JP2660188B2 - 三方切替弁 - Google Patents
三方切替弁Info
- Publication number
- JP2660188B2 JP2660188B2 JP30999391A JP30999391A JP2660188B2 JP 2660188 B2 JP2660188 B2 JP 2660188B2 JP 30999391 A JP30999391 A JP 30999391A JP 30999391 A JP30999391 A JP 30999391A JP 2660188 B2 JP2660188 B2 JP 2660188B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- sub
- main valve
- main
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/32—Details
- F16K1/34—Cutting-off parts, e.g. valve members, seats
- F16K1/44—Details of seats or valve members of double-seat valves
- F16K1/443—Details of seats or valve members of double-seat valves the seats being in series
- F16K1/446—Details of seats or valve members of double-seat valves the seats being in series with additional cleaning or venting means between the two seats
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/4238—With cleaner, lubrication added to fluid or liquid sealing at valve interface
- Y10T137/4245—Cleaning or steam sterilizing
- Y10T137/4259—With separate material addition
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87096—Valves with separate, correlated, actuators
- Y10T137/87121—Coaxial stems
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87571—Multiple inlet with single outlet
- Y10T137/87676—With flow control
- Y10T137/87684—Valve in each inlet
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Multiple-Way Valves (AREA)
- Lift Valve (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造装置ある
いは食品機械等の優れた清浄性を必要とする分野での使
用を目的とした三方切替弁に関するものである。
いは食品機械等の優れた清浄性を必要とする分野での使
用を目的とした三方切替弁に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置やバイオテクノロジある
いは食品機械等においては、配管下流側あるいは上流側
の清浄性を確保するため、窒素ガス等の不活性ガス，
水，蒸気等により、たびたび配管内部の清浄化を行な
う。
いは食品機械等においては、配管下流側あるいは上流側
の清浄性を確保するため、窒素ガス等の不活性ガス，
水，蒸気等により、たびたび配管内部の清浄化を行な
う。
【０００３】従来、配管下流側に、図８に示すように、
二方切替弁を２個設置して配管内部の清浄化を行なうよ
うにしていた。これは、上記半導体製造装置等に使用さ
れる使用流体の配管流路１５と、この配管流路１５に接
続される清浄用流体の配管流路１６のそれぞれに二方切
替弁１５ａ、１６ａを配置するようにしたものである。
図中、１５Ａは使用流体の入口、１６Ａは清浄用流体の
入口、１７Ａは流体の出口であり、実線矢印は流体の流
れる方向を示す。しかしながら、上記構成では、使用流
体が通過する流路区間において、二方切替弁１５ａと接
続部１７との間の区間Ｓは滞留部分となってしまい、こ
の部分の清浄化は困難となる。また、図中破線矢印で示
すように、配管上流側を清浄化する場合も同様である。
従って、この場合、二方切替弁１５ａ，１６ａをできる
限り接近させて設置することが要求される。
二方切替弁を２個設置して配管内部の清浄化を行なうよ
うにしていた。これは、上記半導体製造装置等に使用さ
れる使用流体の配管流路１５と、この配管流路１５に接
続される清浄用流体の配管流路１６のそれぞれに二方切
替弁１５ａ、１６ａを配置するようにしたものである。
図中、１５Ａは使用流体の入口、１６Ａは清浄用流体の
入口、１７Ａは流体の出口であり、実線矢印は流体の流
れる方向を示す。しかしながら、上記構成では、使用流
体が通過する流路区間において、二方切替弁１５ａと接
続部１７との間の区間Ｓは滞留部分となってしまい、こ
の部分の清浄化は困難となる。また、図中破線矢印で示
すように、配管上流側を清浄化する場合も同様である。
従って、この場合、二方切替弁１５ａ，１６ａをできる
限り接近させて設置することが要求される。
【０００４】上記滞留部分を少なくするために、図９，
図１０に示すように、２個の二方切替弁を一体化させて
接続部をなくすようにしたものがある。図中、１８Ａ，
１８Ｂは二方切替弁、１９は使用流体の入口、２０は清
浄用流体の入口、２１は流体の出口である。しかしなが
ら、この場合も滞留する部位の縮小は行なわれている
が、依然、滞留部分、特に袋小路状の部分Ｓが滞留部分
として残っている。若干の滞留部分の存在が清浄時間に
大きく影響を与えるために、図８のものに比べると、清
浄時間を大幅に短縮できるが、滞留部分が存在しない場
合と比較するとまだかなりの差がある。
図１０に示すように、２個の二方切替弁を一体化させて
接続部をなくすようにしたものがある。図中、１８Ａ，
１８Ｂは二方切替弁、１９は使用流体の入口、２０は清
浄用流体の入口、２１は流体の出口である。しかしなが
ら、この場合も滞留する部位の縮小は行なわれている
が、依然、滞留部分、特に袋小路状の部分Ｓが滞留部分
として残っている。若干の滞留部分の存在が清浄時間に
大きく影響を与えるために、図８のものに比べると、清
浄時間を大幅に短縮できるが、滞留部分が存在しない場
合と比較するとまだかなりの差がある。
【０００５】以上より、二方切替弁を２個使用する場
合、あるいは２個をそのまま一体化した三方切替弁を使
用する場合には、いかなる流路上の対策を講じてもかな
りの滞留部分が残ってしまう。
合、あるいは２個をそのまま一体化した三方切替弁を使
用する場合には、いかなる流路上の対策を講じてもかな
りの滞留部分が残ってしまう。
【０００６】これらを解決するには三方切替弁が必要で
あり、従来の代表的な三方切替弁には図１１，図１２に
示すようなボール弁，スライド弁がある。これらは共通
して一見滞留部分がないように見える。しかし、接液内
部に直線摺動部２２あるいは回転摺動部２３を有してお
り、摺動部と対向壁２４，２５にはある程度の間隙を設
けなくてはならない。この間隙が滞留部分となり、二方
切替弁を使用した場合に比較して、滞留部分容積が非常
に小さいにも拘らず、清浄時に、間隙に残っていた前の
液が逆流したりして、却って大きな問題を引き起こす場
合がある。
あり、従来の代表的な三方切替弁には図１１，図１２に
示すようなボール弁，スライド弁がある。これらは共通
して一見滞留部分がないように見える。しかし、接液内
部に直線摺動部２２あるいは回転摺動部２３を有してお
り、摺動部と対向壁２４，２５にはある程度の間隙を設
けなくてはならない。この間隙が滞留部分となり、二方
切替弁を使用した場合に比較して、滞留部分容積が非常
に小さいにも拘らず、清浄時に、間隙に残っていた前の
液が逆流したりして、却って大きな問題を引き起こす場
合がある。
【０００７】
【発明が解決しようする課題】以上説明したように従来
の技術によれば、どうしても滞留部分が残ってしまい、
清浄に時間がかかってしまう等の問題点があった。
の技術によれば、どうしても滞留部分が残ってしまい、
清浄に時間がかかってしまう等の問題点があった。
【０００８】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、清浄時間を大幅に短縮でき、し
かも清浄度を向上させることができる三方切替弁を得る
ことを目的とする。
ためになされたもので、清浄時間を大幅に短縮でき、し
かも清浄度を向上させることができる三方切替弁を得る
ことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明の三方切替弁
は、軸線方向に進退可能な筒状の副弁軸と、この筒内に
配置され軸線方向に進退可能な主弁軸と、この主弁軸及
び副弁軸の先端に設けられる主弁体及び環状の副弁体
と、上記主弁軸と副弁軸とにそれぞれ対応して設けられ
主弁軸と副弁軸とを個別に進退させるための２つの駆動
源と、上記主弁軸の進行方向に形成された第１の出入口
と、この第１の出入口の周囲に形成されて上記主弁体が
着座する主弁座と、この主弁座と主弁体とで構成される
主弁及び共通流路を介して上記第１の出入口と連通する
第２の出入口と、上記副弁体が着座する環状の副弁座
と、この副弁座より延長して外側に形成される流路と、
この流路と連通し、かつ上記副弁座と副弁体とで構成さ
れる副弁及び共通流路を介して上記第２の出入口と連通
する第３の出入口とを備えて成り、上記共通流路を、上
記主弁体，主弁座の接地部と上記副弁体，副弁座の接地
部との間の空間で形成したものであり、機能上、２つの
二方切替弁を一体化して出入口を３つ有するものであ
る。
は、軸線方向に進退可能な筒状の副弁軸と、この筒内に
配置され軸線方向に進退可能な主弁軸と、この主弁軸及
び副弁軸の先端に設けられる主弁体及び環状の副弁体
と、上記主弁軸と副弁軸とにそれぞれ対応して設けられ
主弁軸と副弁軸とを個別に進退させるための２つの駆動
源と、上記主弁軸の進行方向に形成された第１の出入口
と、この第１の出入口の周囲に形成されて上記主弁体が
着座する主弁座と、この主弁座と主弁体とで構成される
主弁及び共通流路を介して上記第１の出入口と連通する
第２の出入口と、上記副弁体が着座する環状の副弁座
と、この副弁座より延長して外側に形成される流路と、
この流路と連通し、かつ上記副弁座と副弁体とで構成さ
れる副弁及び共通流路を介して上記第２の出入口と連通
する第３の出入口とを備えて成り、上記共通流路を、上
記主弁体，主弁座の接地部と上記副弁体，副弁座の接地
部との間の空間で形成したものであり、機能上、２つの
二方切替弁を一体化して出入口を３つ有するものであ
る。
【００１０】
【作用】主弁，副弁の動作時において、共通流路によ
り、滞留部分がなくなる。
り、滞留部分がなくなる。
【００１１】
【発明の実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図
３に基づいて詳細に説明する。まず、ボディ６には円環
状の主弁座１，副弁座２及び使用流体入口３（第１の出
入口）、流体出口４（第２の出入口）、清浄用流体入口
５（第３の出入口）が形成されている。そして、封止部
材としての弾性体や金属板等の薄膜状のものより成るダ
イアフラム８を挟んで円板状の主弁用弁体９と丸棒状の
上下方向（軸線方向）に進退可能な推力軸１１（主弁
軸）、円環状の副弁用弁体１０と円筒状の上下方向（軸
線方向）に進退可能な推力軸（副弁軸）１２が接続され
ている。ダイアフラム８はボディ６とボンネット７に挟
みこまれ、この部位でシールされている。上記推力軸１
１，１２の上部にはネジ式の手動ハンドル，あるいは空
気圧シリンダ等の図示しない推力源（主，副弁軸の駆動
源）がそれぞれ接続されており、ダイアフラム８を介し
て主弁用，副弁用のそれぞれの弁体９，１０を上下さ
せ、それぞれの弁の開閉を行なう。すなわち、推力軸１
１用（主弁軸用）と推力軸１２用（副弁軸用）の２つの
推力源（駆動源）を備えており、推力軸１１と推力軸１
２とを個別に上下に進退させることができる。また、上
記主弁用弁体９と主弁座１が主弁１Ａを構成し、副弁用
弁体１０と副弁座２が副弁２Ａを構成している。
３に基づいて詳細に説明する。まず、ボディ６には円環
状の主弁座１，副弁座２及び使用流体入口３（第１の出
入口）、流体出口４（第２の出入口）、清浄用流体入口
５（第３の出入口）が形成されている。そして、封止部
材としての弾性体や金属板等の薄膜状のものより成るダ
イアフラム８を挟んで円板状の主弁用弁体９と丸棒状の
上下方向（軸線方向）に進退可能な推力軸１１（主弁
軸）、円環状の副弁用弁体１０と円筒状の上下方向（軸
線方向）に進退可能な推力軸（副弁軸）１２が接続され
ている。ダイアフラム８はボディ６とボンネット７に挟
みこまれ、この部位でシールされている。上記推力軸１
１，１２の上部にはネジ式の手動ハンドル，あるいは空
気圧シリンダ等の図示しない推力源（主，副弁軸の駆動
源）がそれぞれ接続されており、ダイアフラム８を介し
て主弁用，副弁用のそれぞれの弁体９，１０を上下さ
せ、それぞれの弁の開閉を行なう。すなわち、推力軸１
１用（主弁軸用）と推力軸１２用（副弁軸用）の２つの
推力源（駆動源）を備えており、推力軸１１と推力軸１
２とを個別に上下に進退させることができる。また、上
記主弁用弁体９と主弁座１が主弁１Ａを構成し、副弁用
弁体１０と副弁座２が副弁２Ａを構成している。
【００１２】本願の三方切替弁の内部構造をさらに詳述
すると、ボディ６に使用流体の入口３が形成され、この
入口３の周囲に主弁座１が形成される。この主弁座１の
外側には、主弁座１と同心円環状の溝から成る円環状空
間１３（共通流路）が形成される。すなわちこの円環状
空間１３は、主弁体９，主弁座１の接地部１ａからと副
弁体１０，副弁座２の接地部２ａまでの間の空間で形成
されている。この円環状空間１３を隔てて隆起し、主弁
座１と同心円環状に副弁座２が形成される。上記主弁座
１の上方には上記第１推力軸１１が、上記副弁座２の上
方には上記第２推力軸１２が設けられている。これら各
推力軸１１，１２の先端側にはダイアフラム８を介して
主弁用弁体９，副弁用弁体１０が設けられている。ま
た、上記副弁座２の外側にはこの副弁座２より延長する
円環状溝から成る円環状空間１４（流路）が形成され、
ここに清浄用流体の入口５が設けられ、上記円環状空間
１３には流体の出口４が設けられて成るものである。
すると、ボディ６に使用流体の入口３が形成され、この
入口３の周囲に主弁座１が形成される。この主弁座１の
外側には、主弁座１と同心円環状の溝から成る円環状空
間１３（共通流路）が形成される。すなわちこの円環状
空間１３は、主弁体９，主弁座１の接地部１ａからと副
弁体１０，副弁座２の接地部２ａまでの間の空間で形成
されている。この円環状空間１３を隔てて隆起し、主弁
座１と同心円環状に副弁座２が形成される。上記主弁座
１の上方には上記第１推力軸１１が、上記副弁座２の上
方には上記第２推力軸１２が設けられている。これら各
推力軸１１，１２の先端側にはダイアフラム８を介して
主弁用弁体９，副弁用弁体１０が設けられている。ま
た、上記副弁座２の外側にはこの副弁座２より延長する
円環状溝から成る円環状空間１４（流路）が形成され、
ここに清浄用流体の入口５が設けられ、上記円環状空間
１３には流体の出口４が設けられて成るものである。
【００１３】次に作用を説明する。通常、副弁用弁体１
０は上部推力により副弁座２に押し付けられて、副弁２
Ａは閉じており、主弁１Ａを開くことにより、使用流体
は入口３より、主弁１Ａ及び円環状空間１３を経て、出
口４へ導かれる。この状態においては主弁１Ａは二方切
替弁として機能し、使用流体の開閉を制御する。
０は上部推力により副弁座２に押し付けられて、副弁２
Ａは閉じており、主弁１Ａを開くことにより、使用流体
は入口３より、主弁１Ａ及び円環状空間１３を経て、出
口４へ導かれる。この状態においては主弁１Ａは二方切
替弁として機能し、使用流体の開閉を制御する。
【００１４】次に、清浄化を行なう際は、主弁１Ａを閉
じ、副弁２Ａを開くことにより、清浄用流体は入口５，
円環状空間１４，副弁２Ａ，円環状空間１３を経て，出
口４に導かれ、本三方切替弁の内部、すなわち、円環状
空間１３及び出口４、二次側の配管内部を清浄化する。
じ、副弁２Ａを開くことにより、清浄用流体は入口５，
円環状空間１４，副弁２Ａ，円環状空間１３を経て，出
口４に導かれ、本三方切替弁の内部、すなわち、円環状
空間１３及び出口４、二次側の配管内部を清浄化する。
【００１５】また、出口４を入口、入口３を出口、入口
５を清浄用流体入口とすれば、一次側配管内部を清浄化
することも可能である。
５を清浄用流体入口とすれば、一次側配管内部を清浄化
することも可能である。
【００１６】上記実施例によれば、共通流路としての円
環状空間１３が、使用流体，清浄用流体のいずれに対し
ても流路となるので、滞留部分がなくなり、清浄時間の
短縮及び清浄度の向上を図ることが可能となる。また、
非常に小型に設計できるため、設置面積の削減も可能と
なる。
環状空間１３が、使用流体，清浄用流体のいずれに対し
ても流路となるので、滞留部分がなくなり、清浄時間の
短縮及び清浄度の向上を図ることが可能となる。また、
非常に小型に設計できるため、設置面積の削減も可能と
なる。
【００１７】また、上記実施例においては、各推力軸１
１，１２の２つの推力源を連結しておいて、主弁１Ａを
単独に動作可能とし、副弁２Ａが開くと主弁１Ａが閉じ
る構造としておけば、操作の誤りにより使用流体が清浄
用流体側に混入するのを防止することができる。
１，１２の２つの推力源を連結しておいて、主弁１Ａを
単独に動作可能とし、副弁２Ａが開くと主弁１Ａが閉じ
る構造としておけば、操作の誤りにより使用流体が清浄
用流体側に混入するのを防止することができる。
【００１８】また、使用流体の入口３の一次側配管を開
放しておいて、主弁１Ａ、副弁２Ａを同時に開くことに
より、本三方切替弁の内部全体及び一次側二次側配管を
同時に清浄化することも可能である。
放しておいて、主弁１Ａ、副弁２Ａを同時に開くことに
より、本三方切替弁の内部全体及び一次側二次側配管を
同時に清浄化することも可能である。
【００１９】また、上記副弁用推力軸１２の上部に適当
なバネを設置しておき、副弁２Ａより外側のダイアフラ
ム８に加わる、入口５から流入する清浄用流体の水圧が
上記バネ力を上回った場合に副弁２Ａが開くようにして
おけば、副弁２Ａの開動作の自動化が図れる。
なバネを設置しておき、副弁２Ａより外側のダイアフラ
ム８に加わる、入口５から流入する清浄用流体の水圧が
上記バネ力を上回った場合に副弁２Ａが開くようにして
おけば、副弁２Ａの開動作の自動化が図れる。
【００２０】尚、上記実施例では、推力軸１１，１２の
先端に弁体９，１０を設けたが、これら弁体を設けず
に、後述する図５，図６に示すようにダイアフラム８自
体を弁体として機能させて主弁１Ｂ，副弁２Ｂを構成し
てもよい。
先端に弁体９，１０を設けたが、これら弁体を設けず
に、後述する図５，図６に示すようにダイアフラム８自
体を弁体として機能させて主弁１Ｂ，副弁２Ｂを構成し
てもよい。
【００２１】また、図４に示すように、弾性体により主
弁座１Ｘ，副弁座２Ｘを形成すれば、より密着性が高ま
る。
弁座１Ｘ，副弁座２Ｘを形成すれば、より密着性が高ま
る。
【００２２】また、ダイアフラム８を用いずに、推力軸
１１，１２の先端を弁体として形成し、機能させるよう
にした二重ピストン弁構造としてもよい。
１１，１２の先端を弁体として形成し、機能させるよう
にした二重ピストン弁構造としてもよい。
【００２３】さらに、流体の各出入口をそれぞれ別方向
に延長させることにより、三方方向切替弁として機能さ
せることができる。この際、上部推力源を連結し、主弁
１Ａ，副弁２Ａが交互に開閉するようにすれば、切替操
作を一段とすることができる。
に延長させることにより、三方方向切替弁として機能さ
せることができる。この際、上部推力源を連結し、主弁
１Ａ，副弁２Ａが交互に開閉するようにすれば、切替操
作を一段とすることができる。
【００２４】この場合、上記実施例（図１のもの）に適
用するならば、図５に示すように、ボディ６に、出入口
４，５を、出入口３に対して鉛直方向に、互いに反対方
向から出入口３方向に延長するように形成する。そし
て、共通流路としての円環状空間１３の底を出入口４方
向に傾斜させて形成し、出入口４と接続する。また、円
環状空間１４の底も出入口５方向に傾斜させて形成し、
出入口５と接続する。
用するならば、図５に示すように、ボディ６に、出入口
４，５を、出入口３に対して鉛直方向に、互いに反対方
向から出入口３方向に延長するように形成する。そし
て、共通流路としての円環状空間１３の底を出入口４方
向に傾斜させて形成し、出入口４と接続する。また、円
環状空間１４の底も出入口５方向に傾斜させて形成し、
出入口５と接続する。
【００２５】また、上述した例は、いずれも主弁座と副
弁座とが同一高さに位置しているものであるが、図６，
図７に示すように、主弁座と副弁座とを異なる高さに位
置させても同様な効果が得られる。図６に示すものは、
主弁を副弁より下方に位置させたものであり、出入口
４，５を、出入口３に対して鉛直方向に、互いに反対方
向から主弁１Ｂ方向に延長するように形成し、出入口４
を主弁１Ｂ及び共通流路１３Ｂを介して出入口３と連通
させるとともに、出入口５をまず副弁座２Ｙの外周に形
成された円環状溝１４に連通させ、そして副弁２Ｂ及び
共通流路１３Ｂを介して出入口４と連通させている。
弁座とが同一高さに位置しているものであるが、図６，
図７に示すように、主弁座と副弁座とを異なる高さに位
置させても同様な効果が得られる。図６に示すものは、
主弁を副弁より下方に位置させたものであり、出入口
４，５を、出入口３に対して鉛直方向に、互いに反対方
向から主弁１Ｂ方向に延長するように形成し、出入口４
を主弁１Ｂ及び共通流路１３Ｂを介して出入口３と連通
させるとともに、出入口５をまず副弁座２Ｙの外周に形
成された円環状溝１４に連通させ、そして副弁２Ｂ及び
共通流路１３Ｂを介して出入口４と連通させている。
【００２６】また、図７に示すような変形例も考えられ
る。この場合、出入口３の周囲より主弁座を隆起させ
ず、出入口３の周囲にテーパ面１ｓを形成して、主弁座
１Ｙとした例である。
る。この場合、出入口３の周囲より主弁座を隆起させ
ず、出入口３の周囲にテーパ面１ｓを形成して、主弁座
１Ｙとした例である。
【００２７】図５〜図７に示す構成いずれにおいても共
通流路１３，１３Ｂは、主弁体，主弁座の接地部からと
副弁体，副弁座の接地部までの間の空間で形成されるの
で、滞留部分がなくなる。また、図７のものはダイアフ
ラム８を副弁体として機能させて、ダイヤフラム８の下
に主弁体９Ａを設けている。さらに、流路として円環状
空間１４を形成したものを示したが、出入口５（第３の
出入口）と連通する流路であればよい。尚、図中、同一
部分または相当部分は同一符号を付し、説明を省略して
いる。
通流路１３，１３Ｂは、主弁体，主弁座の接地部からと
副弁体，副弁座の接地部までの間の空間で形成されるの
で、滞留部分がなくなる。また、図７のものはダイアフ
ラム８を副弁体として機能させて、ダイヤフラム８の下
に主弁体９Ａを設けている。さらに、流路として円環状
空間１４を形成したものを示したが、出入口５（第３の
出入口）と連通する流路であればよい。尚、図中、同一
部分または相当部分は同一符号を付し、説明を省略して
いる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の三方切替
弁によれば、軸線方向に進退可能な筒状の副弁軸と、こ
の筒内に配置され軸線方向に進退可能な主弁軸と、この
主弁軸及び副弁軸の先端に設けられる主弁体及び環状の
副弁体と、上記主弁軸と副弁軸とにそれぞれ対応して設
けられ主弁軸と副弁軸とを個別に進退させるための２つ
の駆動源と、上記主弁軸の進行方向に形成された第１の
出入口と、この第１の出入口の周囲に形成されて上記主
弁体が着座する主弁座と、この主弁座と主弁体とで構成
される主弁及び共通流路を介して上記第１の出入口と連
通する第２の出入口と、上記副弁体が着座する環状の副
弁座と、この副弁座より延長して外側に形成される流路
と、この流路と連通し、かつ上記副弁座と副弁体とで構
成される副弁及び共通流路を介して上記第２の出入口と
連通する第３の出入口とを備えて成り、上記共通流路
を、上記主弁体，主弁座の接地部と上記副弁体，副弁座
の接地部との間の空間で形成したので、滞留部分がなく
なり、清浄時間の短縮及び清浄度の向上を図ることが可
能となる。
弁によれば、軸線方向に進退可能な筒状の副弁軸と、こ
の筒内に配置され軸線方向に進退可能な主弁軸と、この
主弁軸及び副弁軸の先端に設けられる主弁体及び環状の
副弁体と、上記主弁軸と副弁軸とにそれぞれ対応して設
けられ主弁軸と副弁軸とを個別に進退させるための２つ
の駆動源と、上記主弁軸の進行方向に形成された第１の
出入口と、この第１の出入口の周囲に形成されて上記主
弁体が着座する主弁座と、この主弁座と主弁体とで構成
される主弁及び共通流路を介して上記第１の出入口と連
通する第２の出入口と、上記副弁体が着座する環状の副
弁座と、この副弁座より延長して外側に形成される流路
と、この流路と連通し、かつ上記副弁座と副弁体とで構
成される副弁及び共通流路を介して上記第２の出入口と
連通する第３の出入口とを備えて成り、上記共通流路
を、上記主弁体，主弁座の接地部と上記副弁体，副弁座
の接地部との間の空間で形成したので、滞留部分がなく
なり、清浄時間の短縮及び清浄度の向上を図ることが可
能となる。
【００２９】また、本願の効果を確認するために、透明
な樹脂製パイプに二方切替弁を２個設置した試験体Ａ
と、透明樹脂製ボディを有する本発明の三方切替弁試験
体Ｂを用意し、それぞれに赤インクを一旦充填した後、
試験体Ａの一方の弁を閉としたまま、他方の弁を開とし
て水道水を導入し、試験体Ｂは主弁を閉としたまま、副
弁を開として水道水を導入して実験を行ったところ、試
験体Ａにおいては配管分岐点から閉状態の弁までの間の
赤インクが長時間滞留したにも拘らず、試験体Ｂにおい
ては共通流路（１３，１３Ｂ）を含めた二次側配管内部
の赤インクが速やかに流出し、本発明の効果を十分確認
することができた。
な樹脂製パイプに二方切替弁を２個設置した試験体Ａ
と、透明樹脂製ボディを有する本発明の三方切替弁試験
体Ｂを用意し、それぞれに赤インクを一旦充填した後、
試験体Ａの一方の弁を閉としたまま、他方の弁を開とし
て水道水を導入し、試験体Ｂは主弁を閉としたまま、副
弁を開として水道水を導入して実験を行ったところ、試
験体Ａにおいては配管分岐点から閉状態の弁までの間の
赤インクが長時間滞留したにも拘らず、試験体Ｂにおい
ては共通流路（１３，１３Ｂ）を含めた二次側配管内部
の赤インクが速やかに流出し、本発明の効果を十分確認
することができた。
【図１】本発明の三方切替弁の一実施例を示す断面図で
ある。
ある。
【図２】本発明の三方切替弁の一実施例を示す弁座側の
平面図である。
平面図である。
【図３】本発明の三方切替弁の一実施例を示す弁体側を
下から見た斜視図である。
下から見た斜視図である。
【図４】本発明の三方切替弁の他の実施例を示す断面図
である。
である。
【図５】本発明の三方切替弁の他の実施例を示す断面図
である。
である。
【図６】本発明の三方切替弁の他の実施例を示す断面図
である。
である。
【図７】本発明の三方切替弁の他の実施例を示す断面図
である。
である。
【図８】従来の二方切替弁の配管方法の一例を説明した
図である。
図である。
【図９】従来の従来の二方切替弁の配管方法の他の例を
説明した平面図（一部断面）である。
説明した平面図（一部断面）である。
【図１０】図９を正面から見た内部構成図である。
【図１１】従来の三方切替弁としてのボール弁を示す断
面図である。
面図である。
【図１２】従来の三方切替弁としてのスライド弁を示す
断面図である。
断面図である。
１，１Ｘ，１Ｙ 主弁座 １Ａ，１Ｂ 主弁 ２，２Ｘ 副弁座 ２Ａ，２Ｂ 副弁 １ａ，２ａ 接地部 ３ 使用流体入口（第１の出入口） ４ 使用流体及び清浄用流体の出口（第３の出入口） ５ 清浄用流体の入口（第２の出入口） ９，９Ａ 主弁体 １０ 副弁体 １１，１２ 推力軸（主，副弁軸） １３ 円環状空間（共通流路） １４ 円環状空間（流路）
Claims (1)
- 【請求項１】 軸線方向に進退可能な筒状の副弁軸と、
この筒内に配置され軸線方向に進退可能な主弁軸と、こ
の主弁軸及び副弁軸の先端に設けられる主弁体及び環状
の副弁体と、上記主弁軸と副弁軸とにそれぞれ対応して
設けられ主弁軸と副弁軸とを個別に進退させるための２
つの駆動源と、上記主弁軸の進行方向に形成された第１
の出入口と、この第１の出入口の周囲に形成されて上記
主弁体が着座する主弁座と、この主弁座と主弁体とで構
成される主弁及び共通流路を介して上記第１の出入口と
連通する第２の出入口と、上記副弁体が着座する環状の
副弁座と、この副弁座より延長して外側に形成される流
路と、この流路と連通し、かつ上記副弁座と副弁体とで
構成される副弁及び共通流路を介して上記第２の出入口
と連通する第３の出入口とを備えて成り、上記共通流路
は、上記主弁体，主弁座の接地部と上記副弁体，副弁座
の接地部との間の空間で形成されることを特徴とする三
方切替弁。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30999391A JP2660188B2 (ja) | 1990-11-08 | 1991-10-29 | 三方切替弁 |
| DE69108850T DE69108850T2 (de) | 1990-11-08 | 1991-11-06 | Dreiwegeventil. |
| EP19910118926 EP0484915B1 (en) | 1990-11-08 | 1991-11-06 | Three-way valve |
| US07/788,938 US5172728A (en) | 1990-11-08 | 1991-11-07 | Three-way-valve |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30341090 | 1990-11-08 | ||
| JP2-303410 | 1990-11-08 | ||
| JP30999391A JP2660188B2 (ja) | 1990-11-08 | 1991-10-29 | 三方切替弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06281031A JPH06281031A (ja) | 1994-10-07 |
| JP2660188B2 true JP2660188B2 (ja) | 1997-10-08 |
Family
ID=26563507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30999391A Expired - Fee Related JP2660188B2 (ja) | 1990-11-08 | 1991-10-29 | 三方切替弁 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5172728A (ja) |
| EP (1) | EP0484915B1 (ja) |
| JP (1) | JP2660188B2 (ja) |
| DE (1) | DE69108850T2 (ja) |
Families Citing this family (50)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE501377C2 (sv) * | 1993-06-17 | 1995-01-30 | Ingvar Baecklund | Trevägs membranventilanordning |
| US5549134A (en) * | 1994-05-27 | 1996-08-27 | Marcvalve Corporation | Diaphragm valve |
| US5765591A (en) * | 1995-11-20 | 1998-06-16 | Argonaut Technologies, Inc. | Valve apparatus and method for distributing fluids |
| US6395235B1 (en) | 1998-08-21 | 2002-05-28 | Argonaut Technologies, Inc. | Devices and methods for accessing reaction vessels |
| US6123320A (en) * | 1998-10-09 | 2000-09-26 | Swagelok Co. | Sanitary diaphragm valve |
| EP1181471B1 (de) * | 1999-06-08 | 2003-11-05 | TUCHENHAGEN GmbH | Schiessglied-einheit für ein aseptisches doppelsitzventil |
| US7108002B1 (en) | 2001-06-11 | 2006-09-19 | Quantum Global Technologies, Llc. | Steam cleaning system and method for semiconductor process equipment |
| US6648982B1 (en) | 2001-06-11 | 2003-11-18 | Quantum Global Technologies, Llc | Steam cleaning system and method for semiconductor process equipment |
| JP4902911B2 (ja) * | 2001-06-21 | 2012-03-21 | 旭有機材工業株式会社 | マニホールドバルブ |
| JP4902912B2 (ja) * | 2001-07-10 | 2012-03-21 | 旭有機材工業株式会社 | マニホールドバルブ |
| US7677236B2 (en) | 2006-05-17 | 2010-03-16 | David Deng | Heater configured to operate with a first or second fuel |
| US7607426B2 (en) * | 2006-05-17 | 2009-10-27 | David Deng | Dual fuel heater |
| US7434447B2 (en) * | 2006-05-17 | 2008-10-14 | David Deng | Oxygen depletion sensor |
| US20070277803A1 (en) * | 2006-05-17 | 2007-12-06 | David Deng | Heater |
| US8152515B2 (en) | 2007-03-15 | 2012-04-10 | Continental Appliances Inc | Fuel selectable heating devices |
| US8241034B2 (en) | 2007-03-14 | 2012-08-14 | Continental Appliances Inc. | Fuel selection valve assemblies |
| US8011920B2 (en) | 2006-12-22 | 2011-09-06 | David Deng | Valve assemblies for heating devices |
| ATE515654T1 (de) * | 2006-09-18 | 2011-07-15 | Karl Locher | Absperrventil mit leckagefunktion |
| JP4782647B2 (ja) * | 2006-09-19 | 2011-09-28 | シーケーディ株式会社 | 流体用機器 |
| US8545216B2 (en) | 2006-12-22 | 2013-10-01 | Continental Appliances, Inc. | Valve assemblies for heating devices |
| US7654820B2 (en) | 2006-12-22 | 2010-02-02 | David Deng | Control valves for heaters and fireplace devices |
| US8403661B2 (en) | 2007-03-09 | 2013-03-26 | Coprecitec, S.L. | Dual fuel heater |
| US8057219B1 (en) | 2007-03-09 | 2011-11-15 | Coprecitec, S.L. | Dual fuel vent free gas heater |
| US8118590B1 (en) | 2007-03-09 | 2012-02-21 | Coprecitec, S.L. | Dual fuel vent free gas heater |
| US7766006B1 (en) | 2007-03-09 | 2010-08-03 | Coprecitec, S.L. | Dual fuel vent free gas heater |
| US8196603B2 (en) | 2008-08-20 | 2012-06-12 | Semba Biosciences, Inc. | Valve block assembly |
| US8517718B2 (en) | 2009-06-29 | 2013-08-27 | David Deng | Dual fuel heating source |
| US8506290B2 (en) * | 2009-06-29 | 2013-08-13 | David Deng | Heating apparatus with air shutter adjustment |
| US9829195B2 (en) | 2009-12-14 | 2017-11-28 | David Deng | Dual fuel heating source with nozzle |
| US10073071B2 (en) | 2010-06-07 | 2018-09-11 | David Deng | Heating system |
| EP2577171A2 (en) | 2010-06-07 | 2013-04-10 | David Deng | Heating system |
| CN202328495U (zh) | 2011-11-16 | 2012-07-11 | 普鲁卡姆电器（上海）有限公司 | 带有360度风门调节装置的多气源平衡式燃气取暖器 |
| US8899971B2 (en) | 2010-08-20 | 2014-12-02 | Coprecitec, S.L. | Dual fuel gas heater |
| WO2012099825A2 (en) | 2011-01-18 | 2012-07-26 | David Deng | Heating system with pressure regulator |
| JP5391217B2 (ja) * | 2011-02-21 | 2014-01-15 | Ｃｋｄ株式会社 | 流量制御ユニット |
| US10222057B2 (en) | 2011-04-08 | 2019-03-05 | David Deng | Dual fuel heater with selector valve |
| US9739389B2 (en) | 2011-04-08 | 2017-08-22 | David Deng | Heating system |
| US9200802B2 (en) | 2011-04-08 | 2015-12-01 | David Deng | Dual fuel heater with selector valve |
| US8985094B2 (en) | 2011-04-08 | 2015-03-24 | David Deng | Heating system |
| US9523497B2 (en) | 2012-07-04 | 2016-12-20 | David Deng | Dual fuel heater with selector valve |
| US9175848B2 (en) | 2011-12-05 | 2015-11-03 | David Deng | Dual fuel heater with selector valve |
| CN102506198B (zh) | 2011-10-20 | 2013-05-22 | 南京普鲁卡姆电器有限公司 | 双气源燃气自适应主控阀 |
| US9170016B2 (en) | 2012-08-22 | 2015-10-27 | David Deng | Dual fuel heater with selector valve |
| US9022064B2 (en) | 2012-05-10 | 2015-05-05 | David Deng | Dual fuel control device with auxiliary backline pressure regulator |
| US9091431B2 (en) | 2012-09-13 | 2015-07-28 | David Deng | Dual fuel valve with air shutter adjustment |
| US9423123B2 (en) | 2013-03-02 | 2016-08-23 | David Deng | Safety pressure switch |
| US9752779B2 (en) | 2013-03-02 | 2017-09-05 | David Deng | Heating assembly |
| US10240789B2 (en) | 2014-05-16 | 2019-03-26 | David Deng | Dual fuel heating assembly with reset switch |
| US10429074B2 (en) | 2014-05-16 | 2019-10-01 | David Deng | Dual fuel heating assembly with selector switch |
| CN106499841B (zh) * | 2016-12-14 | 2019-02-01 | 广州中国科学院先进技术研究所 | 一种改进的小型化膜阀 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3080887A (en) * | 1961-03-06 | 1963-03-12 | Modernair Corp | Fluid pressure-operated multi-way valve |
| US3884259A (en) * | 1974-01-21 | 1975-05-20 | Cryogenic Technology Inc | Three-way valve for controlling the flow of fluids at cryogenic temperature and at widely different pressures |
| FR2459416A1 (fr) * | 1979-06-21 | 1981-01-09 | Zikesch Gmbh Ch | Vanne d'arret et de reglage |
| JPH0759915B2 (ja) * | 1984-07-27 | 1995-06-28 | 株式会社日立製作所 | 排熱利用装置 |
| EP0174384B1 (en) * | 1984-09-12 | 1987-09-09 | Lavrids Knudsen Maskinfabrik A/S | Double seat valve |
| US4744388A (en) * | 1986-05-19 | 1988-05-17 | Fujikura Rubber Ltd. | Diaphragm type of pilot operated directional control valve |
| DE3625058A1 (de) * | 1986-07-24 | 1988-01-28 | Pleiger Maschf Paul | Ventil |
| US4860794A (en) * | 1988-08-31 | 1989-08-29 | General Motors Corporation | Single ended solenoid valve assembly |
-
1991
- 1991-10-29 JP JP30999391A patent/JP2660188B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1991-11-06 DE DE69108850T patent/DE69108850T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-11-06 EP EP19910118926 patent/EP0484915B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-11-07 US US07/788,938 patent/US5172728A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0484915A1 (en) | 1992-05-13 |
| US5172728A (en) | 1992-12-22 |
| DE69108850T2 (de) | 1995-08-24 |
| DE69108850D1 (de) | 1995-05-18 |
| JPH06281031A (ja) | 1994-10-07 |
| EP0484915B1 (en) | 1995-04-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2660188B2 (ja) | 三方切替弁 | |
| SU1662356A3 (ru) | Способ очистки седловых поверхностей двухседельного клапана и двухседельный клапан с очищаемыми седловыми поверхност ми | |
| RU1787227C (ru) | Устройство дл переключени потока жидкостей (его варианты) | |
| EP0431130A1 (en) | Weir valve sampling/injection port | |
| DE69206596T2 (de) | Drehventile und Dichtungen dafür. | |
| US5443722A (en) | Duplex strainer | |
| US6009896A (en) | Shut-off valve | |
| US2068468A (en) | Filter | |
| US4108199A (en) | Isolating valves | |
| US4496463A (en) | Duplex strainer | |
| DE2216149A1 (de) | Ventil für Filter | |
| US4623002A (en) | Polymer control valve | |
| US4026324A (en) | Injection valve | |
| US4165858A (en) | Gate valve structure | |
| US4504390A (en) | Selectable filter assembly | |
| JPH026309Y2 (ja) | ||
| JPH01220784A (ja) | バルブ | |
| US3181567A (en) | Four port reversing valve | |
| EP0497016A1 (en) | Valve unit | |
| JP2001254857A (ja) | 遮断開放器 | |
| DE19822424A1 (de) | Doppelsitzventil mit Leckkontrolle | |
| KR950004312B1 (ko) | 4방향 2위치 연동 공기밸브 | |
| JP2575450Y2 (ja) | 三方弁装置 | |
| JPH05272648A (ja) | ダイアフラム弁 | |
| SU1733794A1 (ru) | Запорный узел |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |