JPH06273104A

JPH06273104A - 輪郭形状測定機

Info

Publication number: JPH06273104A
Application number: JP5719093A
Authority: JP
Inventors: Kazuyoshi Irisawa; 一由入沢; Tsutomu Kusumi; 勉久住; Seiji Hoshi; 誠司星
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1993-03-17
Filing date: 1993-03-17
Publication date: 1994-09-30

Abstract

(57)【要約】【目的】共通のアームおよびスタイラスにより、様々
な形状の被測定物の輪郭形状を測定する。【構成】測定テーブルに対して移動するアーム台に、
直線棒状のアーム11が取り付けてある。このアーム11の
先端部には、その直径に沿う取付孔14がある。この取付
孔14に、棒状のスタイラス31の基部を挿入して取り付け
てある。このスタイラス31は、直角な２つの屈曲部を有
する形状になっている。【効果】このスタイラス31によれば、入隅の傾斜面な
ども測定できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、スタイラスの先端を被
測定物に接触させながら移動させることにより被測定物
の輪郭形状を測定する輪郭形状測定機に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の輪郭形状測定機の一例について、
図５および図６を参照しながら説明する。図５におい
て、１は測定テーブルで、この測定テーブル１は、上面
に被測定物であるワーク２が着脱可能に保持されるもの
である。なお、この保持に際しては、必要に応じて、補
助テーブルであるＸＹテーブル３や万力台４などが用い
られる。そして、前記測定テーブル１上には、支柱６が
垂直に立設されており、この支柱６に駆動部７が上下方
向（Ｚ軸方向）へ移動可能に支持されている。また、こ
の駆動部７の下側には、アーム台８が支持されている。
このアーム台８は、左右方向（Ｘ軸方向）へ移動可能に
なっているとともに、前後方向（Ｙ軸方向）の回転軸を
中心に揺動可能なものである。そして、前記アーム台８
の左側の先端部には、図６にも示すような、直線棒状の
アーム11が着脱可能に取り付けられている。さらに、測
定テーブル１に上方から対向するこのアーム11の左側の
先端部には、スタイラス取付具12がねじ13により取り付
けられている。このスタイラス取付具12は、アーム11の
本体部に対して、同軸的に回転可能になっており、任意
の角度で固定可能である。そして、スタイラス取付具12
には、その直径に沿って取付孔14が貫通形成されてい
る。この取付孔14は、直線棒状のスタイラス16の基部が
挿入されるものである。このスタイラス16は、基部が取
付孔14に挿入された状態で、ねじ17によりスタイラス取
付具12に着脱可能に取り付けられるものである。また、
図５において、21は測定機本体で、この測定機本体21
は、測定にかんする各種設定を行うための操作部や表示
部を有している。さらに、22は、測定した輪郭形状を自
動的に描くプロッターである。

【０００３】そして、測定時には、アーム台８が右から
左へ移動する。これに伴い、アーム台８が上下動もしな
がら、スタイラス16の先端が測定テーブル１上のワーク
２の表面を倣う。すなわち、スタイラス16は、先端がワ
ーク２の表面に接しながら移動する。このときのアーム
台８の動きが電気信号に変換され、スタイラス16の先端
の軌跡すなわちワーク１の輪郭形状がプロッター22によ
り記録される。これに基づいて、解析を行う。

【０００４】なお、電動制御式の補助テーブルや回転セ
ンター台を用いることにより、３次元形状の測定や軸周
り形状の測定も可能である。

【０００５】ところで、図７は、被測定物であるワーク
26の一例を示している。このワーク26は、直角な入隅を
なす２面26a ，26b 間に傾斜面26c を有するものであ
る。ところが、前述した直線状のアーム11および直線状
のスタイラス16を用いて、傾斜面26c を測定しようとし
ても、図８に示すように、スタイラス16よりも突出した
アーム11の先端部11a が面26b に干渉してしまうため、
うまくいかない。

【０００６】また、障害物を避けるために、従来よりＬ
字形状に屈曲したアームも用いられている。このアーム
は、全体を水平にして用いられ、先端部にスタイラスが
垂下した状態で取り付けられるものである。しかし、単
にこのようにＬ字形状に屈曲したアームでは、図７に示
すようなワーク26の場合、アームがワーク26に干渉し
て、傾斜面26c の測定をできない問題は解消できない。
また、異なる測定の度にアームを交換しなければならな
いのでは、面倒である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】前述のように従来の輪
郭形状測定機では、アームもスタイラスも直線棒状にな
っており、かつ、このスタイラスは、アームの先端部に
その径方向に沿って形成された取付孔に基部を挿入して
取り付けるようにしていたため、例えば入隅の傾斜面な
どは、アームの先端部の干渉により、測定できない問題
があった。また、従来よりＬ字形状に屈曲したアームも
用いられているが、単にＬ字形状に屈曲したアームで
は、やはり入隅の傾斜面などは測定ができない。これと
ともに、異なる測定の度にアームを交換しなければなら
ないのでは、手間がかかる問題もある。

【０００８】本発明は、このような問題点を解決しよう
とするもので、輪郭形状測定機において、共通のアーム
およびスタイラスにより、様々な形状の被測定物の測定
を行えるようにすることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の輪郭形状測定機
は、前記目的を達成するために、測定テーブルと、この
測定テーブルに対して移動可能なアーム台と、このアー
ム台に取り付けられ測定テーブルと対向して位置する棒
状のアームと、このアームの先端部にその径方向に沿っ
て形成された取付孔に基部が挿入されて取り付けられる
棒状のスタイラスとを備え、このスタイラスは、２つ以
上の屈曲部を有する形状としたものである。

【００１０】

【作用】本発明の輪郭形状測定機では、測定時、アーム
台を移動させ、スタイラスの先端を測定テーブルに保持
したワークの表面に倣わせる。このときのアーム台の移
動から、スタイラスの先端の軌跡すなわちワークの輪郭
形状が求められる。スタイラスは、アームの先端部にそ
の径方向に沿って形成された取付孔に基部が挿入されて
取り付けられており、その結果、スタイラスの基部より
もアームの先端部が突出しているが、スタイラスが２つ
以上の屈曲部を有する形状になっているために、測定に
際して、アームの先端部が被測定物を避けるようにでき
る。例えば、入隅の傾斜面の測定の場合、スタイラスの
先端がアームの先端よりも先に出るようにすればよい。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の輪郭形状測定機の第１実施例
について、図１および図２を参照しながら説明する。な
お、本実施例の測定機は、先に説明した図５および図６
に示す測定機と、スタイラス以外は同じ構成になってい
るので、スタイラス以外は、同一符号を付して、その説
明を省略する。図１に示すように、本実施例のスタイラ
ス31は、棒状になっているが、直角な２つの屈曲部31a
，31b を有している。すなわち、本スタイラス31は、
基部31c の先端から中間部31d が垂直に屈曲しており、
この中間部31d の先端から先端部31e が垂直にかつ前記
基部31c と反対側へ屈曲している。そして、本スタイラ
ス31は、やはり基部31c がアーム11の先端部の取付孔14
に挿入されて取り付けられるものである。この取り付け
に際しては、基部31c が下方へ垂下し、この基部31c の
先端から中間部31d が左方へ屈曲するようにする。これ
により、スタイラス31の先端部31e は、下方へ垂下する
とともに、アーム11の先端よりもより左方に位置する。

【００１２】したがって、図２に示すように、ワーク26
の入隅の傾斜面26c でも、アーム11の先端部がワーク26
に干渉することなく、測定を行える。なお、図２におい
て、矢印はスタイラス31の移動を示している。

【００１３】また、比較的平坦なワークの表面の形状
も、前記スタイラス31により測定できる。したがって、
共通のアーム11およびスタイラス16により、様々な形状
のワークの測定ができる。

【００１４】図３は本発明の第２実施例を示すもので、
この第２実施例のスタイラス32は、直角な３つの屈曲部
32a ，32b ，32c を有している。すなわち、本スタイラ
ス３２は、基部３２ｄの先端から第１中間部32e が垂
直に屈曲しており、この第１中間部31e の先端から第２
中間部32f が垂直にかつ前記基部32d と反対側へ屈曲し
ており、この第２中間部32f の先端から先端部32g が垂
直に屈曲している。この先端部32g は、前記両中間部32
e ，32f を含む平面と垂直な方向性を有している。そし
て、このスタイラス32をアーム11に取り付けるに際して
は、基部32d が前方へ突出し、この基部32d の先端から
第１中間部31e が左方へ屈曲するようにする。これによ
り、スタイラス32の先端部32g は、下方へ垂下するとと
もに、アーム11の先端よりもより前左方に位置する。し
たがって、アーム11の前方や左方に壁面があるようなワ
ークでも測定できる。

【００１５】図４は本発明の第３実施例を示すもので、
この第３実施例のスタイラス33は、４つの屈曲部33a ，
33b ，33c ，33d を有している。

【００１６】なお、本発明は、前記実施例に限定される
ものではなく、種々の変形実施が可能である。例えば、
前記第１実施例あるいは第２実施例において、スタイラ
ス31，32の先端部31e ，32g は、中間部31d ，32f に対
して垂直ではなく、鈍角をなして屈曲させるなどしても
よい。

【００１７】

【発明の効果】本発明によれば、棒状のアームの先端部
に、その径方向に沿って形成された取付孔に棒状のスタ
イラスの基部を挿入して取り付け、このスタイラスの先
端を被測定物の表面に倣わせて輪郭形状を測定する輪郭
形状測定機において、スタイラスは、２つ以上の屈曲部
を有する形状としたので、測定に際して、アームの先端
部などが被測定物に干渉することを防止でき、共通のア
ームおよびスタイラスにより、様々な形状の被測定物の
測定を行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の輪郭形状測定機の第１実施例を示すも
ので、アームの先端部およびスタイラスの斜視図であ
る。

【図２】同上測定時の状態を示す概略正面図である。

【図３】本発明の輪郭形状測定機の第２実施例を示すも
ので、アームの先端部およびスタイラスの斜視図であ
る。

【図４】本発明の輪郭形状測定機の第３実施例を示すも
ので、アームの先端部およびスタイラスの斜視図であ
る。

【図５】従来の輪郭形状測定機の一例を示す全体の斜視
図である。

【図６】同上アームおよびスタイラスの斜視図である。

【図７】被測定物の斜視図である。

【図８】前記従来の輪郭形状測定機による測定時の状態
を示す概略正面図である。

【符号の説明】

１測定テーブル８アーム台 11 アーム 14 取付孔 31 スタイラス 31a ，31b 屈曲部 32 スタイラス 32a ，32b ，32c 屈曲部 33 スタイラス 33a ，33b ，33c ，33d 屈曲部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】測定テーブルと、この測定テーブルに対
して移動可能なアーム台と、このアーム台に取り付けら
れ測定テーブルと対向して位置する棒状のアームと、こ
のアームの先端部にその径方向に沿って形成された取付
孔に基部が挿入されて取り付けられる棒状のスタイラス
とを備え、このスタイラスは、２つ以上の屈曲部を有す
る形状としたことを特徴とする輪郭形状測定機。