JPH0629334A - 半導体装置の実装方法 - Google Patents
半導体装置の実装方法Info
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- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
ンダーコート樹脂にボイドができないようにする。 【構成】 まず、ICチップの如き半導体装置1をバン
プ2を介して回路基板3にフェイスダウンボンディング
することによりワイヤレス接合を行なう。次に、上記半
導体装置1がワイヤレス接合された回路基板3を、超音
波振動を加えることができるステージ7に載せて固定
し、半導体装置1と回路基板3の隙間の一部にアンダー
コート樹脂4を塗布する。その後、ステージ7に超音波
振動を印加して、その振動により、アンダーコート樹脂
4を半導体装置1と回路基板3との隙間にボイドがない
ように全て埋め尽くす。
Description
に関するものである。
ップの如き半導体装置を回路基板に実装する場合、ま
ず、ICチップ1をバンプ2を介して回路基板3にフェ
イスダウンボンディングし、その後、ICチップ1と回
路基板3との隙間にアンダーコート樹脂4を注入する。
なお、同図において、5は回路基板3に形成された配線
である。
ダーコート樹脂4の注入は、まず、その隙間の一部にア
ンダーコート樹脂4を塗布して、その後は浸透圧によっ
て隙間全体を埋めていた。
如き浸透圧を利用した実装方法の場合、ICチップ1と
回路基板3との隙間がアンダーコート樹脂4によって全
て埋まらず、ボイド(空間)6ができることがあった。
特に、面積の大きなICチップの場合、その傾向は大で
あった。また、アンダーコート樹脂4の粘性が高い場
合、浸透圧だけでは中々チップ下面の奥まで樹脂4を充
填できないという問題もあった。
で、その目的とするところは、半導体装置と回路基板と
の隙間に充填するアンダーコート樹脂にボイドができな
い実装方法を提供することにある。
本発明は、半導体装置を回路基板にバンプを介してワイ
ヤレス接合した後、前記半導体装置と回路基板の隙間に
アンダーコート樹脂を充填してなる半導体装置の実装に
おいて、前記半導体装置と回路基板の隙間の一部にアン
ダーコート樹脂を塗布した後、前記回路基板に超音波振
動を加えることによりアンダーコート樹脂を半導体装置
と回路基板の隙間全体にわたって充填したことを特徴と
するものである。
振動を加えることができるステージにワイヤレス接合さ
れた回路基板を固定した状態を示す簡略断面図である。
ンプ2を介して回路基板3にフェイスダウンボンディン
グすることによりワイヤレス接合を行なう。なお、図1
において、5は回路基板3上に形成された配線であり、
また、ワイヤレス接合はフェイスダウンボンディングに
限定されない。
された回路基板3を、超音波振動を加えることができる
ステージ7に載せて固定し、半導体装置1と回路基板3
の隙間の一部にアンダーコート樹脂4を塗布する。
ると、その振動により、アンダーコート樹脂4は半導体
装置1と回路基板3との隙間をボイドがないように全て
埋め尽くす。ここで、印加する超音波の周波数は数KHz
が望ましいが、本発明においては特に限定されず、アン
ダーコート樹脂4の粘性、漏れ性、チップ面積等により
適宜設定される。
1と回路基板3との熱膨張率の違いによりワイヤレス接
合部にストレスがかかるのを、アンダーコート樹脂4が
緩和して、信頼性の向上につながる。つまり、アンダー
コート樹脂4にボイドがあると、そこに応力が集中し接
合破壊が起こりやすくなるが、ボイドがなければ均一な
応力分布となり、信頼性が向上する。
路基板の隙間の一部にアンダーコート樹脂を塗布した
後、その回路基板に超音波振動を加えることにより、ア
ンダーコート樹脂を半導体装置と回路基板の隙間全体に
わたってボイドを生じることなく充填することが可能な
半導体装置の実装方法を提供できる。
えることができるステージにワイヤレス接合された回路
基板を固定した状態を示す簡略断面図である。
面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 半導体装置を回路基板にバンプを介して
ワイヤレス接合した後、前記半導体装置と回路基板の隙
間にアンダーコート樹脂を充填してなる半導体装置の実
装において、前記半導体装置と回路基板の隙間の一部に
アンダーコート樹脂を塗布した後、前記回路基板に超音
波振動を加えることによりアンダーコート樹脂を半導体
装置と回路基板の隙間全体にわたって充填したことを特
徴とする半導体装置の実装方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18507192A JP2671720B2 (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | 半導体装置の実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18507192A JP2671720B2 (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | 半導体装置の実装方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0629334A true JPH0629334A (ja) | 1994-02-04 |
JP2671720B2 JP2671720B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=16164307
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18507192A Expired - Lifetime JP2671720B2 (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | 半導体装置の実装方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2671720B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998035377A1 (en) * | 1997-02-07 | 1998-08-13 | Camelot Systems, Inc. | Method and apparatus for dispensing liquids |
JP2002359258A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-12-13 | Denso Corp | 電子部品の実装方法 |
US6653171B2 (en) | 2000-07-25 | 2003-11-25 | Nec Electronics Corporation | Flip-chip type semiconductor device having split voids within under-fill layer and its manufacturing method |
US6955946B2 (en) | 1995-10-13 | 2005-10-18 | Nordson Corporation | Flip chip underfill system and method |
JP2008218708A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Fujitsu Ltd | 樹脂充填装置、充填方法および電子装置の製造方法 |
DE102009031132A1 (de) | 2008-07-04 | 2010-03-11 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Verfahren zur Herstellung eines Propylen-Blockcopolymers |
JP2016189547A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 公益財団法人電磁応用研究所 | 撮像装置 |
-
1992
- 1992-07-13 JP JP18507192A patent/JP2671720B2/ja not_active Expired - Lifetime
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DE102009031132A1 (de) | 2008-07-04 | 2010-03-11 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Verfahren zur Herstellung eines Propylen-Blockcopolymers |
JP2016189547A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 公益財団法人電磁応用研究所 | 撮像装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2671720B2 (ja) | 1997-10-29 |
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