JPH06310821A - Ceramic package assembly, dividing and fabrication of ceramic package - Google Patents
Ceramic package assembly, dividing and fabrication of ceramic packageInfo
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- JPH06310821A JPH06310821A JP10149293A JP10149293A JPH06310821A JP H06310821 A JPH06310821 A JP H06310821A JP 10149293 A JP10149293 A JP 10149293A JP 10149293 A JP10149293 A JP 10149293A JP H06310821 A JPH06310821 A JP H06310821A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、シート状の積層セラミ
ック基板に複数の独立したパッケージ部が形成されたセ
ラミックパッケージ集合体及びその分割方法並びにセラ
ミックパッケージの組立方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic package assembly in which a plurality of independent package parts are formed on a sheet-shaped laminated ceramic substrate, a method of dividing the same, and a method of assembling the ceramic package.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来から、表面実装型水晶発振器等のパ
ッケージとしてアルミナセラミックパッケージが用いら
れている。シート状の積層セラミック基板に複数の独立
したパッケージ部を設けたセラミックパッケージ集合体
が用いられている。従来のセラミックパッケージ集合体
を図3に示す。図3(a)はセラミックパッケージ集合
体の平面図であり、図3(b)は断面図である。2. Description of the Related Art Conventionally, an alumina ceramic package has been used as a package for a surface mount crystal oscillator or the like. A ceramic package assembly in which a plurality of independent package parts are provided on a sheet-shaped laminated ceramic substrate is used. A conventional ceramic package assembly is shown in FIG. 3A is a plan view of the ceramic package assembly, and FIG. 3B is a sectional view.
【0003】表面実装型水晶発振器等で用いられる積層
セラミック基板10は通常3〜4層を積層して形成され
ている。第1層のグリーンシートにはタングステンやモ
リブデンで回路パターンを形成し、2〜3層のグリーン
シートを重ね、積層プレス後、約1600℃で焼結して
形成される。積層セラミック基板10の各パッケージ部
12、14、16、18には、図3(a)に示すよう
に、素子を収納するための素子用キャビティ12a、1
4a、16a、18aが形成され、各素子用キャビティ
12a、14a、16a、18a内には回路パターンが
形成され、水晶振動子、IC、コンデンサ等が搭載され
る。各素子用キャビティ12a、14a、16a、18
aの周囲外縁にはシームリング12b、14b、16
b、18bが形成されている。The laminated ceramic substrate 10 used in a surface mount type crystal oscillator or the like is usually formed by laminating 3 to 4 layers. A circuit pattern is formed on the first-layer green sheet with tungsten or molybdenum, two or three layers of green sheets are stacked, laminated and pressed, and then sintered at about 1600 ° C. As shown in FIG. 3A, each package portion 12, 14, 16, 18 of the monolithic ceramic substrate 10 has an element cavity 12a, 1 for accommodating an element.
4a, 16a, 18a are formed, a circuit pattern is formed in each element cavity 12a, 14a, 16a, 18a, and a crystal oscillator, an IC, a capacitor, etc. are mounted. Cavities 12a, 14a, 16a, 18 for each element
A seam ring 12b, 14b, 16 is provided around the outer periphery of a.
b and 18b are formed.
【0004】積層セラミック基板10の各パッケージ部
12、14、16、18間には境界部20が設けられ、
境界部20には、図3(b)に示すように、各パッケー
ジ部12、14、16、18を分割するための分割溝2
0a、20bが形成されている。積層セラミック基板1
0に対しては、その後の工程で、パターンの導体損を軽
減するために、電解金メッキを行なう必要がある。この
ため、積層セラミック基板10の境界部20に形成する
分割溝20a、20bは、第1層の回路パターンを切断
しないように、裏面側の分割溝20bを浅く、表面側の
分割溝20aを深く形成していた。A boundary portion 20 is provided between the package portions 12, 14, 16 and 18 of the laminated ceramic substrate 10.
In the boundary portion 20, as shown in FIG. 3B, the dividing groove 2 for dividing each package portion 12, 14, 16, 18 is formed.
0a and 20b are formed. Multilayer ceramic substrate 1
For 0, it is necessary to perform electrolytic gold plating in the subsequent process in order to reduce the conductor loss of the pattern. Therefore, the dividing grooves 20a and 20b formed in the boundary portion 20 of the multilayer ceramic substrate 10 have a shallow rear surface dividing groove 20b and a deep front surface dividing groove 20a so as not to cut the circuit pattern of the first layer. Had formed.
【0005】このような従来の積層セラミック基板10
を分割するには、積層セラミック基板10に対して、表
面側の分割溝20aが拡がるような力Fを加えることに
より、境界部20を破壊し、パッケージ部12、14、
16、18を分割する。Such a conventional monolithic ceramic substrate 10
In order to divide, the boundary portion 20 is destroyed by applying a force F to the multilayer ceramic substrate 10 so that the division groove 20a on the front surface side is expanded, and the package portions 12, 14,
Divide 16 and 18.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、積層セ
ラミック基板10を境界部20を破壊して分割する場
合、積層セラミック基板10特有の脆性材料特性のた
め、分割に際して多量のバリやカケが発生するという問
題があった。手作業により積層セラミック基板10を分
割するには、作業者にかなりの熟練度が要求されること
となるため、積層セラミック基板10を分割するための
自動機の開発が行われている。However, when the laminated ceramic substrate 10 is divided by breaking the boundary portion 20, the brittle material characteristic of the laminated ceramic substrate 10 causes a large amount of burrs and chips during the division. There was a problem. Since the operator is required to have a considerable degree of skill in manually dividing the laminated ceramic substrate 10, an automatic machine for dividing the laminated ceramic substrate 10 has been developed.
【0007】自動機で分割する場合には、積層セラミッ
ク基板10の裏面を固定し、シームリング12b、14
b、16b、18bが形成された表面側から力を印加
し、曲げモーメントにより分割する方法が行なわれる。
しかしながら、従来は、境界部20の裏面側の分割溝2
0bが浅いため、力を加えて境界部20に表面側の分割
溝20aから亀裂を発生させても、裏面側の分割溝20
bにうまく合致せず、境界部20にきちんと沿った分割
ができず、多量なバリやカケが発生するという問題があ
った。When dividing by an automatic machine, the back surface of the laminated ceramic substrate 10 is fixed and the seam rings 12b, 14
A method is applied in which a force is applied from the surface side where b, 16b, and 18b are formed, and division is performed by a bending moment.
However, conventionally, the dividing groove 2 on the back surface side of the boundary portion 20 is used.
Since 0b is shallow, even if a crack is generated in the boundary portion 20 from the front side dividing groove 20a by applying a force, the rear side dividing groove 20
There is a problem that it does not properly match with b, the boundary portion 20 cannot be properly divided, and a large amount of burr or chipping occurs.
【0008】本発明の目的は、多量のバリやカケが発生
することがないセラミックパッケージ集合体及びその分
割方法を提供することにある。本発明の目的は、分割時
のバリやカケによる不良が発生しにくいセラミックパッ
ケージの組立方法を提供することにある。It is an object of the present invention to provide a ceramic package assembly and a method of dividing the same, in which a large amount of burrs and chips are not generated. An object of the present invention is to provide a method of assembling a ceramic package in which defects due to burrs and chips at the time of division are less likely to occur.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的は、シート状の
積層セラミック基板に複数の独立したパッケージ部を形
成したセラミックパッケージ集合体において、複数のパ
ッケージ部の境界部には、パッケージ部の素子が搭載さ
れる表面側から掘られた表面側溝と、パッケージ部の裏
面側から掘られた裏面側溝からなる分割溝が形成され、
裏面側溝の溝深さの方が表面側溝の溝深さよりも深くな
るように形成されていることを特徴とするセラミックパ
ッケージ集合体によって達成される。In the ceramic package assembly in which a plurality of independent package parts are formed on a sheet-shaped laminated ceramic substrate, the elements of the package parts are provided at the boundaries of the plurality of package parts. A dividing groove formed by a front side groove that is dug from the front side to be mounted and a back side groove that is dug from the back side of the package is formed,
This is achieved by a ceramic package assembly characterized in that the groove depth of the rear surface side groove is formed to be deeper than the groove depth of the front surface side groove.
【0010】また、上記目的は、上述したセラミックパ
ッケージ集合体内の隣接するパッケージ部に対して、境
界部の表面側溝を拡げるような力を加えることにより、
境界部を破壊し、パッケージ部を分割することを特徴と
するセラミックパッケージ集合体の分割方法によって達
成される。さらに、上記目的は、上述したセラミックパ
ッケージ集合体を用いたセラミックパッケージの組立方
法において、セラミックパッケージ集合体の各パッケー
ジ部の表面側に形成された素子用キャビティ内に素子を
搭載し、素子用キャビティを蓋によりシールした後に、
上述した分割方法によりセラミックパッケージ集合体を
パッケージ部毎に分割することを特徴とするセラミック
パッケージの組立方法によって達成される。Further, the above object is to apply a force for expanding the surface side groove of the boundary part to the adjacent package parts in the above-mentioned ceramic package assembly,
This is achieved by a method of dividing a ceramic package assembly, which is characterized by breaking the boundary portion and dividing the package portion. Further, the above-mentioned object is, in the method of assembling a ceramic package using the above-mentioned ceramic package assembly, mounting an element in the element cavity formed on the surface side of each package portion of the ceramic package assembly, After sealing with a lid,
This is achieved by a method of assembling a ceramic package, characterized in that the ceramic package assembly is divided into package parts by the above-mentioned dividing method.
【0011】[0011]
【作用】本発明によれば、複数のパッケージ部の境界部
に、パッケージ部の素子が搭載される表面側から掘られ
た表面側溝と、パッケージ部の裏面側から掘られた裏面
側溝からなる分割溝が形成され、裏面側溝の溝深さの方
が表面側溝の溝深さよりも深くなるように形成されてい
るので、境界部の表面側溝を拡げるような力を加えるこ
とにより、境界部を破壊してパッケージ部を分割して
も、表面側の分割溝から発生した亀裂が常に裏面側の分
割溝に到達し、大量のバリやカケを発生させることなく
分割することができる。According to the present invention, the boundary portion of the plurality of package portions is divided into a front surface side groove dug from the front surface side on which the elements of the package portion are mounted and a back surface side groove dug from the back surface side of the package portion. Since the groove is formed and the depth of the back side groove is deeper than the depth of the front side groove, the boundary area is destroyed by applying a force that expands the front side groove. Even if the package portion is divided, the cracks generated from the front surface side dividing groove always reach the rear surface side dividing groove, and the package portion can be divided without causing a large amount of burrs and chips.
【0012】また、本発明によれば、セラミックパッケ
ージ集合体の各パッケージ部の表面側に形成された素子
用キャビティ内に素子を搭載し、素子用キャビティを蓋
によりシールした後に、セラミックパッケージ集合体を
パッケージ部毎に分割するようにしたので、分割時のバ
リやカケによる不良の発生を防止することができる。Further, according to the present invention, the element is mounted in the element cavity formed on the surface side of each package portion of the ceramic package assembly, and the element cavity is sealed with the lid, and then the ceramic package assembly. Since the package is divided for each package portion, it is possible to prevent the occurrence of defects due to burrs and chips at the time of division.
【0013】[0013]
【実施例】本発明の一実施例によるセラミックパッケー
ジ集合体を図1を用いて説明する。図1(a)はセラミ
ックパッケージ集合体の平面図であり、図1(b)は断
面図である。図1(a)に示すように、横22.1m
m、縦13.0mm、厚さ2.1mmの積層セラミック
基板10に横11.0mm、縦6.4mmのパッケージ
部12、14、16、18を設け、各パッケージ部1
2、14、16、18に、横11.0mm、縦6.4m
m、深さ2.1mmの素子用キャビティ12a、14
a、16a、18aが設けられている。EXAMPLE A ceramic package assembly according to an example of the present invention will be described with reference to FIG. 1A is a plan view of the ceramic package assembly, and FIG. 1B is a sectional view. As shown in Fig. 1 (a), the width is 22.1m.
The package portions 12, 14, 16 and 18 having a width of 11.0 mm and a length of 6.4 mm are provided on the laminated ceramic substrate 10 having a length of m, a length of 13.0 mm and a thickness of 2.1 mm.
2,14,16,18, width 11.0mm, height 6.4m
m, depth 2.1 mm for element cavities 12a, 14
a, 16a, 18a are provided.
【0014】各素子用キャビティ12a、14a、16
a、18a内には回路パターンが形成され、水晶振動
子、IC、コンデンサ等が搭載される。各素子用キャビ
ティ12a、14a、16a、18aの周囲外縁にはシ
ームリング12b、14b、16b、18bが形成され
ている。積層セラミック基板10の各パッケージ部1
2、14、16、18間には境界部20が設けられ、境
界部20には、図1(b)に示すように、各パッケージ
部12、14、16、18を分割するための分割溝20
a、20bが形成されている。表面側の分割溝20aの
溝深さt1は0.48mmであり、裏面側の分割溝20
bの深さt2は1.325mmであり、裏面側の分割溝
20bの方が表面側の分割溝20aよりも深くなる(t
2>t1)ように形成されている。Cavities 12a, 14a, 16 for each element
A circuit pattern is formed in each of a and 18a, and a crystal oscillator, an IC, a capacitor and the like are mounted therein. Seam rings 12b, 14b, 16b, 18b are formed on the outer peripheral edges of the element cavities 12a, 14a, 16a, 18a. Each package part 1 of the laminated ceramic substrate 10
A boundary portion 20 is provided between the two, 14, 16, and 18, and the boundary portion 20 has a dividing groove for dividing each package portion 12, 14, 16, 18 as shown in FIG. 20
a and 20b are formed. The groove depth t1 of the division groove 20a on the front surface side is 0.48 mm, and the division groove 20 on the back surface side
The depth t2 of b is 1.325 mm, and the dividing groove 20b on the back surface side is deeper than the dividing groove 20a on the front surface side (t
2> t1).
【0015】裏面側の分割溝20bを深く形成したの
で、積層セラミック基板10の第1層の回路パターンは
切断される。このため、本実施例では、パッケージ部1
2、14、16、18間での回路パターンの電気的接続
を確保するために、積層セラミック基板10の第2層に
より第1層の回路パターン間を電気的に接続するように
している。したがって、パターンの導体損を軽減するた
めに、セラミックパッケージ集合体である積層セラミッ
ク基板10全体に対して電解金メッキを行なうことがで
きる。Since the dividing groove 20b on the back surface side is formed deep, the circuit pattern of the first layer of the laminated ceramic substrate 10 is cut. Therefore, in this embodiment, the package unit 1
In order to secure the electrical connection of the circuit patterns between 2, 14, 16 and 18, the second layer of the laminated ceramic substrate 10 electrically connects between the circuit patterns of the first layer. Therefore, in order to reduce the conductor loss of the pattern, electrolytic gold plating can be performed on the entire laminated ceramic substrate 10 that is a ceramic package assembly.
【0016】次に、本実施例によるセラミックパッケー
ジ集合体を用いたセラミックパッケージの組立方法につ
いて説明する。まず、図1に示すように形成された積層
セラミック基板10であるセラミックパッケージ集合体
を用意する。次に、セラミックパッケージ集合体である
積層セラミック基板10の各パッケージ部12、14、
16、18の素子用キャビティ12a、14a、16
a、18a内に、水晶振動子、IC、コンデンサ等の必
要な部品を搭載する。Next, a method of assembling a ceramic package using the ceramic package assembly according to this embodiment will be described. First, a ceramic package assembly, which is the laminated ceramic substrate 10 formed as shown in FIG. 1, is prepared. Next, the package portions 12, 14 of the laminated ceramic substrate 10 which is a ceramic package assembly,
16, 18 element cavities 12a, 14a, 16
Necessary parts such as a crystal oscillator, an IC, and a capacitor are mounted in a and 18a.
【0017】次に、各パッケージ部12、14、16、
18のシームリング12b、14b、16b、18b上
に蓋(図示せず)を溶接により接着して、素子用キャビ
ティ12a、14a、16a、18aをシールする。次
に、積層セラミック基板10のパッケージ部12、1
4、16、18に対して、境界部20の表面側の分割溝
20aを拡げるような力Fを加えることにより、境界部
20を破壊して、パッケージ部12、14、16、18
を分割する。これにより表面実装型水晶発振器の組立が
完成する。Next, the respective package parts 12, 14, 16,
A lid (not shown) is adhered to the seam rings 12b, 14b, 16b, 18b of 18 by welding to seal the element cavities 12a, 14a, 16a, 18a. Next, the package parts 12, 1 of the laminated ceramic substrate 10
The boundary portion 20 is destroyed by applying a force F for expanding the dividing groove 20a on the front surface side of the boundary portion 20 to the package portions 12, 14, 16, 18
Split. This completes the assembly of the surface mount crystal oscillator.
【0018】このように本実施例によれば、境界部の表
面側の分割溝を拡げるような力を加えることにより、境
界部を破壊してパッケージ部を分割しても、表面側の分
割溝から発生した亀裂が常に裏面側の分割溝に達し、大
量のバリやカケを発生させることなく分割することがで
きる。また、本実施例によれば、セラミックパッケージ
集合体の各パッケージ部の表面側に形成された素子用キ
ャビティ内に素子を搭載し、素子用キャビティを蓋によ
りシールした後に、セラミックパッケージ集合体をパッ
ケージ部毎に分割するようにしたので、分割時にバリや
カケが発生しても素子内部に入ることがなく、バリやカ
ケによる不良の発生を防止することができる。As described above, according to this embodiment, even if the boundary portion is broken and the package portion is divided by applying a force for expanding the dividing groove on the front surface side of the boundary portion, the dividing groove on the front surface side is formed. The cracks generated from the groove always reach the dividing groove on the back surface side, and it is possible to divide without generating a large amount of burrs and chips. Further, according to the present embodiment, the element is mounted in the element cavity formed on the surface side of each package portion of the ceramic package assembly, and the element cavity is sealed by the lid, and then the ceramic package assembly is packaged. Since it is divided into parts, even if burrs or chips are generated during the division, they do not enter the inside of the element, and it is possible to prevent the occurrence of defects due to burrs or chips.
【0019】さらに、本実施例によれば、セラミックパ
ッケージ集合体のままで、素子用キャビティ内に素子を
搭載し、素子用キャビティを蓋によりシールするので、
各工程を自動化して効率よく組立てることができる。本
実施例のセラミックパッケージ集合体(図1)を分割し
た場合と従来のセラミックパッケージ集合体(図3)を
分割した場合における、分割後のセラミックパッケージ
の縦方向の寸法について測定した。測定結果を図2に示
す。Further, according to this embodiment, since the element is mounted in the element cavity and the element cavity is sealed with the lid, the ceramic package assembly is kept as it is.
Each process can be automated and assembled efficiently. The vertical dimension of the divided ceramic package was measured when the ceramic package assembly of this example (FIG. 1) was divided and when the conventional ceramic package assembly (FIG. 3) was divided. The measurement results are shown in FIG.
【0020】本実施例の場合も従来の場合も共に24個
のセラミックパッケージ集合体を分割した。図2に示す
ように本実施例の場合、従来に比べて、標準偏差が4分
の1以下となり、寸法のバラツキが非常に小さかった。
本実施例の場合、境界部にきちんと沿って分割されてお
り、分割時に発生するバリやカケの量も非常に少なかっ
た。In both the present embodiment and the conventional case, 24 ceramic package assemblies were divided. As shown in FIG. 2, in the case of this example, the standard deviation was 1/4 or less as compared with the conventional case, and the dimensional variation was very small.
In the case of this example, the boundary was properly divided, and the amount of burrs and chips generated during the division was very small.
【0021】[0021]
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、複数のパ
ッケージ部の境界部に、パッケージ部の素子が搭載され
る表面側から掘られた表面側溝と、パッケージ部の裏面
側から掘られた裏面側溝からなる分割溝が形成され、裏
面側溝の溝深さの方が表面側溝の溝深さよりも深くなる
ように形成されているので、境界部の表面側溝を拡げる
ような力を加えることにより、境界部を破壊してパッケ
ージ部を分割しても、表面側の分割溝から発生した亀裂
が常に裏面側の分割溝に到達し、大量のバリやカケを発
生させることなく分割することができる。また、セラミ
ックパッケージ集合体の各パッケージ部の表面側に形成
された素子用キャビティ内に素子を搭載し、素子用キャ
ビティを蓋によりシールした後に、セラミックパッケー
ジ集合体をパッケージ部毎に分割するようにしたので、
分割時のバリやカケによる不良の発生を防止することが
できる。As described above, according to the present invention, in the boundary portion of a plurality of package parts, the surface side groove formed from the surface side where the elements of the package part are mounted and the back surface side of the package part are formed. Since a divided groove consisting of the back side groove is formed and the depth of the back side groove is deeper than the depth of the front side groove, it is necessary to apply a force to expand the front side groove at the boundary. Even if the package part is divided by breaking the boundary part, the cracks generated from the front surface side dividing groove always reach the rear surface side dividing groove, and it is possible to divide without causing a large amount of burrs and chips. it can. Also, after mounting the elements in the element cavities formed on the surface side of each package part of the ceramic package assembly and sealing the element cavities with the lid, the ceramic package assembly may be divided into package parts. Because I did
It is possible to prevent defects due to burrs and chips during division.
【図1】本発明の一実施例によるセラミックパッケージ
集合体を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a ceramic package assembly according to an embodiment of the present invention.
【図2】本実施例のセラミックパッケージ集合体を分割
した場合のセラミックパッケージの縦方向の寸法の測定
結果を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing measurement results of vertical dimension of a ceramic package when the ceramic package assembly of the present embodiment is divided.
【図3】従来のセラミックパッケージ集合体を示す図で
ある。FIG. 3 is a diagram showing a conventional ceramic package assembly.
10…積層セラミック基板 12、14、16、18…パッケージ部 12a、14a、16a、18a…素子用キャビティ 12b、14b、16b、18b…シームリング 20…境界部 20a…表面側分割溝 20b…裏面側分割溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Multilayer ceramic substrate 12, 14, 16, 18 ... Package part 12a, 14a, 16a, 18a ... Element cavity 12b, 14b, 16b, 18b ... Seam ring 20 ... Border part 20a ... Front side division groove 20b ... Back side Dividing groove
Claims (3)
独立したパッケージ部を形成したセラミックパッケージ
集合体において、 前記複数のパッケージ部の境界部には、前記パッケージ
部の素子が搭載される表面側から掘られた表面側溝と、
前記パッケージ部の裏面側から掘られた裏面側溝からな
る分割溝が形成され、前記裏面側溝の溝深さの方が前記
表面側溝の溝深さよりも深くなるように形成されている
ことを特徴とするセラミックパッケージ集合体。1. A ceramic package assembly in which a plurality of independent package parts are formed on a sheet-shaped laminated ceramic substrate, wherein a boundary part of the plurality of package parts is arranged from a surface side on which elements of the package part are mounted. A dug surface gutter,
A dividing groove formed of a back surface side groove dug from the back surface side of the package portion is formed, and the groove depth of the back surface side groove is formed to be deeper than the groove depth of the front surface side groove. Ceramic package assembly.
合体を分割するセラミックパッケージ集合体の分割方法
において、 隣接する前記パッケージ部に対して、前記境界部の表面
側溝を拡げるような力を加えることにより、前記境界部
を破壊し、前記パッケージ部を分割することを特徴とす
るセラミックパッケージ集合体の分割方法。2. The method of dividing a ceramic package assembly according to claim 1, wherein a force for expanding the surface side groove of the boundary portion is applied to the adjacent package portions. A method for dividing a ceramic package assembly, characterized in that the boundary portion is destroyed and the package portion is divided.
合体を用いたセラミックパッケージの組立方法におい
て、 前記セラミックパッケージ集合体の各パッケージ部の表
面側に形成された素子用キャビティ内に素子を搭載し、
前記素子用キャビティを蓋によりシールした後に、請求
項2記載の分割方法により前記セラミックパッケージ集
合体をパッケージ部毎に分割することを特徴とするセラ
ミックパッケージの組立方法。3. A method of assembling a ceramic package using the ceramic package assembly according to claim 1, wherein an element is mounted in an element cavity formed on a surface side of each package portion of the ceramic package assembly,
3. The method for assembling a ceramic package according to claim 2, wherein the ceramic package assembly is divided into package parts by the dividing method according to claim 2, after the element cavity is sealed with a lid.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10149293A JPH06310821A (en) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | Ceramic package assembly, dividing and fabrication of ceramic package |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10149293A JPH06310821A (en) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | Ceramic package assembly, dividing and fabrication of ceramic package |
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JPH06310821A true JPH06310821A (en) | 1994-11-04 |
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ID=14302175
Family Applications (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006013318A (en) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Hitachi Metals Ltd | Laminated board and high-frequency electronic part, and method for manufacturing the same |
JP2006269725A (en) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ceramic device and its manufacturing method |
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-
1993
- 1993-04-27 JP JP10149293A patent/JPH06310821A/en active Pending
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