JPH0628973A - 長尺スリット電極の製造方法及びそれに用いる原版 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】金属板の両面に感光性樹脂を形成し、大孔側と
小孔側の両面からパターン露光することによりパターン
状に感光性樹脂を残して両面から途中まで腐食し、小孔
側全面に腐食防止性樹脂を形成してさらに腐食し、その
のち感光性樹脂と腐食防止性樹脂を除去することにより
細長い矩形のスリットが多数形成された長尺スリット電
極を製造する長尺スリット電極の製造方法において、前
記パターン露光が、大孔側小孔側ともに長辺と短辺より
なる矩形であり、短辺の長さが大孔側が小孔側より長
く、長辺の長さが大孔側が小孔側と同じかまたは短くし
て製造する。 【効果】本発明により、スリットが非常に長尺のスリッ
トであり、これを両面からの腐食により形成する場合で
あっても、その端部と中央部でそのスリット形状をほぼ
同じ幅で形成することが可能となった。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、キャラクターディスプ
レイの電極として用いられるアパーチャーグリルや、蛍
光表示管の電極に用いられるスダレメッシュ等の一方の
辺が非常に長いスリットが並列に沢山並んでいる長尺ス
リット電極を、一枚の金属板に感光性樹脂を塗工、露
光、現像する事によりパターン化し、腐食させることに
より製造する製造方法ならびに、その製造工程において
パターン露光をするための原版に係るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の長尺スリット電極においては、大
孔側で広く大きく、小孔側で狭く小さな孔が形成され、
その中央部分で孔が出会う形状となっていた。このよう
な形状を形成するため、その短辺方向の断面の形状を、
大孔側で広く小孔側で狭いパターンとなるようレジスト
を露光していた。その場合の露光に用いられる原版は、
指定寸法にサイドエッチ量を引いた大きさで露光パター
ンとしていたか、それを誤差修正したものを露光パター
ンとしていた。本発明のアパーチャーグリルを製造する
一実施例について、図面を参照にして詳細に説明する。

【０００３】図５は、従来の露光に用いる原版の平面図
であり、図６は腐食後の電極の平面図である。露光用原
版は、大孔側パターン２１原版と小孔側パターン２２原
版の組により構成されている。

【０００４】最終的に所望のアパーチャーグリルの仕様
としては、板厚０．１５ｍｍの板に小孔側仕様パターン
１４の小孔スリット幅が１００μｍ、大孔側仕様パター
ン１３の大孔スリット幅が４３３μｍ、アパーチャーグ
リルピッチが７２０μｍのものを製造する。長さ方向
は、２５型ディスプレイの場合で何れも３４ｃｍであ
る。

【０００５】以上の仕様に対し腐食特性が、小孔側の貫
通孔サイドエッチ量を２０μｍ、大孔側表面サイドエッ
チ量を１２８μｍとした場合、大孔側パターン原版１１
の幅は片側で６４μｍ、小孔側パターンの幅は片側で１
０μｍ減らした。もちろんピッチは仕様と不変である。
長さ方向は何れも片側で１０μｍ減らした。

【０００６】次に、金属板の両面に感光性樹脂を形成
し、大孔側と小孔側の両面から上記原版を用いてパター
ン露光することによりパターン状に感光性樹脂を残して
両面から途中まで腐食し、小孔側全面に腐食防止性樹脂
を形成してさらに腐食し、そののち感光性樹脂と腐食防
止性樹脂を除去することにより細長い矩形のスリットが
多数形成された長尺スリット電極を製造した。

【０００７】その結果、製造された長尺スリット電極
は、６図で示す平面図の様に大孔側腐食パターン１５は
中央部でも端部でも同じ幅の形状であるにもかかわら
ず、その貫通腐食パターン１７はその端部でマッチ棒の
先端形状をなし、その中央部に比べ端部で幅が広い形状
になった。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】貫通腐食パターンが端
部でマッチ棒の先端形状をなし、その中央部に比べ端部
で幅が広い形状になった場合、表示装置用電極として
は、その開口面積に差が出来る事となり、面上の総ての
部分において均一な表示を求められる表示装置として
は、品質の低下の原因となる。

【０００９】しかしながら、腐食時においてはスリット
の端部の腐食が、スリットの中央部の腐食より速く進む
現象が起きる。この原因としては、中央部に比べると端
部は腐食面積が少なく、それに比例して腐食液の腐食能
が低下する速度が高くなり、それが腐食量の大きさに現
れるものである。

【００１０】その結果、短辺方向の断面の形状が、スリ
ットの中央部よりスリットの端部の方が孔が大きくなる
現象が現れる。この現象は、特に貫通孔を形成するとき
に腐食することとなる、大孔側でほぼ決まるため、大孔
側の短辺方向の断面の形状が、スリットの中央部よりス
リットの端部の方が孔が大きくなる現象が特に問題とな
る。

【００１１】そこで、短辺方向の断面の形状が、スリッ
トの中央部とスリットの端部とで同じになる長尺スリッ
ト電極の製造方法並びにそれに用いる原版が望まれてい
たものである。

【００１２】

【課題を解決するためするための手段】本発明は上記の
ような課題を解決するためになされたもので、請求項１
に記載の発明では、金属板の両面に感光性樹脂を形成
し、大孔側と小孔側の両面からパターン露光することに
よりパターン状に感光性樹脂を残して両面から途中まで
腐食し、小孔側全面に腐食防止性樹脂を形成してさらに
腐食し、そののち感光性樹脂と腐食防止性樹脂を除去す
ることにより細長い矩形のスリットが多数形成された長
尺スリット電極を製造する長尺スリット電極の製造方法
において、前記パターン露光が、大孔側小孔側ともに長
辺と短辺よりなる矩形であり、短辺の長さが大孔側が小
孔側より長く、長辺の長さが大孔側が小孔側と同じかま
たは短くするものである。

【００１３】また、請求項２に記載の発明では、金属板
の両面に感光性樹脂を形成し、大孔側と小孔側の両面か
らパターン露光することによりパターン状に感光性樹脂
を残して両面から途中まで腐食し、小孔側全面に腐食防
止性樹脂を形成してさらに腐食し、そののち感光性樹脂
と腐食防止性樹脂を除去することにより細長い矩形のス
リットが多数形成された長尺スリット電極を製造する長
尺スリット電極の製造方法における前記パターン露光に
用いる原版が、大孔側原版の短辺の長さが小孔側原版の
短辺の長さより長く、長辺の長さ小孔側原版の短辺の長
さより同じかまたは短くさせるものである。

【００１４】なお、感光性樹脂は、露光により感光する
もので耐腐食性のあるものであれば、ネガレジストであ
るかポジレジストであるかを問わない。但し、その違い
により露光パターンがネガパターンであるかポジパター
ンであるかが左右されるので、露光原版のパターンのネ
ガポジが影響されることとなる。また、腐食防止性樹脂
は腐食防止性の性質があり、腐食により形成された孔を
埋めるものであれば、その選択は任意である。

【００１５】露光方法も、密着露光や平行露光等、パタ
ーン露光が確実に行える方法であれば、その手段を問う
ものではない。さらに、感光性樹脂と腐食防止性樹脂の
塗布方法、腐食方法も、何等手段を問うものではない。

【００１６】

【作用】本発明によれば、大孔側の腐食時においては大
孔側の腐食端部と小孔側腐食端部とがずれ、大孔側の腐
食端部が小孔側の中央部に相当することとなる。従っ
て、腐食の進行がその部分において小孔側の腐食防止性
樹脂の存在により、より腐食し易い下部へ広がることが
なくなり、腐食の進行が中央部により近い速度で腐食す
る。この結果貫通幅は、部分によっての貫通孔の幅のさ
が少なくなるため、その表示装置の電極としての性能へ
の影響は大きくなる。

【００１７】

【実施例】

（実施例１）本発明のアパーチャーグリルを製造する一
実施例について、図面を参照にして詳細に説明する。

【００１８】図１は、本発明による露光に用いる原版の
平面図であり、図２は腐食後の電極の平面図であり、図
３は図２のＢ−Ｂ断面図であり、図４は図２のＡ−Ａ断
面図である。露光用原版は、大孔側パターン１１原版と
小孔側パターン１２原版の組により構成されている。

【００１９】最終的に所望のアパーチャーグリルの仕様
としては、板厚０．１５ｍｍの板に小孔側仕様パターン
１４の小孔スリット幅が１００μｍ、大孔側仕様パター
ン１３の大孔スリット幅が４３３μｍ、アパーチャーグ
リルピッチが７２０μｍのものを製造する。長さ方向
は、２５型ディスプレイの例では何れも２０ｃｍであ
る。

【００２０】以上の仕様に対し腐食特性が、小孔側の貫
通孔サイドエッチ量を２０μｍ、大孔側表面サイドエッ
チ量を１２８μｍとした場合、大孔側パターン原版１１
の幅は片側で６４μｍ、小孔側パターンの幅は片側で１
０μｍ減らした。もちろんピッチは仕様と不変である。
長さ方向は何れも大孔側パターン原版１１の幅は片側で
６４μｍ、小孔側パターンの幅は片側で１０μｍ減らし
た。

【００２１】次に、金属板の両面に感光性樹脂を形成
し、大孔側と小孔側の両面から上記原版を用いてパター
ン露光することによりパターン状に感光性樹脂を残して
両面から途中まで腐食し、小孔側全面に腐食防止性樹脂
を形成してさらに腐食し、そののち感光性樹脂と腐食防
止性樹脂を除去することにより細長い矩形のスリットが
多数形成された長尺スリット電極を製造した。

【００２２】その結果、製造された長尺スリット電極
は、２図で示す平面図の様に大孔側腐食パターン１５が
小孔側腐食パターン１６と、中央部でも端部でも同じ幅
の形状であるにもかかわらず、その貫通腐食パターン１
７がその中央部でも端部でも同じ幅の形状となり、スリ
ットの中央部と端部で貫通幅を近づけることが出来た。
また、そのＢ−Ｂ断面図とＡ−Ａ断面図は各々３図、４
図で示した様になり、表示装置の電極として用いる場合
であっても、品質として良好な品質を維持する事が可能
になった。

【００２３】

【発明の効果】本発明により、スリットが非常に長尺の
スリットであり、これを両面からの腐食により形成する
場合であっても、その端部と中央部でそのスリット形状
をほぼ同じ幅で形成することが可能となった。

【００２４】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の露光に用いる原版の平面図。

【図２】同実施例の腐食後の金属板の平面図。

【図３】図２のＢ−Ｂ断面図。

【図４】図２のＡ−Ａ断面図。

【図５】従来の露光に用いる原版の平面図。

【図６】同腐食後の金属板の平面図。

【符号の説明】

１１…大孔側パターン １２…小孔側パターン １３…大孔側仕様パターン １４…小孔側仕様パターン １５…大孔側腐食パターン １６…小孔側腐食パターン １７…貫通腐食パターン ２１…従来の大孔側パターン ２２…従来の小孔側パターン ２５…従来の大孔側腐食パターン ２７…従来の貫通腐食パターン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前岡 淳史 東京都台東区台東一丁目５番１号 凸版印 刷株式会社内 (72)発明者 辻坂 敏之 東京都台東区台東一丁目５番１号 凸版印 刷株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】金属板の両面に感光性樹脂を形成し、大孔
   側と小孔側の両面からパターン露光することによりパタ
   ーン状に感光性樹脂を残して両面から途中まで腐食し、
   小孔側全面に腐食防止性樹脂を形成してさらに腐食し、
   そののち感光性樹脂と腐食防止性樹脂を除去することに
   より細長い矩形のスリットが多数形成された長尺スリッ
   ト電極を製造する長尺スリット電極の製造方法におい
   て、 前記パターン露光が、大孔側小孔側ともに長辺と短辺よ
   りなる矩形であり、短辺の長さが大孔側が小孔側より長
   く、長辺の長さが大孔側が小孔側と同じかまたは短いこ
   とを特徴とする長尺スリット電極の製造方法。
2. 【請求項２】金属板の両面に感光性樹脂を形成し、大孔
   側と小孔側の両面からパターン露光することによりパタ
   ーン状に感光性樹脂を残して両面から途中まで腐食し、
   小孔側全面に腐食防止性樹脂を形成してさらに腐食し、
   そののち感光性樹脂と腐食防止性樹脂を除去することに
   より細長い矩形のスリットが多数形成された長尺スリッ
   ト電極を製造する長尺スリット電極の製造方法における
   前記パターン露光に用いる原版が、 大孔側原版の短辺の長さが小孔側原版の短辺の長さより
   長く、長辺の長さ小孔側原版の短辺の長さより同じかま
   たは短いことを特徴とする長尺スリット電極の製造に用
   いる原版。