JPH06290754A - 高圧放電灯および該放電灯を用いた半導体露光装置並びに映写装置 - Google Patents
高圧放電灯および該放電灯を用いた半導体露光装置並びに映写装置Info
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- JPH06290754A JPH06290754A JP5074243A JP7424393A JPH06290754A JP H06290754 A JPH06290754 A JP H06290754A JP 5074243 A JP5074243 A JP 5074243A JP 7424393 A JP7424393 A JP 7424393A JP H06290754 A JPH06290754 A JP H06290754A
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】光出力を低下させることなく、簡単な構成でラ
ンプ始動性を向上させ、ノイズの発生を抑制する。 【構成】石英ガラス製バルブ１の発光空間内に一対の電
極２，３を対向して配置した高圧放電灯において、バル
ブ１の発光空間内に突出した電極長さをＬとするとき、
バルブ１の少なくとも一方の電極を囲む外表面に、Ｌ／
５〜Ｌの範囲に亘り導電性被膜４ａまたは４ｂを形成
し、この導電性被膜４ａまたは４ｂを上記一方の電極と
電気的に接続したものである。
ンプ始動性を向上させ、ノイズの発生を抑制する。 【構成】石英ガラス製バルブ１の発光空間内に一対の電
極２，３を対向して配置した高圧放電灯において、バル
ブ１の発光空間内に突出した電極長さをＬとするとき、
バルブ１の少なくとも一方の電極を囲む外表面に、Ｌ／
５〜Ｌの範囲に亘り導電性被膜４ａまたは４ｂを形成
し、この導電性被膜４ａまたは４ｂを上記一方の電極と
電気的に接続したものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高圧放電灯に係り、特に
ショートアーク放電灯のようにランプ始動時に高電圧ま
たは高圧パルスを要する高圧放電灯および該放電灯を用
いた映写装置並びに半導体露光装置に関する。
ショートアーク放電灯のようにランプ始動時に高電圧ま
たは高圧パルスを要する高圧放電灯および該放電灯を用
いた映写装置並びに半導体露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の高圧放電灯は、発光空間
を形成するバルブ内に対向して一対の電極を配置し、希
ガス、水銀またはハロゲン化金属、キセノンガスなどを
封入したものが高効率・高演色性などの特徴を活かし、
各種分野で広く普及している。その中でもアーク長が短
い、いわゆるショートアーク放電灯は、上記の特徴に加
え点光源に近い特徴を有していることから、光学系と組
み合わせてプロジェクター用などの光源として用いられ
ている。
を形成するバルブ内に対向して一対の電極を配置し、希
ガス、水銀またはハロゲン化金属、キセノンガスなどを
封入したものが高効率・高演色性などの特徴を活かし、
各種分野で広く普及している。その中でもアーク長が短
い、いわゆるショートアーク放電灯は、上記の特徴に加
え点光源に近い特徴を有していることから、光学系と組
み合わせてプロジェクター用などの光源として用いられ
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種のシ
ョートアーク放電灯において、例えばアーク長が１０ｍ
ｍ以下となるようなショートアーク放電灯では、ランプ
を始動させるために、例えば２０〜３０ｋＶ程度の高圧
パルスを印加する必要があり、この時に発生するノイズ
が例えば周辺でＯＡ機器を使用する場合に誤動作を生じ
させる問題点がある。
ョートアーク放電灯において、例えばアーク長が１０ｍ
ｍ以下となるようなショートアーク放電灯では、ランプ
を始動させるために、例えば２０〜３０ｋＶ程度の高圧
パルスを印加する必要があり、この時に発生するノイズ
が例えば周辺でＯＡ機器を使用する場合に誤動作を生じ
させる問題点がある。
【０００４】これを防止するため、この種のランプを装
着した光学装置では、ノイズフィルターなどのノイズ吸
収手段を設けるなどの対策が講じられているものの、こ
の場合には光学装置を複雑化させるばかりでなく、コス
ト的にも高価となる問題点がある。
着した光学装置では、ノイズフィルターなどのノイズ吸
収手段を設けるなどの対策が講じられているものの、こ
の場合には光学装置を複雑化させるばかりでなく、コス
ト的にも高価となる問題点がある。
【０００５】また、一方では図７に示すようにランプの
始動性を向上させる手段として、バルブ１に沿って陽極
２または陰極３と電気的に接続した近接導体としてのト
リガーワイヤー４を設置することも行われているが、ノ
イズの低減に対して十分な効果が得られていない。
始動性を向上させる手段として、バルブ１に沿って陽極
２または陰極３と電気的に接続した近接導体としてのト
リガーワイヤー４を設置することも行われているが、ノ
イズの低減に対して十分な効果が得られていない。
【０００６】さらに、陽極２および陰極３へ電子放射性
物質を塗布することも採用されているが、この場合には
塗布した電子放射性物質がランプ寿命中に飛散してバル
ブ１の内面に付着し、光出力が低下するという問題点が
ある。
物質を塗布することも採用されているが、この場合には
塗布した電子放射性物質がランプ寿命中に飛散してバル
ブ１の内面に付着し、光出力が低下するという問題点が
ある。
【０００７】本発明は上述した事情を考慮してなされた
もので、光出力を低下させることなく、簡単な構成でラ
ンプ始動性を向上させ、ノイズの発生を抑制した高圧放
電灯および該放電灯を用いた映写装置並びに半導体露光
装置を提供することを目的とする。
もので、光出力を低下させることなく、簡単な構成でラ
ンプ始動性を向上させ、ノイズの発生を抑制した高圧放
電灯および該放電灯を用いた映写装置並びに半導体露光
装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
高圧放電灯は、上述した課題を解決するために、石英ガ
ラス製バルブの発光空間内に一対の電極を対向して配置
した高圧放電灯において、上記バルブの発光空間内に突
出した電極長さをＬとするとき、上記バルブの少なくと
も一方の電極を囲む外表面に、Ｌ／５〜Ｌの範囲に亘り
導電性被膜を形成し、この導電性被膜を上記一方の電極
と電気的に接続したことを特徴とする。
高圧放電灯は、上述した課題を解決するために、石英ガ
ラス製バルブの発光空間内に一対の電極を対向して配置
した高圧放電灯において、上記バルブの発光空間内に突
出した電極長さをＬとするとき、上記バルブの少なくと
も一方の電極を囲む外表面に、Ｌ／５〜Ｌの範囲に亘り
導電性被膜を形成し、この導電性被膜を上記一方の電極
と電気的に接続したことを特徴とする。
【０００９】また、請求項２の高圧放電灯は、石英ガラ
ス製バルブの発光空間内に一対の電極を対向して配置し
た高圧放電灯において、上記バルブの発光空間内に突出
した電極長さをＬとするとき、上記バルブの一対の電極
を囲む外表面のそれぞれに、Ｌ／５〜Ｌの範囲に亘り導
電性被膜を形成し、これら双方の導電性被膜を電気的に
接続したことを特徴とする。
ス製バルブの発光空間内に一対の電極を対向して配置し
た高圧放電灯において、上記バルブの発光空間内に突出
した電極長さをＬとするとき、上記バルブの一対の電極
を囲む外表面のそれぞれに、Ｌ／５〜Ｌの範囲に亘り導
電性被膜を形成し、これら双方の導電性被膜を電気的に
接続したことを特徴とする。
【００１０】さらに、請求項３の高圧放電灯は、請求項
１または２の導電性被膜を、耐熱・耐食性金属で構成し
たことを特徴とする。
１または２の導電性被膜を、耐熱・耐食性金属で構成し
たことを特徴とする。
【００１１】請求項４の半導体露光装置は、半導体露光
装置本体と、この半導体露光装置本体に請求項１，２ま
たは３のいずれか一に記載の高圧放電灯を配置したこと
を特徴とする。
装置本体と、この半導体露光装置本体に請求項１，２ま
たは３のいずれか一に記載の高圧放電灯を配置したこと
を特徴とする。
【００１２】請求項５の映写装置は、映写装置本体と、
この映写装置本体に請求項１，２または３のいずれか一
に記載の高圧放電灯を配置したことを特徴とする。
この映写装置本体に請求項１，２または３のいずれか一
に記載の高圧放電灯を配置したことを特徴とする。
【００１３】
【作用】上記の構成を有する本発明の請求項１において
は、バルブの発光空間内に突出した電極長さをＬとする
とき、上記バルブの少なくとも一方の電極を囲む外表面
に、Ｌ／５〜Ｌの範囲に亘り導電性被膜を形成し、この
導電性被膜を上記一方の電極と電気的に接続したことに
より、陰極から放出される電子が陽極に容易に到達する
こととなる。その結果、グロー放電を確実に発生させ、
アーク放電への転移を速やかに完了させるため、放電開
始電圧を低減させることができる。
は、バルブの発光空間内に突出した電極長さをＬとする
とき、上記バルブの少なくとも一方の電極を囲む外表面
に、Ｌ／５〜Ｌの範囲に亘り導電性被膜を形成し、この
導電性被膜を上記一方の電極と電気的に接続したことに
より、陰極から放出される電子が陽極に容易に到達する
こととなる。その結果、グロー放電を確実に発生させ、
アーク放電への転移を速やかに完了させるため、放電開
始電圧を低減させることができる。
【００１４】ここで、Ｌ／５より狭い範囲に導電性被膜
を形成した場合には、従来のトリガーワイヤーとほぼ同
様の幅となり、ノイズ低減に対して十分な効果が得られ
ないこととなる。他方、Ｌより広い範囲の場合には、放
電開始電圧の低減効果が得られないだけでなく、光学系
と組み合わせて使用した場合、集光効率が低下して照度
低下を招くことになる。
を形成した場合には、従来のトリガーワイヤーとほぼ同
様の幅となり、ノイズ低減に対して十分な効果が得られ
ないこととなる。他方、Ｌより広い範囲の場合には、放
電開始電圧の低減効果が得られないだけでなく、光学系
と組み合わせて使用した場合、集光効率が低下して照度
低下を招くことになる。
【００１５】また、請求項２のように、バルブにおける
一対の電極を囲む外表面のそれぞれに、Ｌ／５〜Ｌの範
囲に亘り導電性被膜を形成し、これら双方の導電性被膜
を電気的に接続しても、請求項１の高圧放電灯と比較
し、放電開始電圧の低減効果はやや劣るだけである。
一対の電極を囲む外表面のそれぞれに、Ｌ／５〜Ｌの範
囲に亘り導電性被膜を形成し、これら双方の導電性被膜
を電気的に接続しても、請求項１の高圧放電灯と比較
し、放電開始電圧の低減効果はやや劣るだけである。
【００１６】さらに、請求項１または２の導電性被膜
は、耐熱・耐食性金属で構成することが好ましい。
は、耐熱・耐食性金属で構成することが好ましい。
【００１７】そして、本発明の高圧放電灯は、半導体露
光装置や映写装置に配置することが好ましい。
光装置や映写装置に配置することが好ましい。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１９】図１は本発明に係る高圧放電灯の第１実施
例である超高圧水銀ランプを示す部分断面図である。な
お、従来の構成と同一または対応する部分には同一の符
号を用いて説明する。
例である超高圧水銀ランプを示す部分断面図である。な
お、従来の構成と同一または対応する部分には同一の符
号を用いて説明する。
【００２０】図１おいて、超高圧水銀ランプは石英ガラ
ス製のバルブ１を有し、このバルブ１内には、対向して
陽極２および陰極３がそれぞれ発光空間にＬ1 ｍｍ，Ｌ
2 ｍｍの長さで突出して配置されており、内部には希ガ
スと水銀が所定量封入されている。
ス製のバルブ１を有し、このバルブ１内には、対向して
陽極２および陰極３がそれぞれ発光空間にＬ1 ｍｍ，Ｌ
2 ｍｍの長さで突出して配置されており、内部には希ガ
スと水銀が所定量封入されている。
【００２１】また、バルブ１の外表面には、陽極２およ
び陰極３を囲むように白金や金などからなる耐熱・耐食
性金属材料としての導電性被膜４ａ，４ｂがそれぞれｌ
1 ｍｍ，ｌ2 ｍｍの幅を有して形成されている。導電性
被膜４ａは陽極２と、導電性被膜４ｂは陰極３と、それ
ぞれ導電線５ａ，５ｂ、口金７ａ，７ｂおよび金属箔６
ａ，６ｂを介して電気的に接続されている。
び陰極３を囲むように白金や金などからなる耐熱・耐食
性金属材料としての導電性被膜４ａ，４ｂがそれぞれｌ
1 ｍｍ，ｌ2 ｍｍの幅を有して形成されている。導電性
被膜４ａは陽極２と、導電性被膜４ｂは陰極３と、それ
ぞれ導電線５ａ，５ｂ、口金７ａ，７ｂおよび金属箔６
ａ，６ｂを介して電気的に接続されている。
【００２２】したがって、バルブ１内は給電を兼ねるモ
リブデン，タンタルからなる金属箔６ａ，６ｂが陽極
２，陰極３と白金，ロジウムなどのろう材により電気的
に接続されて気密封着されるとともに、金属箔６ａ，６
ｂは口金７ａ，７ｂとそれぞれ電気的に接続される。
リブデン，タンタルからなる金属箔６ａ，６ｂが陽極
２，陰極３と白金，ロジウムなどのろう材により電気的
に接続されて気密封着されるとともに、金属箔６ａ，６
ｂは口金７ａ，７ｂとそれぞれ電気的に接続される。
【００２３】次に、本実施例の作用を説明する。
【００２４】上記のような構成において、定格出力が７
００Ｗ、Ｌ1 が２０ｍｍ，Ｌ2 が２５ｍｍの超高圧の水
銀ランプを製作し、導電性被膜４ａ，４ｂの塗布幅ｌ1
およびｌ2 を種々変化させて図２に示すような結果を得
た。
００Ｗ、Ｌ1 が２０ｍｍ，Ｌ2 が２５ｍｍの超高圧の水
銀ランプを製作し、導電性被膜４ａ，４ｂの塗布幅ｌ1
およびｌ2 を種々変化させて図２に示すような結果を得
た。
【００２５】この結果から明らかなように、陽極２また
は陰極３の発光空間内への突出長Ｌ1 ，Ｌ2 に対し、そ
れを囲むバルブ１の外表面への導電性被膜４ａ，４ｂの
塗布幅ｌ1 ｍｍ，ｌ2 ｍｍの比をそれぞれ０．２とする
ことで、放電開始電圧を約７０％と低減し、さらにその
比を１．０とすることで、放電開始電圧を約３０％まで
低減できた。
は陰極３の発光空間内への突出長Ｌ1 ，Ｌ2 に対し、そ
れを囲むバルブ１の外表面への導電性被膜４ａ，４ｂの
塗布幅ｌ1 ｍｍ，ｌ2 ｍｍの比をそれぞれ０．２とする
ことで、放電開始電圧を約７０％と低減し、さらにその
比を１．０とすることで、放電開始電圧を約３０％まで
低減できた。
【００２６】なお、これ以上導電性被膜４ａ，４ｂの塗
布幅ｌ1 ｍｍ，ｌ2 ｍｍの比を増してもこれ以上の放電
開始電圧の低減効果が得られないばかりか、例えば導電
性被膜材料として白金、金などの遮光性物質を使用した
場合、光学系と組み合わせて使用されることから集光効
率が低下し、照度低下を招いて好ましくない。
布幅ｌ1 ｍｍ，ｌ2 ｍｍの比を増してもこれ以上の放電
開始電圧の低減効果が得られないばかりか、例えば導電
性被膜材料として白金、金などの遮光性物質を使用した
場合、光学系と組み合わせて使用されることから集光効
率が低下し、照度低下を招いて好ましくない。
【００２７】一方、導電性被膜４ａ，４ｂの塗布幅ｌ1
ｍｍ，ｌ2 ｍｍの比を０．２未満、つまり電極の突出長
Ｌの１／５より狭い範囲に導電性被膜４ａ，４ｂを形成
した場合には、図７に示すトリガーワイヤーとほぼ同様
の幅となり、ノイズ低減に対して十分な効果が得られな
いことが判明した。したがって、導電性被膜４ａ，４ｂ
を形成する範囲はＬ／５〜Ｌとすることが望ましい。
ｍｍ，ｌ2 ｍｍの比を０．２未満、つまり電極の突出長
Ｌの１／５より狭い範囲に導電性被膜４ａ，４ｂを形成
した場合には、図７に示すトリガーワイヤーとほぼ同様
の幅となり、ノイズ低減に対して十分な効果が得られな
いことが判明した。したがって、導電性被膜４ａ，４ｂ
を形成する範囲はＬ／５〜Ｌとすることが望ましい。
【００２８】また、この放電開始電圧の低減効果は、陽
極２または陰極３のいずれか一方のバルブ１の外表面に
導電性被膜を形成しても得られることが確認されてい
る。
極２または陰極３のいずれか一方のバルブ１の外表面に
導電性被膜を形成しても得られることが確認されてい
る。
【００２９】そして、バルブ１の外表面への導電性被膜
４ａ，４ｂの塗布幅ｌ1 ｍｍ，ｌ2ｍｍは、バルブ１の
陽極２および陰極３の固定端からの幅としたが、これに
限らず、陽極２および陰極３の先端部からのバルブ１上
の幅、または陽極２および陰極３の中間部におけるバル
ブ１上の幅としても、同様の効果が得られる。
４ａ，４ｂの塗布幅ｌ1 ｍｍ，ｌ2ｍｍは、バルブ１の
陽極２および陰極３の固定端からの幅としたが、これに
限らず、陽極２および陰極３の先端部からのバルブ１上
の幅、または陽極２および陰極３の中間部におけるバル
ブ１上の幅としても、同様の効果が得られる。
【００３０】すなわち、バルブ１の外表面へ形成する導
電性被膜４ａ，４ｂは、陽極２および陰極３の基端部を
基準として形成しても、先端部を基準としても、中間部
のいずれでもよい。
電性被膜４ａ，４ｂは、陽極２および陰極３の基端部を
基準として形成しても、先端部を基準としても、中間部
のいずれでもよい。
【００３１】このように本実施例によれば、バルブ１の
発光空間内に突出した陽極２および陰極３の長さを
Ｌ1 ，Ｌ2 とするとき、バルブ１の少なくとも一方の電
極を囲む外表面に、Ｌ／５〜Ｌの範囲に亘り導電性被膜
４ａまたは４ｂを形成し、この導電性被膜４ａまたは４
ｂを上記一方の電極と電気的に接続したことにより、陰
極３から放出される電子が陽極２に容易に到達すること
となる。その結果、グロー放電を確実に発生させ、アー
ク放電への転移を速やかに完了させるため、放電開始電
圧を低減させることができる。
発光空間内に突出した陽極２および陰極３の長さを
Ｌ1 ，Ｌ2 とするとき、バルブ１の少なくとも一方の電
極を囲む外表面に、Ｌ／５〜Ｌの範囲に亘り導電性被膜
４ａまたは４ｂを形成し、この導電性被膜４ａまたは４
ｂを上記一方の電極と電気的に接続したことにより、陰
極３から放出される電子が陽極２に容易に到達すること
となる。その結果、グロー放電を確実に発生させ、アー
ク放電への転移を速やかに完了させるため、放電開始電
圧を低減させることができる。
【００３２】図３は本発明に係る高圧放電灯の第２実施
例である超高圧水銀ランプを示す部分断面図である。な
お、前記第１実施例と同一の部分には同一の符号を付し
て説明する。
例である超高圧水銀ランプを示す部分断面図である。な
お、前記第１実施例と同一の部分には同一の符号を付し
て説明する。
【００３３】本実施例では、陽極２および陰極３の周囲
に塗布した導電性被膜４ａ，４ｂ間を導電線５により電
気的に接続し、導電線５は陽極２および陰極３の双方の
電極と浮かせた状態に設けても図４の結果が得られた。
に塗布した導電性被膜４ａ，４ｂ間を導電線５により電
気的に接続し、導電線５は陽極２および陰極３の双方の
電極と浮かせた状態に設けても図４の結果が得られた。
【００３４】このように本実施例によれば、前記第１実
施例と比較して放電開始電圧の低減効果はやや劣るもの
の、導電性被膜４ａ，４ｂを形成しないものと比べ、放
電開始電圧の低減効果は顕著に現れ、また導電性被膜４
ｂを塗布したことで、陰極３周辺の失透も防止すること
ができる。その他の構成および作用は前記第１実施例と
同一であるのでその説明を省略する。
施例と比較して放電開始電圧の低減効果はやや劣るもの
の、導電性被膜４ａ，４ｂを形成しないものと比べ、放
電開始電圧の低減効果は顕著に現れ、また導電性被膜４
ｂを塗布したことで、陰極３周辺の失透も防止すること
ができる。その他の構成および作用は前記第１実施例と
同一であるのでその説明を省略する。
【００３５】ところで、前記第１実施例および第２実施
例のように構成された超高圧水銀ランプを光学装置内に
組み込み、放電開始電圧と周辺に配置したＯＡ機器の誤
動作について確認したところ、２５００Ｖでは１０％の
割合で発生し、２２００Ｖにおいては２％、２０００Ｖ
では全く発生しなかった。
例のように構成された超高圧水銀ランプを光学装置内に
組み込み、放電開始電圧と周辺に配置したＯＡ機器の誤
動作について確認したところ、２５００Ｖでは１０％の
割合で発生し、２２００Ｖにおいては２％、２０００Ｖ
では全く発生しなかった。
【００３６】図５は本発明に係る高圧放電灯の第１，２
実施例の超高圧水銀ランプを半導体露光装置に適用した
例を示す。図５において、超高圧水銀ランプ１０から照
射された光は、楕円ミラー１１および反射ミラー１２に
よりそれぞれ反射されて集光レンズ１３で集光された
後、反射ミラー１４、コンデンサレンズ１５を経てフォ
トレジスト１６を通過し、さらに縮小投影レンズ１７を
通ってウエハ１８上に露光される。
実施例の超高圧水銀ランプを半導体露光装置に適用した
例を示す。図５において、超高圧水銀ランプ１０から照
射された光は、楕円ミラー１１および反射ミラー１２に
よりそれぞれ反射されて集光レンズ１３で集光された
後、反射ミラー１４、コンデンサレンズ１５を経てフォ
トレジスト１６を通過し、さらに縮小投影レンズ１７を
通ってウエハ１８上に露光される。
【００３７】図６は本発明に係る高圧放電灯の別の実施
例であるキセノンランプを映写装置に適用した例を示
す。図６において、キセノンランプ２０から照射された
光は楕円ミラー２１により反射されてレンズ２２ａ，２
２ｂに集光し、このレンズ２２ａ，２２ｂでは集光され
た光を平行光としてフイルム２３に透過させた後、拡大
レンズ２４を通して拡大し、スクリーン２５上にフイル
ム２３の画像が投影される。
例であるキセノンランプを映写装置に適用した例を示
す。図６において、キセノンランプ２０から照射された
光は楕円ミラー２１により反射されてレンズ２２ａ，２
２ｂに集光し、このレンズ２２ａ，２２ｂでは集光され
た光を平行光としてフイルム２３に透過させた後、拡大
レンズ２４を通して拡大し、スクリーン２５上にフイル
ム２３の画像が投影される。
【００３８】したがって、上記第１，２実施例の超高圧
水銀ランプを半導体露光装置に、キセノンランプを映写
装置にそれぞれ適用すれば、複雑で高価なノイズフィル
ターを設けることなく、周辺に設置されたＯＡ機器など
へのノイズによる誤動作を防止することができる。
水銀ランプを半導体露光装置に、キセノンランプを映写
装置にそれぞれ適用すれば、複雑で高価なノイズフィル
ターを設けることなく、周辺に設置されたＯＡ機器など
へのノイズによる誤動作を防止することができる。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る高圧
放電灯の請求項１によれば、バルブの発光空間内に突出
した電極長さをＬとするとき、上記バルブの少なくとも
一方の電極を囲む外表面に、Ｌ／５〜Ｌの範囲に亘り導
電性被膜を形成し、この導電性被膜を上記一方の電極と
電気的に接続したので、簡単な構成で、光出力の低下な
どの寿命特性を損なうことなく、グロー放電を確実に発
生させ、アーク放電への転移を速やかに完了させること
ができる。これにより、放電開始電圧を低減可能で、ラ
ンプ始動時のノイズの発生を抑制させることができる。
放電灯の請求項１によれば、バルブの発光空間内に突出
した電極長さをＬとするとき、上記バルブの少なくとも
一方の電極を囲む外表面に、Ｌ／５〜Ｌの範囲に亘り導
電性被膜を形成し、この導電性被膜を上記一方の電極と
電気的に接続したので、簡単な構成で、光出力の低下な
どの寿命特性を損なうことなく、グロー放電を確実に発
生させ、アーク放電への転移を速やかに完了させること
ができる。これにより、放電開始電圧を低減可能で、ラ
ンプ始動時のノイズの発生を抑制させることができる。
【００４０】また、請求項２によれば、バルブにおける
一対の電極を囲む外表面のそれぞれに、Ｌ／５〜Ｌの範
囲に亘り導電性被膜を形成し、これら双方の導電性被膜
を電気的に接続しても、請求項１の高圧放電灯と比較
し、放電開始電圧の低減効果はやや劣るものの、十分そ
の効果が得られる。
一対の電極を囲む外表面のそれぞれに、Ｌ／５〜Ｌの範
囲に亘り導電性被膜を形成し、これら双方の導電性被膜
を電気的に接続しても、請求項１の高圧放電灯と比較
し、放電開始電圧の低減効果はやや劣るものの、十分そ
の効果が得られる。
【００４１】さらに、本発明の高圧放電灯を半導体露光
装置や映写装置にそれぞれ適用すれば、ランプ始動時の
ノイズの発生を抑制させ、その結果、周辺で使用するＯ
Ａ機器などへのノイズによる誤動作を防止することがで
きる。
装置や映写装置にそれぞれ適用すれば、ランプ始動時の
ノイズの発生を抑制させ、その結果、周辺で使用するＯ
Ａ機器などへのノイズによる誤動作を防止することがで
きる。
【図１】本発明に係る高圧放電灯の第１実施例である超
高圧水銀ランプを示す部分断面図。
高圧水銀ランプを示す部分断面図。
【図２】第１実施例の実験結果を示すグラフ。
【図３】本発明に係る高圧放電灯の第２実施例である超
高圧水銀ランプを示す正面図。
高圧水銀ランプを示す正面図。
【図４】第２実施例の実験結果を示すグラフ。
【図５】第１，第２実施例である超高圧水銀ランプを適
用した半導体露光装置を示す概略図。
用した半導体露光装置を示す概略図。
【図６】本発明に係る高圧放電灯の他の実施例のキセノ
ンランプを適用した映写装置を示す概略図。
ンランプを適用した映写装置を示す概略図。
【図７】従来の高圧放電灯であるショートアーク放電灯
を示す正面図。
を示す正面図。
１ 発光管 ２ 陽極 ３ 陰極 ４ａ，４ｂ 導電性被膜 ５ａ，５ｂ 導電線 ６ａ，６ｂ 金属箔 ７ａ，７ｂ 口金
Claims (5)
- 【請求項１】 石英ガラス製バルブの発光空間内に一対
の電極を対向して配置した高圧放電灯において、上記バ
ルブの発光空間内に突出した電極長さをＬとするとき、
上記バルブの少なくとも一方の電極を囲む外表面に、Ｌ
／５〜Ｌの範囲に亘り導電性被膜を形成し、この導電性
被膜を上記一方の電極と電気的に接続したことを特徴と
する高圧放電灯。 - 【請求項２】 石英ガラス製バルブの発光空間内に一対
の電極を対向して配置した高圧放電灯において、上記バ
ルブの発光空間内に突出した電極長さをＬとするとき、
上記バルブの一対の電極を囲む外表面のそれぞれに、Ｌ
／５〜Ｌの範囲に亘り導電性被膜を形成し、これら双方
の導電性被膜を電気的に接続したことを特徴とする高圧
放電灯。 - 【請求項３】 導電性被膜は、耐熱・耐食性金属で構成
したことを特徴とする請求項１または２のいずれか一に
記載の高圧放電灯。 - 【請求項４】 半導体露光装置本体と、この半導体露光
装置本体に請求項１，２または３のいずれか一に記載の
高圧放電灯を配置したことを特徴とする半導体露光装
置。 - 【請求項５】 映写装置本体と、この映写装置本体に請
求項１，２または３のいずれか一に記載の高圧放電灯を
配置したことを特徴とする映写装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5074243A JPH06290754A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 高圧放電灯および該放電灯を用いた半導体露光装置並びに映写装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5074243A JPH06290754A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 高圧放電灯および該放電灯を用いた半導体露光装置並びに映写装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06290754A true JPH06290754A (ja) | 1994-10-18 |
Family
ID=13541533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5074243A Pending JPH06290754A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 高圧放電灯および該放電灯を用いた半導体露光装置並びに映写装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06290754A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1993
- 1993-03-31 JP JP5074243A patent/JPH06290754A/ja active Pending
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