JPH02218906A - 光ディスク・スタンパ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、光ディスク及びこの光ディスク原盤のスタン
パに対する検査を行なう光ディスク・スタンパ検査装置
に関する。

（従来の技術） これまで光ディスク及び光ディスク原盤のスタンパに対
する検査はそれぞれ別々に行われている。すなわち、光
ディスクに対する検査としては特開昭６３−８１２４９
号公報に示されている技術がある。この技術はレーザ光
をレンズ或いはピンホールを用いて細い平行光線として
光ディスク上を走査し、このときに光ディスクからの反
射レーザ光又は透過光の光量変化を検出して光ディスり
の欠陥を検出するものである。一方、スタンバの検査の
技術としては間接法と直接法とがあり、間接法はスタン
バからディスクを成形し、これの表面にアルミニウム反
射膜を蒸着してレーザ光を照射して検りを行なうもので
ある。これに対して直接法はアルミニウム反射膜を蒸着
せずに直接スタンバにレーザ光を照射して検査を行なう
ものである。

ところで、光ディスク及びスタンバの検査にあたっては
、これら光ディスク及びスタンバの検査結果から光ディ
スク及びスタンバの相関関係を求めて両者の評価を行な
うことが最良である。そして、この場合、レーザ光を出
力してその反射レーザ光を受光する光学系は光ディスク
及びスタンバに対して同一のものを使用することが要求
される。

ところが、上記の如く光ディスクとスタンバとは別々の
手段で検査を行なっているので、これら光ディスクとス
タンバとの相関関係を求めることはできない。つまり、
光ディスクの検査ではグループ変調度や信号変調度、ノ
イズレベル、フォーマット正読率等の測定が行われるが
、スタンバの検査ではこれら検査が全くできなくなる。

又、スタンバの検査において直接法を用いることが考え
られるが、この場合スタンバには光ディスクのように外
周に透光性の基板が設けられていないので、光ディスク
検査で使用した光学系をそのまま使用したのでは、レー
ザ光が小さなスポットに集光しないために使用すること
は困難となる。従って、スタンバ専用の光学系を使用し
なければならない。

（発明が解決しようとする課題） 以上のように光ディスクとスタンバとの検査を同一の光
学系を用いて行なうことができず、光ディスクとスタン
バとの相関関係を求めることができなかった。

そこで本発明は、同一の光学系を用いて光ディスクとス
タンバとの検査ができる光ディスク・スタンバ検査装置
を提供することを目的とする。

［発明の構成コ （課題を解決するための手段） 本発明は、光ディスクが着脱されるスピンドルを有しこ
の光ディスクを回転させる光ディスク回転機構と、光デ
ィスク原盤のスタンバが着脱されこのスタンバを回転さ
せるスタンバ回転機構と、レーザ光を出力するとともに
光ディスク及びスタンバからの反射レーザ光を受光して
この受光量に応じた電気信号を出力する光学系と、この
光学系から出力されるレーザ光の強度を調整する光強度
調整手段と、光学系のレーザ光出力窓に対して着脱自在
でかつ光ディスク外面に設けられた透光性の基板と同一
の光学的厚さを有しスタンバの検査時に光学系に取付け
られる透光性の補正板と、光ディスク回転機構、スタン
バ回転機構及び光学系を相対的に移動させて光学系を光
ディスク回転機構及びスタンパ回転機構に対してフォー
カスサーボ機能がかけられる位置に配置する移動機構と
、光学系から出力される電気信号を受けて光ディスク及
びスタンバに対する種々の測定結果を得る信号処理回路
とを備えて上記目的を達成しようとする光ディスク・ス
タンパ検査装置である。

（作用） このような手段を備えたことにより、光ディスクが光デ
ィスク回転機構に取り付けられて回転している状態に補
正板が外された光学系が移動機構によってフォーカスサ
ーボ機能のかけられる位置に配置され、このとき光ディ
スクからの反射レーザ光に応じた電気信号か得られる。

一方、スタンバがスタンバ回転機構に取り付けられて回
転している状態に補正板が取付けられた光学系が移動機
（Ｒによってフォーカスサーボ機能のかけられる位置に
配置され、このときスタンバからの反射レーザ光に応じ
た電気信号が得られる。しかるに、信号処理回路は光デ
ィスクでの電気信号及びスタンバでの電気信号から光デ
ィスク及びスタンバに対する種々の測定結果を得る。

（実施例） 以下、本発明の一実施例にいって図面を参照して説明す
る。

第１図は光ディスク・スタンパ検査装置の構成図である
。同図において１は光ディスクドライバであって、この
光ディスクドライバ１には光学系としてピックアップヘ
ッド２及び光ディスク用のスピンドル３が設けられてい
る。なお、このスピンドル３は光ディスクドライバ１内
に設けられたモータによって回転するようになっている
。ピックアップヘッド２はレーザ光を出力するもので、
その構成は第２図に示す如くとなっている。すなわち、
半導体レーザ４が備えられ、この半導体レーザ４から出
力されたレーザ光がビームスプリッタ５で分岐されて対
物レンズ６を通して出力されるようになっている。そし
て、ピックアップヘッド２のレーザ出力窓の外側に例え
ば光ディスク７が配置されていれば、この光ディスク７
からの反射レーザ光が対物レンズ６、ビームスプリッタ
５を通して受光器８に送られるようになっている。

この受光器８は受光した反射レーザ光の受光量に応じた
電気信号を出力するものとなっている。そして、このピ
ックアップヘッド２は移動溝２ａに沿って移動可能とな
っている。ところで、このピックアップヘッド２のレー
ザ出力窓には透光性の補正板９が着脱可能に設けられて
いる。この補正板９は光ディスク７の外周に設けられて
いる透光性の基板と同一の光学的厚さを有するものとな
っている。しかるに、この補正板９は光ディスク７の検
査の際に外され、他方のスタバン１０の検査の際に取付
けられる。又、光ディスクドライバ１にはレーザ光の光
強度を調整する光強度調整手段の機能が備えられており
、１１はその光調整ツマミである。ところで、この光デ
ィスクドライバ１はガイドレール１２上に載っており、
このガイドレール１２に沿って移動するようになってい
る。

一方、１３は光ディスクコントローラであって、これは
光ディスクドライバ１におけるスピンドル３の回転制御
やピックアップヘッド２のレーザ出力窓御等を行なう機
能やフォーマット読取り測定のためのフォーマット・マ
スク信号を光ディスクドライバ１へ送出する機能、光デ
ィスクドライバ１をガイドレール１２に沿って移動制御
する機能を有している。又、１４は信号処理回路であっ
て、これはピックアップヘッド２からの出力信号を処理
して欠陥数、欠陥位置、グループ変調度、信号変調度、
ノイズレベル等の測定やフォーマット正読率の測定を行
なう機能及びこれら測定結果を光ディスクとスタンバと
で比較して相関関係を求める機能を有している。

又、ガイドレール１２の一端側にはモータ１５が配置さ
れ、このモータ１５にスピンドル１６を介してスタンバ
用ターンテーブル１７が連結されている。そして、この
スタンバ用ターンテーブル１７に前記スタンバ１０が吸
着されるようになっている。又、ガイドレール１２の一
端にはストッパ１８が設けられている。このストッパ１
８は、光ディスクドライバ１がガイドレール１２の一端
に向かう移動を停止させるもので、この位置で光ディス
クドライバ１が停止しとときにピックアップヘッド２は
スタンバ１０に対してレーザ光のフォーカスサーボ機能
が働く範囲に位置されるようになっている。又、この位
置に光ディスクドライバ１が停止したとき、スピンドル
３とスピンドル１６とは同一軸上に配置される。

次に上記の如く構成された装置の作用について説明する
。

光ディスク７に対する検査を行なう場合は、光ディスク
ドライバ１をガイドレール１２の他端側に移動させ、こ
の位置に配置された光ドライバ１のスピンドル３に光デ
ィスク７を取付ける。そして、ピックアップヘッド２か
ら補正板９が外される。この状態に光ディスクドライバ
１３の制御によってスピンドル３を回転させるとともに
ピックアップヘッド２を動作させる。これにより、ピッ
クアップヘッド２の半導体レーザ４からレーザ光が出力
され、このレーザ光が光ディスク７に照射される。そし
て、光ディスク７からの反射レーザ光がピックアップヘ
ッド２の受光器８に入射してその光量に応じた電気信号
が信号処理回路１４に送られる。この信号処理回路１４
は電気信号を受けて種々な処理を行なって光ディスク７
に対する欠陥数、欠陥位置、グループ変調度、信号変調
度、ノイズレベル、フォーマット正読率の測定を行なう
。なお、この場合、グループ変調度の測定にあってはピ
ックアップヘッド２は移動溝２ａに沿ってつまり光ディ
スク７の半径方向に沿って移動されて測定が行われる。

次にスタンバ１０に対する検査を行なう場合は、光ディ
スク７をスピンドル３から取り外して光ディスクドライ
バ１をガイドレール１２の一端側に移動させてストッパ
１８の当接により位置決めする。そして、スタンパ用タ
ーンテーブル１７にスタンバ１０を吸着させる。又、ピ
ックアップヘッド２には補正板９が取り付けられる。こ
の状態にモータ１５を回転させてスタンバ１０を回転さ
せ、かつ光ディスクドライバ１３の制御によってピック
アップヘッド２を動作させる。これにより、ピックアッ
プヘッド２の半導体レーザ４からレーザ光が出力され、
このレーザ光が補正板９を通してスタンバ１０に照射さ
れる。そして、スタンバ１０からの反射レーザ光がピッ
クアップヘッド２の受光器８に入射してその光量に応じ
た電気信号が信号処理回路１４に送られる。しかるに、
補正板９が取付けられているので、スタンバ１０に直接
レーザ光を照射しても光ディスク７の検査条件と同一条
件でスタンバ１０の検査が行われることになる。この信
号処理回路１４は電気信号を受けて種々な処理を行なっ
てスタンバ１０に対する欠陥数、欠陥位置、グループ変
調度、信号変調度、ノイズレベル、フォーマット正読率
の測定を行なう。

以上のようにして光ディスク７及びスタンバ１０に対す
る各検査が終了すると、信号処理回路１４は光ディスク
７及びスタンバ１０に対する欠陥数、欠陥位置、グルー
プ変調度、信号変調度、ノイズレベル、フォーマット正
続率の各〃ｊ定結果から光ディスク７とスタンバ１０と
の相関関係を求める。

このように上記一実施例においては、光ディスク７がス
ピンドル３により回転している状態に補正板９の内ピッ
クアップヘッド２で光ディスク７からの反射レーザ光に
応じた電気信号が得、一方スタンパ１０がモータ１５に
より回転している状態に補正板９が取付けられたピック
アップヘッド２によりスタンバ１０からの反射レーザ光
に応じた電気信号を得、これら電気信号から光ディスク
７及びスタンバ１０に対する種々の測定結果を得て相関
関係を求めるようにしたので、同一のピックアップヘッ
ド２を用いて光ディスク７とスタンバ１０とに対する検
査つまり欠陥数、欠陥位置、グループ変調度、信号変調
度、ノイズレベル、フォーマット正読率の各測定を行な
うことができ、これらａｌｌ定結果から光ディスク７と
スタンバ１０との相関関係を求めることができる。

なお、本発明は上記一実施例に限定されるものでなくそ
の主旨を逸脱しない範囲で変形してもよい。例えば、光
ディスク及びスタンバに対するグループ変調度、信号変
調度、ノイズレベル、フォーマット正続率の各測定機能
を備えた光ディスク用射出成形機の転写性評価機に適用
してもよい。

又、光ディスクドライバ１をガイドレール１２に沿って
移動させるのでなく、モータ１５．スピンドル１６及び
ターンテーブル１７を一体的に移動させるようにしても
よく、さらにスピンドル３は光ディスクドライバ１と一
体でなく個別に設けてもよい。

［発明の効果］ 以上詳記したように本発明によれば、同一の光学系を用
いて光ディスクとスタンバとの検査ができる光ディスク
・スタンバ検査装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係わる光ディスク・スタンパ検査装置
の一実施例を示す構成図、第２図は同装置のピックアッ
プの構成図である。 １・・・光ディスクドライバ　２・・・ピックアップヘ
ッド、３・・・スピンドル、７・・・光ディスク、９・
・・補正板、１０・・・スタンバ　１１・・・光調整ツ
マミ、１２・・・ガイドレール、１３・・・光ディスク
コントローラ、１４・・・信号処理回路、１５・・・モ
ータ、１６・・・スピンドル、１７・・・スタンバ用タ
ーンテーブル。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 光ディスクが着脱されるスピンドルを有し前記光ディス
   クを回転させる光ディスク回転機構と、光ディスク原盤
   のスタンパが着脱されこのスタンパを回転させるスタン
   パ回転機構と、レーザ光を出力するとともに前記光ディ
   スク及び前記スタンパからの反射レーザ光を受光してこ
   の受光量に応じた電気信号を出力する光学系と、この光
   学系から出力されるレーザ光の強度を調整する光強度調
   整手段と、前記光学系のレーザ光出力窓に対して着脱自
   在でかつ前記光ディスク外面に設けられた透光性の基板
   と同一の光学的厚さを有し前記スタンパの検査時に前記
   光学系に取付けられる透光性の補正板と、前記光ディス
   ク回転機構、前記スタンパ回転機構及び前記光学系を相
   対的に移動させて前記光学系を前記光ディスク回転機構
   及び前記スタンパ回転機構に対してフォーカスサーボ機
   能がかけられる位置に配置する移動機構と、前記光学系
   から出力される電気信号を受けて前記光ディスク及び前
   記スタンパに対する種々の測定結果を得る信号処理回路
   とを具備したことを特徴とする光ディスク・スタンパ検
   査装置。