JPH0631576A - 工具送り装置 - Google Patents
工具送り装置Info
- Publication number
- JPH0631576A JPH0631576A JP4215688A JP21568892A JPH0631576A JP H0631576 A JPH0631576 A JP H0631576A JP 4215688 A JP4215688 A JP 4215688A JP 21568892 A JP21568892 A JP 21568892A JP H0631576 A JPH0631576 A JP H0631576A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric actuator
- tool
- circuit
- ram
- sensor target
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 9
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/09—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool
- B23Q17/0952—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool during machining
- B23Q17/0966—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool during machining by measuring a force on parts of the machine other than a motor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/28—Electric drives
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】ボイスコイル型リニヤモータと圧電アクチュエ
ータとによる工具送り装置において、外力等によってセ
ンサターゲットが大きく傾いたり、変位センサ又はセン
サアンプに異常が発生して、あたかも圧電アクチュエー
タの作動により工具の位置フィードバック値がプラス方
向の誤認が生じた場合、圧電アクチュエータににかかる
マイナスの電圧を抑止し、極性反転による制御不能を防
止する。 【構成】リニヤモータによって進退駆動するラム１６の
先端に工具２０をダイヤフラム１８を介して保持し、圧
電アクチュエータ３０を内蔵する。センサターゲット２
２ａをダイヤフラム１８と一体的に設け、進退位置を検
出する変位センサ２３ａ、２３ｂを配置する。圧電アク
チュエータ３０に出力している電圧値が下限設定値を超
えたときに圧電アクチュエータ３０を駆動停止する数値
制御装置４０を備える。
ータとによる工具送り装置において、外力等によってセ
ンサターゲットが大きく傾いたり、変位センサ又はセン
サアンプに異常が発生して、あたかも圧電アクチュエー
タの作動により工具の位置フィードバック値がプラス方
向の誤認が生じた場合、圧電アクチュエータににかかる
マイナスの電圧を抑止し、極性反転による制御不能を防
止する。 【構成】リニヤモータによって進退駆動するラム１６の
先端に工具２０をダイヤフラム１８を介して保持し、圧
電アクチュエータ３０を内蔵する。センサターゲット２
２ａをダイヤフラム１８と一体的に設け、進退位置を検
出する変位センサ２３ａ、２３ｂを配置する。圧電アク
チュエータ３０に出力している電圧値が下限設定値を超
えたときに圧電アクチュエータ３０を駆動停止する数値
制御装置４０を備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工作物を非真円形状に
創成する工作機械の工具送り装置に関するものである。
創成する工作機械の工具送り装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】工作物を非真円形状に創成する工作機械
の工具送り装置として、軸線方向に進退移動する進退駆
動部材を備えたボイスコイル型リニヤモータ（ＶＣＭ）
と、前記進退駆動部材と同一軸心線で結合されたラム
と、このラムの先端にダイヤフラムを介して保持された
工具と、前記ラムの先端部に内蔵され前記工具を進退移
動する圧電アクチュエータ（ＰＺＴ）と、前記工具と同
心で前記ダイヤフラムと一体的に設けられたセンサター
ゲットと、前記ラムの先端面に前記センサターゲットと
対面し、かつセンサターゲットの中心点を挟んだ２位置
に配置され前記工具のの進退方向の位置をを検出する２
つの変位センサとから構成された工具送り装置が知られ
ている。
の工具送り装置として、軸線方向に進退移動する進退駆
動部材を備えたボイスコイル型リニヤモータ（ＶＣＭ）
と、前記進退駆動部材と同一軸心線で結合されたラム
と、このラムの先端にダイヤフラムを介して保持された
工具と、前記ラムの先端部に内蔵され前記工具を進退移
動する圧電アクチュエータ（ＰＺＴ）と、前記工具と同
心で前記ダイヤフラムと一体的に設けられたセンサター
ゲットと、前記ラムの先端面に前記センサターゲットと
対面し、かつセンサターゲットの中心点を挟んだ２位置
に配置され前記工具のの進退方向の位置をを検出する２
つの変位センサとから構成された工具送り装置が知られ
ている。
【０００３】上記の工具送り装置は、非真円プロフィル
データに基づいて、前記リニヤモータ並びに圧電アクチ
ュエータに入力される信号に応じてラムと工具をそれぞ
れ進退移動し、２つの変位センサからの変位出力値に基
づいて工具の位置を演算回路で算出し、送り指令回路の
出力と前記演算回路の出力とを偏差回路に入力して偏差
信号を駆動回路を介して前記圧電アクチュエータへ出力
し、この圧電アクチュエータと前記リニヤモータとの両
者の作動が合成されて非真円プロフィルデータに即して
工具の半径方向の刃具先端位置を制御し、非真円形状を
創成するものである。
データに基づいて、前記リニヤモータ並びに圧電アクチ
ュエータに入力される信号に応じてラムと工具をそれぞ
れ進退移動し、２つの変位センサからの変位出力値に基
づいて工具の位置を演算回路で算出し、送り指令回路の
出力と前記演算回路の出力とを偏差回路に入力して偏差
信号を駆動回路を介して前記圧電アクチュエータへ出力
し、この圧電アクチュエータと前記リニヤモータとの両
者の作動が合成されて非真円プロフィルデータに即して
工具の半径方向の刃具先端位置を制御し、非真円形状を
創成するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、通常圧電ア
クチュエータは正の電圧で伸び、負の電圧で縮むが、電
圧によりアクチュエータ内に生じた直流電界が抗電界
（ＰＺＴアクチュエータの場合、−１０ｋＶ／ｃｍ）に
達すると極性反転が生じ、この抗電界からマイナスの電
圧が増大するに従って圧電アクチュエータは伸びる傾向
となる。上記従来の工具送り装置では、切削抵抗により
工具の刃先に大きな負荷がかかり、センサターゲットが
大きく傾いたり、変位センサ又はセンサアンプに異常が
発生した場合、工具の位置フィードバック値があたかも
圧電アクチュエータによってプラス方向にずれた誤認を
生じ、圧電アクチュエータにマイナスの電圧がかかる。
クチュエータは正の電圧で伸び、負の電圧で縮むが、電
圧によりアクチュエータ内に生じた直流電界が抗電界
（ＰＺＴアクチュエータの場合、−１０ｋＶ／ｃｍ）に
達すると極性反転が生じ、この抗電界からマイナスの電
圧が増大するに従って圧電アクチュエータは伸びる傾向
となる。上記従来の工具送り装置では、切削抵抗により
工具の刃先に大きな負荷がかかり、センサターゲットが
大きく傾いたり、変位センサ又はセンサアンプに異常が
発生した場合、工具の位置フィードバック値があたかも
圧電アクチュエータによってプラス方向にずれた誤認を
生じ、圧電アクチュエータにマイナスの電圧がかかる。
【０００５】圧電アクチュエータに前記−１０ｋＶ／ｃ
ｍの許容値以下のマイナスの電界がかかると、極性反転
して制御不能となる。また、これにプラス電圧をかけて
極性を元に戻しても、単位電圧当りの圧電アクチュエー
タの変位量について、当初の性能が出なくなる問題があ
る。
ｍの許容値以下のマイナスの電界がかかると、極性反転
して制御不能となる。また、これにプラス電圧をかけて
極性を元に戻しても、単位電圧当りの圧電アクチュエー
タの変位量について、当初の性能が出なくなる問題があ
る。
【０００６】本発明の目的は、圧電アクチュエータ以外
の外力等により工具の位置フィードバック値にプラス方
向の誤認が生じた場合、圧電アクチュエータの駆動を直
ちに停止し、上記従来の問題を解消した工具送り装置を
提供することである。
の外力等により工具の位置フィードバック値にプラス方
向の誤認が生じた場合、圧電アクチュエータの駆動を直
ちに停止し、上記従来の問題を解消した工具送り装置を
提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の特徴とする構成は、リニヤモータによって
軸線方向に進退駆動するラムと、このラムの先端にダイ
ヤフラムを介して保持された工具と、前記ラムの先端部
に内蔵され前記工具を進退移動する圧電アクチュエータ
と、前記工具と同心で前記ダイヤフラムと一体的に設け
られたセンサターゲットと、前記ラムの先端面に前記セ
ンサターゲットと対面し、かつセンサターゲットの中心
点を挟んだ２位置に配置され前記工具の進退方向の位置
を検出する２つの変位センサと、送り指令回路と、この
２つの変位センサからの変位出力値に基づいて工具の位
置を算出する演算回路と、前記送り指令回路の出力と前
記演算回路の出力とを入力して偏差信号を出力する偏差
回路と、この偏差回路からの偏差信号を入力して前記圧
電アクチュエータへ出力する駆動回路と、前記圧電アク
チュエータ又は前記駆動回路に出力している電圧値を予
め設定した下限設定値と比較する下限比較器と、この下
限比較器で比較した電圧値が下限設定値を超えたときに
前記圧電アクチュエータを駆動停止する数値制御装置と
を備えたものである。
めの本発明の特徴とする構成は、リニヤモータによって
軸線方向に進退駆動するラムと、このラムの先端にダイ
ヤフラムを介して保持された工具と、前記ラムの先端部
に内蔵され前記工具を進退移動する圧電アクチュエータ
と、前記工具と同心で前記ダイヤフラムと一体的に設け
られたセンサターゲットと、前記ラムの先端面に前記セ
ンサターゲットと対面し、かつセンサターゲットの中心
点を挟んだ２位置に配置され前記工具の進退方向の位置
を検出する２つの変位センサと、送り指令回路と、この
２つの変位センサからの変位出力値に基づいて工具の位
置を算出する演算回路と、前記送り指令回路の出力と前
記演算回路の出力とを入力して偏差信号を出力する偏差
回路と、この偏差回路からの偏差信号を入力して前記圧
電アクチュエータへ出力する駆動回路と、前記圧電アク
チュエータ又は前記駆動回路に出力している電圧値を予
め設定した下限設定値と比較する下限比較器と、この下
限比較器で比較した電圧値が下限設定値を超えたときに
前記圧電アクチュエータを駆動停止する数値制御装置と
を備えたものである。
【０００８】
【作用】上記の構成により、圧電アクチュエータ又は駆
動回路に出力している電圧値が予め設定した下限設定値
を超えたときに数値制御装置の指令によって圧電アクチ
ュエータを駆動停止制御し、圧電アクチュエータにマイ
ナス電圧がかからないようにする。
動回路に出力している電圧値が予め設定した下限設定値
を超えたときに数値制御装置の指令によって圧電アクチ
ュエータを駆動停止制御し、圧電アクチュエータにマイ
ナス電圧がかからないようにする。
【０００９】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図１において、１０はボイスコイル型のリニヤモー
タ（ＶＣＭ）である。このリニヤモータ１０はモータハ
ウジング内にセンタポ−ル１１と、このセンタポ−ル１
１の外周面に軸線方向に進退移動可能に遊嵌された進退
駆動部材１３と、磁石１２とを備えている。前記進退駆
動部材１３は、その外周面にコイル１４を備えたコイル
アイッシイであり、前記磁石１２は前記コイル１４と対
向するようモータハウジング内に固設されている。
る。図１において、１０はボイスコイル型のリニヤモー
タ（ＶＣＭ）である。このリニヤモータ１０はモータハ
ウジング内にセンタポ−ル１１と、このセンタポ−ル１
１の外周面に軸線方向に進退移動可能に遊嵌された進退
駆動部材１３と、磁石１２とを備えている。前記進退駆
動部材１３は、その外周面にコイル１４を備えたコイル
アイッシイであり、前記磁石１２は前記コイル１４と対
向するようモータハウジング内に固設されている。
【００１０】１５はガイド本体であり、前記リニヤモー
タ１０の前方に設置されている。このガイド本体１５に
は角軸のラム１６が静圧軸受１７によって前記リニヤモ
ータ１０の進退駆動部材１３と同一軸心線上で進退軸動
可能に案内され、かつその後端は前記リニヤモータ１０
の進退駆動部材１３と結合されている。
タ１０の前方に設置されている。このガイド本体１５に
は角軸のラム１６が静圧軸受１７によって前記リニヤモ
ータ１０の進退駆動部材１３と同一軸心線上で進退軸動
可能に案内され、かつその後端は前記リニヤモータ１０
の進退駆動部材１３と結合されている。
【００１１】前記ラム１６の先端には図３でも示すよう
に、ダイヤフラム１８がスペーサ２１を介して固設さ
れ、このダイヤフラム１８にはバイトホルダ１９を介し
てバイト２０（工具）が保持されている。
に、ダイヤフラム１８がスペーサ２１を介して固設さ
れ、このダイヤフラム１８にはバイトホルダ１９を介し
てバイト２０（工具）が保持されている。
【００１２】さらに、前記ラム１６の先端部には圧電ア
クチュエータ３０（ＰＺＴ）が内蔵されている。この圧
電アクチュエータ３０と前記ダイヤフラム１８との間に
は、圧電アクチュエータ３０によって前記バイト２０を
進退駆動する作動部材２２が介装されている。
クチュエータ３０（ＰＺＴ）が内蔵されている。この圧
電アクチュエータ３０と前記ダイヤフラム１８との間に
は、圧電アクチュエータ３０によって前記バイト２０を
進退駆動する作動部材２２が介装されている。
【００１３】この作動部材２２にはフランジ状のセンサ
ターゲット２２ａが形成されており、作動部材２２は前
記センサターゲット２２ａを介して前記ダイヤフラム１
８に一体的に取り付けられ、ダイヤフラム１８の付勢力
によって常に圧電アクチュエータ３０に当接している。
作動部材２２を圧電アクチュエータ３０に押し付ける力
は前記スペーサ２１を変えることによって自由に変えら
れる。
ターゲット２２ａが形成されており、作動部材２２は前
記センサターゲット２２ａを介して前記ダイヤフラム１
８に一体的に取り付けられ、ダイヤフラム１８の付勢力
によって常に圧電アクチュエータ３０に当接している。
作動部材２２を圧電アクチュエータ３０に押し付ける力
は前記スペーサ２１を変えることによって自由に変えら
れる。
【００１４】前記した進退駆動部材１３、ラム１６、圧
電アクチュエータ３０及びバイト２０は全て進退駆動部
材１３と同一軸心線０上に配置されている。
電アクチュエータ３０及びバイト２０は全て進退駆動部
材１３と同一軸心線０上に配置されている。
【００１５】また、前記ラム１６の先端面には前記セン
サターゲット２２ａの中心点、すなわち、ラム１６の軸
心線０を挾んだ等分の２位置に２つの変位センサ２３
ａ、２ｂ（ギャップセンサ）が設けられ、前記作動部材
２２に形成されているセンサターゲット２２ａの面と対
面している。
サターゲット２２ａの中心点、すなわち、ラム１６の軸
心線０を挾んだ等分の２位置に２つの変位センサ２３
ａ、２ｂ（ギャップセンサ）が設けられ、前記作動部材
２２に形成されているセンサターゲット２２ａの面と対
面している。
【００１６】２４はラム１６の進退軸動量センサであ
り、ラム１６側にゲージ２５が固設され、ガイド本体１
５側にゲージ２５の読み取りヘッド２６が固定されてい
る。
り、ラム１６側にゲージ２５が固設され、ガイド本体１
５側にゲージ２５の読み取りヘッド２６が固定されてい
る。
【００１７】前記リニヤモータ１０は、数値制御装置４
０と偏差回路５０及びＶＣＭ駆動回路４９を介して接続
されている。また、前記ラム１６の進退移動量センサ２
４は偏差回路５０に接続されている。
０と偏差回路５０及びＶＣＭ駆動回路４９を介して接続
されている。また、前記ラム１６の進退移動量センサ２
４は偏差回路５０に接続されている。
【００１８】前記圧電アクチュエータ３０は、電源４７
とリレー回路４８及びＰＺＴ駆動回路４６を介して接続
され、前記数値制御装置４０は前記リレー回路４８に接
続している。また、数値制御装置４０は工作物Ｗを回転
する主軸５２に接続している主軸駆動回路５１にも接続
されている。
とリレー回路４８及びＰＺＴ駆動回路４６を介して接続
され、前記数値制御装置４０は前記リレー回路４８に接
続している。また、数値制御装置４０は工作物Ｗを回転
する主軸５２に接続している主軸駆動回路５１にも接続
されている。
【００１９】前記数値制御装置４０と前記ＰＺＴ駆動回
路４６との間に偏差回路４１が介装され、この偏差回路
４１には、前記２つの変位センサ２３ａ、２３ｂのそれ
ぞれの信号ａ、ｂの和を平均化してバイト２０の実際の
位置ｃを求める演算回路５３が接続されている。
路４６との間に偏差回路４１が介装され、この偏差回路
４１には、前記２つの変位センサ２３ａ、２３ｂのそれ
ぞれの信号ａ、ｂの和を平均化してバイト２０の実際の
位置ｃを求める演算回路５３が接続されている。
【００２０】さらに、圧電アクチュエータ３０に印加し
ている電圧値をモニタし、予め設定した下限設定値４３
と比較する下限比較器４４が前記数値制御装置４０に接
続されている。
ている電圧値をモニタし、予め設定した下限設定値４３
と比較する下限比較器４４が前記数値制御装置４０に接
続されている。
【００２１】本発明は上記の通りの構造であるから、数
値制御装置４０における圧電アクチュエータ３０の指令
値用メモリに記憶した高周波成分からなる非真円プロフ
ィルデータに基づいて、実際に圧電アクチュエータ３０
を作動させ、またリニヤモータ１０の指令値用メモリに
記憶した低周波成分からなる非真円プロフィルデータに
基づいて、実際にリニヤモータ１０を作動させる試し切
削動作を行い、このときに得られる応答値が目標値と同
じになるように指令値を作成し、この指令値を前記指令
値用メモリに記憶させる。
値制御装置４０における圧電アクチュエータ３０の指令
値用メモリに記憶した高周波成分からなる非真円プロフ
ィルデータに基づいて、実際に圧電アクチュエータ３０
を作動させ、またリニヤモータ１０の指令値用メモリに
記憶した低周波成分からなる非真円プロフィルデータに
基づいて、実際にリニヤモータ１０を作動させる試し切
削動作を行い、このときに得られる応答値が目標値と同
じになるように指令値を作成し、この指令値を前記指令
値用メモリに記憶させる。
【００２２】そして、工作物Ｗを回転する主軸５２の回
転に基づいて出力される同期信号により、指令値用メモ
リに記憶される高周波でストロークの小さなデータに基
づく指令値を出力し、圧電アクチュエータ３０の変位セ
ンサ２３ａ、２３ｂからフィードバックされるバイト２
０の位置ｃの信号との偏差である位置偏差信号を出力し
圧電アクチュエータ３０を制御する。
転に基づいて出力される同期信号により、指令値用メモ
リに記憶される高周波でストロークの小さなデータに基
づく指令値を出力し、圧電アクチュエータ３０の変位セ
ンサ２３ａ、２３ｂからフィードバックされるバイト２
０の位置ｃの信号との偏差である位置偏差信号を出力し
圧電アクチュエータ３０を制御する。
【００２３】また、主軸５２の回転に基づく同期信号に
より、指令値用メモリに記憶される低周波でストローク
の大きいデータに基づく指令値を出力し、リニヤモータ
１０の進退軸動量センサ２４からフィードバックされる
位置信号との偏差である位置偏差信号を出力してリニヤ
モータ１０を制御する。
より、指令値用メモリに記憶される低周波でストローク
の大きいデータに基づく指令値を出力し、リニヤモータ
１０の進退軸動量センサ２４からフィードバックされる
位置信号との偏差である位置偏差信号を出力してリニヤ
モータ１０を制御する。
【００２４】上記圧電アクチュエータ３０及びリニヤモ
ータ１０が、それぞれの指令値により制御されると共
に、両者の作動が合成されて非真円ップロフィルデータ
に即してバイト２０の半径方向の刃先位置を制御して、
非真円形状を切削加工する。
ータ１０が、それぞれの指令値により制御されると共
に、両者の作動が合成されて非真円ップロフィルデータ
に即してバイト２０の半径方向の刃先位置を制御して、
非真円形状を切削加工する。
【００２５】そこで、本発明では、圧電アクチュエータ
３０に印加している電圧値をモニタし、下限比較器４４
によって予め設定した下限設定値４３と比較する。
３０に印加している電圧値をモニタし、下限比較器４４
によって予め設定した下限設定値４３と比較する。
【００２６】外力でセンサターゲット２２ａが大きく傾
いたり、変位センサに異常が発生して、あたかも圧電ア
クチュエータ３０の作動によってバイト２０が工作物Ｗ
側へ移動した信号が演算回路５３から偏差回路４１に与
えられ、ＰＺＴ駆動回路４６から圧電アクチュエータ３
０にマイナスの電圧が供給される。この電圧値が下限設
定値４３を超えるときは、数値制御装置４０に異常信号
を送信する。
いたり、変位センサに異常が発生して、あたかも圧電ア
クチュエータ３０の作動によってバイト２０が工作物Ｗ
側へ移動した信号が演算回路５３から偏差回路４１に与
えられ、ＰＺＴ駆動回路４６から圧電アクチュエータ３
０にマイナスの電圧が供給される。この電圧値が下限設
定値４３を超えるときは、数値制御装置４０に異常信号
を送信する。
【００２７】これに基づいて数値制御装置４０は、リレ
ー回路４８にリレーオフ信号を発信し、ＰＺＴ駆動回路
４６への電源をオフして圧電アクチュエータ３０のサー
ボをオフ制御する。これにより圧電アクチュエータ３０
にかかるマイナス電圧が抑止される。
ー回路４８にリレーオフ信号を発信し、ＰＺＴ駆動回路
４６への電源をオフして圧電アクチュエータ３０のサー
ボをオフ制御する。これにより圧電アクチュエータ３０
にかかるマイナス電圧が抑止される。
【００２８】尚、上述した実施例は、ＰＺＴ駆動回路４
６から供給される電圧値を下限比較器４４でモニタする
例についてのべたが、他の変形例として、偏差回路４１
から供給される電圧値を下限比較器４４でモニタし、下
限設定値以下になったときに、圧電アクチュエータ３０
への電圧の供給を停止しても良い。
６から供給される電圧値を下限比較器４４でモニタする
例についてのべたが、他の変形例として、偏差回路４１
から供給される電圧値を下限比較器４４でモニタし、下
限設定値以下になったときに、圧電アクチュエータ３０
への電圧の供給を停止しても良い。
【００２９】
【発明の効果】以上のように本発明は、リニヤモータに
よって軸線方向に進退駆動するラムと、このラムの先端
にダイヤフラムを介して保持された工具と、前記ラムの
先端部に内蔵され前記工具を進退移動する圧電アクチュ
エータと、前記工具と同心で前記ダイヤフラムと一体的
に設けられたセンサターゲットと、前記ラムの先端面に
前記センサターゲットと対面し、かつセンサターゲット
の中心点を挟んだ２位置に配置され前記工具の進退方向
の位置を検出する２つの変位センサと、送り指令回路
と、この２つの変位センサからの変位出力値に基づいて
工具の位置を算出する演算回路と、前記送り指令回路の
出力と前記演算回路の出力とを入力して偏差信号を出力
する偏差回路と、この偏差回路からの偏差信号を入力し
て前記圧電アクチュエータへ出力する駆動回路と、前記
圧電アクチュエータ又は前記駆動回路に出力している電
圧値を予め設定した下限設定値と比較する下限比較器
と、この下限比較器で比較した電圧値が下限設定値を超
えたときに前記圧電アクチュエータを駆動停止する数値
制御装置とを備えた構成であるから、外力でセンサター
ゲットが大きく傾いたり、変位センサ又はセンサアンプ
に異常が発生して、あたかも圧電アクチュエータの作動
で工具の位置フィードバック値がプラス方向の誤認が生
じた場合、圧電アクチュエータにかかるマイナスの電圧
を抑止し、極性反転による制御不能を防止することがで
きる。
よって軸線方向に進退駆動するラムと、このラムの先端
にダイヤフラムを介して保持された工具と、前記ラムの
先端部に内蔵され前記工具を進退移動する圧電アクチュ
エータと、前記工具と同心で前記ダイヤフラムと一体的
に設けられたセンサターゲットと、前記ラムの先端面に
前記センサターゲットと対面し、かつセンサターゲット
の中心点を挟んだ２位置に配置され前記工具の進退方向
の位置を検出する２つの変位センサと、送り指令回路
と、この２つの変位センサからの変位出力値に基づいて
工具の位置を算出する演算回路と、前記送り指令回路の
出力と前記演算回路の出力とを入力して偏差信号を出力
する偏差回路と、この偏差回路からの偏差信号を入力し
て前記圧電アクチュエータへ出力する駆動回路と、前記
圧電アクチュエータ又は前記駆動回路に出力している電
圧値を予め設定した下限設定値と比較する下限比較器
と、この下限比較器で比較した電圧値が下限設定値を超
えたときに前記圧電アクチュエータを駆動停止する数値
制御装置とを備えた構成であるから、外力でセンサター
ゲットが大きく傾いたり、変位センサ又はセンサアンプ
に異常が発生して、あたかも圧電アクチュエータの作動
で工具の位置フィードバック値がプラス方向の誤認が生
じた場合、圧電アクチュエータにかかるマイナスの電圧
を抑止し、極性反転による制御不能を防止することがで
きる。
【図１】本発明装置の断面図
【図２】図１のＡ矢視部の拡大図
１０ リニヤモータ １１ センタポール １３ 進退駆動部材 １５ ガイド体 １６ ラム １８ ダイヤフラム ２０ バイト ２２ａ センサターゲット ２３ａ 変位センサ ２３ｂ 変位センサ ３０ 圧電アクチュエータ ４０ 数値制御装置 ４４ 下限比較器 ４６ ＰＺＴ駆動回路 ４７ 電源 ４８ リレー回路 ４９ ＶＣＭ駆動回路 ５１ 主軸駆動回路 ５２ 主軸 ５３ 演算回路
Claims (1)
- 【請求項１】 リニヤモータによって軸線方向に進退駆
動するラムと、このラムの先端にダイヤフラムを介して
保持された工具と、前記ラムの先端部に内蔵され前記工
具を進退移動する圧電アクチュエータと、前記工具と同
心で前記ダイヤフラムと一体的に設けられたセンサター
ゲットと、前記ラムの先端面に前記センサターゲットと
対面し、かつセンサターゲットの中心点を挟んだ２位置
に配置され前記工具の進退方向の位置を検出する２つの
変位センサと、送り指令回路と、この２つの変位センサ
からの変位出力値に基づいて工具の位置を算出する演算
回路と、前記送り指令回路の出力と前記演算回路の出力
とを入力して偏差信号を出力する偏差回路と、この偏差
回路からの偏差信号を入力して前記圧電アクチュエータ
へ出力する駆動回路と、前記圧電アクチュエータ又は前
記駆動回路に出力している電圧値を予め設定した下限設
定値と比較する下限比較器と、この下限比較器で比較し
た電圧値が下限設定値を超えたときに前記圧電アクチュ
エータを駆動停止する数値制御装置とを備えたことを特
徴とする工具送り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21568892A JP3484709B2 (ja) | 1992-07-22 | 1992-07-22 | 工具送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21568892A JP3484709B2 (ja) | 1992-07-22 | 1992-07-22 | 工具送り装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0631576A true JPH0631576A (ja) | 1994-02-08 |
| JP3484709B2 JP3484709B2 (ja) | 2004-01-06 |
Family
ID=16676512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21568892A Expired - Fee Related JP3484709B2 (ja) | 1992-07-22 | 1992-07-22 | 工具送り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3484709B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1948393A1 (en) * | 2005-11-15 | 2008-07-30 | 3M Innovative Properties Company | Cutting tool having variable rotation about a y-direction transversely across a work piece for making microstructures |
| CN102091962A (zh) * | 2011-02-16 | 2011-06-15 | 厦门大学 | 一种用于变椭圆活塞加工的微进给机构 |
| WO2014165570A1 (en) * | 2013-04-04 | 2014-10-09 | Microlution Inc. | Fast live tool system |
| JP5916929B1 (ja) * | 2015-06-18 | 2016-05-11 | 株式会社滝澤鉄工所 | 非円形加工装置 |
| CN109513950A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-03-26 | 姜堰经济开发区科创中心 | 一种超细不锈钢过滤丝加工用精密快速伺服刀架 |
| CN109877628A (zh) * | 2019-03-29 | 2019-06-14 | 南京理工大学 | 一种基于混合驱动的大行程刀具伺服装置及其控制方法 |
-
1992
- 1992-07-22 JP JP21568892A patent/JP3484709B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1948393A1 (en) * | 2005-11-15 | 2008-07-30 | 3M Innovative Properties Company | Cutting tool having variable rotation about a y-direction transversely across a work piece for making microstructures |
| EP1948393A4 (en) * | 2005-11-15 | 2009-03-25 | 3M Innovative Properties Co | VARIABLE ROTATION CUTTING TOOL AROUND A AXIS IN A CROSS-Y-DIRECTION OF A WORKPIECE FOR MACHINING TO FORM MICROSTRUCTURES |
| CN102091962A (zh) * | 2011-02-16 | 2011-06-15 | 厦门大学 | 一种用于变椭圆活塞加工的微进给机构 |
| WO2014165570A1 (en) * | 2013-04-04 | 2014-10-09 | Microlution Inc. | Fast live tool system |
| CN105142858A (zh) * | 2013-04-04 | 2015-12-09 | 美商麦克鲁森公司 | 快速传动刀具系统 |
| JP2016521213A (ja) * | 2013-04-04 | 2016-07-21 | マイクロルーション・インコーポレイテッドＭｉｃｒｏｌｕｔｉｏｎ Ｉｎｃ． | ファストライブツールシステム |
| US9604332B2 (en) | 2013-04-04 | 2017-03-28 | Microlution Inc. | Fast live tool system |
| JP5916929B1 (ja) * | 2015-06-18 | 2016-05-11 | 株式会社滝澤鉄工所 | 非円形加工装置 |
| CN109513950A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-03-26 | 姜堰经济开发区科创中心 | 一种超细不锈钢过滤丝加工用精密快速伺服刀架 |
| CN109877628A (zh) * | 2019-03-29 | 2019-06-14 | 南京理工大学 | 一种基于混合驱动的大行程刀具伺服装置及其控制方法 |
| CN109877628B (zh) * | 2019-03-29 | 2023-09-26 | 南京理工大学 | 一种基于混合驱动的大行程刀具伺服装置及其控制方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3484709B2 (ja) | 2004-01-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6774334B1 (en) | Wire electric discharge machining of corners | |
| JPH0631576A (ja) | 工具送り装置 | |
| JPH07116860A (ja) | ロボット溶接ガンユニット | |
| JPH0631577A (ja) | 工具送り装置 | |
| JP4727630B2 (ja) | 型締装置及び型閉じ動作制御方法 | |
| KR100473926B1 (ko) | 전동식 형체장치 및 형체방법 | |
| JPS61154820A (ja) | 電動式射出成形機の射出圧制御方法 | |
| JP3136874B2 (ja) | 溶接ロボットの溶接ガン位置決め方法 | |
| JP2002036327A (ja) | 射出成形機の金型保護装置 | |
| JPH0360928A (ja) | 放電加工装置 | |
| JP2002254470A (ja) | 電動式射出成形機におけるロードセルの零点調整方法 | |
| JPH03256639A (ja) | 送り制御装置 | |
| JP2706032B2 (ja) | 位置決め荷重制御装置 | |
| JPH0360929A (ja) | 放電加工装置 | |
| JPH068058A (ja) | 放電加工機 | |
| JPH0360927A (ja) | 放電加工装置 | |
| JPH1099973A (ja) | ロボット溶接ガンのサーボ制御装置 | |
| JPH0615459A (ja) | 溶接電極輪の自動整形装置 | |
| JPH0344889B2 (ja) | ||
| JP2503313Y2 (ja) | バイト送り装置 | |
| JP2000071299A (ja) | 電動式型締装置及び型締方法 | |
| JP2002347071A (ja) | 電動射出成形機の駆動装置 | |
| JP2006218795A (ja) | 多軸駆動装置 | |
| JPH04129613A (ja) | 放電加工機の制御方法及びその装置 | |
| JP2847394B2 (ja) | 放電加工装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091024 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |