CN110260819B - 非接触式测量中多测头标定方法、标定装置及标准块 - Google Patents
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Abstract
一种非接触式测量中多测头标定方法、标定装置及标准块,其中标定方法为,将标准块安装在水平转动装置的工作台上;将标准块的横槽的边缘调节至与机床x轴平行;调整中间光谱共焦测头的空间角度,使中间光谱共焦测头的轴线垂直于机床工作台的水平面xoy;调整左侧光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的空间角度,使左侧光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的轴线平行于机床工作台前平面或后平面xoz;调整三个光谱共焦测头的轴线在同一个平面内;计算左侧光谱共焦测头轴线与中间光谱共焦测头轴线之间的第一夹角α1,以及计算右侧光谱共焦测头轴线与中间光谱共焦测头轴线之间的第二夹角α2。本发明具有标定方便准确,夹角计算容易的优点。
Description
技术领域
本发明属于非接触测量领域,更具体地涉及一种非接触式测量中多测头标定方法、标定装置及标准块。
背景技术
目前非接触式测量是零件检测的常用方法之一,该方法通常采用光测量技术,避免了测量设备与零件的直接接触。但对于曲面零件的检测,非接触测量的精度通常与测头轴线和被测曲面点的法向之间的角度有关。当待检测曲面的曲率变化较大时,如果非接触测头的姿态保持不变,可能无法获得完整的曲面轮廓数据。
为了改善上述存在的问题,目前通常有以下两种方案:第一种是将测头安装在多轴(4-5轴)运动机构上,以满足测量光束矢量的空间角度调整要求,但由于运动机构的精度问题,使得整个测量系统的测量精度会大大降低,无法满足曲面零件的高精度测量的要求;另一种是使用装有多个测头的测量设备,让每个测头负责测量曲面部分区域的数据,然后将各个测头的测量数据转换到一个统一的坐标系下,该方案存在的问题是,多个非接触式测头的标定、各测头之间的相对位置的计算必须快速且高精度的完成。
专利文献《基于光谱共焦技术的手机曲面外壳轮廓测量方法及其测量设备》(申请号CN201711415852.7)提供了一种针对手机背壳和侧边曲面进行高精度检测的方法与设备。该设备将三个光谱共焦测头安装在线性运动轴上,每个测头通过角度调整机构与运动轴连接。利用这三个测头,对固定在DD马达所承载的平台上的手机外壳零件进行曲面扫描测量。该专利要求三个光谱共焦量仪的光斑位于一条平行于轴的直线上,并且两侧色散光谱共焦量仪的射线延长线与中间色散光谱共焦量仪垂直方向射线延长线的夹角要精确的计算出来,但利用该专利文献所公开的方法来进行标定和计算各光谱共焦测头之间的夹角,其方法比较繁锁。
发明内容
为了解决上述问题,本发明向社会提供一种标定方便准确,夹角计算容易的非接触式测量中多测头标定方法、标定装置及标准块。
本发明的技术方案是:向社会提供一种非接触式测量中多测头标定方法,适合于具有测量设备、水平旋转装置和机床,且测量设备、水平旋转装置分别设在机床上,测量设备位于水平旋转装置上方的测量装置的多测头标定,包括如下步骤:
S1:将标准块安装在水平旋转装置的工作台上,所述标准块的上底面包括依次连接的第一斜面、水平面和第二斜面,所述第一斜面和第二斜面分别向斜下方倾斜;从第一斜面开始,依次经过水平面和第二斜面设有连贯的第一横槽、第二横槽和第三横槽,在第一斜面上垂直于第一横槽设有第一竖槽,在第二斜面上垂直于第三横槽设有第三竖槽;
S2:将标准块的横槽的边缘调节至与机床x轴平行;
S3:调整中间光谱共焦测头的空间角度,使中间光谱共焦测头的轴线垂直于机床工作台的水平面xoy;
S4:调整左侧光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的空间角度,使左侧光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的轴线平行于机床工作台前平面或后平面xoz;
S5:调整中间光谱共焦测头、左侧光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的轴线在同一个平面内;
S6:计算左侧光谱共焦测头轴线与中间光谱共焦测头轴线之间的第一夹角α1,以及计算右侧光谱共焦测头轴线与中间光谱共焦测头轴线之间的第二夹角α2。
作为对本发明的改进,所述将标准块的横槽的边缘调节至与机床x轴平行的步骤为机床带动中间光谱共焦测头对标准块进行测量,得到光谱共焦测头工作起点A到标准块表面的距离;将中间光谱共焦测头朝一个方向移动,当中间光谱共焦测头发出的光线射到标准块的第二横槽的内底面时,所获得的数据会发生第一次突变,记录测量值发生突变的位置B;令机床沿x轴水平运动预定距离lBC到位置C,然后控制中间光谱共焦测头沿机床y轴移动,记录测量数据发生第二次突变的位置D,同时记录位置C到位置D之间的距离lCD;通过公式一,即得到将标准块横槽的边沿调节至与机床x轴平行需要调整水平旋转装置的角度值θ,
通过控制水平旋转装置的DD马达,使标准块旋转角度θ,从而使标准块的横槽的边沿与机床x轴平行。
作为对本发明的改进,所述调整中间光谱共焦测头、左侧光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的轴线在同一个平面内的步骤为:
调整左侧光谱共焦测头、中间光谱共焦测头,以及右侧光谱共焦测头与标准块之间的距离,让标准块在左侧光谱共焦测头、中间光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的工作范围内;控制机床主轴带动中间光谱共焦测头沿机床y轴移动,使中间光谱共焦测头的光斑从标准块的第二横槽的一侧向第二横槽内移动,当光斑从标准块的表面投射到第二横槽的底部时,中间光谱共焦测头得到的距离值会发生突变,记录发生数据突变的位置,并将中间光谱共焦测头固定在该位置;使左侧光谱共焦测头的光斑从标准块第一横槽的一侧向第一横槽内移动,记录左侧光谱共焦测头的光斑从标准块表面投射到第一横槽底部时距离发生突变的位置,并将左侧光谱共焦测头固定在该位置;使右侧光谱共焦测头的光斑从标准块第三横槽的一侧向第三横槽内移动,记录右侧光谱共焦测头的光斑从标准块表面投射到第三横槽底部时距离发生突变的位置,并将右侧光谱共焦测头固定在该位置。
作为对本发明的改进,S6步中计算第一夹角α1和第二夹角α2的步骤为:控制左侧光谱共焦测头沿机床x轴从第一竖槽的外侧向内侧移动,当左侧光谱共焦测头的光斑从标准块表面投射到第一竖槽底部时,获得的距离值会发生突变,突变前距离值记为d1,突变后距离值记为d2;根据公式二,即可计算得到左侧测头轴线与中间测头轴线之间的夹角α1,
则α1=β+γ
利用同样的步骤,计算出第二夹角α2;
上式中,d为标准块的竖槽的边沿距竖槽底面的垂直距离,d1、d2为左侧或右侧光谱共焦测头的光斑分别投射到标准块竖槽边沿和竖槽底部时测得的距离值,γ为标准块上斜面与水平面的夹角。
本发明还提供一种非接触式测量中多测头的标定装置,包括测量设备、水平旋转装置、机床和标准块,所述测量设备和水平旋转装置分别设在机床上,测量设备位于水平旋转装置上方,其中,所述包括测量设备依次排布在安装架上的左侧光谱共焦测头、中间光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头,所述水平旋转装置包括工作台,以及位于工作台下面的用于带动工作平台移动的电机,所述标准块设置在水平旋转装置的工作台上,所述标准块的上底面包括依次连接的第一斜面、水平面和第二斜面,所述第一斜面和第二斜面分别向斜下方倾斜;从第一斜面开始,依次经过水平面和第二斜面设有连贯的第一横槽、第二横槽和第三横槽,在第一斜面上垂直于第一横槽设有第一竖槽,在第二斜面上垂直于第三横槽设有第三竖槽。
作为对本发明的改进,所述左侧光谱共焦测头包括第一测头、第一角度调整机构,所述第一测头设在所述第一角度调整机构上,所述第一角度调整机构设在第一手动角位台上,所述第一手动角位台设在第一前后移动装置上,所述第一前后移动装置设在第一上下移动装置上,所述第一上下移动装置设在第一左右移动装置上。
作为对本发明的改进,所述右侧光谱共焦测头包括第三测头、第三角度调整机构,所述第三测头设在所述第三角度调整机构上,所述第三角度调整机构设在第三手动角位台上,所述第三手动角位台设在第三前后移动装置上,所述第三前后移动装置设在第三上下移动装置上,所述第三上下移动装置设在第三左右移动装置上。
作为对本发明的改进,在标准块的上底面包括依次连接的第一斜面、水平面和第二斜面,所述第一斜面和第二斜面分别向斜下方倾斜;从第一斜面开始,依次经过水平面和第二斜面设有连贯的第一横槽、第二横槽和第三横槽,在第一斜面上垂直于第一横槽设有第一竖槽,在第二斜面上垂直于第三横槽设有第三竖槽。
作为对本发明的改进,所述标准块是用金属材料制成的。
作为对本发明的改进,所述金属材料是铁合金、铝合金、铜合金或不锈钢。
设备的标定要达到两个标准,一个是将三个光谱共焦测量仪的光斑调整到同一条直线上,另一个是计算出两侧光谱共焦测头轴线与中间光谱共焦测头轴线之间的夹角;而本发明通过使用所设计的标准块可以简单地将三个光谱共焦测量仪的光斑调整到同一条直线上;利用标准块及本发明提供的标定方法可以简便的计算出两侧光谱共焦测头轴线与中间光谱共焦测头轴线之间的夹角。
附图说明
图1是本发明标定方法的一种实施例的方框结构示意图。
图2是本发明的标定装置的一种实施例的平面结构示意图。
图3是图2的侧面结构示意图。
图4是图2的立体结构示意图。
图5是图2中的标准块的立体结构示意图。
图6是图5的俯视结构示意图。
图7是图5的侧视结构示意图。
图8是本发明一种标定状态结构示意图。
图9是本发明夹角计算的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图对本发明做进一步详细说明。
本领域的技术人员容易理解,以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
请参见图1,图1揭示的是一种非接触式测量中多测头标定方法,适合于具有测量设备、水平旋转装置和机床,且测量设备、水平旋转装置分别设在机床上,测量设备位于水平旋转装置上方的测量装置的多测头标定,包括如下步骤:
S1:将标准块安装在水平旋转装置的工作台上,所述标准块的上底面包括依次连接的第一斜面、水平面和第二斜面,所述第一斜面和第二斜面分别向斜下方倾斜;从第一斜面开始,依次经过水平面和第二斜面设有连贯的第一横槽、第二横槽和第三横槽,在第一斜面上垂直于第一横槽设有第一竖槽,在第二斜面上垂直于第三横槽设有第三竖槽,其中横槽和竖槽的深度固定且已知;
S2:将标准块的横槽的边缘调节至与机床x轴平行;具体方法为(参见图8),机床带动中间光谱共焦测头对标准块进行测量,得到光谱共焦测头工作起点A到标准块表面的距离;将中间光谱共焦测头朝一个方向移动,当中间光谱共焦测头发出的光线射到标准块的第二横槽的内底面时,所获得的数据会发生第一次突变,记录测量值发生突变的位置B;令机床沿x轴水平运动预定距离lBC到位置C,然后控制中间光谱共焦测头沿机床y轴移动,记录测量数据发生第二次突变的位置D,同时记录位置C到位置D之间的距离lCD;通过公式一,即得到将标准块横槽的边沿调节至与机床x轴平行需要调整水平旋转装置的角度值θ,
通过控制水平旋转装置的DD马达,使标准块旋转角度θ,从而使标准块的横槽的边沿与机床x轴平行。
S3:调整中间光谱共焦测头的空间角度,使中间光谱共焦测头的轴线垂直于机床工作台的水平面xoy;具体做法是,调节第二角度调整机构,并且使用调整垫片,使得中间光谱共焦测头的轴线垂直于工作台水平面xoy;调整光谱共焦测头工作原点距标准块表面的距离,保证标准块处在光谱共焦测头的工作范围内。
S4:调整左侧光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的空间角度,使左侧光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的轴线平行于机床工作台前平面或后平面xoz;调整第一角度调整机构,使左侧光谱共焦测头的轴线与中间光谱共焦测头的轴线之间的第一夹角α1在预定范围内;调整第三角度调整机构,使右侧光谱共焦测头的轴线和中间光谱共焦测头的轴线的第二夹α2在预定范围内;调整第一手动角位台和第三手动角位台的旋钮,使左侧光谱共焦测头的轴线和右侧光谱共焦测头的轴线平行于机床工作台前面或后面xoz。
S5:调整中间光谱共焦测头、左侧光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的轴线在同一个平面内;具体做法为,调整左侧光谱共焦测头、中间光谱共焦测头,以及右侧光谱共焦测头与标准块之间的距离,让标准块在左侧光谱共焦测头、中间光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的工作范围内;控制机床主轴带动中间光谱共焦测头沿机床y轴移动,使中间光谱共焦测头的光斑从标准块的第二横槽的一侧向第二横槽内移动,当光斑从标准块的表面投射到第二横槽的底部时,中间光谱共焦测头得到的距离值会发生突变,记录发生数据突变的位置,并将中间光谱共焦测头固定在该位置;使左侧光谱共焦测头的光斑从标准块第一横槽的一侧向第一横槽内移动,记录左侧光谱共焦测头的光斑从标准块表面投射到第一横槽底部时距离发生突变的位置,并将左侧光谱共焦测头固定在该位置;使右侧光谱共焦测头的光斑从标准块第三横槽的一侧向第三横槽内移动,记录右侧光谱共焦测头的光斑从标准块表面投射到第三横槽底部时距离发生突变的位置,并将右侧光谱共焦测头固定在该位置。
S6:计算左侧光谱共焦测头轴线与中间光谱共焦测头轴线之间的第一夹角α1,以及计算右侧光谱共焦测头轴线与中间光谱共焦测头轴线之间的第二夹角α2。具体做法为,控制左侧光谱共焦测头沿机床x轴从第一竖槽的外侧向内侧移动,当左侧光谱共焦测头的光斑从标准块表面投射到第一竖槽底部时,获得的距离值会发生突变,突变前距离值记为d1,突变后距离值记为d2;根据公式二,即可计算得到左侧测头轴线与中间测头轴线之间的第一夹角α1,
则α1=β+γ
利用同样的步骤,计算出第二夹角α2;
上式中,d为标准块的竖槽的边沿距竖槽底面的垂直距离,d1、d2为左侧或右侧光谱共焦测头的光斑分别投射到标准块竖槽边沿和竖槽底部时测得的距离值,γ为标准块上斜面与水平面的夹角(参见图9)。
请参见图2、图3和图4,本发明还提供一种非接触式测量中多测头的标定装置,包括测量设备1、水平旋转装置2、机床(未画出)和标准块3,所述测量设备1和水平旋转装置2分别设在机床上,测量设备1位于水平旋转装置2上方,其中,所述包括测量设备1依次排布在安装架11上的左侧光谱共焦测头12、中间光谱共焦测头13和右侧光谱共焦测头14,所述水平旋转装置2包括工作台21,以及位于工作台21下面的用于带动工作平台移动的电机22,所述电机22设在底座23上,所述标准块3设置在水平旋转装置2的工作台21上,所述标准块3的上底面31包括依次连接的第一斜面311、水平面312和第二斜面313,所述第一斜面311和第二斜面313分别向斜下方倾斜;从第一斜面311开始,依次经过水平面312和第二斜面313设有连贯的第一横槽3111、第二横槽3121和第三横槽3131,在第一斜面311上垂直于第一横槽3111设有第一竖槽3112,在第二斜面313上垂直于第三横槽3131设有第三竖槽3132(参见图6)。由于标准块3中设有连贯的第一横槽3111、第二横槽3121和第三横槽3131,且连贯的第一横槽3111、第二横槽3121和第三横槽3131的边沿在同一平面内,所以,很容易将三个光谱共焦测量仪的光斑调整到同一条直线上;而在第一斜面311上垂直于第一横槽3111设有第一竖槽3112,可以方便地计算出第一夹角α1(参见图9);以及在在第二斜面313上垂直于第三横槽3131设有第三竖槽3132可以方便地计算出第二夹角α2(参见图9)。
优选的,所述左侧光谱共焦测头12包括第一测头121、第一角度调整机构122,所述第一测头121设在所述第一角度调整机构122上,所述第一角度调整机构122设在第一手动角位台123上,所述第一手动角位台123设在第一前后移动装置124上,所述第一前后移动装置124设在第一上下移动装置125上,所述第一上下移动装置125设在第一左右移动装置126上。
优选的,所述中间光谱共焦测头13包括第二测头131、第二角度调整机构132,所述第二测头131设在所述第二角度调整机构132上,所述第二角度调整机构132设在第二左右移动装置133上。
优选的,所述右侧光谱共焦测头14包括第三测头141、第三角度调整机构142,所述第三测头141设在所述第三角度调整机构142上,所述第三角度调整机构142设在第三手动角位台143上,所述第三手动角位台143设在第三前后移动装置144上,所述第三前后移动装置144设在第三上下移动装置145上,所述第三上下移动装置145设在第三左右移动装置146上。
请参见图5、图6和图7,本发明还提供一种标准块3,在标准块3的上底面31包括依次连接的第一斜面311、水平面312和第二斜面313,所述第一斜面311和第二斜面313分别向斜下方倾斜;从第一斜面311开始,依次经过水平面312和第二斜面313设有连贯的第一横槽3111、第二横槽3121和第三横槽3131,在第一斜面311上垂直于第一横槽3111设有第一竖槽3112,在第二斜面313上垂直于第三横槽3131设有第三竖槽3132。
优选的,所述标准块3是用金属材料制成的。
优选的,所述金属材料是铁合金、铝合金、铜合金或不锈钢。
本发明中,横槽(第一横槽、第二横槽和第三横槽)或/和竖槽(第一竖槽、第二竖槽和第三竖槽)可以是U形平底槽,也可以是梯形槽,本发明中,各示图中的横槽和竖槽是以梯形槽为例加以说明的,不难理解,当横槽和竖槽为U形平底槽时,本发明的方法和装置也是适用的。
本领域的技术人员容易理解,以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种非接触式测量中多测头标定方法,适合于具有测量设备、水平旋转装置和机床,且测量设备、水平旋转装置分别设在机床上,测量设备位于水平旋转装置上方的测量装置的多测头标定,其特征在于:包括如下步骤:
S1:将标准块安装在水平旋转装置的工作台上,所述标准块的上底面包括依次连接的第一斜面、水平面和第二斜面,所述第一斜面和第二斜面分别向斜下方倾斜;从第一斜面开始,依次经过水平面和第二斜面设有连贯的第一横槽、第二横槽和第三横槽,在第一斜面上垂直于第一横槽设有第一竖槽,在第二斜面上垂直于第三横槽设有第三竖槽;
S2:将标准块的横槽的边缘调节至与机床x轴平行;
S3:调整中间光谱共焦测头的空间角度,使中间光谱共焦测头的轴线垂直于机床工作台的水平面xoy;
S4:调整左侧光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的空间角度,使左侧光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的轴线平行于机床工作台前平面或后平面xoz;
S5:调整中间光谱共焦测头、左侧光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的轴线在同一个平面内;
S6:计算左侧光谱共焦测头轴线与中间光谱共焦测头轴线之间的第一夹角α1,以及计算右侧光谱共焦测头轴线与中间光谱共焦测头轴线之间的第二夹角α2。
2.根据权利要求1所述的非接触式测量中多测头标定方法,其特征在于:所述将标准块的横槽的边缘调节至与机床x轴平行的步骤为机床带动中间光谱共焦测头对标准块进行测量,得到光谱共焦测头工作起点A到标准块表面的距离;将中间光谱共焦测头朝一个方向移动,当中间光谱共焦测头发出的光线射到标准块的第二横槽的内底面时,所获得的数据会发生第一次突变,记录测量值发生突变的位置B;令机床沿x轴水平运动预定距离lBC到位置C,然后控制中间光谱共焦测头沿机床y轴移动,记录测量数据发生第二次突变的位置D,同时记录位置C到位置D之间的距离lCD;通过公式一,即得到将标准块横槽的边沿调节至与机床x轴平行需要调整水平旋转装置的角度值θ,
通过控制水平旋转装置的DD马达,使标准块旋转角度θ,从而使标准块的横槽的边沿与机床x轴平行。
3.根据权利要求1或2所述的非接触式测量中多测头标定方法,其特征在于:所述调整中间光谱共焦测头、左侧光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的轴线在同一个平面内的步骤为:
调整左侧光谱共焦测头、中间光谱共焦测头,以及右侧光谱共焦测头与标准块之间的距离,让标准块在左侧光谱共焦测头、中间光谱共焦测头和右侧光谱共焦测头的工作范围内;控制机床主轴带动中间光谱共焦测头沿机床y轴移动,使中间光谱共焦测头的光斑从标准块的第二横槽的一侧向第二横槽内移动,当光斑从标准块的表面投射到第二横槽的底部时,中间光谱共焦测头得到的距离值会发生突变,记录发生数据突变的位置,并将中间光谱共焦测头固定在该位置;使左侧光谱共焦测头的光斑从标准块第一横槽的一侧向第一横槽内移动,记录左侧光谱共焦测头的光斑从标准块表面投射到第一横槽底部时距离发生突变的位置,并将左侧光谱共焦测头固定在该位置;使右侧光谱共焦测头的光斑从标准块第三横槽的一侧向第三横槽内移动,记录右侧光谱共焦测头的光斑从标准块表面投射到第三横槽底部时距离发生突变的位置,并将右侧光谱共焦测头固定在该位置。
5.一种非接触式测量中多测头的标定装置,包括测量设备(1)、水平旋转装置(2)和机床,所述测量设备(1)和水平旋转装置(2)分别设在机床上,测量设备(1)位于水平旋转装置(2)上方,其中,所述包括测量设备(1)依次排布在安装架(11)上的左侧光谱共焦测头(12)、中间光谱共焦测头(13)和右侧光谱共焦测头(14),所述水平旋转装置(2)包括工作台(21),以及位于工作台(21)下面的用于带动工作平台移动的电机(22),所述电机(22)设在底座(23)上,其特征在于:还包括标准块(3),所述标准块(3)设置在水平旋转装置(2)的工作台(21)上,所述标准块(3)的上底面(31)包括依次连接的第一斜面(311)、水平面(312)和第二斜面(313),所述第一斜面(311)和第二斜面(313)分别向斜下方倾斜;从第一斜面(311)开始,依次经过水平面(312)和第二斜面(313)设有连贯的第一横槽(3111)、第二横槽(3121)和第三横槽(3131),在第一斜面(311)上垂直于第一横槽(3111)设有第一竖槽(3112),在第二斜面(313) 上垂直于第三横槽(3131)设有第三竖槽(3132)。
6.根据权利要求5所述的非接触式测量中多测头的标定装置,其特征在于:所述左侧光谱共焦测头(12)包括第一测头(121)、第一角度调整机构(122),所述第一测头(121)设在所述第一角度调整机构(122)上,所述第一角度调整机构(122)设在第一手动角位台(123)上,所述第一手动角位台(123)设在第一前后移动装置(124)上,所述第一前后移动装置(124)设在第一上下移动装置(125)上,所述第一上下移动装置(125)设在第一左右移动装置(126)上。
7.根据权利要求5或6所述的非接触式测量中多测头的标定装置,其特征在于:所述右侧光谱共焦测头(14)包括第三测头(141)、第三角度调整机构(142),所述第三测头(141)设在所述第三角度调整机构(142)上,所述第三角度调整机构(142)设在第三手动角位台(143)上,所述第三手动角位台(143)设在第三前后移动装置(144)上,所述第三前后移动装置(144)设在第三上下移动装置(145)上,所述第三上下移动装置(145)设在第三左右移动装置(146)上。
8.一种用于非接触式测量中多测头标定的标准块,其特征在于:在标准块(3)的上底面(31)包括依次连接的第一斜面(311)、水平面(312)和第二斜面(313),所述第一斜面(311)和第二斜面(313)分别向斜下方倾斜;从第一斜面(311)开始,依次经过水平面(312)和第二斜面(313)设有连贯的第一横槽(3111)、第二横槽(3121)和第三横槽(3131),在第一斜面(311)上垂直于第一横槽(3111)设有第一竖槽(3112),在第二斜面(313)上垂直于第三横槽(3131)设有第三竖槽(3132);所述第一横槽、第二横槽和第三横槽是U形平底槽或梯形槽,所述第一竖槽、第二竖槽和第三竖槽是U形平底槽或梯形槽。
9.根据权利要求8所述的用于非接触式测量中多测头标定的标准块,其特征在于:所述标准块(3)是用金属材料制成的。
10.根据权利要求9所述的用于非接触式测量中多测头标定的标准块,其特征在于:所述金属材料是铁合金、铝合金、铜合金或不锈钢。
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