JPH06300704A

JPH06300704A - 基板自動検査システム

Info

Publication number: JPH06300704A
Application number: JP5112435A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Takahashi; 剛高橋; Tetsuyoshi Matsunaga; 哲秀松永
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1993-04-16
Filing date: 1993-04-16
Publication date: 1994-10-28

Abstract

(57)【要約】【目的】多品種少量生産においてマウント基板の検査
の確実性、及び作業効率を向上させる。【構成】マウント基板Ｋの検査を行なう基板検査装置
８と、複数枚配置されたマウント基板Ｋを基板検査装置
８に供給する基板供給手段と、基板検出装置８において
検査が終了したマウント基板Ｋを収納する基板収納手段
とを備えたリターン式ストッカ１により構成される。リ
ターン式ストッカ１には、該リターン式ストッカ１内に
配置されているマウント基板Ｋの枚数を検出する基板枚
数検出センサＳが設けられ、基板検査装置８の検出結果
に基づき、検査済みのマウント基板Ｋの良品／不良品と
を上段／下段に識別して収納するようになされている。
またリターン式ストッカ１における基板供給手段にはロ
ッドアンテナ式のプッシャーユニット３が設けられてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は自動的にマウント基板の
検査を行なう基板自動検査システムに関わるものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】各種半導体素子や受動素子を基板表面上
に自動的に実裝することが従来から行なわれている。こ
のような各種半導体素子や受動素子が実裝されたマウン
ト基板は、前記各半導体素子や受動素子が所定の箇所に
正確に実裝されていないと基板に組み込まれた回路が正
常に動作しないため、正確に実裝されているか否かを検
査する必要があり、このため、従来から基板自動検査シ
ステムにより、自動的にマウント基板の検査が行なわれ
ている。

【０００３】図８はその基板自動検査システムの一例の
概要を示す図である。この図で７０は基板供給ストッカ
（ローダー）を示す。７１はこの供給ストッカ７０の操
作部を示し、電源スイッチ、起動スイッチ、停止スイッ
チ等の各種操作スイッチが設けられている。７２は供給
マガジンを示し、検査対象となるマウント基板Ｋを複数
枚収納できるようにされ、基板供給ストッカ７０に配置
される。７３は例えばシリンダユニット等からなるプッ
シャを示し、マガジン７２に収納されているマウント基
板Ｋを上段側から一枚ずつ押し出すように搬出する。

【０００４】５０は検査装置を示し、基板供給ストッカ
７０からプッシャユニット７３により押し出され、搬送
部Ｈ₁ を介して供給されるマウント基板Ｋに対して、例
えば基板上の所定の位置に、所定の半導体素子や受動素
子が実裝されているか否か等の検査を行なう。そしてそ
の検査結果によるマウント基板Ｋの良／不良を、出力部
５１から一覧表としてプリントアウトするようになされ
ている。

【０００５】６０は基板収納ストッカ（アンローダ）を
示す。６１は前記操作部７１と同様に電源スイッチ、起
動スイッチ、停止スイッチ等の各種操作スイッチが設け
られている操作部、検査装置５０において検査された検
査済みのマウント基板Ｋが搬送部Ｈ2 を介して搬入され
る。６２は基板収納ストッカ６０内に配置されている収
納マガジンを示し、検査装置５０から搬入されたマウン
ト基板Ｋを搬入順（検査された順番）に最上段から収納
する。

【０００６】このような基板自動検査システムでは、基
板供給ストッカ７０に配置されたマガジン７２内に収納
されているマウント基板Ｋを、最上段から順番に搬出
し、検査装置５０において半導体素子や受動素子の実裝
位置等の検査が行なわれる。検査が終了したマウント基
板Ｋは、搬送部Ｈ₂ を介して基板収納ストッカ６０に収
納されているマガジン６２内の最上段から順に収納され
るようになされている。

【０００７】基板供給ストッカ７０の全てのマウント基
板Ｋの検査が終了すると、検査装置５０から検査結果と
して、各マウント基板Ｋの良／不良を示す一覧表がプリ
ントアウトされ、その一覧表を参照しながらマガジン６
２に収納されているマウント基板Ｋの良品／不良品の判
別を行なっていた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
基板自動検査システムにより自動的に複数のマウント基
板Ｋの検査を自動的に行なうことができるが、従来のシ
ステムではマウント基板Ｋの搬送経路が一方通行であっ
たために、マウント基板Ｋを供給する基板供給ストッカ
７０と、収納する基板収納ストッカ６０の２台が必要と
なってしまう。このために少量のマウント基板Ｋを検査
する場合では、使用頻度が下がり２台のストッカは無駄
になってしまう。

【０００９】また検査装置５０で検査されたマウント基
板Ｋは、検査された順に基板収納ストッカ６０のマガジ
ン６２に収納されるために、良品／不良品の判別は、検
査終了後に検査装置５０から出力される検出結果の一覧
表に従い、ユーザの手作業により行なわれていた。その
ために良品／不良品の判別作業に手間がかかってしま
い、さらには不良基板の判別を誤ってしまうことさえ生
じてくる。

【００１０】さらに、マガジン７２に収納されているマ
ウント基板Ｋの枚数の検出手段や設定手段がなかったた
めに、少数枚のマウント基板Ｋの検査を行なう場合で
も、マガジン７２の全ての収納領域を使用することにな
ってしまい、多数枚の検査の場合とほぼ同等の時間を費
やしてしまう問題がある。また例えば、マウント基板Ｋ
の良品をマガジン６２の最下段から、不良品を最上段か
らというように区別して収納することも考えられていた
が、同様に収納時間の問題から実現が困難であった。

【００１１】また、従来のマウント基板Ｋを検査装置５
０に押し出すプッシャユニット７３は、前記したように
シリンダユニット式のものが用いられているが、このシ
リンダユニットを使用することにより、プッシャユニッ
ト７３がかなり大型（約１．５ｍ程）となり、基板供給
ストッカ７０を設置するためには、かなりの設置スペー
スが必要となってしまう。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明はこのような問題
点を解決するためになされたもので、マウント基板の検
査を行なう基板検査装置と、複数枚の前記マウント基板
を収納するマガジンを備えるストッカと、前記マガジン
から前記マウント基板を１枚ずつ前記基板検査装置に供
給する基板供給手段と、前記基板検査装置において検査
が終了したマウント基板を前記ストッカの前記マガジン
内に収納する基板収納手段とを備えて基板自動検査シス
テムを構成する。

【００１３】前記ストッカは配置されているマウント基
板の枚数を検出手段を有し、前記基板検査装置の検出結
果に基づき、検査済みのマウント基板を良品／不良品を
識別して収納するようになされている。また前記基板供
給手段はロッドアンテナ式のプッシャーにより、マウン
ト基板を前記基板検査装置に供給する。

【００１４】

【作用】多品種少量生産において、マウント基板の良品
／不良品の識別を確実に行なうことができると共に、そ
の作業を短時間で行なうことができる。また基板供給／
収納のリターン方式によるストッカの１台化、プッシャ
ーユニットの小型化を達成できるため、設置場所の省ス
ペース化、システム価格のコストダウンが可能となる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の基板自動検査システムの実施
例を説明する。図１は本実施例の基板自動検査システム
の概要を示す図である。この図で１はマウント基板の供
給及び収納を行なうリターン式ストッカ、２は後で詳細
な説明をする搬送部を示し、例えばベルトコンベヤによ
りマウント基板の搬出／搬入を行なう。３は例えばアン
テナ等に用いられるロッド式のプッシャを有するプッシ
ャユニット、４はマウント基板Ｋが収納されたマガジン
５を設置する場合の設置口、６は電源スイッチ、起動ス
イッチ、停止スイッチ等の各種操作スイッチが設けられ
ている操作部を示す。

【００１６】７は基板検査装置８とのインターフェイス
部を示し、基板基板検査装置８の検査結果データがリタ
ーン式ストッカ１に伝送される。破線で示されているＳ
は、リターン式ストッカ１の内部においてプッシャユニ
ット３の近傍に設けられている光学式の基板枚数検出セ
ンサを示す。

【００１７】図示されていないが、このリターン式ユニ
ット１にはマガジン５を上昇下降させるエレベータ機構
が設けられており、マウント基板Ｋの供給／収納が行な
われる場合に、所定のマウント基板Ｋがプッシャユニッ
トに押し出される位置となるように、マガジン５の上下
制御が行なわれる。なお、リターン式ユニット１の天井
部分は吹き抜け構造とされ、マガジン５が上昇した場合
には、その上部が外側に突出するようになされている。

【００１８】次に図２、図３に従い図１に示した搬送部
２について説明する。この搬送部２は、図２（ａ）に示
されている、搬送ベルト１１を有する左保持部１０と、
同図（ｂ）に示されているスライド部２０、及び同図
（ｃ）に示されている、搬送ベルト３１を有する右保持
部３０により構成され、これらの各部は一点鎖線で示さ
れている箇所で軸支され二軸機構とされている。図３
（ａ）は図２（ａ）〜（ｃ）に示されている各部がレー
ルＡ、Ｂに軸支された場合の上面図、図３（ｂ）はレー
ルＡ、Ｂに軸支されている左保持部１０とスライド部２
０の側面図である。

【００１９】まず図２（ａ）に示されている左保持部１
０について説明する。この図で、１１はマウント基板の
Ｋの搬出／搬入を行なう搬送ベルト、１２ａは搬送ベル
ト１１を駆動する駆動ドラムを示し、図３（ａ）に示さ
れている、駆動モータ１３の軸に固定され時計方向及び
反時計方向に駆動される。１２ｂは側壁１６に回動自在
に軸支されている回転ドラムを示し、所定の張力をもっ
て搬送ベルト１１が巻き付けられている。１２ｃは回動
自在の押圧ドラムを示し、搬送ベルト１１上を移動して
いる搬送中のマウント基板Ｋを上方から適度な圧力をも
って押圧するようになされている。

【００２０】１４ａ、１４ｂは支持部を示し、図３
（ａ）に示されているように、スライド部２０の支持部
２４ａ、２４ｂ、右保持部３０の支持部３４ａ、３４ｂ
とレールＡ、Ｂにより支持されている。１５は支持部材
を示し左保持部１０をリターン式ストッカ１の筐体の側
面に支持している。

【００２１】次に図２（ｂ）示されているスライド部２
０について説明する。このスライド部２０は図３（ａ）
からわかるように、左保持部１０と右保持部３０のほぼ
中間に位置するように支持されている。２１は軸を示
し、この軸２１には回動アーム２３の移動支持部２２が
配されている。この移動支持部２２は軸２１上を移動す
るようになされている。

【００２２】回動アーム２３は、その先端部分に例えば
合成樹脂などの弾性片２４を有し、矢印方向に回動し通
常は一点鎖線で示されているように下向位置にある。そ
して、後で説明するマウント基板Ｋの収納時に、その上
をマウント基板Ｋが通過した後に実線で示されている位
置に変位し、移動支持部２２が矢印ｂ方向に移動するこ
とによりマウント基板Ｋをリターン式ストッカ１内のマ
ガジン５に押し込むようになされている。

【００２３】次に図２（ｃ）示されている右保持部３０
について説明する。この右保持部３０はスライド部２０
を中心に左保持部１０と対称となる位置にあり、左保持
部１０と向かい合うようにほぼ対称的な構造とされてい
る。

【００２４】この図で、３１はマウント基板Ｋの搬出／
搬入を行なう搬送ベルト、３２ａは搬送ベルト３１を駆
動する駆動ドラムを示し、駆動モータ３３の軸に個着さ
れ時計方向及び反時計方向に駆動される。３２ｂは側壁
３６に回動自在に軸支されている回転ドラムを示し、所
定の張力をもって搬送ベルト３１が巻き付けられてい
る。３２ｃは回動自在の押圧ドラムを示し、搬送ベルト
３１上を移動している搬送中のマウント基板Ｋを上方か
ら適度な圧力をもって押えるようになされている。

【００２５】３４ａ、３４ｂは支持部を示し、図３
（ａ）に示されているように、スライド部２０の支持部
２４ａ、２４ｂ、右保持部３０の支持部３４ａ、３４ｂ
とレールＡ、Ｂにより支持されている。３５は支持部材
を示し右保持部３０をリターン式ストッカ１の筐体の側
面に支持している。リターン式ストッカ１または検査装
置８から搬送されるマウント基板Ｋの有無は、搬送部２
に設けられた基板センサで検出され、マウント基板Ｋ有
りと検出された場合は、駆動モータ１３、３３を所定の
方向に回転させることによりマウント基板Ｋを所定の方
向に搬送する。

【００２６】次に図４（ａ）〜（ｃ）に従ってプッシャ
ユニット３について説明する。同図（ｂ）、（ｃ）にお
いて図１〜図３と同一部分は同一符号を付して説明を省
略する。このプッシャユニット３は、自動車用のロッド
アンテナとして従来から知られているテレスコープ式の
ロッドをプッシャとして用いるようにしたものである。
４１はロッド４３を伸縮させるために、ロッド４３内に
配置された芯４４が捲着されているドラム４２を、矢印
ｏ又はｉ方向に駆動するモータを示す。ロッド４３は、
直径が少しづつことなり、所定の長さを有する複数の管
からなるテレスコープ式に構成されており、芯４４の先
端はロッド４３の最内側管であるロッド４３ａの下端に
固着されている。また最内側管であるロッド４３ａの先
端部には、基板押圧部４５が設けられている。

【００２７】ドラム４２がモータ４１の制御により矢印
ｏ方向に回転すると芯４４が各ロッド４３ａをロッド４
３から押し出すようになり、各ロッド４３ａが伸長され
る。またドラム４２が矢印ｉ方向に回転した場合は、各
ロッド４３ａは収縮しロッド４３に収納される。

【００２８】以下同図（ｂ）、（ｃ）により、マウント
基板Ｋを搬送部２に搬出する場合の動作について説明す
る。同図（ｂ）に示されているように、後で説明するマ
ガジン５の上下動により、所定のマウント基板Ｋが搬出
位置に配置されると、モータ４１の制御によりロッド４
３ａが伸長される。すると、マウント基板Ｋはロッド４
３ａの先端の基板押圧部４５により押し出されるように
なり、搬送部２に搬出されるようになる。

【００２９】同図（ｃ）に示されているように、マウン
ト基板Ｋが搬送部２に搬出されると、基板センサが順次
基板の存在を検出し、この検出に従い、駆動ドラム１２
ａ（３２ａ）を矢印Ｆ方向に回転させるように駆動モー
タ１３（３３）が制御される。そして駆動ドラム１２ａ
（３２ａ）の回転にともない、搬送ベルト１１（３１）
が稼働するようになり、マウント基板Ｋは基板検査装置
８に搬送されるようになる。

【００３０】搬送ベルト１１（３１）により搬送が開始
された時点で、プッシャユニット３のモータ４１の制御
により、ドラム４２が矢印ｉ方向に回転するようにな
り、各ロッド４３ａはロッド４３に収納される。

【００３１】このように、リターン式ストッカ１から基
板検査装置８にマウント基板Ｋを供給する場合は、ロッ
ド４３ａにより搬送部２の所定の位置まで押し出され、
このときに基板センサの感知により駆動され、搬送ベル
ト１１（３１）により基板検査装置８に搬送されるよう
になる。

【００３２】また同様にして基板検査装置８で検査が終
了したマウント基板Ｋをリターン式ストッカ１に収納す
る場合は、基板検査装置８からマウント基板Ｋが押し出
されるようになる。この場合はマウント基板Ｋは基板検
査装置８に供給される場合とは逆方向に搬送部２上を移
動することになるので、所定の位置まで押し出されると
基板センサがマウント基板Ｋを感知し、駆動ドラム１２
ａ、３２ａが矢印Ｒ方向に回転するように駆動モータ１
３、３３を駆動し、搬送ベルト１１が矢印Ｒ方向に稼働
するようになる。そして、マウント基板Ｋは搬送ベルト
１１により搬送され、最後は回動アーム２３の先端の弾
性片２４によりリターン式ストッカ１内に押し込まれ、
リターン式ストッカ１内のマガジン５の所定の位置に収
納される。

【００３３】このロッド式のプッシャを用いることによ
り、プッシャユニット３の小型化が実現でき、従来のシ
リンダ式のものでは例えば約１．５ｍ程の長さとなると
ころを、約３０ｃｍ程に縮小することができるようにな
る。

【００３４】次に図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に従って
マガジン５内に配置されたマウント基板Ｋの枚数を検出
する場合について説明する。この図で、図１と同一部分
は同一符号を付して説明を省略する。同図（ａ）はリタ
ーン式ストッカ１の設置口４にマウント基板Ｋが複数枚
配置されたマガジン５を収納している場合を示す図であ
る。この状態から、エレベータ機構によりマガジン５を
上昇させることにより、基板枚数検出センサＳ（光学
式）が配置されているマウント基板Ｋの枚数のカウント
を開始する。そして同図（ｂ）に示されているように、
マガジン５の最下段までのカウントを終了すると、マガ
ジン５は下降し同図（ｃ）に示されているように元の収
納位置に戻る。

【００３５】このように、マガジン５を上昇／下降さ
せ、基板枚数検出センサＳによる配置されたマウント基
板Ｋの枚数のカウントが終了した後に、そのマウント基
板Ｋは一枚ずつ基板検査装置８において検査されること
となる。

【００３６】以下図６、図７に従い、検査済みのマウン
ト基板Ｋを良品／不良品に区別して収納する場合の動作
を説明する。図６（ａ）〜（ｇ）はマウント基板Ｋ₁ 〜
Ｋ₅検査される順序の概要の説明図、図７その検査の流
れをフローチャートで示した図である。この例では、例
えば良品はマガジン５の下段から、また不良品はマガジ
ン５の上段から順次収納される。なお図６において検査
が終了し収納されたマウント基板は破線で示されてい
る。

【００３７】図６に示されているマガジン５はこの例で
は例えば７枚のマウント基板を配置することが可能であ
るものとする。そして検査を行なう場合は、同図（ａ）
に示されているように、マウント基板Ｋ₁ 〜Ｋ₆ を最上
段から配置するが、少量多品種の基板のため、例えば最
下段が空段になっている。そして、まず１枚目として最
上段に配されているマウント基板Ｋ₁ を、搬送部２を介
して基板検査装置８に搬送する。

【００３８】基板検査装置８における検査結果データ
は、インターフェイス７によりリターン式ストッカ１に
伝送され、リターン式ストッカ１ではその検出結果デー
タに従い、マガジン５を上昇又は下降させることによ
り、所定の位置にマウント基板Ｋ₁ を収納するようにす
る。この図に示すものはマウント基板Ｋ₁ が不良品であ
ると判別された場合を示しており、同図（ｂ）に示され
ているようにマウント基板Ｋ₁ は１段目に収納される。

【００３９】このように不良品が収納された場合は、収
納されたそのすぐ下段に配置されている基板、即ちマウ
ント基板Ｋ2 が２枚目として基板検査装置８に搬送され
る。そして検査結果が良品であった場合は、同図（ｃ）
に示されているように最下段に収納されるようにされて
いる。良品が収納された場合は、収納されたそのすぐ上
段に配置されている基板、即ちマウント基板Ｋ₆ が３枚
目として基板検査装置８に搬送されるようになる。

【００４０】そして、マウント基板Ｋ₆ が良品と判別さ
れたとすると、同図（ｄ）に示されているように、マウ
ント基板Ｋ₂ の上段に収納され、次にその上段に配され
ているマウント基板Ｋ₅ が４枚目として搬送され検査さ
れる。そして、その検出結果が不良品であると判別され
た場合は、同図（ｅ）に示されているようにマウント基
板Ｋ₁ の下段に収納され、更にその下段に配されている
マウント基板Ｋ3 が５枚目として基板検査装置８に搬送
される。マウント基板Ｋ₃ が良品であると判別されたと
すると、同図（ｆ）に示されているようにマウント基板
Ｋ₆ の上段に収納され、最後にマウント基板Ｋ₄ が搬送
され検査される。

【００４１】その検査結果が良品であると判断された場
合は、同図（ｇ）に示されているように、マウント基板
Ｋ₃ の上段に収納されるようになる。このように、例え
ば良品を下段から、又、不良品を上段から順次収納して
いくと、最終的に良品と不良品の間が一段空段となり、
良品／不良品の識別を容易に行なうことができる。

【００４２】なお、この例では、マガジン５の最下段の
みが一段空段となっている例で説明したが、最下段から
一段以上の空段が設けられることにより、良品／不良品
の識別は可能となる。例えば最下段から３段が空段とな
った場合も、最終的に良品と不良品の間が１段分空くこ
ととなる。

【００４３】次に上記したマウント基板Ｋの供給／収納
動作を図７のフローチャートで説明する。まず、最下段
から一段以上が空段とされているマガジン５をリターン
式ストッカ１に設置し、起動スイッチをオンとする(S00
1)。するとマガジン５の稼働リフトが上昇／下降し、基
板枚数検出センサＳによりマガジン５内に配置されてい
るマウント基板Ｋの枚数が検出される(S002)。ここで供
給／収納の基準となる各変数の初期値化を行なう(S00
3)。検出された基板の枚数をＮ、良品が収納される段及
びその後に供給される基板の段の位置をＸ、不良品が収
納される段及びその後に供給される基板の段の位置を
Ｙ、検査枚数のカウンタをＺとする。

【００４４】ステップS003において初期値設定が終了す
ると、まず一段目に配されているマウント基板Ｋが基板
検査装置８に供給され(S004)、検査が行なわれる(S00
5)。そして良品／不良品の判別がなされると共に（S00
6) 、その検出結果データがインターフェイス７により
リターン式ストッカ１に伝送され、マガジン５が上下制
御される。良品である場合はＸ段目に即ち下段から(S00
7)、不良品である場合はＹ段目に即ち上段から(S008)収
納される。

【００４５】１枚目のマウント基板Ｋが収納されると、
カウンタＺをカウントアップし(S009)、このカウンタＺ
がマウント基板Ｋの枚数Ｎ以上になるまで(S010)、即ち
全てのマウント基板Ｋの検査が終了するまで、以下の処
理を行なうようにする。

【００４６】マウント基板Ｋが所定の位置に収納された
後に、前回の良／不良の検出結果に基づき(S011)、例え
ば前回が良品でＸ段目に収納された場合は、Ｘ＝Ｘ−１
の演算を行ない(S012)、前回良品として収納されたマウ
ント基板Ｋの上段に配されているマウント基板Ｋを供給
するようにする(S013)。また例えば前回が不良品でＹ段
目に収納された場合は、Ｙ＝Ｙ＋１の演算を行ない(S01
4)、前回不良品として収納されたマウント基板Ｋの下段
に配されているマウント基板Ｋを供給するようにする(S
015)。

【００４７】ステップS012〜S013、S014〜S015により基
板検査装置８に供給されたマウント基板Ｋは、ステップ
S016で検査され、その検出結果データがインターフェイ
ス７によりリターン式ストッカ１に伝送され、マガジン
５が上下制御される。良品である場合は下段から順次
に、即ちＸ段目に収納され(S018)、不良品である場合は
上段から順次に、即ちＹ段目に収納される(S019)。

【００４８】ステップS018、S019により基板が収納され
るとカウンタＺをカウントアップして(S009)、カウンタ
Ｚが基板の枚数Ｎ以上になった時点で、マガジン５に配
されたマウント基板Ｋの検査が終了する。

【００４９】この図に示したフローチャートに従って、
マウント基板Ｋの供給／収納を行なうようにすれば、エ
レベータ機構によるマガジン５の上下制御を必要最小限
に留めることができるため、短時間にかつ省電力により
検査することができ、さらに良品と不良品が識別されて
収納されるので、不良品の判別を容易に行なうことがで
きるため、不良品を良品として誤ることがなくなる。

【００５０】

【発明の効果】以上発明したように本発明の基板自動検
査システムは、マウント基板の供給／収納をリターン式
で行なうストッカが用いられているので、システムの省
スペース化を実現することができるとともに、システム
価格を削減することができる。省スペース化に関して
は、使用されるストッカが一台になると同時に、ロッド
アンテナ式のプッシャを用いることにより、従来のシリ
ンダユニットに比べ約１／５程度に縮小することができ
るようになる。

【００５１】またマガジンに配されているマウント基板
の枚数を自動的に検出することができるので、検査する
マウント基板の枚数が少量の場合でも、枚数分の処理し
か行なわれず、省電力化が達成できると共に所要時間の
短縮が可能になる。さらに、従来は基板検査装置から出
力された検出結果の一覧表を参照しながら、手作業で行
なわれていた良品／不良品の判別が自動化されることに
より、判別の信頼性が向上するとともに、作業効率がア
ップし、品質が改善されるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板自動検査システムの概要を示す図
である。

【図２】リターン式ストッカに設けられている搬送部の
各部の説明図である。

【図３】リターン式ストッカに設けられている搬送部の
上面及び側面図である。

【図４】リターン式ストッカに設けられているプッシャ
ユニットの説明図である。

【図５】マガジンに配置されているマウント基板の枚数
を検出する場合の説明図である。

【図６】マウント基板の供給／収納動作の概要の説明図
である。

【図７】マウント基板の供給／収納動作をフローチャー
トで示した図である。

【図８】従来の基板自動検査システムの概要を示す図で
ある。

【符号の説明】

１リターン式ストッカ２搬送部３プッシャユニット４設置口５マガジン６操作部７インターフェイス部８基板検査装置１１、３１搬送ベルト１２ａ、３２ａ駆動ドラム１２ｂ、３２ｂ回転ドラム１２ｃ、３２ｃ押圧ドラム１３、３３駆動モータ１４ａ、１４ｂ、２４ａ、２４ｂ、３４ａ、３４ｂ支
持部１５、３５支持部材１６、３６側壁２１軸２２移動支持部２３回動アーム２４弾性片４１モータ４２ドラム４３ロッド収納部４４芯

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】マウント基板の検査を行なう基板検査装
置と、複数枚の前記マウント基板を収納するマガジンを
備えるストッカと、前記マガジンから前記マウント基板
を１枚ずつ前記基板検査装置に供給する基板供給手段
と、前記基板検査装置において検査が終了したマウント
基板を前記ストッカの前記マガジン内に収納する基板収
納手段とを備えたことを特徴とする基板自動検査システ
ム。
【請求項２】前記ストッカは前記マガジン内に収納さ
れている前記マウント基板の枚数を検出する検出手段を
設け、該検出手段で検出された前記マウント基板の枚数
に基づいて、前記マガジンから前記マウント基板の供給
及び前記マガジンの収納を行なうことを特徴とする請求
項１に記載の基板自動検査システム。
【請求項３】前記基板検査装置の検出結果に基づき、
検査済みのマウント基板を良品／不良品に対応して前記
マガジンの上段側及び前記マガジンへの収納を行なうこ
とを特徴とする請求項１或いは２に記載の基板自動検査
システム。
【請求項４】前記基板供給手段はロッドアンテナ式の
プッシャーにより、マウント基板を前記基板検査装置に
供給することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか
に記載の基板自動検査システム。