JPH06281031A - 三方切替弁 - Google Patents

三方切替弁

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JPH06281031A JP30999391A JP30999391A JPH06281031A JP H06281031 A JPH06281031 A JP H06281031A JP 30999391 A JP30999391 A JP 30999391A JP 30999391 A JP30999391 A JP 30999391A JP H06281031 A JPH06281031 A JP H06281031A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 清浄時間を大幅に短縮でき、しかも清浄度を
向上させることができる三方切替弁を提供する。 【構成】 本願の三方切替弁は、筒状の副弁軸12と、
この筒内に配置される主弁軸11と、この主弁軸11及
び副弁軸12の先端に設けられる主弁体9及び環状の副
弁体10と、上記主弁軸11及び副弁軸12の駆動源
と、上記主弁軸11の進行方向に形成された使用流体入
口3と、この使用流体入口3の周囲に形成されて上記主
弁体9が着座する主弁座1と、この主弁座1と主弁体9
とで構成される主弁1A及び主弁座1より延長して外側
に環状に形成される円環状空間13を介して上記使用流
体入口3と連通する流体出口4と、上記副弁体10が着
座する環状の副弁座2と、この副弁座2より延長して外
側に環状に形成される円環状空間14と、この円環状空
間14と連通し、かつ上記副弁座2と副弁体10とで構
成される副弁2A及び上記円環状空間13を介して上記
流体出口4と連通する清浄用流体入口5とを備えて成
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造装置ある
いは食品機械等の優れた清浄性を必要とする分野での使
用を目的とした三方切替弁に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体製造装置やバイオテクノロジある
いは食品機械等においては、配管下流側あるいは上流側
の清浄性を確保するため、窒素ガス等の不活性ガス,
水,蒸気等により、たびたび配管内部の清浄化を行な
う。
【0003】従来、配管下流側に、図8に示すように、
二方切替弁を2個設置して配管内部の清浄化を行なうよ
うにしていた。これは、上記半導体製造装置等に使用さ
れる使用流体の配管流路15と、この配管流路15に接
続される清浄用流体の配管流路16のそれぞれに二方切
替弁15a、16aを配置するようにしたものである。
図中、15Aは使用流体の入口、16Aは清浄用流体の
入口、17Aは流体の出口であり、実線矢印は流体の流
れる方向を示す。しかしながら、上記構成では、使用流
体が通過する流路区間において、二方切替弁15aと接
続部17との間の区間Sは滞留部分となってしまい、こ
の部分の清浄化は困難となる。また、図中破線矢印で示
すように、配管上流側を清浄化する場合も同様である。
従って、この場合、二方切替弁15a,16aをできる
限り接近させて設置することが要求される。
【0004】上記滞留部分を少なくするために、図9,
図10に示すように、2個の二方切替弁を一体化させて
接続部をなくすようにしたものがある。図中、18A,
18Bは二方切替弁、19は使用流体の入口、20は清
浄用流体の入口、21は流体の出口である。しかしなが
ら、この場合も滞留する部位の縮小は行なわれている
が、依然、滞留部分、特に袋小路状の部分Sが滞留部分
として残っている。若干の滞留部分の存在が清浄時間に
大きく影響を与えるために、図8のものに比べると、清
浄時間を大幅に短縮できるが、滞留部分が存在しない場
合と比較するとまだかなりの差がある。
【0005】以上より、二方切替弁を2個使用する場
合、あるいは2個をそのまま一体化した三方切替弁を使
用する場合には、いかなる流路上の対策を講じてもかな
りの滞留部分が残ってしまう。
【0006】これらを解決するには三方切替弁が必要で
あり、従来の代表的な三方切替弁には図11,図12に
示すようなボール弁,スライド弁がある。これらは共通
して一見滞留部分がないように見える。しかし、接液内
部に直線摺動部22あるいは回転摺動部23を有してお
り、摺動部と対向壁24,25にはある程度の間隙を設
けなくてはならない。この間隙が滞留部分となり、二方
切替弁を使用した場合に比較して、滞留部分容積が非常
に小さいにも拘らず、清浄時に、間隙に残っていた前の
液が逆流したりして、却って大きな問題を引き起こす場
合がある。
【0007】
【発明が解決しようする課題】以上説明したように従来
の技術によれば、どうしても滞留部分が残ってしまい、
清浄に時間がかかってしまう等の問題点があった。
【0008】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、清浄時間を大幅に短縮でき、し
かも清浄度を向上させることができる三方切替弁を得る
ことを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明の三方切替弁
は、筒状の副弁軸と、この筒内に配置される主弁軸と、
この主弁軸及び副弁軸の先端に設けられる主弁体及び環
状の副弁体と、上記主弁軸及び副弁軸の駆動源と、上記
主弁軸の進行方向に形成された第1の出入口と、この第
1の出入口の周囲に形成されて上記主弁体が着座する主
弁座と、この主弁座と主弁体とで構成される主弁及び共
通流路を介して上記第1の出入口と連通する第2の出入
口と、上記副弁体が着座する環状の副弁座と、この副弁
座より延長して外側に形成される流路と、この流路と連
通し、かつ上記副弁座と副弁体とで構成される副弁及び
共通流路を介して上記第2の出入口と連通する第3の出
入口とを備えて成り、上記共通流路を、上記主弁体,主
弁座の接地部と上記副弁体と副弁座の接地部との間の空
間で形成したものである。
【0010】
【作用】主弁,副弁の動作時において、共通流路によ
り、滞留部分がなくなる。
【0011】
【発明の実施例】以下、本発明の一実施例を図1乃至図
3に基づいて詳細に説明する。まず、ボディ6には円環
状の主弁座1,副弁座2及び使用流体入口3(第1の出
入口)、流体出口4(第2の出入口)、清浄用流体入口
5(第3の出入口)が形成されている。そして、封止部
材としての弾性体や金属板等の薄膜状のものより成るダ
イアフラム8を挟んで円板状の主弁用弁体9と丸棒状の
推力軸11(主弁軸)、円環状の副弁用弁体10と円筒
状の推力軸(副弁軸)12が接続されている。ダイアフ
ラム8はボディ6とボンネット7に挟みこまれ、この部
位でシールされている。上記推力軸11,12の上部に
はネジ式の手動ハンドル,あるいは空気圧シリンダ等の
図示しない推力源(主,副弁軸の駆動源)がそれぞれ接
続されており、ダイアフラム8を介して主弁用,副弁用
のそれぞれの弁体9,10を上下させ、それぞれの弁の
開閉を行なう。すなわち、主弁用弁体9と主弁座1が主
弁1Aを構成し、副弁用弁体10と副弁座2が副弁2A
を構成している。
【0012】本願の三方切替弁の内部構造をさらに詳述
すると、ボディ6に使用流体の入口3が形成され、この
入口3の周囲に主弁座1が形成される。この主弁座1の
外側には、主弁座1と同心円環状の溝から成る円環状空
間13(共通流路)が形成される。すなわちこの円環状
空間13は、主弁体9,主弁座1の接地部1aからと副
弁体10,副弁座2の接地部2aまでの間の空間で形成
されている。この円環状空間13を隔てて隆起し、主弁
座1と同心円環状に副弁座2が形成される。上記主弁座
1の上方には上記第1推力軸11が、上記副弁座2の上
方には上記第2推力軸12が設けられている。これら各
推力軸11,12の先端側にはダイアフラム8を介して
主弁用弁体9,副弁用弁体10が設けられている。ま
た、上記副弁座2の外側にはこの副弁座2より延長する
円環状溝から成る円環状空間14(流路)が形成され、
ここに清浄用流体の入口5が設けられ、上記円環状空間
13には流体の出口4が設けられて成るものである。
【0013】次に作用を説明する。通常、副弁用弁体1
0は上部推力により副弁座2に押し付けられて、副弁2
Aは閉じており、主弁1Aを開くことにより、使用流体
は入口3より、主弁1A及び円環状空間13を経て、出
口4へ導かれる。この状態においては主弁1Aは二方切
替弁として機能し、使用流体の開閉を制御する。
【0014】次に、清浄化を行なう際は、主弁1Aを閉
じ、副弁2Aを開くことにより、清浄用流体は入口5,
円環状空間14,副弁2A,円環状空間13を経て,出
口4に導かれ、本三方切替弁の内部、すなわち、円環状
空間13及び出口4、二次側の配管内部を清浄化する。
【0015】また、出口4を入口、入口3を出口、入口
5を清浄用流体入口とすれば、一次側配管内部を清浄化
することも可能である。
【0016】上記実施例によれば、共通流路としての円
環状空間13が、使用流体,清浄用流体のいずれに対し
ても流路となるので、滞留部分がなくなり、清浄時間の
短縮及び清浄度の向上を図ることが可能となる。また、
非常に小型に設計できるため、設置面積の削減も可能と
なる。
【0017】また、上記実施例においては、各推力軸1
1,12のふたつの推力源を連結しておいて、主弁1A
を単独に動作可能とし、副弁2Aが開くと主弁1Aが閉
じる構造としておけば、操作の誤りにより使用流体が清
浄用流体側に混入するのを防止することができる。
【0018】また、使用流体の入口3の一次側配管を開
放しておいて、主弁1A、副弁2Aを同時に開くことに
より、本三方切替弁の内部全体及び一次側二次側配管を
同時に清浄化することも可能である。
【0019】また、上記副弁用推力軸12の上部に適当
なバネを設置しておき、副弁2Aより外側のダイアフラ
ム8に加わる、入口5から流入する清浄用流体の水圧が
上記バネ力を上回った場合に副弁2Aが開くようにして
おけば、副弁2Aの開動作の自動化が図れる。
【0020】尚、上記実施例では、推力軸11,12の
先端に弁体9,10を設けたが、これら弁体を設けず
に、後述する図5,図6に示すようにダイアフラム8自
体を弁体として機能させて主弁1B,副弁2Bを構成し
てもよい。
【0021】また、図4に示すように、弾性体により主
弁座1X,副弁座2Xを形成すれば、より密着性が高ま
る。
【0022】また、ダイアフラム8を用いずに、推力軸
11,12の先端を弁体として形成し、機能させるよう
にした二重ピストン弁構造としてもよい。
【0023】さらに、流体の各出入口をそれぞれ別方向
に延長させることにより、三方方向切替弁として機能さ
せることができる。この際、上部推力源を連結し、主弁
1A,副弁2Aが交互に開閉するようにすれば、切替操
作を一段とすることができる。
【0024】この場合、上記実施例(図1のもの)に適
用するならば、図5に示すように、ボディ6に、出入口
4,5を、出入口3に対して鉛直方向に、互いに反対方
向から出入口3方向に延長するように形成する。そし
て、共通流路としての円環状空間13の底を出入口4方
向に傾斜させて形成し、出入口4と接続する。また、円
環状空間14の底も出入口5方向に傾斜させて形成し、
出入口5と接続する。
【0025】また、上述した例は、いずれも主弁座と副
弁座とが同一高さに位置しているものであるが、図6,
図7に示すように、主弁座と副弁座とを異なる高さに位
置させても同様な効果が得られる。図6に示すものは、
主弁を副弁より下方に位置させたものであり、出入口
4,5を、出入口3に対して鉛直方向に、互いに反対方
向から主弁1B方向に延長するように形成し、出入口4
を主弁1B及び共通流路13Bを介して出入口3と連通
させるとともに、出入口5をまず副弁座2Yの外周に形
成された円環状溝14に連通させ、そして副弁2B及び
共通流路13Bを介して出入口4と連通させている。
【0026】また、図7に示すような変形例も考えられ
る。この場合、出入口3の周囲より主弁座を隆起させ
ず、出入口3の周囲にテーパ面1sを形成して、主弁座
1Yとした例である。
【0027】図5〜図7に示す構成いずれにおいても共
通流路13,13Bは、主弁体,主弁座の接地部からと
副弁体,副弁座の接地部までの間の空間で形成されるの
で、滞留部分がなくなる。また、図7のものはダイアフ
ラム8を副弁体として機能させて、ダイヤフラム8の下
に主弁体9Aを設けている。さらに、流路として円環状
空間14を形成したものを示したが、出入口5(第3の
出入口)と連通する流路であればよい。尚、図中、同一
部分または相当部分は同一符号を付し、説明を省略して
いる。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の三方切替
弁によれば、筒状の副弁軸と、この筒内に配置される主
弁軸と、この主弁軸及び副弁軸の先端に設けられる主弁
体及び環状の副弁体と、上記主弁軸及び副弁軸の駆動源
と、上記主弁軸の進行方向に形成された第1の出入口
と、この第1の出入口の周囲に形成されて上記主弁体が
着座する主弁座と、この主弁座と主弁体とで構成される
主弁及び共通流路を介して上記第1の出入口と連通する
第2の出入口と、上記副弁体が着座する環状の副弁座
と、この副弁座より延長して外側に形成される流路と、
この流路と連通し、かつ上記副弁座と副弁体とで構成さ
れる副弁及び共通流路を介して上記第2の出入口と連通
する第3の出入口とを備えて成り、上記共通流路は、上
記主弁と主弁座の接地部と上記副弁と副弁座の接地部と
の間の空間で形成したので、滞留部分がなくなり、清浄
時間の短縮及び清浄度の向上を図ることが可能となる。
【0029】また、本願の効果を確認するために、透明
な樹脂製パイプに二方切替弁を2個設置した試験体A
と、透明樹脂製ボディを有する本発明の三方切替弁試験
体Bを用意し、それぞれに赤インクを一旦充填した後、
試験体Aの一方の弁を閉としたまま、他方の弁を開とし
て水道水を導入し、試験体Bは主弁を閉としたまま、副
弁を開として水道水を導入して実験を行ったところ、試
験体Aにおいては配管分岐点から閉状態の弁までの間の
赤インクが長時間滞留したにも拘らず、試験体Bにおい
ては共通流路(13,13B)を含めた二次側配管内部
の赤インクが速やかに流出し、本発明の効果を十分確認
することができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の三方切替弁の一実施例を示す断面図で
ある。
【図2】本発明の三方切替弁の一実施例を示す弁座側の
平面図である。
【図3】本発明の三方切替弁の一実施例を示す弁体側を
下から見た斜視図である。
【図4】本発明の三方切替弁の他の実施例を示す断面図
である。
【図5】本発明の三方切替弁の他の実施例を示す断面図
である。
【図6】本発明の三方切替弁の他の実施例を示す断面図
である。
【図7】本発明の三方切替弁の他の実施例を示す断面図
である。
【図8】従来の二方切替弁の配管方法の一例を説明した
図である。
【図9】従来の従来の二方切替弁の配管方法の他の例を
説明した平面図(一部断面)である。
【図10】図9を正面から見た内部構成図である。
【図11】従来の三方切替弁としてのボール弁を示す断
面図である。
【図12】従来の三方切替弁としてのスライド弁を示す
断面図である。
【符号の説明】
1,1X,1Y 主弁座 1A,1B 主弁 2,2X 副弁座 2A,2B 副弁 1a,2a 接地部 3 使用流体入口(第1の出入口) 4 使用流体及び清浄用流体の出口(第3の出入口) 5 清浄用流体の入口(第2の出入口) 9,9A 主弁体 10 副弁体 11,12 推力軸(主,副弁軸) 13 円環状空間(共通流路) 14 円環状空間(流路)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 筒状の副弁軸と、この筒内に配置される
    主弁軸と、この主弁軸及び副弁軸の先端に設けられる主
    弁体及び環状の副弁体と、上記主弁軸及び副弁軸の駆動
    源と、上記主弁軸の進行方向に形成された第1の出入口
    と、この第1の出入口の周囲に形成されて上記主弁体が
    着座する主弁座と、この主弁座と主弁体とで構成される
    主弁及び共通流路を介して上記第1の出入口と連通する
    第2の出入口と、上記副弁体が着座する環状の副弁座
    と、この副弁座より延長して外側に形成される流路と、
    この流路と連通し、かつ上記副弁座と副弁体とで構成さ
    れる副弁及び共通流路を介して上記第2の出入口と連通
    する第3の出入口とを備えて成り、上記共通流路は、上
    記主弁体,主弁座の接地部と上記副弁体,副弁座の接地
    部との間の空間で形成されることを特徴とする三方切替
    弁。
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