JPH0627760U - カセットの位置決め機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】簡単な構造でカセットの確実な固定を可能とす
るとともに、この固定を解放したときカセットの分離動
作が円滑に行われるようにする。 【構成】多数枚の基板が収容されるカセット２４を、コ
ンベヤ２２上の所定位置Ｐ₁ ，Ｐ₂ に固定するものであ
って、コンベヤ２２上を移動するカセット２４の前方位
置に対してコンベヤ２２の下方から昇降可能に設けられ
たストッパ２と、このストッパ２の近傍に設けられ、カ
セット２４の一側面Ｆ₁ が当接可能となされた基準壁体
３と、この基準壁体３と正対し、カセット２４の他側面
Ｆ₂ を進退可能に押圧してカセット２４の位置決めが可
能となされた固定手段４とからなることを特徴としてい
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、基板に薄膜を形成する成膜装置等の技術分野で利用され、特に、 この基板の多数枚が収容されたカセットを成膜装置の近傍に臨むコンベヤ上の所 定位置で一時固定をする位置決め機構に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

ウエハ、ディスクおよびガラス等を包含する基板の多数枚を収容するカセット は、成膜装置等の加工設備の近傍までコンベヤで搬送してこのコンベヤ上の所定 位置に位置決めの固定がなされたのち、移載ロボットによってカセット内の基板 を成膜装置に装填したり、成膜加工の終わった基板を再びカセット内に収納した りする移載作業が行われている。

【０００３】 カセットの位置決め機構としては、従来、コンベヤの搬送方向に沿ったカセッ トの前後方向および左右方向の位置決めをする構造物と、カセットをこの位置で 固定するためクランプ手段とを備えたものが数多く提供されている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、従来の位置決め機構はカセットを密に固定しようとしてカセットとク ランプ手段とのはめあい公差等を小さくすると、クランプ手段の固定力を取り除 いてもカセットがクランプ手段から完全に分離しない状態で下流側に搬送される 。

【０００５】 このことは、カセットが搬送方向に対して傾いたまま進行し、コンベヤのサイ ドガイドにカセットが引っ掛かって搬送路を塞ぐために、作業性および生産性が 大幅に低下するという不具合があった。

【０００６】 そこで、前記はめあい公差を大きくしてカセットがクランプ手段から容易に分 離できるようにすることが考えられるが、固定精度が大きく低下する欠点がある 。

【０００７】 また、コンベヤの幅やサイドガイドの形状を改良したり、固定状態を解放した カセットを別個に設けたシリンダ等で強制的に分離させたりすることも提案され ているが、構造が複雑になって設備費も増大するなどの問題があった。

【０００８】 この考案は、このような従来の事情から見て、簡単な構造でカセットの確実な 固定を可能とするとともに、固定解放時にカセットの分離動作が円滑に行われる ようにしたカセットの位置決め機構を提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

この考案のカセットの位置決め機構は、多数枚の基板が収容されるカセットを 、コンベヤ上の所定位置に固定するためのものであって、コンベヤ上を移動する カセットの前方位置に対してコンベヤの下方から昇降可能に設けられたストッパ と、このストッパの近傍に設けられ、カセットの一側面が当接可能となされた基 準壁体と、この基準壁体と正対し、カセットの他側端部を進退可能に押圧してカ セットの位置決めが可能となされた固定手段とからなるものである。

【００１０】

【作用】

ストッパでカセット前面の位置決めがなされたのち、固定手段でカセットの他 側端部を押圧することによりカセットの一側面が基準壁体に当接してこの一側面 の位置決めが行われ、さらに押圧動作を続ける固定手段によってカセットの他側 端部の位置決めが行われるとともに、カセットの他側面が押圧具の弾性接触で押 圧される。

【００１１】

【実施例】

以下、この考案の一実施例につき図面を参照して説明する。

【００１２】 なお、この説明では図１および図２において「上」を「前」、「下」を「後」 と呼び、図３において「右」を「前」、「上」を「左」と呼ぶ。

【００１３】 図３に示す移載装置２１は、コンベヤ２２の中間部に近接して移載ロボット２ ３が配置されたもので、コンベヤ２２は多数枚の基板を収容したカセット２４が コンベヤ２２の左右両側に設けたサイドガイド２５，２６でその移動動作が導か れる一方、移載ロボット２３は、その制御動作によってカセット２４内の基板を このカセット２４と、たとえば成膜装置（全体の図示省略）の装填側３１および 取出し側３２との相互間で移載するようになされている。

【００１４】 基板を移載するためにカセット２４をコンベヤ２２上で固定する位置（以下、 所定位置Ｐ₁ ，Ｐ₂ と呼ぶ）には、それぞれこの考案の位置決め機構１が設けら れている。

【００１５】 位置決め機構１は図１および図２に示すように、ストッパ２、基準壁体３およ び固定手段４からなっている。

【００１６】 ストッパ２は、コンベヤ２２上を前後方向Ｙに移動するカセット２４の前面の 位置決めを行うもので、コンベヤ２２下方の退避位置からカセット２４の前進動 作を規制するコンベヤ２２上の制止位置までの間を、シリンダ等の昇降手段によ り昇降可能に設けられている。

【００１７】 基準壁体３は、前面の位置決めがなされたカセット２４の左右方向Ｘの一側面 （左側面）を当接させて左側面の位置決めを行うもので、その内側面３ａが前記 サイドガイド２５の内側面２５ａと面一になるように、サイドガイド２５の中間 部を欠除したコンベヤ２２上に立設してカセット２４の左側面が当接可能となさ れている。

【００１８】 固定手段４は、カセット２４の他側面（右側面）を押圧してカセット２４を所 定位置Ｐ₁ （Ｐ₂ ）に位置決めして固定するためのもので、前記基準壁体３と正 対してカセット２４の右側端部に係合可能なクランプ５と、このクランプ５に連 結してカセット２４を基準壁体３に対し進退可能に押圧するためのシリンダ６と からなり、クランプ５の中央部には押圧具７が設けられている。

【００１９】 クランプ５は基部５ａの前後両端部にカセット２４の右側端部と係合可能な鍔 部５ｂ，５ｃが形成され、この両鍔部５ｂ，５ｃにカセット２４の前面端部およ び後面端部が係合するようになされている。

【００２０】 シリンダ６は、シリンダ本体６ａとピストン６ｂからなっていてこのピストン ロッド６ｃの外端部（左端部）がクランプ５の背面（右側面）に固定されている 。

【００２１】 前記押圧具７は、カセット２４の他側面（右側面）に弾性接触をしてこの他側 面（右側面）との間にたとえば０．５mmの微隙Ｓを形成するために、クランプ５ のボス部５ｄの内腔に装着されたもので、クランプ５の左側方に一端部を臨ませ た球状の押圧子８と、この押圧子８の弾性保持をする圧縮ばね９と、ボス部５ｄ にねじ込み固定をしたばね押さえ１０とからなっている。

【００２２】 押圧子８は、カセット２４から退避した自由状態（図１参照）でクランプ基部 ５ａの左側面からの自由高さＨ（２mm）で突出し、カセット２４を押圧し終わっ た状態（図２参照）で押圧子８がボス部５ｄの内腔内に後退してクランプ５の基 部５ａとカセット２４の右側面との間に前記微隙Ｓ（０．５mm）を形成するとと もに、カセット２４の右側面が、圧縮ばね９に弾性支持をされる押圧子８の点接 触によってきわめて弱い押圧力（たとえば５００グラム位の力）で押圧されるこ とにより、カセット２４はストッパ２および基準壁体３との間にもクランプ５の 場合と同様にそれぞれ微隙Ｓを保って位置決めをするようになされている。

【００２３】 一方、押圧子８が圧縮ばね９によってクランプ５の外側方（左側方）へ付勢さ れていることから、クランプ５の鍔部５ｂ，５ｃが万一、カセット２４の右側の 両隅部に密嵌することがあっても、この密嵌状態は、クランプ５の退避動作に伴 う押圧子８の突出動作で自動的に解放するようになされている。

【００２４】 次に、上記実施例の動作順序および作用について説明する。

【００２５】 カセット２４がコンベヤ２２上の所定位置Ｐ₁ に進入すると、この進入動作を 検出したセンサの検出信号に基づいてストッパ２が駆動手段の上昇駆動によりコ ンベヤ２２上に上昇してカセット２４の前進動作が規則され、カセット２４の前 面の位置決めがなされる。

【００２６】 この前面の位置決めが終わると、カセット２４の停止動作を検出したセンサの 検出信号に基づいて固定手段４のシリンダ４が伸張駆動をする。

【００２７】 この伸張駆動でクランプ５がカセット２４の右側端部を押圧すると、カセット ２４の左側面が基準壁体３に当接したのち、さらに、クランプ５の押圧動作が続 くことによって押圧子８がクランプボス部５ｄの内腔内に後退してこの押圧子８ がカセット２４の右側面中央部に弾性接触をした状態で所定位置Ｐ₁ におけるカ セット２４の位置決めが終わる。

【００２８】 このカセット２４は、押圧子８のきわめて弱い押圧力で位置決めがなされてい るから、カセット２４がプラスチック材等で成形されていても破損するおそれが ない。

【００２９】 続いて、所定位置Ｐ₁ のカセット２４から基板が移載ロボット２３の制御動作 によって成膜装置の装填側３１への移載動作が終わると、この移載終了動作を検 出したセンサの検出信号に基づいて固定手段４のシリンダ６が短縮駆動をしてク ランプ５がカセット２４からの退避動作を開始する。

【００３０】 この退避動作が進むに従って押圧子８がクランプ基部５ａの左方へ除々に突出 し、カセット２４の右側面の押圧動作を持続することにより、クランプ５とカセ ット２４の係合状態が円滑に解放される。

【００３１】 その後、クランプ５の各鍔部５ｂ，５ｃの左側面がサイドガイド２６の内側面 ２６ａから右方へ僅かに移行したとき、押圧子８がカセット２４から完全に分離 する。

【００３２】 この分離動作を検出したセンサの検出信号に基づいてストッパ２が駆動手段の 下降駆動でコンベヤ２２の下方に下降したのち、コンベヤ２２の前進駆動でカセ ット２４はサイドガイド２５，２６に引っ掛かることなく前方の所定位置Ｐ₂ に 送られる。

【００３３】 所定位置Ｐ₂ にカセット２４が進入すると、このカセット２４は所定位置Ｐ₁ の場合と同様に位置決め機構１によってカセット２４の位置決めをなし、このカ セット２４に成膜装置の取出し側３２からの基板が移載ロボット２３によって移 載されたのち、固定手段４の解放動作とストッパ２の下降動作に続いてカセット ２４が所定位置Ｐ₂ から次行程に送られる。

【００３４】

【考案の効果】

この考案のカセットの位置決め機構は、コンベヤ上を移動するカセットが移動 方向の前方に昇降可能となされたストッパと、カセットの一側面が当接可能とな された基準壁体と、基準壁体と正対しカセットの他側端部を進退可能に押圧する 固定手段とからなり、この固定手段にカセットの他側面に弾性接触をする押圧具 が設けられたものであるから、コンベヤ上のカセットは所定位置への位置決めが 容易に行われるとともに、この位置決め状態は押圧具のきわめて弱い押圧力で維 持して固定手段の退避動作時にはカセットが固定手段から容易に分離するように なされているので、コンベヤ上でのカセットの流れが円滑になって作業性および 生産性が大幅に改善される。

【００３５】 また、構造が簡単で位置決め精度も著しく向上するなどの優れた利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】位置決め機構の主要部を拡大して示す平面図で
ある。

【図２】カセットを所定位置に位置決め後の状態を示す
位置決め機構の平面図である。

【図３】位置決め機構を用いた移載装置の平面図であ
る。

【符号の説明】

１ 位置決め機構 ２ ストッパ ３ 基準壁体 ４ 固定手段 ７ 押圧具 ２２ コンベヤ ２４ カセット Ｓ 微隙 Ｆ₁ 一側面 Ｆ₂ 他側面 Ｐ₁ ，Ｐ₂ 所定位置

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 多数枚の基板が収容されるカセットを、
   コンベヤ上の所定位置に固定するためのものであって、 コンベヤ上を移動するカセットの前方位置に対してコン
   ベヤの下方から昇降可能に設けられたストッパと、この
   ストッパの近傍に設けられ、カセットの一側面が当接可
   能となされた基準壁体と、この基準壁体と正対し、カセ
   ットの他側端部を進退可能に押圧してカセットの位置決
   めが可能となされた固定手段とからなることを特徴とす
   るカセットの位置決め機構。
2. 【請求項２】 固定手段には、カセットの他側面に弾性
   接触をしてこの他側面との間に微隙を形成するための押
   圧具が設けられている請求項１記載のカセットの位置決
   め機構。