキージ装置は、従来のスクリーン印刷装置にそのま
ま取り付けられることを特徴としているため、スキージ
装置のみを交換するだけで、本発明スキージの特徴であ
る高精度印刷が可能になる。このため、設計時点より従
来のスキージ装置の軸および移動部（図９および図１０
における軸６、およびホルダ固定部９ａ、９ｂ）と、本
実施例のスキージ装置の軸および移動部（図１〜図４に
おける軸２１および移動部２２）を共用できるように考
慮した。

【００３８】この結果、従来のスクリーン印刷機に何等
手を加えることなく、従来のスキージ装置の軸および移
動部が、そのまま本実施例のスキージ装置の軸および移
動部として流用できるようになった。特に本実施例に用
いたスクリーン印刷機の場合、本実施例のスキージ装置
を幅１３０ｍｍ、高さ８０ｍｍ、厚み３０ｍｍ程度の大
きさ（前記従来のスキージ装置と同程度の大きさ）に設
計することにより、そのまま前記市販のスクリーン印刷
機に使えるようになった。このようにして前記市販のス
クリーン印刷機に付属していたワンタッチ式の、スキー
ジ交換機構を用いることにより、レバー操作一つだけで
従来のスキージ装置と本実施例のスキージ装置を交互に
交換できるようになった。

【００３９】また、本実施例のスキージ装置の上下機構
（図１〜図３における上下移動部２４）には、ばね（必
要に応じてエアシリンダにも交換できる）を取り付け、
それぞれ独立的に調節可能な一定の力で、スキージ２６
をスクリーンメッシュを介して被印刷体２７に押しつけ
られるようにした。

【００４０】以上のようにして、本実施例のスキージ装
置は、従来スキージ装置と同様の手順で自動印刷できる
ようになった。またスクレッパー（インキ返し装置）
は、本実施例のスキージ装置を用いて印刷する場合も、
従来のスキージ装置を用いて印刷する場合同様に、前記
市販の印刷機に付属していたスクレッパー機構を用いる
ことができた。

【００４１】次に、本発明の第１の実施例におけるスキ
ージ装置と、従来のスキージ装置を交互に用いて、テス
トパターンおよびハイブリッドＩＣ用の回路パターンの
積層印刷を行った。なお、インキとしては市販の銀パラ
ジウム電極インキおよびガラス絶縁体インキを、被印刷
体としては５インチ角の比較的うねりの大きな（１００
〜３００μｍ／ｃｍ）アルミナ基板を用いた。またスキ
ージにはセラミックスキージおよびポリウレタンスキー
ジを用いた。この結果、従来スキージ装置では、アルミ
ナ基板のうねりをポリウレタンスキージのねじれ（曲が
り）で吸収しているため、前記アルミナ基板のうねりに
起因する印刷膜厚のばらつきが生じたが本実施例のスキ
ージ装置では、アルミナ基板のうねりに追従しながら均
一なインキ皮膜を形成することができた。またセラミッ
クスキージを用いた場合は、従来のスキージ装置では、
すぐにスクリーン版を破ってしまったが、本発明のスキ
ージ装置ではスクリーン版を破ることはなかった。

【００４２】（実施例３）以下本発明の第３の実施例に
ついて、図面を参照しながら説明する。図５は本発明の
スキージ装置をスクリーンメッシュに用いた場合の、べ
た印刷の例を説明するための要部断面図である。べた印
刷とは、スクリーン印刷方法の一種であり、アルミナ基
板等をベースとしこの上にセラミックインキ等をべたに
印刷することによりセラミック積層部品等を作製すると
いうもので、配線等の微細パターンではなく、比較的広
い面積パターンを主とした印刷をいう。

【００４３】また、図６は本発明のスキージ装置をメタ
ルマスクに用いた場合のべた印刷の例を説明するための
要部断面図である。図５において、２８はスクリーン、
２９は乳剤層である。３０ａは印刷されたインキパター
ンであり、被印刷体３１の表面にべた状に印刷形成され
ている。また印刷されたインキパターン３０ａの膜厚は
周辺部および中心部で均一であり、十分な膜厚が得られ
ている。

【００４４】また必要に応じてべたパターンの一部に貫
通穴（一般的にヴァイア、バイア、あるいはビアとも呼
ばれているが、以下バイアと呼ぶ）等を形成することも
ある。このようなべたパターンの製品例としては、誘電
体材料をべたパターンに印刷して内蔵コンデンサへ応用
した例、絶縁材料をバイアを含むべたパターンに印刷し
て多層配線基板へ応用した例、フェライト材料をバイア
を含むべたパターンに印刷して多層配線（あるいはコイ
ル）へ応用した例、導体材料をべたパターンを含む配線
パターンに印刷して前記内蔵コンデンサ等の電極パター
ンとした例などがある。

【００４５】ここで、使用するべたパターンとしては、
大きさの異なるべたパターンを選び、版としては、べた
パターンの一部に複数個のバイアホールを含んだ５ｍｍ
角、１０ｍｍ角、２０ｍｍ角、４０ｍｍ角、８０ｍｍ角
のものを用意した。次に、これら複数のべたパターンを
焼きっぱなしのアルミナ基板（厚み０．６３５ｍｍ）の
上にハイブリッドＩＣ用の絶縁体インキ（８５０℃焼成
用）を用いて印刷した。次に、前記絶縁体インキを１５
０℃で３０分乾燥させた後、表面粗さ計を用いて、その
乾燥インキ皮膜の断面形状を測定した。なおスキージに
は通常のポリウレタンスキージ、超高分子ポリエチレン
製硬質スキージ、およびジルコニア製セラミックスキー
ジを用いて実験した。

【００４６】従来スキージ装置と本実施例のスキージ装
置を交互に用いて上記のような印刷を行ったところ、本
実施例のスキージ装置によるべたパターンの断面は、図
５に示すように、パターン中心部で４５〜４８μｍ、周
辺部で４６〜５０μｍの絶縁体インキ膜厚が得られた。
一方、比較のための従来スキージ装置での、べたパター
ンの断面は、図１１もしくは図１２に示すように、パタ
ーンの中心部が非常に薄くなり、十分な膜厚を得ること
ができなかった。具体的には、中心部で１０〜１５μ
ｍ、周辺部で４０〜５０μｍであった。

【００４７】次にこれら絶縁体べたパターンを焼成し、
耐電圧を測定したところ、本実施例のスキージ装置を用
いたべたパターンの方が、従来スキージ装置のものに比
較して、数〜数十倍高いブレークダウン電圧を得ること
ができた。

【００４８】このように、べた印刷では、セラミックス
キージを用いた場合でも、本実施例のスキージ装置を用
いることにより追従性良く駆動することができ、デバイ
スとしてのより高い信頼性の得られるインキ皮膜を形成
することができる。また、図６に示したように本発明の
スキージ装置をメタルマスクにおけるべたパターンの印
刷へ応用した場合でも、容易にべたパターンを印刷形成
することができる。

【００４９】（実施例４）以下本発明の第４の実施例に
ついて、図７を参照しながら説明する。図７は本発明の
第４の実施例における電極へのべた埋め込み印刷の例に
ついて説明するためのものである。図７において、３２
はメタルマスク、３３は埋め込まれたパターンであり、
誘電体、導電体、磁性体等で形成されている。べた印刷
とべた埋込み印刷の違いは、べた埋込み印刷では図７に
示すように、印刷されたインキパターン３０ｃ内部に、
埋め込まれたパターン３３があることである。一般的な
電子部品の製造時においては、このような各種材料の埋
め込みが必要な場合が多い。

【００５０】具体的には、表面に電極パターンの印刷形
成されたアルミナ基板を用い、前記アルミナ基板の上
に、本実施例のスキージ装置を用いてガラスフェライト
インキを１回印刷で乾燥膜厚が５００μｍになるよう
に、べたパターンに印刷形成した。次に所定の電極パタ
ーンを印刷し、その上にまた前記ガラスフェライトイン
キを前記電極パターンを覆うように、１回印刷で乾燥膜
厚が５００μｍになるように、べたパターンで印刷形成
した。以上のようにして、印刷部の厚みが約１ｍｍにな
ったサンプルをチップ状に切断した後、９５０℃で焼成
しチップビーズを作成した。

【００５１】次に比較のために、従来のスキージ装置を
用いて、同様にチップビーズを作成したところ、１００
ＭＨｚでのインピーダンスが低く、かつそのばらつきが
大きいことが分かった。そこで断面を観察したところ、
本実施例のスキージ装置によって作成したものに比較し
て、従来スキージ装置によるものはフェライト層の厚み
が不均一で、そのばらつきもかなり大きいことが分かっ
た。なお、ここで説明するべたパターンとは、べた部分
が多いパターンを言うものであり、必要に応じてべたパ
ターン内部に複数個のバイアパターンを形成することが
できる。この場合、金型等を用いなくとも、セラミック
生シートに穴を開けられ、バイアを形成することができ
る。

【００５２】（実施例５）以下本発明の第５の実施例に
ついて、説明する。本実施例ではフィルム等の被印刷体
上にべたパターンを形成後、剥離することによりセラミ
ック生シートを作成し、これを用いてセラミック積層体
を作成する際のフィルムへの印刷について述べる。

【００５３】ここで比較のために、従来のスキージ装置
を用いて、同様にＰＥＴ（ポリエチレン・テレフタレー
ト）フィルム上に、誘電体スラリーを塗布、乾燥させ、
セラミック生シートを作成し、積層セラミックコンデン
サを作成した。しかし、この従来スキージ装置によって
作成した積層セラミックコンデンサのブレークダウン電
圧は、通常のドクターブレード法により作成したものに
比較して、数分の１以下であった。また断面を観察した
ところ、ドクターブレード法や本実施例のスキージ装置
によって作成したものに比較して、誘電体の厚みばらつ
きがかなり大きいことが分かった。

【００５４】一方、本実施例のスキージ装置を用いるこ
とにより、ＰＥＴフィルムのように表面のうねりが少な
い状態で固定することが難しいものや、しわ等の発生し
易い材料表面へ、より作業性の優れたべたパターン形成
が可能となった。なお、ここで説明するべたパターンと
は、べた部分が多いパターンを言うものであり、必要に
応じてべたパターン内部に複数個のバイアパターンを形
成することができる。この場合、金型等を用いなくと
も、セラミック生シートに穴を開けられる。

【００５５】（実施例６）以下本発明の第６の実施例に
ついて、説明する。本実施例では、パターンの形成され
たフィルム等の被印刷体上に、べたパターンを形成後、
剥離することにより、前記パターンの埋め込まれたセラ
ミック生シートを作成し、これを用いてセラミック積層
体等を作成する際のフィルムへの印刷について述べる。
このようなパターンの埋め込まれたセラミック生シート
を用いることにより、セラミック多層基板等を作成する
ことができる。

【００５６】ここでは、アルミナ基板の代わりに、電極
パターンの印刷形成されたＰＥＴフィルムを用い、前記
ＰＥＴフィルム上に本実施例のスキージ装置を用いて誘
電体スラリーをべたパターンに形成した。

【００５７】次に前記誘電体スラリーを乾燥させた後、
ＰＥＴフィルムから剥離することにより、電極パターン
の埋め込まれたセラミック生シートを作成した。次に前
記セラミック生シートを用いて積層セラミックコンデン
サを作成したところ、従来のドクターブレードを用いて
作成したセラミック生シートを用いて作成したものと同
様のブレークダウン電圧を得ることができた。

【００５８】次に比較のために、従来のスキージ装置を
用いて、同様に電極パターンを印刷形成されたＰＥＴフ
ィルム上に、誘電体スラリーを塗布、乾燥させ、セラミ
ック生シートを作成し、積層セラミックコンデンサを作
成した。しかしこの従来スキージ装置によって作成した
積層セラミックコンデンサのブレークダウン電圧は、通
常のドクターブレード法により作成したものに比較する
と、その数分の１以下であった。また断面を観察したと
ころ、ドクターブレード法や本実施例のスキージ装置に
よって作成したものに比較して、誘電体の厚みばらつき
がかなり大きいことが分かった。

【００５９】以上のように、ＰＥＴフィルムのように、
表面のうねりの少ない状態での固定が難しいものや、し
わ等の発生し易い材料表面へのべたパターンの形成に
は、本実施例のスキージ装置を用いることにより、より
作業性の優れたべたパターンの形成が容易になることが
分かる。

【００６０】なお、本発明のスキージ装置に取り付ける
スキージとしては、硬質のものがより効果的である。具
体的には、通常のゴム製スキージではショア硬度で８０
以上のものが、その他、セラミックスキージ、金属スキ
ージ、プラスチック板とゴム製スキージ（あるいは複数
材料を組み合わせたような改良型スキージ）を用いた場
合に優れた効果が得られる。

【００６１】

【発明の効果】以上のように本発明は、所定角度を保っ
た状態で、スキージをスクリーン版に押し当てる構造を
有することにより、被印刷体のうねり等に追従でき、ス
キージ角度が変化しないため厚み精度の優れたスクリー
ン印刷を実現できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例におけるスキージ装置の
要部側断面図

【図２】同実施例におけるスキージ装置の要部断面図

【図３】同実施例におけるスキージ装置の要部断面図

【図４】本発明の第２の実施例におけるスキージ装置の
要部断面図

【図５】本発明の第３の実施例におけるスキージ装置に
よる印刷を示す説明図

【図６】同実施例におけるスキージ装置による印刷を示
す説明図

【図７】本発明の第４の実施例におけるスキージ装置に
よる印刷を示す説明図

【図８】スクリーン印刷の原理を説明するための説明図

【図９】従来におけるスキージ装置の要部側断面図

【図１０】従来におけるスキージ装置の要部側断面図

【図１１】従来のスキージ装置による印刷を示す説明図

【図１２】従来のスキージ装置による印刷を示す説明図

【符号の説明】

２２ 移動部 ２４ 上下移動部 ２５ スキージ固定部 ２６ スキージ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スキージと、スクリーン版に対して前記
   スキージを所定角度を保った状態で保持するスキージ固
   定部と、前記スキージ固定部とフレキシブルな状態で接
   続しかつ前記スキージ固定部とともに垂直方向に各々単
   独で上下移動する複数の上下移動部と、この複数の上下
   移動部各々の両側部に上下移動部とフレキシブルな状態
   で設けた移動部とから成り、前記複数の上下移動部各々
   を単独で上下移動可能に前記移動部に組合せたスキージ
   装置。
2. 【請求項２】 上下移動部の上下移動方向の延長線上で
   スキージとスクリーン版とが接するように構成した請求
   項１記載のスキージ装置。
3. 【請求項３】 上下移動部に独立的に調節可能な力を加
   えることによりスキージを被印刷体に押しつけるように
   構成した請求項１記載のスキージ装置。
4. 【請求項４】 スクリーン版に対して設けたスキージの
   所定角度を保った状態でスクリーン印刷装置から取り外
   し可能に構成した請求項１記載のスキージ装置。