JPH062698U - ウエハ枚葉搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハ搬送作業において作業待ち時間の発生
をなくすとともに、ウエハカセットの汚染を製造装置の
中へ持ち込むことがないウエハ枚葉搬送装置を提供す
る。 【構成】 電源供給用カプラ５ａの電源供給用端子１０
と電源受給用端子９とが接続されると、電磁石１３は磁
石１２を引きつけ、ウエハ固定用ツメ８ａの先端部分が
開きウエハ１が解放される。これにより、ウエハ移動ロ
ボット２ａに対してローディング可能な状態になる。そ
の後、所定の製造工程による処理がなされると、ウエハ
１はリニアモータ台車３に載せられる。そして、ウエハ
搬送装置が移動する直前に電源受給用端子９と電源供給
用端子１０とを切り離すことにより、ウエハ固定用ツメ
８ａがウエハ１を固定する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、半導体デバイス製造システムにおけるウエハ搬送に用いて好適な ウエハ枚葉搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体デバイス製造システムにおけるウエハ搬送作業は、一般的にウエハカセ ットにウエハを収納することによって行われている。すなわち、従来におけるこ のウエハ搬送作業は、ウエハカセットにウエハを数１０枚（一般的には２０〜３ ０枚）入れた後、このウエハカセットを、リニアモータや無人車等で搬送してい た。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上述したように、従来においてはウエハカセットにウエハを数１０枚入れてか ら搬送を行っていたため、製造装置から製造装置の工程間において作業待ち時間 が発生し、ウエハに酸化膜成長や塵埃が付着する機会が多くなるという欠点があ った。また、ウエハカセットが汚染していた場合、それが製造装置の中の工程内 に持ち込まれる畏れがあるという問題点があった。 本考案は、このような事情に鑑みてなされたものであり、作業待ち時間の発生 をなくすとともに、ウエハカセットの汚染を製造装置の中へ持ち込むことがない ウエハ枚葉搬送装置を提供することを目的としている。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するために、所定の軌道を走行する走行手段と、前記走行手段 が所定のウエハ移載位置に完全に停止している場合に検出信号を出力する検出手 段と、前記走行手段上に設けられるとともに、前記検出手段が検出信号を出力し ているときは半導体ウエハを離脱可能に支持し、前記検出手段が検出信号を出力 していないときは前記半導体ウエハを離脱不能に支持するウエハ支持部とを具備 することを特徴とする。

【０００５】

【作用】

検出手段は、走行手段が所定のウエハ移載位置に完全に停止している場合に検 出信号を出力する。ウエハ支持部は、前記走行手段上に設けられるとともに、前 記検出手段が検出信号を出力しているときは半導体ウエハを離脱可能に支持し、 前記検出手段が検出信号を出力していないときは前記半導体ウエハを離脱不能に 支持する。

【０００６】

【実施例】

次に、この考案の実施例について図１〜図５を参照して説明する。

【０００７】 §１−１．第１の実施例の構成 図１は、この考案の第１の実施例の全体構成を示す斜視図である。この図にお いて、１はウエハであり、周知のようにシリコンロッドを輪切りにし研磨した円 板状のものである。２ａおよび２ｂは、それぞれ、装置Ａおよび装置Ｂに備え付 けられたウエハ移載ロボットであり、リニアモータ台車３に備えられているウエ ハ台７との間でウエハ１の移載を行う。

【０００８】 ４はリニアモータレールであり、リニアモータ台車３の移動路である。リニア モータ台車３はこのリニアモータレール４の上を図中矢印で示した方向に自由自 在に移動する。５ａおよび５ｂは電源供給用カプラであり、リニアモータ台車３ に対して電気的なエネルギーを供給するためのものである。

【０００９】 ここで、同図に示すリニアモータ台車３の拡大図を図２に示す。 この図において、７はウエハ置台でありウエハ１の下面外縁部を支持する台で ある。８ａはウエハ固定用ツメである。このウエハ固定用ツメ８ａはウエハ置台 ７上のウエハ１を固定するためのツメである。９は電源供給用端子１０を接続可 能な電源受給用端子である。

【００１０】 次に、図３に示すリニアモータ台車３の断面図を参照して、リニアモータ台車 ３の内部構成について説明する。 １３は電磁石であり、電源受給用端子９から電流が供給されると磁石１２と引 き合うようになっている。１５ａおよび１５ｂはバネであり、そのバネ定数は電 源受給用端子９から電流が供給されない場合にはウエハ固定用ツメ８ａがウエハ １を固定する程度に設定されている。逆に、電源受給用端子９から電流が供給さ れる場合には、磁石１２と電磁石１３の引き合う力によってウエハ固定用ツメ８ ａがウエハ１を解放する程度に設定される。１１は台車停止検出センサであり、 リニアモータ台車３が所定位置に完全に停止している間検出信号を出力する。

【００１１】 §１−２．第１の実施例の動作 次に、上記構成によるこの実施例の動作について、図１に示すリニアモータ台 車３が図示の位置から矢印ＶＴＲ３ａに示す方向に移動する場合を例にとって説 明する。この場合、リニアモータ台車３が矢印ＶＴＲ３ａに沿って走行している ときは図３に示すように、バネ１５ａのバネ力によりウエハ固定用ツメ８ａがウ エハ１を挟持する。

【００１２】 次に、リニアモータ台車３が装置Ａに移動し所定位置に停止すると、これが台 車停止検出センサ１１によって検出される。すると、電源供給用カプラ５ａの電 源供給用端子１０と電源受給用端子９とが連結される。これにより電磁石１３に 電流が供給されるため、電磁石１３は磁界を発生し磁石１２を引きつける。そし て、ウエハ固定用ツメ８ａは、矢印ＶＴＲ１ｂおよび矢印ＶＴＲ２ｂの方向にそ れぞれ支点Ｏ１および支点Ｏ２を中心にして回動する。この結果、ウエハ固定用 ツメ８ａの先端部分が開き、ウエハ１が解放される。

【００１３】 これにより、ウエハ１はウエハ置台７に単に載せられた状態になるため、ウエ ハ移載ロボット２ａに対してローディング可能な状態になる。そして、ウエハ１ がウエハ移載ロボット２ａによって装置Ａに移載される。そして所定の処理がな された後、再び、ウエハ移載ロボット２ａを介してリニアモータ台車３に載せら れる。そしてリニアモータ台車３を移動させる直前に、電源供給用端子９と電源 受給用端子１０とを切り離すことにより、ウエハ固定用ツメ８ａがウエハ１を固 定する。そして、リニアモータ台車３は、次の製造工程に向かって移動する。

【００１４】 §２−１．第２の実施例の構成 次に、この考案の第２の実施例について、図４に示す斜視図を参照し説明する 。なお、第１の実施例と同様な構成については同一符号を付し、説明を省略する 。

【００１５】 ８ｂはウエハ固定用ツメであり、凹部１６によってウエハを固定するものであ る。１３は電磁石であり、電源受給用端子９から電流が供給されると磁石１２と 引き合うようになっている。１５ｃはバネであり、そのバネ定数は電源受給用端 子９から電流が供給されない場合にはウエハ置台７と磁石貼付台１４とが支点Ｏ ３を中心にしてＶＴＲ４ａの方向に傾斜する程度に設定されている。逆に、電源 受給用端子９から電流が供給される場合には、磁石１２と電磁石１３の引き合う 力によってウエハ置台７が水平になる程度に設定されている。

【００１６】 §２−２．第２の実施例の動作 次に、この実施例の動作について説明する。リニアモータ台車３が矢印ＶＴＲ ３ａに沿って走行しているときは、図４に示すように、バネ１５ｃによるバネ力 によりウエハ置台７が傾斜する。その結果、ウエハ固定用ツメ８ｂに設けられた 凹部１６が重力によりウエハ１を固定した状態に保つ。

【００１７】 次に、リニアモータ台車３が装置Ａに移動したことが台車停止検出センサ１１ によって検出される。すると、電源供給用カプラ５ａの電源供給用端子１０と電 源受給用端子９とが連結される。これにより電磁石１３に電流が供給されるため 、電磁石１３は磁界を発生し、磁石１２を引きつける。ウエハ固定用ツメ８ｂは 、矢印ＶＴＲ４ｂの方向に支点Ｏ３を中心として回動する。この結果、ウエハ置 台７が上述した傾斜状態から水平状態になる。

【００１８】 これにより、ウエハ１はウエハ置台７から水平方向に対して移載可能状態にな る。すなわち、ウエハ移載ロボット２ａに対してローディング可能な状態になる 。そして、ウエハ１がウエハ移載ロボット２ａによって装置Ａに移載される。そ して所定の処理がなされた後、ウエハは再びウエハ移載ロボット２ａを介して装 置Ａからリニアモータ台車３の凹部１６にはめ込まれる。そしてリニアモータ台 車３の移動直前に、電源受給用端子９と電源供給用端子１０とを切り離すことに より、ウエハ置台７が傾斜し、ウエハ固定用ツメ８ｂの凹部１６がウエハ１を重 力により固定する。そして、リニアモータ台車３は、次の製造工程に向かって移 動する。

【００１９】 なお、ウエハ１のローディング作業については、リニアモータ台車３の電源が ＯＦＦであり、かつ、電源受給用端子９からエネルギーが供給されている状態を 判断することによって行っても良い。

【００２０】 §３−１．第３の実施例の構成 次に、第３の実施例について説明する。図５は第３の実施例の構成を示す断面 図である。この図において、１７ａ，１７ｂは電極であり、それぞれの表面は高 絶縁性材１７ｃ，１７ｄでコーティングされている。ウエハ１は、これら電極１ ７ａ，１７ｂの上に載置される。また、１８は高絶縁性材から成る絶縁台である 。電極１７ａ，１７ｂは、この絶縁台１８を介してリニアモータ台車３の上に固 定されている。これにより、電極１７ａ，１７ｂは、互いに電気的に絶縁されて いる。

【００２１】 また、電極１７ａ，１７ｂは、それぞれリード線２１を介して電源受給用端子 ９に接続されており、この電源受給用端子９に電源供給用端子１０（図示略）が 接続されることにより、導通されるようになっている。

【００２２】 §３−２．第３の実施例の動作 次に、この実施例の動作について、図５に示すリニアモータ台車３が図１に示 した装置Ｂの位置から装置Ａの位置へ矢印ＶＴＲ３ａに沿って移動する場合を例 として説明する。まず、ウエハ１を載置したリニアモータ台車３が装置Ｂの位置 から走行を開始する直前に、電源受給用端子９と電源供給用端子１０（図示略） とが接続され、電極１７ａ，１７ｂ間に直流電圧が印加される。これにより、ウ エハ１は静電気力によって電極１７ａ，１７ｂに吸引され、固定される。

【００２３】 そして、電源受給用端子９と電源供給用端子１０（図示略）との接続が切り離 された後、リニアモータ台車３は、矢印ＶＴＲ３ａに沿って走行を開始する。こ の場合、走行中においては、電極１７ａ，１７ｂが互いに電気的に絶縁されてい るため、ウエハ１は残留した静電気によって吸引され続け、電極１７ａ，１７ｂ 上で固定された状態となる。

【００２４】 次に、リニアモータ台車３が装置Ａの位置に移動して停止すると、これが台車 停止検出センサ１１（図３参照）によって検出される。これにより、電源受給用 端子９と図示しない短絡用端子とが接続され、電極１７ａ，１７ｂがショートさ れる。この結果、ウエハ１に対する静電気力が消滅し、ウエハ１は単に電極１７ ａ，１７ｂ上に載せられた状態になる。そして、ウエハ１がウエハ移載ロボット ２ａによって装置Ａに移載され、所定の処理が施される。こうして、再びウエハ 移載ロボット２ａによってウエハ１がリニアモータ台車３に載せられると、再び 電源供給用端子１０により電極１７ａ，１７ｂ間に直流電圧が印加され、ウエハ １が静電気力によって固定される。 なお、この実施例では、電極１７ａ，１７ｂを電源供給用端子１０と異なる短 絡用端子によってショートさせるようにしたが、電源供給用端子１０が電極１７ ａ，１７ｂ間の直流電圧の印加と短絡とを兼ねるよう構成しても良い。

【００２５】 §４．実施例効果 既述した第１〜第３の実施例においては、走行中、ウエハ１の固定にエネルギ ーの供給を必要としないため、ウエハ枚葉搬送装置の小型軽量化および搬送速度 の高速化が可能になる。また、ウエハ１は、台車３上のウエハ固定用ツメ８ａ， ８ｂあるいは電極１７ａ，１７ｂによって、少ない接触面積で一枚毎に固定され るため、塵埃等の付着率が低下する。

【００２６】

【考案の効果】

以上説明したように、この考案によれば、ウエハカセットを使用せず、一枚毎 にウエハを移動可能なため、従来のような作業待ち時間の発生をなくすことがで き、ウエハカセットの汚染が製造装置の中に持ち込まれることがない。 また、走行中、ウエハの固定にエネルギーの供給を必要としないため、ウエハ 枚葉搬送装置の小型軽量化および搬送速度の高速化が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例の全体構成を示す斜視図であ
る。

【図２】本考案の第１の実施例の構成を示す拡大図であ
る。

【図３】本考案の第１の実施例の構成を示す断面図であ
る。

【図４】本考案の第２の実施例の構成を示す斜視図であ
る。

【図５】本考案の第３の実施例の構成を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

３ リニアモータ台車（走行手段） ５ａ，５ｂ 電源供給用カプラ ７ ウエハ置台（ウエハ支持部） ８ａ，８ｂ ウエハ固定用ツメ（ウエハ支持部） ９ 電源受給用端子 １０ 電源供給用端子 １２ 磁石 １３ 電磁石 １４ 磁石貼付台（ウエハ支持部） １５ａ，１５ｂ，１５ｃ バネ（ウエハ支持部） １７ａ，１７ｂ 電極（ウエハ支持部） １８ 絶縁台（ウエハ支持部） ２１ リード線

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ６５Ｇ 43/08 Ｚ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の軌道を走行する走行手段と、 前記走行手段が所定のウエハ移載位置に完全に停止して
   いる場合に検出信号を出力する検出手段と、 前記走行手段上に設けられるとともに、前記検出手段が
   検出信号を出力しているときは半導体ウエハを離脱可能
   に支持し、前記検出手段が検出信号を出力していないと
   きは前記半導体ウエハを離脱不能に支持するウエハ支持
   部とを具備することを特徴とするウエハ枚葉搬送装置。