JPH06294019A - 中空セラミックファイバー及びその製造方法 - Google Patents
中空セラミックファイバー及びその製造方法Info
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- JPH06294019A JPH06294019A JP5106152A JP10615293A JPH06294019A JP H06294019 A JPH06294019 A JP H06294019A JP 5106152 A JP5106152 A JP 5106152A JP 10615293 A JP10615293 A JP 10615293A JP H06294019 A JPH06294019 A JP H06294019A
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- fiber
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Si、Ｎ、Ｏを主成分とし、濾材、吸着材、断
熱材、各種複合材等の材料として用いることができる中
空のセラミックファイバーを提供する。 【構成】 Si及びＮを必須成分とする中実のセラミック
ファイバーを、真空中又は不活性ガス雰囲気下、酸化物
系セラミックスの粉末中で熱処理して得られたことを特
徴とする中空セラミックファイバーである。好ましく
は、上記の中実のセラミックファイバーが、ポリシラザ
ンからなるプレセラミックファイバーを焼成して製造さ
れたものである。
熱材、各種複合材等の材料として用いることができる中
空のセラミックファイバーを提供する。 【構成】 Si及びＮを必須成分とする中実のセラミック
ファイバーを、真空中又は不活性ガス雰囲気下、酸化物
系セラミックスの粉末中で熱処理して得られたことを特
徴とする中空セラミックファイバーである。好ましく
は、上記の中実のセラミックファイバーが、ポリシラザ
ンからなるプレセラミックファイバーを焼成して製造さ
れたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、中空セラミックファイ
バー及びその製造方法に関し、特に、Si、Ｎ、Ｏを主成
分とし、濾材、吸着材、断熱材、各種複合材等の材料と
して用いることができる中空のセラミックファイバー及
びその製造方法に関する。
バー及びその製造方法に関し、特に、Si、Ｎ、Ｏを主成
分とし、濾材、吸着材、断熱材、各種複合材等の材料と
して用いることができる中空のセラミックファイバー及
びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】セラミ
ックファイバーは複合材の強化材を始めとして種々の用
途に広く用いられているが、最近では中空状のセラミッ
クファイバーが注目されており、複合材の強化材のみな
らず、濾材や吸着材、あるいは断熱材の材料として用い
られつつある。
ックファイバーは複合材の強化材を始めとして種々の用
途に広く用いられているが、最近では中空状のセラミッ
クファイバーが注目されており、複合材の強化材のみな
らず、濾材や吸着材、あるいは断熱材の材料として用い
られつつある。
【０００３】中空状のセラミックファイバーを製造する
方法としてはいくつかの方法が知られているが、たとえ
ば、SiＣ−Si3 Ｎ4 系の中空ファイバーを製造する方法
として、特開平２−104726号には、有機シラザン重合体
を溶融、紡糸して繊維を製造し、次に、この繊維の表面
を特定のガスで処理したのち、さらにアンモニア含有ガ
スで処理して表面に不融化膜を形成し、その後熱処理す
ることにより中空状のセラミックファイバーとする方法
が開示されている。
方法としてはいくつかの方法が知られているが、たとえ
ば、SiＣ−Si3 Ｎ4 系の中空ファイバーを製造する方法
として、特開平２−104726号には、有機シラザン重合体
を溶融、紡糸して繊維を製造し、次に、この繊維の表面
を特定のガスで処理したのち、さらにアンモニア含有ガ
スで処理して表面に不融化膜を形成し、その後熱処理す
ることにより中空状のセラミックファイバーとする方法
が開示されている。
【０００４】しかしながら、上記の方法では、中空のセ
ラミックファイバーを安定的に得ることは非常に難し
い。すなわち、セラミックファイバーの中空部分の径が
まちまちであったり、中実のセラミックファイバーが混
じったりすることがある。
ラミックファイバーを安定的に得ることは非常に難し
い。すなわち、セラミックファイバーの中空部分の径が
まちまちであったり、中実のセラミックファイバーが混
じったりすることがある。
【０００５】したがって、本発明の目的は、Si及びＮを
必須成分とする中空状のセラミックファイバー、及び中
空のセラミックファイバーを安定的に製造する方法を提
供することである。
必須成分とする中空状のセラミックファイバー、及び中
空のセラミックファイバーを安定的に製造する方法を提
供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的に鑑み鋭意研究
の結果、本発明者らは、真空中又は不活性ガス雰囲気の
下、酸化物系セラミックスの粉末中で、Si及びＮを必須
成分とする中実のセラミックファイバーを熱処理すれ
ば、安定的に中空状のセラミックファイバーを製造する
ことができることを発見し、本発明に想到した。
の結果、本発明者らは、真空中又は不活性ガス雰囲気の
下、酸化物系セラミックスの粉末中で、Si及びＮを必須
成分とする中実のセラミックファイバーを熱処理すれ
ば、安定的に中空状のセラミックファイバーを製造する
ことができることを発見し、本発明に想到した。
【０００７】すなわち、本発明の中空セラミックファイ
バーは、Si及びＮを必須成分とする中実のセラミックフ
ァイバーを、真空中又は不活性ガス雰囲気下、酸化物系
セラミックスの粉末中で熱処理して得られたことを特徴
とする。
バーは、Si及びＮを必須成分とする中実のセラミックフ
ァイバーを、真空中又は不活性ガス雰囲気下、酸化物系
セラミックスの粉末中で熱処理して得られたことを特徴
とする。
【０００８】また中空のセラミックファイバーを製造す
る本発明の方法は、(a) ポリシラザンを溶融紡糸してプ
レセラミックファイバーを製造し、(b) 前記プレセラミ
ックファイバーを不活性ガス雰囲気下又は真空中で熱分
解して中実のセラミックファイバーを製造し、(c) 真空
中又は不活性ガス雰囲気の下、酸化物系セラミックスの
粉末中で、前記中実のセラミックファイバーを熱処理す
ることにより、前記中実のセラミックファイバーを中空
化することを特徴とする。
る本発明の方法は、(a) ポリシラザンを溶融紡糸してプ
レセラミックファイバーを製造し、(b) 前記プレセラミ
ックファイバーを不活性ガス雰囲気下又は真空中で熱分
解して中実のセラミックファイバーを製造し、(c) 真空
中又は不活性ガス雰囲気の下、酸化物系セラミックスの
粉末中で、前記中実のセラミックファイバーを熱処理す
ることにより、前記中実のセラミックファイバーを中空
化することを特徴とする。
【０００９】本発明を以下詳細に説明する。プレセラミックファイバーの製造 プレセラミックファイバーを形成するのに用いるポリマ
ーとしてはポリシラザンが好ましい。ポリシラザンは、
（Ｒ2 SiＮＲ）3 等（ここでＲはＨ又はアルキル基を示
す）のシクロシラザンとクロロシラン（Ｒn SiCl4-n 、
ただしｎ＝０，１，２，３、ＲはＨ又はアルキル基）と
から合成することができる。
ーとしてはポリシラザンが好ましい。ポリシラザンは、
（Ｒ2 SiＮＲ）3 等（ここでＲはＨ又はアルキル基を示
す）のシクロシラザンとクロロシラン（Ｒn SiCl4-n 、
ただしｎ＝０，１，２，３、ＲはＨ又はアルキル基）と
から合成することができる。
【００１０】シクロシラザンとしてヘキサメチルシクロ
トリシラザン（Me2 SiNH）3 を用い、クロロシランとし
てトリクロロメチルシランを用いる場合を例にとって、
ポリシラザンの合成方法を説明する。まず、ヘキサメチ
ルシクロトリシラザンとトリクロロメチルシランとを無
水の不活性雰囲気下で混合する。この場合、ヘキサメチ
ルシクロトリシラザンとトリクロロメチルシランとのモ
ル比は１：１〜１：５とするのが好ましく、より好まし
くは１：３程度とする。次に、この混合物を加熱還流す
る。これによってヘキサメチルシクロトリシラザンが開
環し、クロロシラザンオリゴマーが生成される。なお、
ヘキサメチルシクロトリシラザンとトリクロロメチルシ
ランとからクロロシラザンオリゴマーを製造する工程は
12時間程度で完了する。
トリシラザン（Me2 SiNH）3 を用い、クロロシランとし
てトリクロロメチルシランを用いる場合を例にとって、
ポリシラザンの合成方法を説明する。まず、ヘキサメチ
ルシクロトリシラザンとトリクロロメチルシランとを無
水の不活性雰囲気下で混合する。この場合、ヘキサメチ
ルシクロトリシラザンとトリクロロメチルシランとのモ
ル比は１：１〜１：５とするのが好ましく、より好まし
くは１：３程度とする。次に、この混合物を加熱還流す
る。これによってヘキサメチルシクロトリシラザンが開
環し、クロロシラザンオリゴマーが生成される。なお、
ヘキサメチルシクロトリシラザンとトリクロロメチルシ
ランとからクロロシラザンオリゴマーを製造する工程は
12時間程度で完了する。
【００１１】クロロシラザンオリゴマーをシクロヘキサ
ン等の溶媒に溶解し、得られた溶液に対してアンモニア
ガスを吹き込みアンモノリシスを行う。吹き込むアンモ
ニアガスの量は70リットル／時程度とするのが好まし
く、またアンモニアガスを吹き込む時間は３〜４時間と
するのが好ましい。アンモノリシスにより、クロロシラ
ザンオリゴマーはアミノシラザンオリゴマーとなる。な
お、この時副生する塩化アンモニウムの沈殿は、吸引濾
過等で除去する。
ン等の溶媒に溶解し、得られた溶液に対してアンモニア
ガスを吹き込みアンモノリシスを行う。吹き込むアンモ
ニアガスの量は70リットル／時程度とするのが好まし
く、またアンモニアガスを吹き込む時間は３〜４時間と
するのが好ましい。アンモノリシスにより、クロロシラ
ザンオリゴマーはアミノシラザンオリゴマーとなる。な
お、この時副生する塩化アンモニウムの沈殿は、吸引濾
過等で除去する。
【００１２】次に、アミノシラザンオリゴマーを窒素ガ
ス等の不活性ガス中又は真空中で、250 〜400 ℃程度に
加熱しながら重縮合させて熱可塑性を示すポリシラザン
を得る。ポリシラザンの軟化点はこの加熱の条件を多少
変化させることにより調整可能であるが、ファイバーの
形態に成形する場合には、軟化点を50〜200 ℃程度に設
定するのが好ましい。
ス等の不活性ガス中又は真空中で、250 〜400 ℃程度に
加熱しながら重縮合させて熱可塑性を示すポリシラザン
を得る。ポリシラザンの軟化点はこの加熱の条件を多少
変化させることにより調整可能であるが、ファイバーの
形態に成形する場合には、軟化点を50〜200 ℃程度に設
定するのが好ましい。
【００１３】ファイバーへの成形では、ポリシラザンを
軟化点以上の温度に保ってこれを溶融し紡糸する。巻き
取り速度は25〜400 ｍ／分程度が好ましい。これによっ
て５〜30μｍ径のポリシラザン繊維（プレセラミックフ
ァイバー）が得られる。
軟化点以上の温度に保ってこれを溶融し紡糸する。巻き
取り速度は25〜400 ｍ／分程度が好ましい。これによっ
て５〜30μｍ径のポリシラザン繊維（プレセラミックフ
ァイバー）が得られる。
【００１４】中実セラミックファイバーの製造 ポリシラザンからなるファイバーを40〜90℃の水蒸気に
接触させた後、Arガス、Ｎ2 ガス等の不活性ガス中又は
真空中で、800 〜1400℃で30分〜４時間程度焼成し、S
i，Ｎ，Ｃ，Ｏを主成分とする中実のセラミックファイ
バーを得る。
接触させた後、Arガス、Ｎ2 ガス等の不活性ガス中又は
真空中で、800 〜1400℃で30分〜４時間程度焼成し、S
i，Ｎ，Ｃ，Ｏを主成分とする中実のセラミックファイ
バーを得る。
【００１５】以上の方法により得られる中実のセラミッ
クファイバーは、Si：４０〜６０重量％、Ｎ：５〜４０
重量％、Ｃ：２０重量％以下、Ｏ：５０重量％以下の組
成を有する。なお、上記の方法で得られた中実のセラミ
ックファイバーは、通常はアモルファスとなる。
クファイバーは、Si：４０〜６０重量％、Ｎ：５〜４０
重量％、Ｃ：２０重量％以下、Ｏ：５０重量％以下の組
成を有する。なお、上記の方法で得られた中実のセラミ
ックファイバーは、通常はアモルファスとなる。
【００１６】中空セラミックファイバーの製造 上記の中実のセラミックファイバーと酸化物系セラミッ
クスの粉末とを混合し、真空中又は不活性ガス雰囲気下
で熱処理してこれを中空化する。このとき、中実のセラ
ミックファイバーの表面が外部に現れないように、中実
セラミックファイバーを酸化物系セラミックスの粉末中
に埋設するのが好ましい。なお、中実セラミックファイ
バーと酸化物系セラミックスの粉末との混合比は適宜調
節してよい。
クスの粉末とを混合し、真空中又は不活性ガス雰囲気下
で熱処理してこれを中空化する。このとき、中実のセラ
ミックファイバーの表面が外部に現れないように、中実
セラミックファイバーを酸化物系セラミックスの粉末中
に埋設するのが好ましい。なお、中実セラミックファイ
バーと酸化物系セラミックスの粉末との混合比は適宜調
節してよい。
【００１７】酸化物系セラミックスの粉末としては、Al
2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、MgＯ等を用いることができる。ま
た、これらの混合物を用いることもできる。好ましくは
Al2 Ｏ3 及び／又はＹ2 Ｏ3 を用いる。これら酸化物系
セラミックスの粉末の平均粒径は0.1 〜５μｍであるの
が好ましい。
2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、MgＯ等を用いることができる。ま
た、これらの混合物を用いることもできる。好ましくは
Al2 Ｏ3 及び／又はＹ2 Ｏ3 を用いる。これら酸化物系
セラミックスの粉末の平均粒径は0.1 〜５μｍであるの
が好ましい。
【００１８】中実のセラミックファイバーと酸化物系セ
ラミックスの粉末との混合物を密度が１．３程度になる
ようにプレスした後、熱処理するのが好ましい。プレス
時の圧力は100 〜3000kg／cm2 程度とするのが好まし
い。
ラミックスの粉末との混合物を密度が１．３程度になる
ようにプレスした後、熱処理するのが好ましい。プレス
時の圧力は100 〜3000kg／cm2 程度とするのが好まし
い。
【００１９】熱処理は、アルゴンガス、窒素ガス等の不
活性ガス、又はこれらの混合ガス雰囲気下、もしくは真
空中で行う。不活性ガス雰囲気下で熱処理を行う場合、
不活性ガス雰囲気圧は、０〜９kg／cm2 程度であるのが
好ましい。
活性ガス、又はこれらの混合ガス雰囲気下、もしくは真
空中で行う。不活性ガス雰囲気下で熱処理を行う場合、
不活性ガス雰囲気圧は、０〜９kg／cm2 程度であるのが
好ましい。
【００２０】熱処理は1400〜1600℃で行うのが好まし
い。また、熱処理時間は0.5 〜２時間であるのが好まし
い。熱処理温度が1400℃未満であると、中実のセラミッ
クファイバーが中空状にならない。一方、1600℃を超す
熱処理温度であるとセラミックファイバー自身が分解し
て消失してしまう。また、熱処理時間が0.5 時間未満で
あると良好な中空ファイバーが得られず、２時間を超す
とセラミックファイバー自身が分解して消失してしまう
可能性がある。
い。また、熱処理時間は0.5 〜２時間であるのが好まし
い。熱処理温度が1400℃未満であると、中実のセラミッ
クファイバーが中空状にならない。一方、1600℃を超す
熱処理温度であるとセラミックファイバー自身が分解し
て消失してしまう。また、熱処理時間が0.5 時間未満で
あると良好な中空ファイバーが得られず、２時間を超す
とセラミックファイバー自身が分解して消失してしまう
可能性がある。
【００２１】以上の熱処理により、Ｍ−Si−Ｎ−Ｏ（こ
こで、Ｍは用いた酸化物系セラミック粉末中の金属元素
を表す）を主成分とする中空のセラミックファイバーが
得られる。たとえば、酸化物系セラミックスの粉末とし
てＹ2 Ｏ3 を用いると、Ｙ−Si−Ｎ−Ｏ系の中空状セラ
ミックファイバーが得られる。また、酸化物系セラミッ
クスの粉末としてAl2 Ｏ3 を用いると、Al−Si−Ｎ−Ｏ
系の中空状セラミックファイバーが得られる。
こで、Ｍは用いた酸化物系セラミック粉末中の金属元素
を表す）を主成分とする中空のセラミックファイバーが
得られる。たとえば、酸化物系セラミックスの粉末とし
てＹ2 Ｏ3 を用いると、Ｙ−Si−Ｎ−Ｏ系の中空状セラ
ミックファイバーが得られる。また、酸化物系セラミッ
クスの粉末としてAl2 Ｏ3 を用いると、Al−Si−Ｎ−Ｏ
系の中空状セラミックファイバーが得られる。
【００２２】中空状のファイバーが得られる理由は必ず
しも明らかではないが、以下の機構によるものと思われ
る。SiとＮとを必須成分とする中実のセラミックファイ
バーに酸化物系セラミックスの粉末中で熱処理を施す
と、中実のセラミックファイバーの表層部にまず酸化物
層が形成される。この酸化物層からＯがファイバー内部
まで拡散していくが、ファイバー内部へ拡散したＯ及び
中実のセラミックファイバー内に始めから存在していた
ＯとSiとが結合してSiＯ（上述の熱処理温度付近ではSi
Ｏ2 よりもSiＯが安定である）が形成され、ガス状のSi
Ｏがファイバーから系外に放出される。なお、中実のセ
ラミックファイバー内にＣが存在する場合には、Siと同
様にＯと結合してＣＯを生成し、系外に放出される。こ
れにより、ファイバーが中空化されるものと思われる。
しも明らかではないが、以下の機構によるものと思われ
る。SiとＮとを必須成分とする中実のセラミックファイ
バーに酸化物系セラミックスの粉末中で熱処理を施す
と、中実のセラミックファイバーの表層部にまず酸化物
層が形成される。この酸化物層からＯがファイバー内部
まで拡散していくが、ファイバー内部へ拡散したＯ及び
中実のセラミックファイバー内に始めから存在していた
ＯとSiとが結合してSiＯ（上述の熱処理温度付近ではSi
Ｏ2 よりもSiＯが安定である）が形成され、ガス状のSi
Ｏがファイバーから系外に放出される。なお、中実のセ
ラミックファイバー内にＣが存在する場合には、Siと同
様にＯと結合してＣＯを生成し、系外に放出される。こ
れにより、ファイバーが中空化されるものと思われる。
【００２３】本発明の中空セラミックファイバーにおけ
る内径は、上述した熱処理条件（熱処理温度及びその時
間）によって適宜調節することができるが、中空セラミ
ックファイバーの外径が２０μｍ程度の場合、内径は５
〜１２μｍ程度となる。
る内径は、上述した熱処理条件（熱処理温度及びその時
間）によって適宜調節することができるが、中空セラミ
ックファイバーの外径が２０μｍ程度の場合、内径は５
〜１２μｍ程度となる。
【００２４】
【実施例】以下、具体的実施例により本発明を詳細に説
明するが、本発明はこれに限定されない。
明するが、本発明はこれに限定されない。
【００２５】実施例１ ポリシラザンを１２０℃に加熱して溶融し、窒素雰囲気
下で巻き取り速度５０ｍ／分で紡糸し、平均直径が１４
μｍのポリシラザンファイバーを得た。
下で巻き取り速度５０ｍ／分で紡糸し、平均直径が１４
μｍのポリシラザンファイバーを得た。
【００２６】このポリシラザンファイバーを４０℃の水
蒸気に接触させた後、窒素ガス中で1200℃で0.5 時間焼
成し、平均径が１０μｍの中実の（アモルファス）セラ
ミックファイバーを得た。この中実のセラミックファイ
バーの組成は、Si：５１重量％、Ｎ：１６重量％、Ｃ：
１５重量％、Ｏ：１８重量％であった。
蒸気に接触させた後、窒素ガス中で1200℃で0.5 時間焼
成し、平均径が１０μｍの中実の（アモルファス）セラ
ミックファイバーを得た。この中実のセラミックファイ
バーの組成は、Si：５１重量％、Ｎ：１６重量％、Ｃ：
１５重量％、Ｏ：１８重量％であった。
【００２７】得られた中実のセラミックファイバー0.1
ｇをＹ2 Ｏ3 粉末（平均粒径0.8 μｍ）中に埋設し、20
0 kg／cm2 でプレスした後、３ｔ／cm2 でＣＩＰ成形
し、窒素ガス雰囲気下で1500℃で２時間熱処理した。
ｇをＹ2 Ｏ3 粉末（平均粒径0.8 μｍ）中に埋設し、20
0 kg／cm2 でプレスした後、３ｔ／cm2 でＣＩＰ成形
し、窒素ガス雰囲気下で1500℃で２時間熱処理した。
【００２８】熱処理後、Ｙ2 Ｏ3 粉中のセラミックファ
イバーの断面を走査型電子顕微鏡で観察したところ、セ
ラミックファイバーは中空状になっていた。熱処理後の
セラミックファイバーの断面部を示す電子顕微鏡写真
（5000倍）を図１に示す。またこのセラミックファイバ
ーの組成をＸＲＤにより調べたところ、Ｙ8 Si4 Ｎ4 Ｏ
14であることがわかった。
イバーの断面を走査型電子顕微鏡で観察したところ、セ
ラミックファイバーは中空状になっていた。熱処理後の
セラミックファイバーの断面部を示す電子顕微鏡写真
（5000倍）を図１に示す。またこのセラミックファイバ
ーの組成をＸＲＤにより調べたところ、Ｙ8 Si4 Ｎ4 Ｏ
14であることがわかった。
【００２９】比較例１ 非酸化物粉末であるSi3 Ｎ4 粉末中に埋設した以外は実
施例１と同様にして中実のアモルファスセラミックファ
イバーを熱処理した。熱処理後のセラミックファイバー
の断面を走査型電子顕微鏡で観察したところ、セラミッ
クファイバーはすべて中実であった。
施例１と同様にして中実のアモルファスセラミックファ
イバーを熱処理した。熱処理後のセラミックファイバー
の断面を走査型電子顕微鏡で観察したところ、セラミッ
クファイバーはすべて中実であった。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の方法によ
れば、ポリシラザンを焼成して得られた中実のセラミッ
クファイバーから、中空状のセラミックファイバーを容
易に製造することができる。
れば、ポリシラザンを焼成して得られた中実のセラミッ
クファイバーから、中空状のセラミックファイバーを容
易に製造することができる。
【００３１】本発明の中空状セラミックファイバーは、
濾材、吸着材、断熱材、各種複合材等の材料として幅広
く用いることができる。
濾材、吸着材、断熱材、各種複合材等の材料として幅広
く用いることができる。
【図１】Ｙ2 Ｏ3 粉末中で熱処理されて得た中空状のセ
ラミックファイバーの断面部における形状を示す電子顕
微鏡写真である。
ラミックファイバーの断面部における形状を示す電子顕
微鏡写真である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０４Ｂ 35/58 Ｕ Ｄ０１Ｆ 9/08 Ｚ 7199−3Ｂ
Claims (5)
- 【請求項１】 Si及びＮを必須成分とする中実のセラミ
ックファイバーを、真空中又は不活性ガス雰囲気下、酸
化物系セラミックスの粉末中で熱処理して得られたこと
を特徴とする中空セラミックファイバー。 - 【請求項２】 請求項１に記載の中空セラミックファイ
バーにおいて、前記中実のセラミックファイバーがさら
にＯを含有することを特徴とする中空セラミックファイ
バー。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の中空セラミック
ファイバーにおいて、前記中実のセラミックファイバー
が、ポリシラザンからなるプレセラミックファイバーを
焼成してなることを特徴とする中空セラミックファイバ
ー。 - 【請求項４】 中空セラミックファイバーの製造方法で
あって、(a) ポリシラザンを溶融紡糸してプレセラミッ
クファイバーを製造し、(b) 前記プレセラミックファイ
バーを不活性ガス雰囲気下又は真空中で熱分解して中実
のセラミックファイバーを製造し、(c) 真空中又は不活
性ガス雰囲気下で、前記中実のセラミックファイバーを
酸化物系セラミックスの粉末中で熱処理することによ
り、前記中実のセラミックファイバーを中空化すること
を特徴とする中空セラミックファイバーの製造方法。 - 【請求項５】 請求項４に記載の方法において、前記酸
化物系セラミックスの粉末がAl2 Ｏ3 及び／又はＹ2 Ｏ
3 であることを特徴とする方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5106152A JPH06294019A (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | 中空セラミックファイバー及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5106152A JPH06294019A (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | 中空セラミックファイバー及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06294019A true JPH06294019A (ja) | 1994-10-21 |
Family
ID=14426359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5106152A Pending JPH06294019A (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | 中空セラミックファイバー及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06294019A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116041072A (zh) * | 2023-01-09 | 2023-05-02 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种中空SiCN陶瓷纤维及其制备方法、应用 |
-
1993
- 1993-04-08 JP JP5106152A patent/JPH06294019A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116041072A (zh) * | 2023-01-09 | 2023-05-02 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种中空SiCN陶瓷纤维及其制备方法、应用 |
| CN116041072B (zh) * | 2023-01-09 | 2023-09-01 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种中空SiCN陶瓷纤维及其制备方法、应用 |
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