JPH06310772A - 位置決め制御装置 - Google Patents
位置決め制御装置Info
- Publication number
- JPH06310772A JPH06310772A JP9444393A JP9444393A JPH06310772A JP H06310772 A JPH06310772 A JP H06310772A JP 9444393 A JP9444393 A JP 9444393A JP 9444393 A JP9444393 A JP 9444393A JP H06310772 A JPH06310772 A JP H06310772A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric element
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Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 27
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 230000004044 response Effects 0.000 abstract description 3
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 5
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 弾性支持されている可動部を圧電素子で位置
決めする装置において、高精度な位置決めを可能にでき
ると共に、その応答性を向上させる。 【構成】 可動部の変位を検出する変位センサ１と、圧
電素子の蓄積電荷を検出する検出器（コンデンサ８また
は抵抗１１と積分器１２）を設け、変位センサ１の出力
を圧電素子駆動装置５にフィードバックすると共に、マ
イナーループとして蓄積電荷検出器の出力をバンドパス
フィルター１０または１３を介して圧電素子駆動装置５
にフィードバックする。
決めする装置において、高精度な位置決めを可能にでき
ると共に、その応答性を向上させる。 【構成】 可動部の変位を検出する変位センサ１と、圧
電素子の蓄積電荷を検出する検出器（コンデンサ８また
は抵抗１１と積分器１２）を設け、変位センサ１の出力
を圧電素子駆動装置５にフィードバックすると共に、マ
イナーループとして蓄積電荷検出器の出力をバンドパス
フィルター１０または１３を介して圧電素子駆動装置５
にフィードバックする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高分解能なアクチュエ
ータである圧電素子を用いた位置決め制御装置、特には
高精度な位置決めが必要な半導体露光装置や多種の工作
機械装置等に適用可能な位置決め制御装置に関するもの
である。
ータである圧電素子を用いた位置決め制御装置、特には
高精度な位置決めが必要な半導体露光装置や多種の工作
機械装置等に適用可能な位置決め制御装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、アクチュエータに圧電素子を用い
た位置決め制御装置は、図５に示すような圧電素子のヒ
ステリシス特性を取り除くために、例えば図３に示すよ
うに構成されている。図３において、１は弾性支持され
た可動部７の変位を検出する変位センサ、２は目標位置
と変位センサ１の検出出力との差を取る差分器、３は位
置決め制御系を安定にするためのＰＩＤ補償器、５は圧
電素子駆動装置、６は可動部７を移動させるための圧電
素子であり、図３の従来装置では、変位センサ１で可動
部７の位置を検出し、可動部７の位置決めのために変位
センサ１の検出出力を差分器２とＰＩＤ補償器３を介し
て圧電素子駆動装置５にフィードバックしている。
た位置決め制御装置は、図５に示すような圧電素子のヒ
ステリシス特性を取り除くために、例えば図３に示すよ
うに構成されている。図３において、１は弾性支持され
た可動部７の変位を検出する変位センサ、２は目標位置
と変位センサ１の検出出力との差を取る差分器、３は位
置決め制御系を安定にするためのＰＩＤ補償器、５は圧
電素子駆動装置、６は可動部７を移動させるための圧電
素子であり、図３の従来装置では、変位センサ１で可動
部７の位置を検出し、可動部７の位置決めのために変位
センサ１の検出出力を差分器２とＰＩＤ補償器３を介し
て圧電素子駆動装置５にフィードバックしている。
【０００３】また、図４に示すような変位センサ１を使
用しない装置も知られている。図４の装置では、図６に
示すような圧電素子６の電荷と変位の特性の関係に着目
し、圧電素子６に接続された電荷検出コンデンサ８の検
出出力を増幅器１４で増幅した後に、差分器１５を介し
て圧電素子駆動装置５にフィードバックすることによ
り、圧電素子６による可動部７の位置決めを行ってい
る。
用しない装置も知られている。図４の装置では、図６に
示すような圧電素子６の電荷と変位の特性の関係に着目
し、圧電素子６に接続された電荷検出コンデンサ８の検
出出力を増幅器１４で増幅した後に、差分器１５を介し
て圧電素子駆動装置５にフィードバックすることによ
り、圧電素子６による可動部７の位置決めを行ってい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、図
４の従来例のように圧電素子６の電荷量をフィードバッ
クして位置決めをすると、圧電素子６の漏れ電流のため
に圧電素子６に蓄えられている電荷量とコンデンサ８で
検出される電荷量とにズレが生じるので、可動部７を任
意の設定位置に長時間保って置くことができない。
４の従来例のように圧電素子６の電荷量をフィードバッ
クして位置決めをすると、圧電素子６の漏れ電流のため
に圧電素子６に蓄えられている電荷量とコンデンサ８で
検出される電荷量とにズレが生じるので、可動部７を任
意の設定位置に長時間保って置くことができない。
【０００５】この圧電素子の漏れ電流を補償するために
は、コンデンサ８によって検出される電荷を圧電素子６
の漏れ電流に合わせて逃がしてやる必要がある。しか
し、漏れ電流は圧電素子６の状態によって変わってしま
うため、それに合わせて電荷をコンデンサ８から逃がす
ことは困難である。
は、コンデンサ８によって検出される電荷を圧電素子６
の漏れ電流に合わせて逃がしてやる必要がある。しか
し、漏れ電流は圧電素子６の状態によって変わってしま
うため、それに合わせて電荷をコンデンサ８から逃がす
ことは困難である。
【０００６】また、弾性支持されている可動部７の位置
決めにおいては、図３に示した従来例のように可動部７
の位置を検出し、その検出出力（信号）を圧電素子駆動
装置５にフィードバックして位置決めを行うとすると、
図７に示すように可動部７の構造的な共振周波数によっ
て、位置決め装置の応答性が制約され、外部からの振動
等の影響を受け易い。
決めにおいては、図３に示した従来例のように可動部７
の位置を検出し、その検出出力（信号）を圧電素子駆動
装置５にフィードバックして位置決めを行うとすると、
図７に示すように可動部７の構造的な共振周波数によっ
て、位置決め装置の応答性が制約され、外部からの振動
等の影響を受け易い。
【０００７】本発明は、このような事情に鑑みなされた
もので、その目的は、弾性支持された可動部を高精度に
且つ応答性良く位置決めすることのできる位置決め制御
装置を提供することにある。
もので、その目的は、弾性支持された可動部を高精度に
且つ応答性良く位置決めすることのできる位置決め制御
装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び作用】上述の目的を達
成するために、本発明の位置決め制御装置は、移動方向
に柔で前記移動方向と異なる方向には剛に弾性支持され
ている可動部と、電圧の印加に応じて伸縮し前記可動部
を前記移動方向に移動させる圧電素子と、前記圧電素子
に電圧を印加する駆動手段（圧電素子駆動装置５）と、
前記可動部の前記移動方向の変位を検出する変位検出手
段（変位センサ１）と、前記圧電素子に蓄えられた電荷
量を検出する電荷量検出手段（電荷検出コンデンサ８、
または抵抗１１と積分器１２）と、前記変位検出手段の
検出出力を前記駆動手段にフィードバックすると共に、
前記電荷量検出手段の検出出力の所定の周波数帯域だけ
前記駆動手段にフィードバックするフィードバック手段
（バンドパスフィルタ１０，１３と差分器２，４）を有
することを特徴としている。
成するために、本発明の位置決め制御装置は、移動方向
に柔で前記移動方向と異なる方向には剛に弾性支持され
ている可動部と、電圧の印加に応じて伸縮し前記可動部
を前記移動方向に移動させる圧電素子と、前記圧電素子
に電圧を印加する駆動手段（圧電素子駆動装置５）と、
前記可動部の前記移動方向の変位を検出する変位検出手
段（変位センサ１）と、前記圧電素子に蓄えられた電荷
量を検出する電荷量検出手段（電荷検出コンデンサ８、
または抵抗１１と積分器１２）と、前記変位検出手段の
検出出力を前記駆動手段にフィードバックすると共に、
前記電荷量検出手段の検出出力の所定の周波数帯域だけ
前記駆動手段にフィードバックするフィードバック手段
（バンドパスフィルタ１０，１３と差分器２，４）を有
することを特徴としている。
【０００９】本発明によれば、弾性支持された可動部の
変位を変位検出手段で検出しフィードバックすること
で、可動部の位置を高精度に安定して位置決めできる。
また、圧電素子に蓄えられる電荷と圧電素子を流れる電
流を可動部の構造に合わせて任意の周波数成分だけフィ
ードバックしてやることで、圧電素子の漏れ電流による
位置決め時のドリフトなどの影響を取り除くことができ
ると共に、可動部の構造的な共振周波数を図８のように
変えることができる。
変位を変位検出手段で検出しフィードバックすること
で、可動部の位置を高精度に安定して位置決めできる。
また、圧電素子に蓄えられる電荷と圧電素子を流れる電
流を可動部の構造に合わせて任意の周波数成分だけフィ
ードバックしてやることで、圧電素子の漏れ電流による
位置決め時のドリフトなどの影響を取り除くことができ
ると共に、可動部の構造的な共振周波数を図８のように
変えることができる。
【００１０】そのため、位置決め制御装置としての応答
性が向上し、外部からの振動等に影響されにくくでき
る。
性が向上し、外部からの振動等に影響されにくくでき
る。
【００１１】
【実施例】以下、図示の実施例に基づいて本発明を詳細
に説明する。図１は本発明の位置決め制御装置の一実施
例を示す図である。
に説明する。図１は本発明の位置決め制御装置の一実施
例を示す図である。
【００１２】この図において、１はレーザー測長器や静
電容量式の変位センサ等の変位センサ、２は不図示の設
定器で設定された目標位置と変位センサ１で検出した可
動部７の現在位置との差を取る差分器、３は変位センサ
１の出力を利用するフィードバック系を安定させるため
の周知のＰＩＤ補償器、４はＰＩＤ補償器３からの信号
と圧電素子６の電荷のフィードバック信号を差分する差
分器、５は圧電素子６を駆動するために入力信号を高電
圧に増幅し、これを圧電素子６に印加する圧電素子駆動
装置である。
電容量式の変位センサ等の変位センサ、２は不図示の設
定器で設定された目標位置と変位センサ１で検出した可
動部７の現在位置との差を取る差分器、３は変位センサ
１の出力を利用するフィードバック系を安定させるため
の周知のＰＩＤ補償器、４はＰＩＤ補償器３からの信号
と圧電素子６の電荷のフィードバック信号を差分する差
分器、５は圧電素子６を駆動するために入力信号を高電
圧に増幅し、これを圧電素子６に印加する圧電素子駆動
装置である。
【００１３】圧電素子６は電圧の印加に応じて伸縮し、
この伸縮により可動部７を移動方向に移動させる。可動
部７は移動方向に柔で、移動方向と異なる方向には剛に
弾性支持されている。
この伸縮により可動部７を移動方向に移動させる。可動
部７は移動方向に柔で、移動方向と異なる方向には剛に
弾性支持されている。
【００１４】また、８は圧電素子６に直列に接続され、
圧電素子６に蓄えられている電荷を検出するためのコン
デンサ、９はコンデンサ８によって検出された電荷信号
を増幅する増幅器、１０は増幅器９の後段に配置される
と共に、コンデンサ８によって検出された電荷信号のフ
ィードバックする周波数領域を所定範囲に決めるバンド
パスフィルタである。
圧電素子６に蓄えられている電荷を検出するためのコン
デンサ、９はコンデンサ８によって検出された電荷信号
を増幅する増幅器、１０は増幅器９の後段に配置される
と共に、コンデンサ８によって検出された電荷信号のフ
ィードバックする周波数領域を所定範囲に決めるバンド
パスフィルタである。
【００１５】この実施例において、変位センサ１によっ
て可動部７の位置が検出されると、その検出値が差分器
２によって目標位置データと比較され、両者間の誤差値
が求められる。差分器２で求められた可動部７の目標位
置からのズレ量（誤差信号）を補正するために、この誤
差信号がＰＩＤ補償器３を介して圧電素子駆動装置５に
指令される。圧電素子駆動装置５は与えられた指令に従
って圧電素子６を駆動するために誤差信号を増幅する。
そして、圧電素子駆動装置５の出力（電圧）が印加され
ることによって圧電素子６は伸縮し、可動部７を位置決
めする。
て可動部７の位置が検出されると、その検出値が差分器
２によって目標位置データと比較され、両者間の誤差値
が求められる。差分器２で求められた可動部７の目標位
置からのズレ量（誤差信号）を補正するために、この誤
差信号がＰＩＤ補償器３を介して圧電素子駆動装置５に
指令される。圧電素子駆動装置５は与えられた指令に従
って圧電素子６を駆動するために誤差信号を増幅する。
そして、圧電素子駆動装置５の出力（電圧）が印加され
ることによって圧電素子６は伸縮し、可動部７を位置決
めする。
【００１６】しかし、この様なフィードバック系だけで
位置決めしようとすると、図７に示す様な圧電素子６と
可動部７の構造とで決まる共振周波数よって位置決め装
置の応答性が制限される。そこで、この共振系の特性を
改善するために、圧電素子６の変位と比例関係にある圧
電素子６の電荷をコンデンサ８で検出し、漏れ電流の影
響を受けないように低い周波数成分の信号を除去し、更
に不要な高い周波数成分のノイズを除去するためにバン
ドパスフィルタ１０を介してマイナーループでフィード
バックする。
位置決めしようとすると、図７に示す様な圧電素子６と
可動部７の構造とで決まる共振周波数よって位置決め装
置の応答性が制限される。そこで、この共振系の特性を
改善するために、圧電素子６の変位と比例関係にある圧
電素子６の電荷をコンデンサ８で検出し、漏れ電流の影
響を受けないように低い周波数成分の信号を除去し、更
に不要な高い周波数成分のノイズを除去するためにバン
ドパスフィルタ１０を介してマイナーループでフィード
バックする。
【００１７】こうすることで、フィードバックされる領
域における圧電素子６の剛性が上がり、圧電素子６と可
動部７によって決まるメカ系の共振周波数が図８に示す
ように高くなり改善される。
域における圧電素子６の剛性が上がり、圧電素子６と可
動部７によって決まるメカ系の共振周波数が図８に示す
ように高くなり改善される。
【００１８】このように圧電素子６の電荷をバンドパス
フィルタ１０を介してフィードバックすることで、漏れ
電流の悪影響を除去しつつ圧電素子６と可動部７の構造
とで決まるメカ系（共振系）の特性改善ができる。それ
によって、ＰＩＤ補償器３による位置決め制御装置とし
ての応答性を高めることができる。その結果、外部から
の振動等の影響を受けにくい位置決め制御装置にでき
る。
フィルタ１０を介してフィードバックすることで、漏れ
電流の悪影響を除去しつつ圧電素子６と可動部７の構造
とで決まるメカ系（共振系）の特性改善ができる。それ
によって、ＰＩＤ補償器３による位置決め制御装置とし
ての応答性を高めることができる。その結果、外部から
の振動等の影響を受けにくい位置決め制御装置にでき
る。
【００１９】図２は本発明の他の実施例である。同図に
おいて、１１は圧電素子６に接続された電流検出用の抵
抗であり、１２は抵抗１１で検出された電流信号を増幅
して積分する積分増幅器、１３は積分器１２からの積分
された信号のフィードバックする領域を決めるバンドパ
スフィルタである。
おいて、１１は圧電素子６に接続された電流検出用の抵
抗であり、１２は抵抗１１で検出された電流信号を増幅
して積分する積分増幅器、１３は積分器１２からの積分
された信号のフィードバックする領域を決めるバンドパ
スフィルタである。
【００２０】この実施例では、抵抗１１により圧電素子
６に流れる電流を検出し、その信号を積分することで圧
電素子６の電荷を求めている。そして、この積分された
信号をバンドパスフィルタ１３を介して圧電素子駆動装
置５にフィードバックすることで、図１の実施例と同様
な結果を得ている。
６に流れる電流を検出し、その信号を積分することで圧
電素子６の電荷を求めている。そして、この積分された
信号をバンドパスフィルタ１３を介して圧電素子駆動装
置５にフィードバックすることで、図１の実施例と同様
な結果を得ている。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
弾性支持されている可動部を圧電素子で位置決めする装
置において、高精度な位置決めを可能にできると共に、
その応答性を向上させることができる。
弾性支持されている可動部を圧電素子で位置決めする装
置において、高精度な位置決めを可能にできると共に、
その応答性を向上させることができる。
【図１】本発明の位置決め制御装置の一実施例を示す
図。
図。
【図２】本発明の位置決め装置の他の実施例を示す図。
【図３】従来の位置決め装置の一例を示す図。
【図４】従来の位置決め装置の他の例を示す図。
【図５】圧電素子の電圧−変位特性の関係を示す図。
【図６】圧電素子の電荷−変位特性の関係を示す図。
【図７】圧電素子駆動装置から可動部までの伝達関数特
性を示す図。
性を示す図。
【図８】電荷フィードバックをした時の伝達関数特性を
示す図。
示す図。
１ 変位センサ ２ 差分器 ３ ＰＩＤ補償器 ４ 差分器 ５ 圧電素子駆動装置 ６ 圧電素子 ７ 可動部 ８ 電荷検出用コンデンサ ９ 増幅器 １０ バンドパスフィルタ １１ 抵抗 １２ 積分器 １３ バンドパスフィルタ １４ 増幅器 １５ 差分器
Claims (3)
- 【請求項１】 移動方向に柔で前記移動方向と異なる方
向には剛に弾性支持されている可動部と、電圧の印加に
応じて伸縮し前記可動部を前記移動方向に移動させる圧
電素子と、前記圧電素子に電圧を印加する駆動手段と、
前記可動部の前記移動方向の変位を検出する変位検出手
段と、前記圧電素子に蓄えられた電荷量を検出する電荷
量検出手段と、前記変位検出手段の検出出力を前記駆動
手段にフィードバックすると共に、前記電荷量検出手段
の検出出力の所定の周波数帯域だけ前記駆動手段にフィ
ードバックするフィードバック手段を有することを特徴
とする位置決め制御装置。 - 【請求項２】 前記電荷量検出手段は前記圧電素子に直
列に接続されたコンデンサを有し、前記フィードバック
手段は前記コンデンサの端子間電圧をバンドパスフィル
タを介して前記駆動手段にフィードバックすることを特
徴とする請求項１に記載の位置決め制御装置。 - 【請求項３】 前記電荷量検出手段は前記圧電素子に直
列に接続された抵抗を有し、前記フィードバック手段は
前記抵抗の端子間電圧を積分した信号をバンドパスフィ
ルタを介して前記駆動手段にフィードバックすることを
特徴とする請求項１に記載の位置決め制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9444393A JPH06310772A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | 位置決め制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9444393A JPH06310772A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | 位置決め制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06310772A true JPH06310772A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14110410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9444393A Withdrawn JPH06310772A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | 位置決め制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06310772A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2368922A (en) * | 2000-05-22 | 2002-05-15 | Caterpillar Inc | Controlling position and velocity of a piezoelectric device |
| GB2368923A (en) * | 2000-05-22 | 2002-05-15 | Caterpillar Inc | Controlling position of a piezoelectric device using desired charge as control parameter |
-
1993
- 1993-04-21 JP JP9444393A patent/JPH06310772A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2368922A (en) * | 2000-05-22 | 2002-05-15 | Caterpillar Inc | Controlling position and velocity of a piezoelectric device |
| GB2368923A (en) * | 2000-05-22 | 2002-05-15 | Caterpillar Inc | Controlling position of a piezoelectric device using desired charge as control parameter |
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