JPH0629346Y2 - 除振免震床室 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は微小の振動も嫌う精密機械を地震等の大きな振
動や、交通等の外来微振動、更にはオペレータの走行の
際の振動から保護するようにした除振免震床室に関する
ものである。

［従来の技術］ 電算機や高性能機器等の振動を嫌う機器を設置する部屋
では、地震等の振動から保護するために、第４図に示す
ような免震床が使用されるようになってきている。

該免震床はコンクリート床ａの上にアイソレータｂを適
宜位置に配置し、該アイソレータｂ上に格子状の床梁構
造体ｃを組み、該床梁構造体の上面に床ｄを張り設ける
構造となっており、前記アイソレータｂとしては空気バ
ネと積層ゴムとの組み合せによるものや、コイルバネ、
或はベアリングでスライドさせて滑り摩擦を利用するも
の等種々のタイプが開発されている。

これにより、床ｄ上に設置された精密機器ｅは地震等の
振動から保護される。

他方、半導体製造装置やレーザー応用等の超精密製造設
備等は、外来の微振動やオペレータの操作の際の走行に
よる振動を遮断するため、各装置と床との間にゴムチュ
ーブ状の除振体を挟みこんで空気バネを利用して除振し
ている。

［考案が解決しようとする課題］ しかし、前述の免震床では地震の際の振動から機器の破
壊を防止することができ、機能もある程度正常に保つこ
とが可能であるが、機器を床面に直接置くため、オペレ
ータの操作、通行の際の振動に影響されてしまう。

従って、微振動を嫌う機器の作動中はオペレータが近寄
ることができず、不便であった。

又、前述の除振体ではオペレータの操作等の際の振動を
防止できても、地震の際には振動が増幅されてしまい、
機器の破壊を招くことになる。

更に、免震床と除振体とを組み合せることも考えられる
が、地震の際には免震床で水平方向加速度が減少される
にもかかわらず、除振体が逆に振動を増幅する結果とな
り、充分な効果は得られない。

本考案は斯かる上述の従来の課題を解決し、地震の際に
は充分な免震効果が発揮でき、オペレータの操作、通行
等も自由に行なえるようにすることを目的とするもので
ある。

［課題を解決するための手段］ 本考案は基礎上に設置したアイソレータと、ビームを格
子状に組むことにより形成され且つ前記のアイソレータ
に支持された床梁構造体と、設置すべき機器に対応する
ように前記の床梁構造体の上面に略水平に張り付けられ
た除振免震床と、前記の床梁構造体と干渉しないように
且つ上端の位置が除振免震床に設置される機器の上下方
向中間部に達するように基礎上に設置された支持脚と、
除振免震床が設置されている部分以外の範囲を覆うよう
に略水平に支持脚に取り付けられた上部床とを備えてい
る。

［作用］ 地震の際、除振免震床上の機器設置スペースに設置され
た精密機器はアイソレータにより免震保護される。

オペレータが上部床上を走行等する際の振動は、該上部
床が除振免震床と独立しているため、除振免震床上の精
密機器に影響を与えることがない。

［実施例］ 以下、図面に基づいて本考案の実施例を説明する。

第１図は本考案の一実施例であり、コルクリート床１上
の適宜位置にアイソレータ２を設置し、Ｉ型ビームを格
子状に組んでなる床梁構造体３を前面アイソレータ２に
より支持し、該床梁構造体３の機器設置用スペース４上
に所要の大きさの床パネル５を複数水平に張り設けて除
振免震床６を形成する。

前記床パネル５を張り設けていない部分のコンクリート
床１上に、支持脚７を前記除振免震床６の床梁構造体３
と干渉しないように且つ上端の位置が除振免震床６に設
置される精密機器11の上下方向中間部に達するように適
数配置し、該支持脚７上に前記機器設置用スペース４以
外の範囲をおおうよう床パネル８を張り設け、上部床９
を形成する。

該上部床９の各支持脚７は下端部にローラ10を設けてコ
ンクリート床１上を滑動し得るようにしてあり、床パネ
ル８の機器設置用スペース４側端縁は、前記除振免震床
６の水平移動量程度オーバーラップするよう上方に張り
出し、且つ除振免震床６に設置される精密機器11と床パ
ネル８との間隔を地震時に発生する応答変位以上とす
る。

以上のように構成したので、精密機器11を機器設置スペ
ース４内の床パネル５上に置き、床梁構造体３及びアイ
ソレータ２を介して支持する。該精密機器11と上部床９
の床パネル８との間隔は、除振免震床６の地震時の水平
移動量程度とっておく。

これにより、地震が起ってもアイソレータ２に吸収さ
れ、精密機器11と上部床９の床パネル８との接触もな
く、精密機器11の損傷が防止される。

上部床９はコンクリート床１上にあり、除振免震床６と
は切離されているため、オペレータが上部床９の床パネ
ル８上を走行しても、走行振動は直接除振免震床６及び
精密機器11に伝わることがない。支持脚７、ローラ10、
コンクリート床１、アイソレータ２を順次経て除振免震
床６に伝わる振動も僅かでアイソレータ２により略完全
に吸収される。

従って、精密機器11の作動中にオペレータが上部床９を
走行して、各精密機器11を操作或は監視することができ
る。

又、精密機器11の操作、点検等に必要な工具、書類、計
測機器等を上部床９上に置いても振動が精密機器11に伝
わらず、これらの重量がアイソレータ２のバランスを崩
す原因ともならず、また、上部床９の位置が除振免震床
６に設置される精密機器11の上下方向中間部に達してい
るので、精密機器11が大形である場合でも該精密機器11
を上側から容易に保守点検することができる。

地震等の場合は、アイソレータ２により吸収され除振免
震床６上の精密機器11が免震保護される。除振免震床６
の水平移動が大きくなると、除振免震床６の床パネル５
の上部床９に臨む端部が、上部床９の支持脚７と当接す
るが、該支持脚７の下部のローラ10により側方に除振免
震床６と共にスライド移動するため衝撃は著しく小さ
く、精密機器11の損傷が免れられる。

第２図は本考案の他の実施例であり、前記実施例と略同
様の構成において、支持脚７の下部のローラ10に代え、
ライナ12を取り付けてスベリ機構とした例である。第２
図中第１図と同一の符合は同一のものを示す。

本実施例の場合には、地震等の際に除振免震床６が大き
く且つゆるやかに移動して支持脚７と当接しても、スベ
リ機構により上部床９も追従して移動する。

第３図は本考案の更に他の実施例であり、前記実施例と
略同様の構成において、支持脚７の下部にローラ10を設
けず、支持脚７をコンクリート床１にボルト13により固
定した例である。第３図中第１図と同一の符合は同一の
ものを示す。

本実施例の場合は、精密機器11と上部床９の床パネル８
との間隔、及び除振免震床６の機器設置用スペース４部
の床パネル５と上部床９の支持脚７との間隔を充分大き
くしておくことにより、地震の際に除振免震床６が大き
く水平移動しても精密機器11に衝撃が加わることが防止
される。

なお、本考案の除振免震床室は上述の実施例のみに限定
されるものではなく、機器設置用スペースを設ける位置
は除振免震床の任意の位置でよく、床パネルの着脱によ
り床梁構造体及びアイソレータと干渉しない範囲で上部
床の機器設置用スペースを変更してもよいこと、アイソ
レータは従来使用されている種々のタイプのアイソレー
タを使用してもよいこと等本考案の要旨を免脱しない範
囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。

［考案の効果］ 以上述べたように本考案の除振免震床室によれば、アイ
ソレータに支持され精密機器を設置する除振免震床とオ
ペレータの歩行する上部床を切離して設置したので、オ
ペレータの歩行振動が免除震床及び精密機器に伝わるの
を完全に防止でき、作動中の精密機器を操作或は保守点
検することができる。また、上部床の位置が除振免震床
に設置される精密機器の上下方向中間部に達しているの
で、精密機器が大形である場合でも該精密機器を上側か
ら容易に保守点検することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の除振免震床室の一実施例の説明図、第
２図は本考案の除振免震床室の他の実施例の説明図、第
３図は本考案の免除震床室の更に他の実施例の部分説明
図、第４図は従来の免震床の一例を示す図である。 １はコンクリート床、２はアイソレータ、３は床梁構造
体、４は機器設置用スペース、５は床パネル、６は除振
免震床、７は支持脚、９は上部床、１１は精密機器を示
す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】基礎上に設置したアイソレータと、ビーム
   を格子状に組むことにより形成され且つ前記のアイソレ
   ータに支持された床梁構造体と、設置すべき機器に対応
   するように前記の床梁構造体の上面に略水平に張り付け
   られた除振免震床と、前記の床梁構造体と干渉しないよ
   うに且つ上端の位置が除振免震床に設置される機器の上
   下方向中間部に達するように基礎上に設置された支持脚
   と、除振免震床が設置されている部分以外の範囲を覆う
   ように略水平に支持脚に取り付けられた上部床とを備え
   てなることを特徴とする除振免震床室。