JPH06281432A - 微小角度調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 対象物１２の表面に略垂直に光を照射する光
照射手段３０と、前記光照射手段３０よりの照射光と略
同一の光路上へ反射する反射光との干渉光を検出する光
検出手段３４と、前記光検出手段３４の光検出強度が最
大となるように前記対象物１２の表面角度を調整する角
度調整手段３６と、を備えたことを特徴とする微小角度
調整装置。 【効果】 本発明にかかる微小角度調整装置によれば、
簡易な構成で正確な微小角度調整を行うことが可能とな
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は微小角度調整装置、特に
対象物の角度検出機構の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体素子検査装置などの分野に
おいて被加工物ないし被測定物の微小な角度調整が要求
される。すなわち、半導体素子の検査においては、該半
導体素子に光を照射し、その反射光より半導体素子の材
質あるいは加工精度などの情報を得ており、測定光を一
定角度で半導体素子に入射させ、かつ一定角度での反射
光を採取する必要があるため、該半導体素子の設置角度
を出来るだけ厳密に調整する必要がある。従来におい
て、このような微小角度調整は、対象物からの反射測定
光の出力を見ながら行うものであった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の微小角度調整方法では、対象物の厚さにバラつきの
あるものについては、該対象物を交換するごとに角度調
整を行わなければならない。このため、角度調整に要す
る時間及び労力が多大となってしまう。本発明は前記従
来技術の課題に鑑がみなされたものであり、その目的は
対象物の設置角度を、その厚さに影響されることなく正
確に調整することのできる微小角度調整装置を提供する
ことにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明にかかる微小角度調整装置は、光照射手段と、
光検出手段と、角度調整手段を備える。そして、前記光
照射手段は対象物に略垂直に光を照射する。また、光検
出手段は、前記対象物よりの反射光路を、前記照射光の
光路に一致させた光軸を有する反射光を受光する。ま
た、前記角度調整手段は、受光手段の出力に基づき、対
象物の光照射面角度を調整可能としている。

【０００５】

【作用】本発明にかかる微小角度調整装置は前述した手
段を有するので、光照射手段より照射された光が、対象
物に反射され、その反射光が光検出手段により検出され
る。ここで、対象物の光照射面に対し、照射光の光軸が
垂直とならない場合には、その反射光のうち、前記受光
手段により検出される光強度が減少する。従って、光検
出手段による受光強度が最大となるように、前記対象物
の光照射面角度を調整することにより、照射光の光軸に
対し対象物の光照射面を垂直とすることができる。

【０００６】

【実施例】以下、図面に基づき本発明の好適な実施例を
説明する。図１には、本発明の一実施例にかかる微小角
度調整装置が赤外分光光度計に適用された例が示されて
いる。すなわち、同図において、サンプルステージ１０
上には半導体素子などの対象物１２が載置・固定されて
いる。

【０００７】そして、赤外光源１４からの入射測定光は
１６ａは、反射鏡１８により反射されて前記対象物１２
上に照射され、さらに該対象物１２による反射測定光１
６ｂは、反射鏡２０により反射されて測定光受光器２２
により検出されている。そして、該測定光受光器２２の
検出結果より、所定のデータ処理を介して対象物１２の
所望データを得ている。

【０００８】本実施例にかかる微小角度調整装置は、光
照射手段としてのレーザー光源３０と、ビームスプリッ
タ３２と、光検出手段３４と、角度調整手段３６とより
構成される。そして、光照射手段３０より出射したレー
ザー光は、ビームスプリッタ３２を介して対象物１２の
被測定面上に投射される。

【０００９】対象物１２表面で反射されたレーザー光
は、再度ビームスプリッタ３２にいたり、該ビームスプ
リッタ３２により図中左方向に反射されて光検出手段３
４に入射される。該光検出手段３４の電気信号出力は、
データ処理ユニット３８に入力され、該データ処理ユニ
ット３８は角度調整手段３６に角度調整指示を与える。

【００１０】ここで、角度調整手段３６は、サンプルス
テージ１０の裏面中央を回動自在に支持する回動支持部
４０と、サンプルステージ１０裏面の図中左端部に配置
された駆動部４２と、サンプルステージ１０の裏面の図
中右端部に配置された弾性支持部４４とを含む。そし
て、前記コンピュータ３８からの指示が駆動部４２に与
えられ、該駆動部４２はパルスモータの回動ないしピエ
ゾ素子への電圧印加によって、基板４６とサンプルステ
ージ１０の図中左端部における間隔を調整する。

【００１１】この結果、サンプルステージ１０は回動支
持部４０を中心として時計周り方向に回動し、対象物１
２の表面角度を調整する。一方、駆動部４２を調整し、
該駆動部４２に於けるサンプルステージ１０と基盤４６
の間隙を小さくすると、サンプルステージ１０は弾性支
持部４４の押圧作用により回動支持部４０を中心として
半時計方向に回動することとなる。

【００１２】以上のように、データ処理ユニット３８は
駆動部４２を駆動制御し、一定の走査範囲で光検出手段
３４による光検出強度が最大となる角度にサンプルステ
ージ１０の傾きを調整する。なお、同様の構成により、
サンプルステージ１０を図面と直交する方向に角度調整
することも可能である。

【００１３】また、本実施例においては、図１において
ビームスプリッタ３２の右側に可動鏡５０を配置し、該
可動鏡５０の位置を可動鏡走査部５２により矢印Ｉ方向
に移動可能としている。この結果、光照射手段３０から
出射されたレーザー光の一部はビームスプリッタ３２に
より可動鏡５０方向に反射され、該可動鏡５０からの反
射光と対象物１２からの反射光とがそれぞれビームスプ
リッタ３２の半透膜面上で干渉して、その干渉縞強度が
光検出手段３４によって検出される。

【００１４】従って、可動鏡５０を駆動することによ
り、データ処理ユニット３８は光検出手段３４により検
出された干渉縞強度の変化から対象物１２の上下位置を
検出することができる。そして、基板４６と、該基板４
６の下部に配置されたベース５４との間隙を変更可能な
上下位置調整手段５６を設置し、前記データ処理ユニッ
ト３８から対象物１２の上下位置情報を該上下位置調整
手段５６に与えることにより、対象物１２の上下位置を
も正確に調整することができる。

【００１５】以上説明したように本実施例にかかる微小
角度調整装置によれば、簡易に対象物１２の被測定面の
角度調整及び上下位置調整を行うことができる。なお、
本実施例においては角度調整手段３６による角度調整を
データ処理ユニット３８により行うこととしたが、これ
に限られるものではなく、例えばディスプレイ上に光検
出手段３４の出力を表示し、手動でサンプルステージ１
０の角度調整を行うようにしても良い。

【００１６】

【発明の効果】以上説明したように本発明にかかる微小
角度調整装置によれば、光照射手段から出射される照射
光と対象物からの反射光との干渉縞強度を測定し、該干
渉縞強度が最大となる角度に対象物の設置角を調整する
こととしたので、簡易な構成で正確な微小角度調整を行
うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例にかかる微小角度調整装置
が適用された赤外分光光度計の概略構成の説明図であ
る。

【符号の説明】

３０ 光照射手段 ３４ 光検出手段 ３６ 角度調整手段

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対象物の表面に略垂直に光を照射する光
   照射手段と、 前記光照射手段よりの照射光と同一の光路上へ反射させ
   た反射光との干渉光を検出する光検出手段と、 前記光検出手段の光検出強度が最大となるように前記対
   象物の表面角度を調整する角度調整手段と、 を備えたことを特徴とする微小角度調整装置。