JPH06297712A - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッド及びその製造方法Info
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- JPH06297712A JPH06297712A JP9139693A JP9139693A JPH06297712A JP H06297712 A JPH06297712 A JP H06297712A JP 9139693 A JP9139693 A JP 9139693A JP 9139693 A JP9139693 A JP 9139693A JP H06297712 A JPH06297712 A JP H06297712A
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- Japan
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- flow path
- ink supply
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
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- Ink Jet (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 幅広いインク種への対応性を持ち、長期的な
信頼性を備え、高速で印字可能なインクジェットヘッド
を提供すること。 【構成】 インク供給部に絶縁物のインク供給部基板８
を設けることにより、インク供給部流路１５を形成す
る。インク供給部流路１５はインク流路４と同時に形成
する。
信頼性を備え、高速で印字可能なインクジェットヘッド
を提供すること。 【構成】 インク供給部に絶縁物のインク供給部基板８
を設けることにより、インク供給部流路１５を形成す
る。インク供給部流路１５はインク流路４と同時に形成
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェットヘッドに
関する。更に詳しくは、インク液滴を選択的に記録媒体
に付着させるインクジェットヘッドに関する。
関する。更に詳しくは、インク液滴を選択的に記録媒体
に付着させるインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年インクジェットプリンタは高速印
字、低騒音、高印字品位等の利点から、急速に発展して
いる。一般的方式として圧電材料を使用して、インクチ
ャンバー内に圧力パルスを発生させ、ノズルからインク
滴を吐出させるものがある。
字、低騒音、高印字品位等の利点から、急速に発展して
いる。一般的方式として圧電材料を使用して、インクチ
ャンバー内に圧力パルスを発生させ、ノズルからインク
滴を吐出させるものがある。
【０００３】しかしながら、この方式は圧電材料の効率
が低いため、インクジェットヘッド自体が大型化する。
また製造工程が複雑となり、大量生産に適さず、結果的
に高価なものとなる。さらにノズル配列の高密度化が困
難なため、高印字品位を得にくい。これらの課題がある
為、広く普及するには至っていない。
が低いため、インクジェットヘッド自体が大型化する。
また製造工程が複雑となり、大量生産に適さず、結果的
に高価なものとなる。さらにノズル配列の高密度化が困
難なため、高印字品位を得にくい。これらの課題がある
為、広く普及するには至っていない。
【０００４】この方式の課題を解決する方法として、特
開昭６３−２４７５０１号公報に、ノズルの並び方向に
互いに間隔を有する複数の平行な長方形の断面積の流路
を有し、前記流路の側壁の一部または全表面に電極が形
成され、前記側壁はその一部または全体が圧電材料で構
成され、前記側壁が流路の並び方向に平行な変形をし、
前記流路内の圧力を変化させて、インク滴を流路の一端
に形成し、吐出せしめるインクジェットヘッドが提案さ
れている。
開昭６３−２４７５０１号公報に、ノズルの並び方向に
互いに間隔を有する複数の平行な長方形の断面積の流路
を有し、前記流路の側壁の一部または全表面に電極が形
成され、前記側壁はその一部または全体が圧電材料で構
成され、前記側壁が流路の並び方向に平行な変形をし、
前記流路内の圧力を変化させて、インク滴を流路の一端
に形成し、吐出せしめるインクジェットヘッドが提案さ
れている。
【０００５】図６は従来のインクジェットヘッドの構成
を示す斜視図である。１は圧電基板、２はノズルプレー
ト、３はノズル、４はインク流路、５は圧電材料からな
る側壁（以下、圧電側壁と略す）、６は上部基板、７は
インク供給部、９はインク排出口、１５は流路終端開口
部、１６は実装部電極である。
を示す斜視図である。１は圧電基板、２はノズルプレー
ト、３はノズル、４はインク流路、５は圧電材料からな
る側壁（以下、圧電側壁と略す）、６は上部基板、７は
インク供給部、９はインク排出口、１５は流路終端開口
部、１６は実装部電極である。
【０００６】このインクジェットヘッドは互いに平行な
インク流路４が多数形成されている。インク流路４は、
圧電基板１に形成された溝と上部基板６より構成され、
その断面形状は長方形である。圧電側壁５の表面には電
極１０が形成されている。インク流路４の一端は、スリ
ット状のインク排出口９に接続し、他端はノズルプレー
ト２に形成されたノズル３に接続する。また、インク流
路４の他の一端はインク供給部７に接続され、各インク
流路４に対応する流路終端開口部１５、インク供給部７
を経て、インク貯蔵タンク（図示せず）に接続してい
る。
インク流路４が多数形成されている。インク流路４は、
圧電基板１に形成された溝と上部基板６より構成され、
その断面形状は長方形である。圧電側壁５の表面には電
極１０が形成されている。インク流路４の一端は、スリ
ット状のインク排出口９に接続し、他端はノズルプレー
ト２に形成されたノズル３に接続する。また、インク流
路４の他の一端はインク供給部７に接続され、各インク
流路４に対応する流路終端開口部１５、インク供給部７
を経て、インク貯蔵タンク（図示せず）に接続してい
る。
【０００７】従来例のインクジェットヘッドのインク吐
出の動作を、図７を用いて説明する。
出の動作を、図７を用いて説明する。
【０００８】図７において、圧電側壁５は分極方向１１
が異なる２個の圧電セラミックスにより形成されてい
る。
が異なる２個の圧電セラミックスにより形成されてい
る。
【０００９】図７（ａ）は、圧電側壁５の両面に形成さ
れた電極１０に、電気的駆動手段（図示せず）より電圧
パルスを印加していない状態を示している。図７（ｂ）
において、電圧パルスを印加されると圧電側壁５は圧電
側壁の分極方向の逆転面にズリ変形し、インク流路４の
容積が減少することにより発生する圧力で、インク流路
４を満たすインクを、インク滴として吐出して印字を行
う。
れた電極１０に、電気的駆動手段（図示せず）より電圧
パルスを印加していない状態を示している。図７（ｂ）
において、電圧パルスを印加されると圧電側壁５は圧電
側壁の分極方向の逆転面にズリ変形し、インク流路４の
容積が減少することにより発生する圧力で、インク流路
４を満たすインクを、インク滴として吐出して印字を行
う。
【００１０】上記の構造では、インク流路表面に電極が
露出し、直接インクと接する構造となっており、電導度
の高い液体の吐出が不可能である。そのため、電導度の
低いインク、例えば油系のインクを用いていた。
露出し、直接インクと接する構造となっており、電導度
の高い液体の吐出が不可能である。そのため、電導度の
低いインク、例えば油系のインクを用いていた。
【００１１】しかし、油系インクは水系インクに比し
て、印字のにじみが大きく、ノズルに目詰まりを起こし
易いため、充分な印字品質が得られない。また、有害
性、危険性を伴う等の欠点を持つ。
て、印字のにじみが大きく、ノズルに目詰まりを起こし
易いため、充分な印字品質が得られない。また、有害
性、危険性を伴う等の欠点を持つ。
【００１２】そこで、従来技術では、圧電側壁の駆動電
極上に絶縁層を形成し、印字品質、安全性が良好な水系
のインクを使用すること提案している。
極上に絶縁層を形成し、印字品質、安全性が良好な水系
のインクを使用すること提案している。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】従来技術の課題につい
て、図８、図９を用いて説明する。
て、図８、図９を用いて説明する。
【００１４】図８は従来のインクジェットヘッドのイン
ク流路の断面図である。図８（ａ）は図６中のＢＢ断面
図、図８（ｂ）は図６中のＣＣ断面図をそれぞれ示して
いる。
ク流路の断面図である。図８（ａ）は図６中のＢＢ断面
図、図８（ｂ）は図６中のＣＣ断面図をそれぞれ示して
いる。
【００１５】図中、１は圧電基板、４はインク流路、５
は圧電側壁、１０は電極、１１は分極方向、１２は絶縁
層、１３は電極上端部である。
は圧電側壁、１０は電極、１１は分極方向、１２は絶縁
層、１３は電極上端部である。
【００１６】図８（ａ）に示す様に、上部基板に覆われ
たインク流路は、完全に隣接流路の電極と隔絶されてい
るため、供給部を経てインクを介した電極間の距離は非
常に長くなり、電荷は集中しない。
たインク流路は、完全に隣接流路の電極と隔絶されてい
るため、供給部を経てインクを介した電極間の距離は非
常に長くなり、電荷は集中しない。
【００１７】しかし、図８（ｂ）に示す様に、インク供
給部の流路４Ａの電極１０Ａの電極上端部１３Ａは、隣
接する流路４Ｂの電極１０Ｂとの間の距離がインクを介
して最も近接しているため、電極上端部１３に最も電荷
が集中する。
給部の流路４Ａの電極１０Ａの電極上端部１３Ａは、隣
接する流路４Ｂの電極１０Ｂとの間の距離がインクを介
して最も近接しているため、電極上端部１３に最も電荷
が集中する。
【００１８】このため、長時間のインク吐出により、電
極上端部１３から電流漏洩が生じ、導電性の高い水系イ
ンクを使用する場合、インク中への電流の漏洩により、
インクの電気分解による気泡、電極の溶解、実効電圧の
低下等により吐出不能となった。
極上端部１３から電流漏洩が生じ、導電性の高い水系イ
ンクを使用する場合、インク中への電流の漏洩により、
インクの電気分解による気泡、電極の溶解、実効電圧の
低下等により吐出不能となった。
【００１９】また、インク滴吐出に支障の無い微量の電
流漏洩でも、長期に渡る使用により、電極の腐食やイン
クの変質に起因して性能が低下し、ドット抜け等の問題
が生じた。
流漏洩でも、長期に渡る使用により、電極の腐食やイン
クの変質に起因して性能が低下し、ドット抜け等の問題
が生じた。
【００２０】上記問題の解消のため絶縁層を厚く形成す
ると、圧電側壁駆動の負荷が増し、効率の低下により駆
動電圧を増加する事が必要となる。また、絶縁層を厚く
したことでさらに電極上の電流密度が増加し、ヘッドの
耐久性を低下させることになった。
ると、圧電側壁駆動の負荷が増し、効率の低下により駆
動電圧を増加する事が必要となる。また、絶縁層を厚く
したことでさらに電極上の電流密度が増加し、ヘッドの
耐久性を低下させることになった。
【００２１】さらに、別の問題として、図９に示す様
に、インク供給部が単なる部材の組み合わせで形成され
ており上部基板接合部１７の箇所が滑らかでないため、
接合部に気泡がたまり易く、供給するインク流に乱流を
生じるため流路抵抗が大きいため、高周波数域での安定
したインク供給が困難である。
に、インク供給部が単なる部材の組み合わせで形成され
ており上部基板接合部１７の箇所が滑らかでないため、
接合部に気泡がたまり易く、供給するインク流に乱流を
生じるため流路抵抗が大きいため、高周波数域での安定
したインク供給が困難である。
【００２２】また、インク供給部流路の側壁は、上部に
支持体が無く剛性が無いため周波数追従性に劣り、より
高い周波数での吐出が困難であった。
支持体が無く剛性が無いため周波数追従性に劣り、より
高い周波数での吐出が困難であった。
【００２３】本発明はかかる問題を解決するもので、幅
広いインク種の対応性を持ち、長期的な信頼性を備え、
高速で印字可能なインクジェットヘッドを安価に提供す
ることを目的とする。
広いインク種の対応性を持ち、長期的な信頼性を備え、
高速で印字可能なインクジェットヘッドを安価に提供す
ることを目的とする。
【００２４】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドは、流路と前記流路に配接されたインクを吐出せ
しめるノズル面とインク供給部を有し、前記流路の一部
または全体が圧電材料で構成され、前記流路のインクに
接する面に前記圧電材料の駆動用の電極を有するインク
ジェットヘッドにおいて、前記インク供給部に絶縁物の
インク供給部流路を形成する、また、前記インク流路と
インク供給部流路を同時に加工することを特徴とする。
ヘッドは、流路と前記流路に配接されたインクを吐出せ
しめるノズル面とインク供給部を有し、前記流路の一部
または全体が圧電材料で構成され、前記流路のインクに
接する面に前記圧電材料の駆動用の電極を有するインク
ジェットヘッドにおいて、前記インク供給部に絶縁物の
インク供給部流路を形成する、また、前記インク流路と
インク供給部流路を同時に加工することを特徴とする。
【００２５】
【実施例】以下に図面を用いて本発明を説明が、本発明
は以下の実施例に限定されるものではない。
は以下の実施例に限定されるものではない。
【００２６】まず図１、図２、図３に本発明のインクジ
ェットヘッドの一例を示し、構造を説明する。
ェットヘッドの一例を示し、構造を説明する。
【００２７】図１は本発明の一実施例のインクジェット
ヘッドの斜視図である。１は圧電基板、２はノズルプレ
ート、３はノズル、４はインク流路、５は圧電側壁、６
は上部基板、７はインク供給口、８はインク供給部基
板、９はインク排出口、１０は電極、１３はインク供給
部流路、１５は流路終端開口部、１６は実装部電極であ
る。ここでは絶縁層は図示していない。
ヘッドの斜視図である。１は圧電基板、２はノズルプレ
ート、３はノズル、４はインク流路、５は圧電側壁、６
は上部基板、７はインク供給口、８はインク供給部基
板、９はインク排出口、１０は電極、１３はインク供給
部流路、１５は流路終端開口部、１６は実装部電極であ
る。ここでは絶縁層は図示していない。
【００２８】図２は本発明の一実施例のインクジェット
ヘッドのインク供給部の断面図である。図１中のＡＡの
断面を示す。１は圧電基板、４はインク流路、５は圧電
側壁、７はインク供給口、８はインク供給部基板、１２
は絶縁層、１３は電極上端部、１４はインク供給部流路
である。
ヘッドのインク供給部の断面図である。図１中のＡＡの
断面を示す。１は圧電基板、４はインク流路、５は圧電
側壁、７はインク供給口、８はインク供給部基板、１２
は絶縁層、１３は電極上端部、１４はインク供給部流路
である。
【００２９】図３は、本発明のインクジェットヘッドの
インク流路の断面を示した図である。
インク流路の断面を示した図である。
【００３０】１は圧電基板、４はインク流路、５は圧電
側壁、７はインク供給口、８はインク供給部基板、１２
は絶縁層、１３は電極上端部、１４はインク供給部流
路、１５は流路終端開口部、１７は上部基板接合部であ
る。
側壁、７はインク供給口、８はインク供給部基板、１２
は絶縁層、１３は電極上端部、１４はインク供給部流
路、１５は流路終端開口部、１７は上部基板接合部であ
る。
【００３１】図１に示すとおり、本発明のインクジェッ
トヘッドでは、流路終端開口部１５上に、さらに絶縁物
で形成したインク供給部基板８を接着し、インク供給部
流路１４を設けてある。
トヘッドでは、流路終端開口部１５上に、さらに絶縁物
で形成したインク供給部基板８を接着し、インク供給部
流路１４を設けてある。
【００３２】図２に示すように、インク流路４の形状に
合ったインク供給部流路１４を持つ厚さ１ｍｍのインク
供給部基板を設けることにより、従来７１μｍであった
隣接する電極間距離は約２ｍｍとなり、従来の約３０倍
の抵抗値が得られた。これにより、絶縁層の劣化を低減
でき、ヘッドの耐久性が向上した。
合ったインク供給部流路１４を持つ厚さ１ｍｍのインク
供給部基板を設けることにより、従来７１μｍであった
隣接する電極間距離は約２ｍｍとなり、従来の約３０倍
の抵抗値が得られた。これにより、絶縁層の劣化を低減
でき、ヘッドの耐久性が向上した。
【００３３】従来では、１ノズル当たり３億ドット程度
の印字から徐々に絶縁性が低下し、電極間の抵抗値が低
下していたが、本発明によれば５億ドット以上の印字で
も、電極間の抵抗値に低下はなく、長期に渡る安定な印
字が、絶縁層の厚さを変えること無く可能となった。
の印字から徐々に絶縁性が低下し、電極間の抵抗値が低
下していたが、本発明によれば５億ドット以上の印字で
も、電極間の抵抗値に低下はなく、長期に渡る安定な印
字が、絶縁層の厚さを変えること無く可能となった。
【００３４】さらに、インク供給部の圧電側壁５の上部
のインク供給部基板が駆動の支持体として機能すること
により、供給部の圧電側壁５に剛性が得られ、周波数追
従性が増した。
のインク供給部基板が駆動の支持体として機能すること
により、供給部の圧電側壁５に剛性が得られ、周波数追
従性が増した。
【００３５】同時に、図３に示す様に、インク供給部流
路１４の形状を滑らかにする事により、インク供給の流
路抵抗が減少し、気泡がたまりにくくなったため、安定
したインク供給が可能となった。
路１４の形状を滑らかにする事により、インク供給の流
路抵抗が減少し、気泡がたまりにくくなったため、安定
したインク供給が可能となった。
【００３６】上述の２つの効果により、より高い周波数
域でのインク滴の安定な吐出が可能となった。
域でのインク滴の安定な吐出が可能となった。
【００３７】図４、図５は、本発明の一実施例のインク
ジェットヘッド製造方法を示す斜視図である。
ジェットヘッド製造方法を示す斜視図である。
【００３８】以下に本発明の製造方法を詳細に説明す
る。
る。
【００３９】対抗する分極方向で貼り合わされた圧電
基板１に、図４（ａ）に示す様にインク供給部基板８を
ワックス等の容易に除去可能な方法で固定する。インク
供給部基板８はガラス、アルミナ等の絶縁物を用いる。
基板１に、図４（ａ）に示す様にインク供給部基板８を
ワックス等の容易に除去可能な方法で固定する。インク
供給部基板８はガラス、アルミナ等の絶縁物を用いる。
【００４０】図４（ｂ）に示す様に、ダイシングソー
等により、溝幅７０μｍ、直線部長さ８ｍｍのインク流
路４を、１４１μｍ幅毎に形成する。円形の切削板を流
路終端開口部１５で切り上げることにより、インク流路
４からインク供給部流路１４にかけて滑らかな形状が得
られる。
等により、溝幅７０μｍ、直線部長さ８ｍｍのインク流
路４を、１４１μｍ幅毎に形成する。円形の切削板を流
路終端開口部１５で切り上げることにより、インク流路
４からインク供給部流路１４にかけて滑らかな形状が得
られる。
【００４１】図５（ａ）に示す様に、インク供給部基
板８を取り外し、真空蒸着等により電極１０を形成す
る。電極１０はＮｉ−Ｃｒを１．０μｍ、Ａｕを０．５
μｍ形成する。圧電基板１の上面の不要な電極を除去
し、実装部電極１６を得る。
板８を取り外し、真空蒸着等により電極１０を形成す
る。電極１０はＮｉ−Ｃｒを１．０μｍ、Ａｕを０．５
μｍ形成する。圧電基板１の上面の不要な電極を除去
し、実装部電極１６を得る。
【００４２】図５（ｂ）に示す様に、圧電側壁５が形
成された圧電基板１に上部基板６とインク供給部基板８
を接着する。接着剤は流れ出しの少ないものが好まし
い。
成された圧電基板１に上部基板６とインク供給部基板８
を接着する。接着剤は流れ出しの少ないものが好まし
い。
【００４３】熱分解ＣＶＤ（化学蒸着）法によりポリ
パラキシリレン（以下、ＰＰＸと称する。）の絶縁層を
形成する（図示せず）。ＰＰＸは回り込み性が良好であ
るため、流路内の表面全面にほぼ均一な成膜が可能であ
る。このとき絶縁層の不要な部分にはマスキングを行い
絶縁層の形成を防ぐ。
パラキシリレン（以下、ＰＰＸと称する。）の絶縁層を
形成する（図示せず）。ＰＰＸは回り込み性が良好であ
るため、流路内の表面全面にほぼ均一な成膜が可能であ
る。このとき絶縁層の不要な部分にはマスキングを行い
絶縁層の形成を防ぐ。
【００４４】圧電基板１、上部基板６の端面にノズル
プレートを接着する。
プレートを接着する。
【００４５】インク供給手段、印加パルスを発生する
駆動手段と接続する。
駆動手段と接続する。
【００４６】上記製造方法によれば、圧電基板１とイン
ク供給部基板８の溝加工が同時に可能で、インク供給口
７の形状を、インク流路終端開口部１５と完全に合致し
た形状で得ることが可能である。これにより、高精度の
インク供給部流路を得ることが容易に可能である。
ク供給部基板８の溝加工が同時に可能で、インク供給口
７の形状を、インク流路終端開口部１５と完全に合致し
た形状で得ることが可能である。これにより、高精度の
インク供給部流路を得ることが容易に可能である。
【００４７】
【発明の効果】本発明のインクジェットヘッド及びその
製造方法によれば、絶縁信頼性、駆動電圧の低下が得ら
れ、幅広いインク種の対応性を持ち、長期信頼性を備
え、高速で印字可能なインクジェットヘッドを安価に提
供することが可能である。
製造方法によれば、絶縁信頼性、駆動電圧の低下が得ら
れ、幅広いインク種の対応性を持ち、長期信頼性を備
え、高速で印字可能なインクジェットヘッドを安価に提
供することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインクジェットヘッドを示す斜視図。
【図２】本発明のインクジェットヘッドの供給部の断面
図。
図。
【図３】本発明のインクジェットヘッドのインク流路の
断面図。
断面図。
【図４】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を示
す斜視図。
す斜視図。
【図５】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を示
す斜視図。
す斜視図。
【図６】従来のインクジェットヘッドを示す斜視図。
【図７】従来のインクジェットヘッドの吐出動作を示す
インク流路の断面図。
インク流路の断面図。
【図８】従来のインクジェットヘッドのインク供給部の
断面図。
断面図。
【図９】従来のインクジェットヘッドのインク流路の断
面図。
面図。
１ 圧電基板 ４ インク流路 ５ 圧電側壁 ６ 上部基板 ７ インク供給口 ８ インク供給部基板 １０ 電極 １２ 絶縁層 １３ 電極上端部 １４ インク供給部流路 １５ 流路終端開口部 １７ 上部基板接合部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ４１Ｊ 2/16 9012−2Ｃ Ｂ４１Ｊ 3/04 １０３ Ｈ
Claims (2)
- 【請求項１】 流路と前記流路に配接されたインクを吐
出せしめるノズル面とインク供給部を有し、前記流路の
一部または全体が圧電材料で構成され、前記流路のイン
クに接する面に前記圧電材料の駆動用の電極を有するイ
ンクジェットヘッドにおいて、 前記インク供給部に絶縁物のインク供給部流路を配設し
たことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項２】 請求項１記載の構成のインクジェットヘ
ッドにおいて、 前記インク流路とインク供給部流路を同時に加工するこ
とを特徴とするインクジェットヘッド製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9139693A JP3116650B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9139693A JP3116650B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06297712A true JPH06297712A (ja) | 1994-10-25 |
| JP3116650B2 JP3116650B2 (ja) | 2000-12-11 |
Family
ID=14025227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9139693A Expired - Lifetime JP3116650B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3116650B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6164764A (en) * | 1997-09-25 | 2000-12-26 | Nec Corporation | Solid-state actuator and ink jet head |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH051293U (ja) * | 1991-06-20 | 1993-01-08 | 鐘淵化学工業株式会社 | 電波漏洩防止シート |
-
1993
- 1993-04-19 JP JP9139693A patent/JP3116650B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6164764A (en) * | 1997-09-25 | 2000-12-26 | Nec Corporation | Solid-state actuator and ink jet head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3116650B2 (ja) | 2000-12-11 |
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