JPH0647856Y2 - リードフレームの供給装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、IC、LSI等の製造工程において、半導体ペレ
ットをリードフレームの所定位置にマウントするペレッ
トマウンタに、リードフレームを供給するリードフレー
ムの供給装置に関する。

［従来の技術］ 従来のリードフレームの供給装置としては、例えば特開
昭53−68973号に記載されるものがある。この装置は、
リードフレームを吸着してチャック可能とするチャック
部を備え、チャック部にチャックされるリードフレーム
を供給元から供給先へ移送し、チャック部を非吸着状態
として上記リードフレームを供給先へ移載するようにし
ている。ここでリードフレームを吸着してチャック可能
とするチャック部としては、例えば吸着ノズル〔その他
のものとしては例えば電磁石による吸着〕が用いられ
る。すなわち、このチャック部は、真空源の作動により
リードフレームを吸着状態でチャック可能としている。
これとともに、真空源の作動を遮断することでリードフ
レームを非吸着状態とし、これによりリードフレームを
供給先であるペレットマウンタに供給可能としてなる。

しかしながら、たとえ真空源の作動を遮断し、リードフ
レームを非吸着状態としても、いぜんノズル管の内部は
負圧状態とされ、このためリードフレームの移載がスム
ーズに行なわれなかったり、またリードフレームの供給
元への持ち帰りが発生する恐れがあった。

このような、不具合を解消するため、従来、第６図〜第
８図に示すそれぞれのリードフレームの供給装置が提案
されている。

先ず第６図に示す装置は、リードフレーム10の供給先で
あるペレットマウンタ11のフレーム保持部12に、真空源
の作動により矢示Ａ方向にエアを吸引可能とする吸気口
13を形成してなる。この装置によれば、チャック部とし
ての吸着ノズル14にチャックされたリードフレーム10を
フレーム保持部12に移送し、さらにこの状態で吸着ノズ
ル14の真空源の作動を遮断することでフレーム10は確実
に吸気口13により吸引保持されることとなる。この結
果、リードフレーム10は、確実にフレーム保持部12に移
載されることとなる。

第７図に示す装置は、フレーム保持部12に磁石15を配設
してなる。この装置によれば、吸着ノズル14にチャック
されたリードフレーム10をフレーム保持部12に移送し、
さらにこの状態で吸着ノズル14の真空源の作動を遮断す
ることで磁性体で形成されるフレーム10は確実に磁石15
に吸着保持されることとなる。この結果、リードフレー
ム10は、確実にフレーム保持部12に移載されることとな
る。

第８図に示す装置は、フレーム保持部12の一端部に係合
片16を、他端部に係合爪17を備えてなる。この係合爪17
は、矢示Ｂ方向に揺動される揺動ロッド18の一端側に形
成され、該揺動ロッド18の揺動は、カム19の連続回転に
より行なわれる。この装置による移載は、先ず吸着ノズ
ル14にチャックされるリードフレーム10を、一端部を係
合片16に係合する状態で矢印Ｃ方向に移送する。この状
態で揺動される係合爪17は、リードフレーム10の他端部
を係合可能とし、該フレーム10は確実にフレーム保持部
12に保持されることとなる。この結果、吸着ノズル14の
真空源の作動を遮断し、吸着ノズル14を上方移動するこ
とでリードフレーム10は確実にフレーム保持部12に移載
させることとなる。

さらに、実開昭56−173545号公報には、物品の真空吸着
ヘッドにおいて、真空圧を遮断したときに吸着離れを促
進するため、吸盤間に動作体を設け、真空圧遮断時に動
作体に一体成形されたリムーバが下動して、吸盤により
保持されている物品Ａを吸盤から強制的に突き離すよう
に構成された真空吸着ヘッドが開示されている。

また、実開昭59−173530号公報には、真空吸着パッドに
おいて、加工物を真空吸着パッドにて吸着するととも
に、ノックピンを突き出して該加工物を真空吸着パッド
より離脱させるものが開示されている。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記第６図〜第８図に示す各装置のう
ち、先ず第６図に示す装置は、リードフレーム10の種類
あるいは型式により、吸気口13による吸引位置を変更す
る必要があり、このため、一つの装置により様々な種類
のリードフレーム10の吸引を行なうことは、困難とされ
ていた。

また、第７図に示す装置にあっては、リードフレーム10
が非磁性体で形成される場合に適用することができない
不具合がある。

さらに、第８図に示す装置にあっては、幅寸法Ｔが異な
る多品種のリードフレーム10に対応することが困難とさ
れ、さらに本装置は機構が複雑となるための製造コスト
が高くつく不具合があった。

また、実開昭56−173545号公報の装置にあっては、吸盤
への真空経路と、動作体が挿入されるシリンダへの真空
経路とが同一経路のため、物品Ａを真空保持する前段階
で、リムーバが物品Ａを部分的に下方に押圧することと
なり、物品Ａが本考案が対象としているリードフレーム
の場合においては、この部分押圧により疵を付けたり、
変形させてしまい、ペレットのマウントずれ等、不良品
の発生原因となってしまう。

すなわち、実開昭56−173545号公報の真空吸着ヘッドに
て物品Ａを真空保持するにあたり、まず真空吸着ヘッド
が、物品Ａ上方より下降する。このとき真空圧は作用さ
せていないため、動作体は圧縮コイルばねの作用で下方
に付勢され、リムーバの先端は、吸盤の吸着レベルより
下に位置している。そして、真空吸着ヘッドの下降が進
行する段階で、まずリムーバの先端が物品Ａに当接し、
次に圧縮コイルばねの付勢力に抗して上昇する。先に述
べた、「物品Ａを部分的に下方に押圧する」というのは
このときである。そして吸盤が物品Ａに接触した後に、
吸引を開始する。この吸引により、動作体がばねの圧力
に抗してさらに上昇すると共に、物品Ａは吸盤にて保持
され、物品吸着状態となるわけである。

尚、吸盤が物品Ａに接触する前に真空圧を作用させたと
しても、リムーバの位置は変わらない（根拠：実開昭56
−173545号公報に係る明細書４頁４行〜８行参照）。

また、実開昭56−173545号公報、実開昭59−173530号公
報のいずれの装置にあっても、加工物を真空吸着パッド
から離脱させるに際し、プッシュロッド（またはリムー
バ）は加工物を突き放す如くに供給先へと自然落下せし
めるにすぎない。このため、加工物は供給先の所定位置
にずれなく正確に位置決めされて供給させることがな
い。

本考案は、リードフレームをチャック部に安定的にチャ
ックし、供給先に移送された該リードフレームを該チャ
ック部より確実に離隔し、かつ供給先の所定位置にずれ
なく正確に位置決めする状態で供給し、供給先に対する
該リードフレームの移載を確実に行なうことを目的とす
る。

［課題を解決するための手段］ 本考案は、リードフレームを吸着してチャック可能とす
る吸着駆動源を有するチャック部を支持フレームに設
け、この支持フレームの移動によりチャック部にチャッ
クされるリードフレームを供給元から供給先へ移送し、
上記リードフレームを供給先に配置したフレーム保持部
上へ下降させるとともにチャック部を非吸着状態として
該リードフレームを該フレーム保持部へ移載するリード
フレームの供給装置において、チャック部によるリード
フレームの吸着解除後にチャック部のアンチャック方向
に上記吸着駆動源とは別の駆動源にて独立駆動可能とさ
れ、リードフレームをチャック部によるチャック位置か
ら離隔するプッシュロッドを、チャック部に並列させて
支持フレームに設けたものであり、該プッシュロッド
が、チャック部によるリードフレームの吸着時にその吸
着開始前から、チャック部によるリードフレーム吸着域
外に保持されるとともに、チャック部によるリードフレ
ームの吸着解除後における支持フレーム上昇時には、吸
着解除されたリードフレームを前記フレーム保持部に押
し付ける状態でチャック部のアンチャック方向に駆動さ
れるようにしたものである。

［作用］ 本考案によれば、リードフレームは、チャック部による
リードフレーム吸着域外に保持されるプッシュロッドと
干渉することなく、チャック部に吸着される。これによ
りリードフレームを吸着したチャック部は、支持フレー
ムの移動によりプッシュロッドと共に供給先に移動す
る。そして供給先におけるチャック部によるリードフレ
ームの吸着解除後、プッシュロッドはチャック部のアン
チャック方向に駆動され、リードフレームに作用してこ
のリードフレームをチャック部によるチャック位置から
確実に離隔させる。また、チャック部によるリードフレ
ームの吸着解除後における支持フレーム上昇時には、プ
ッシュロッドがリードフレームを供給先のフレーム保持
部に押し付ける状態でチャック部のアンチャック方向に
駆動され、リードフレームをフレーム保持部にずれなく
正確に位置決めする状態で供給する。

［実施例］ 以下、本考案の実施例を図面を参照して説明する。

第１図は本考案の一実施例に係るリードフレームの供給
装置に係り、第３図のＩ−Ｉ線に沿う断面図、第２図は
第１図のII方向より観た側面図、第３図は本考案の一実
施例に係るリードフレームの供給装置の斜視図、第４図
および第５図はそれぞれ装置の作動状態を示す一部破断
の正面図である。

第３図に示すリードフレームの供給装置20は、複数枚の
リードフレーム21を積層状態で収容するストッカ22を備
えてなり、該ストッカ22には、積層されるリードフレー
ム21を順次上方に押上げる押上げ装置23が備えられる。
ストッカ22の対向位置には、ペレットマウンタ24が配設
され、該ペレットマウンタ24には、フレーム保持部25が
備えられる。

ストッカ22に収容されるリードフレーム21は、１枚ごと
にペレットマウンタ24のフレーム保持部25に供給され、
さらに供給されたリードフレーム21は矢示Ｄ方向に搬送
される。さらに矢示Ｄ方向に搬送されるリードフレーム
21には、不図示のマウント位置で順次ペレットがマウン
トされる。

フレーム保持部25に対するリードフレーム21の供給に
は、供給体26が用いられ、該供給体26はストッカ22とペ
レットマウンタ24のフレーム保持部25との間を矢印Ｅ方
向に往復駆動可能とされる。供給体26は、全体直方体形
状の支持フレーム27にて構成され、該支持フレーム27に
は、チャック部としての吸着ノズル28が３本配設されて
なる。各吸着ノズル28は、支持フレーム27に固定される
筒体29に対し、それぞれ上下動自在に支持され、吸着ノ
ズル28の下端のスプリング受部30と筒体29の間には圧縮
スプリング31が介装される。さらに、吸着ノズル28の上
端部には、止めリング32が取着される。この結果、各吸
着ノズル28は、支持フレーム27に対して上下動自在とさ
れ、これにより、例えば支持フレーム27の下降により吸
着ノズル28下端の吸着部33がストッカ22内もしくはフレ
ーム保持部25上のリードフレーム21に押圧状態で当接さ
れると、吸着ノズル28は支持フレーム27に対し上方に逃
げ移動されることとなる。

各吸着ノズル28の上端部には、真空配管34が接続され、
吸着駆動源たるの作動によりそれぞれ矢示Ｆ方向にエア
を吸引可能としてなる。この結果、各吸着ノズル28の吸
着部33は、吸引されるエアによりリードフレーム21をチ
ャック可能としている。

さらに供給体26の支持フレーム27には、吸着ノズル28に
並列配置される状態でシリンダ装置35が備えられる。シ
リンダ装置35は、３つの吸着ノズル28の間にそれぞれ配
設され、支持フレーム27の下方に支持させてなる。各シ
リンダ装置35は、上記真空源とは別の駆動源にてプッシ
ュロッド36を上下方向に駆動可能としてなる。

供給体26によるフレーム保持部25へのリードフレーム21
の供給は、先ず支持フレーム27をリードフレーム21の供
給元であるストッカ22の上方に移動し、各吸着ノズル28
の吸着部33を積層されるリードフレーム21に向けて下降
する。下降された吸着部33は、供給位置37に位置決めさ
れる最上段のリードフレーム21の表面に当接され、第４
図に示すように吸引されるエアにより吸着部33にてチャ
ックされることとなる。この際、シリンダ装置35のプッ
シュロッド36はリードフレーム21に対して非突出状態と
される退出方向に位置決めされる状態とされる。

吸着部33にてリードフレーム21がチャックされると供給
体26は供給先であるフレーム保持部25の上方に移動さ
れ、さらにフレーム保持部25に下降される。この結果、
吸着部33にてチャックされるリードフレーム21は、第１
図および第２図に示すようにフレーム保持部25に移送さ
れ、次いで真空配管34によるエアの吸引が遮断され、吸
着ノズル28によるリードフレーム21の吸着が解除され
る。この吸着解除後、各シリンダ装置35のプッシュロッ
ド36が進出方向、すなわち吸着部33の先端部より下方に
突出するアンチャック方向に駆動され、リードフレーム
21を吸着部33によるチャック位置から離隔する。そし
て、この吸着ノズル28によるリードフレーム21の吸着解
除後、供給体26を上昇移動させるに際し、各シリンダ装
置35のプッシュロッド36は、第５図に示す如く、リード
フレーム21をフレーム保持部25に押し付ける状態でアン
チャック方向に駆動され、該リードフレーム21を確実に
フレーム保持部25に供給し、移載する。リードフレーム
21はさらに不図示のマウント位置に移送されることとな
る。

リードフレーム21の供給を完了した供給体26は、再びス
トッカ22の上方位置に移動され、吸着ノズル28を積層さ
れるリードフレーム21に向けて下降する。この際、供給
位置37には、次にチャックされるリードフレーム21が押
上げ装置23の駆動により上昇位置決めされる。このよう
にして、積層されるリードフレーム21は、供給体26の矢
示Ｅ方向での往復駆動により、順次ペレットマウンタ24
のフレーム保持部25に移載されることとなる。

次に、上記実施例の作用を説明する。

上記実施例によれば、各吸着ノズル28の吸着部33にチャ
ックされる状態で、ストッカ22からフレーム保持部25に
移送されるリードフレーム21をシリンダ装置35のプッシ
ュロッド36の駆動により確実に吸着部33から離隔するこ
とが可能となる。この結果、従来に比べ、簡単な機構に
より確実にフレーム保持部25にリードフレーム21を移載
することが可能となり、さらにリードフレーム21の材
質、種類、型式に制限されず種々のリードフレーム21の
移載作業に対応することが可能となる。

また、上記実施例によれば、プッシュロッド36を吸着ノ
ズル28が設けられている支持フレーム27に設けたから、
リードフレーム21の供給先が位置変化し、それに応じて
支持フレーム27の移動量が変化した場合においても、プ
ッシュロッド36は支持フレーム27と一体になって吸着ノ
ズル28と共に移動し、当該供給先においてリードフレー
ム21を吸着ノズル28から常に確実に離隔できる。

また、上記実施例によれば、プッシュロッド36が、吸着
ノズル28によるリードフレーム21の吸着時にその吸着開
始前から、吸着ノズル28によるリードフレーム吸着域外
に保持される。したがって、リードフレーム21は、吸着
開始段階でプッシュロッド36と干渉することなく、吸着
ノズル28に吸着される。すなわち、リードフレーム21
は、プッシュロッド36との干渉による部分押圧を受ける
ことがなく、疵、変形を生ずることなく安定的にチャッ
クされる。

また、上記実施例によれば、プッシュロッド36の作動を
吸着ノズル28がリードフレーム21の吸着を解除した後と
したから、リードフレーム21は吸着ノズル28による吸着
力が弱められた後にプッシュロッド36の作動により該吸
着ノズル28から離隔せしめられる。従って、リードフレ
ーム21に無理な力を付与することなく、結果としてリー
ドフレーム21を変形せしめることなく吸着ノズル28から
確実に離隔できる。

また、上記実施例によれば、吸着ノズル28によるリード
フレーム21の吸着解除後における供給体26の上昇時に、
プッシュロッド36はリードフレーム21を供給先のフレー
ム保持部25に押し付ける状態で吸着ノズル28のアンチャ
ック方向に駆動される。したがって、リードフレーム21
はプッシュロッド36によってフレーム保持部25に押し付
けられる状態で吸着ノズル28から離脱されるため、リー
ドフレーム21は吸着ノズル28による供給時にフレーム保
持部25にずれなく正確に位置決めされる状態で供給され
る。

また、吸着ノズル28によるチャック動作と、プッシュロ
ッド36の進退動作は、それぞれ別の駆動源により独立駆
動されるため、吸着ノズル28によるリードフレーム21の
吸着解除動作と、その後におけるプッシュロッド36の突
出駆動とがほとんど時間差なく行なうことが可能なこと
から、吸着ノズル28よりリードフレーム21を迅速に離隔
させることができ、フレーム保持部25への高速供給が可
能となる。

なお、上記実施例においては、シリンダ装置35のプッシ
ュロッド36を介してリードフレーム21を吸着部33から離
隔するようにしているが、このような装置に換えてソレ
ノイドやカム機構により上下動されるプッシュロッドを
用いることとしてもよい。また、チャック部としての吸
着ノズル28に換え、電磁石を用いることとしてもよい。

［考案の効果］ 本考案によれば、下記〜の効果を有する。

チャック部にチャックされる状態で供給元から供給先
に移送されるリードフレームを、プッシュロッドの駆動
により確実にチャック部から離隔することが可能とな
り、これにより、供給先に対するリードフレームの移載
を確実に行なうことができる。

プッシュロッドをチャック部が設けられている支持フ
レームに設けたから、リードフレームの供給先が位置変
化した場合においても、プッシュロッドは支持フレーム
と一体になってチャック部と共に移動し、当該供給先に
おいてリードフレームをチャック部から常に確実に離隔
できる。

プッシュロッドは、チャック部によるリードフレーム
の吸着時にその吸着開始前から、チャック部によるリー
ドフレーム吸着域外に保持される。したがって、リード
フレームは、吸着開始段階でプッシュロッドと干渉する
ことなく、チャックに吸着される。すなわち、リードフ
レームは、プッシュロッドとの干渉による部分押圧を受
けることがなく、疵、変形を生ずることなく安定的にチ
ャックされる。

プッシュロッドの作動をチャック部がリードフレーム
の吸着を解除した後としたから、リードフレームは吸着
ノズルによる吸着力が弱められた後にプッシュロッドの
作動により該チャック部から離隔せしめられる。従っ
て、リードフレームに無理な力を付与することなく、結
果としてリードフレームを変形せしめることなくチャッ
ク部から確実に離隔できる。

チャック部によるリードフレームの吸着解除後におけ
る支持フレームの上昇時に、吸着解除されたリードフレ
ームをフレーム保持部に押し付ける状態でチャック部の
アンチャック方向に駆動されるようにした。したがっ
て、リードフレームはプッシュロッドによってフレーム
保持部に押し付けられる状態でチャック部から離脱され
るため、リードフレームはチャック部による供給時にフ
レーム保持部にずれなく正確に位置決めされる状態で供
給される。

チャック部のチャック動作と、プッシュロッドの進退
動作は、それぞれ別の駆動源により独立駆動されるた
め、チャック部によるリードフレームの吸着解除動作
と、その後におけるプッシュロッドの突出駆動とがほと
んど時間差なく行なうことが可能なことから、リードフ
レームを迅速に離隔させることができ、フレーム保持部
への高速供給が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例に係るリードフレームの供給
装置に係り、第３図のＩ−Ｉ線に沿う断面図、第２図は
第１図のII方向より観た側面図、第３図は本考案の一実
施例に係るリードフレームの供給装置の斜視図、第４図
および第５図はそれぞれ装置の作動状態を示す一部破断
の正面図、第６図〜第８図はそれぞれ従来のリードフレ
ームの供給装置の要部を示す正面図である。 20…リードフレームの供給装置、21…リードフレーム、
22…ストッカ、24…ペレットマウンタ、25…フレーム保
持部〔供給先〕、26…供給体、27…支持フレーム、28…
吸着ノズル〔チャック部〕、33…吸着部、35…シリンダ
装置、36…プッシュロッド、37…供給装置〔供給元〕。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭53−68973（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−12266（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−183329（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−173530（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−173545（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】リードフレームを吸着してチャック可能と
   する吸着駆動源を有するチャック部を支持フレームに設
   け、この支持フレームの移動によりチャック部にチャッ
   クされるリードフレームを供給元から供給先へ移送し、
   上記リードフレームを供給先に配置したフレーム保持部
   上に下降させるとともにチャック部を非吸着状態として
   該リードフレームを該フレーム保持部へ移載するリード
   フレームの供給装置において、チャック部によるリード
   フレームの吸着解除後にチャック部のアンチャック方向
   に上記吸着駆動源とは別の駆動源にて独立駆動可能とさ
   れ、リードフレームをチャック部によるチャック位置か
   ら離隔するプッシュロッドを、チャック部に並列させて
   支持フレームに設けたものであり、該プッシュロッド
   が、チャック部によるリードフレームの吸着時にその吸
   着開始前から、チャック部によるリードフレーム吸着域
   外に保持されるとともに、チャック部によるリードフレ
   ームの吸着解除後における支持フレーム上昇時には、吸
   着解除されたリードフレームを前記フレーム保持部に押
   し付ける状態でチャック部のアンチャック方向に駆動さ
   れるようにしたことを特徴とするリードフレームの供給
   装置。