JPH06268014A - テープキャリア型半導体装置および、その構成方法 - Google Patents
テープキャリア型半導体装置および、その構成方法Info
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- JPH06268014A JPH06268014A JP5053963A JP5396393A JPH06268014A JP H06268014 A JPH06268014 A JP H06268014A JP 5053963 A JP5053963 A JP 5053963A JP 5396393 A JP5396393 A JP 5396393A JP H06268014 A JPH06268014 A JP H06268014A
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- lsi
- tape carrier
- electrode
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/50—Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 LSIの中心部分に電極が配置されているL
OC(リード・オン・チップ)型LSIをテープキャリ
ア型半導体として構成する技術を提供する。 【構成】 テープキャリアの両面に配線が形成されてい
る場合は、テープキャリア上面の配線をクランク型に成
型加工して、キャリア両面の配線先端の電極部分(LS
Iの電極に接続される個所)の高さを揃える。テープキ
ャリアの片面のみに配線が形成されている場合は、配線
先端部をテープの反対面側に折り返してソルダーレジス
トで電気絶縁を施す。
OC(リード・オン・チップ)型LSIをテープキャリ
ア型半導体として構成する技術を提供する。 【構成】 テープキャリアの両面に配線が形成されてい
る場合は、テープキャリア上面の配線をクランク型に成
型加工して、キャリア両面の配線先端の電極部分(LS
Iの電極に接続される個所)の高さを揃える。テープキ
ャリアの片面のみに配線が形成されている場合は、配線
先端部をテープの反対面側に折り返してソルダーレジス
トで電気絶縁を施す。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はテープキャリア型半導体
に係り、特にLSI上の電極をLSI表面の中心部分に
集めることによりパターン設計の簡略化を図るとともに
グランド電極をLSI上に横たわる位置で配置して耐ノ
イズ性向上を図ったLOC型半導体装置テープキャリア
型半導体装置として構成する技術に関するものである。
に係り、特にLSI上の電極をLSI表面の中心部分に
集めることによりパターン設計の簡略化を図るとともに
グランド電極をLSI上に横たわる位置で配置して耐ノ
イズ性向上を図ったLOC型半導体装置テープキャリア
型半導体装置として構成する技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】グランド電極をLSIパターン上に配置
し、その他の電極もLSI表面の中心部分に集めた構造
のLOC型半導体装置をワイヤボンディングによりリー
ドフレームに接続し、エポキシ系のレジンによりモール
ドする構造のプラスチックパッケージは既に存在する。
しかしこの種のLOC型LSIをテープキャリア型半導
体としたものは無い。またLOC型LSIを用いて少な
くとも2個以上のLSIを内蔵するプラスチックパッケ
ージとしたものも無い。
し、その他の電極もLSI表面の中心部分に集めた構造
のLOC型半導体装置をワイヤボンディングによりリー
ドフレームに接続し、エポキシ系のレジンによりモール
ドする構造のプラスチックパッケージは既に存在する。
しかしこの種のLOC型LSIをテープキャリア型半導
体としたものは無い。またLOC型LSIを用いて少な
くとも2個以上のLSIを内蔵するプラスチックパッケ
ージとしたものも無い。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】LSIの設計に際して
は特にその電極配置が該LSIの面積を決める大きい要
因となりプラスチックパッケージ・テープキャリアとし
て基板上に実装する際の占有面積が大きく影響される。
近年LSI上の電極をLSI表面の中心部分にあつめた
LOC型半導体装置が開発された。このLOC型半導体
装置は、グランド電極をLSIパターン上に配置してL
SIのパターン設計の簡略化と合わせてノイズの低減を
図り、リードフレームとの電気的接続時ワイヤボンディ
ングされるリードフレームとLSIとの両者の電極をL
SI面中央部に配置することで、プラスチックパッケー
ジの外形を縮小可能とする工夫が為されている。しかし
このLOC型LSIのグランド電極が接続されるリード
フレーム上の配線が、他の配線と立体的に交差する為、
ワイヤボンディングによるジャンパー配線は行えていた
ものの、2次元的な配線となるテープキャリア型半導体
とすることが難しかった。1個のパッケージ中に少なく
とも2個以上のLSIを内蔵するプラスチックパッケー
ジ型半導体装置を構成しようとした場合には、リードフ
レームとワイヤボンディングによる方法では、LOC型
LSI上電極の配置と形状により容易には構成すること
ができなかった。
は特にその電極配置が該LSIの面積を決める大きい要
因となりプラスチックパッケージ・テープキャリアとし
て基板上に実装する際の占有面積が大きく影響される。
近年LSI上の電極をLSI表面の中心部分にあつめた
LOC型半導体装置が開発された。このLOC型半導体
装置は、グランド電極をLSIパターン上に配置してL
SIのパターン設計の簡略化と合わせてノイズの低減を
図り、リードフレームとの電気的接続時ワイヤボンディ
ングされるリードフレームとLSIとの両者の電極をL
SI面中央部に配置することで、プラスチックパッケー
ジの外形を縮小可能とする工夫が為されている。しかし
このLOC型LSIのグランド電極が接続されるリード
フレーム上の配線が、他の配線と立体的に交差する為、
ワイヤボンディングによるジャンパー配線は行えていた
ものの、2次元的な配線となるテープキャリア型半導体
とすることが難しかった。1個のパッケージ中に少なく
とも2個以上のLSIを内蔵するプラスチックパッケー
ジ型半導体装置を構成しようとした場合には、リードフ
レームとワイヤボンディングによる方法では、LOC型
LSI上電極の配置と形状により容易には構成すること
ができなかった。
【0004】本発明は上述の事情に鑑みて為されたもの
であって、LOC型LSIを低コストでテープキャリア
型半導体に構成し得る技術を提供することを目的とす
る。
であって、LOC型LSIを低コストでテープキャリア
型半導体に構成し得る技術を提供することを目的とす
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明は、両面に金属箔(例えば銅箔)による配線を
形成したテープキャリアを用いる場合にはLSI上の電
極と接続されるテープキャリア上の電極部分とに成型加
工を施し、テープキャリアの厚さ方向で他面の配線パタ
ーンの存在する側の位置と同じ高さとする。
め本発明は、両面に金属箔(例えば銅箔)による配線を
形成したテープキャリアを用いる場合にはLSI上の電
極と接続されるテープキャリア上の電極部分とに成型加
工を施し、テープキャリアの厚さ方向で他面の配線パタ
ーンの存在する側の位置と同じ高さとする。
【0006】片面にのみ金属箔による配線パターンを形
成したテープキャリアを利用する場合には、LSI上の
グランド電極と接続される配線をその他の電極を取り囲
む位置で形成し、それにこれらの配線の端部に折り返し
加工を施す。この時その他の電極との電気的絶縁を保つ
ため、電極の折り返し部分が接触するテープキャリアの
配線位置にソルダーレジストを塗布するか、もしくは折
り返すとき配線の存在しない反対面側に折り返しを行
い、テープキャリアを間に挾む。LSI上グランド電極
と接続される配線を実装時の基板等との接続で用いる外
部電極の外周に設け、中心に向かって折り返すことも考
えられる。LSI上グランド電極と接続される配線を実
装時の基板等との接続で用いる外部電極の外周に設ける
場合には、テープキャリアごと折り返すこともできる。
成したテープキャリアを利用する場合には、LSI上の
グランド電極と接続される配線をその他の電極を取り囲
む位置で形成し、それにこれらの配線の端部に折り返し
加工を施す。この時その他の電極との電気的絶縁を保つ
ため、電極の折り返し部分が接触するテープキャリアの
配線位置にソルダーレジストを塗布するか、もしくは折
り返すとき配線の存在しない反対面側に折り返しを行
い、テープキャリアを間に挾む。LSI上グランド電極
と接続される配線を実装時の基板等との接続で用いる外
部電極の外周に設け、中心に向かって折り返すことも考
えられる。LSI上グランド電極と接続される配線を実
装時の基板等との接続で用いる外部電極の外周に設ける
場合には、テープキャリアごと折り返すこともできる。
【0007】テープキャリア型半導体装置とリードフレ
ームを利用して少なくとも2個以上のLSIを内蔵する
プラスチックパッケージを構成する場合には、テープキ
ャリア半導体と接続される部分のリードフレームを折り
返して、該部の厚さを他の部分の2倍とするか、テープ
キャリアの電極をガルウイング上に成型加工する。
ームを利用して少なくとも2個以上のLSIを内蔵する
プラスチックパッケージを構成する場合には、テープキ
ャリア半導体と接続される部分のリードフレームを折り
返して、該部の厚さを他の部分の2倍とするか、テープ
キャリアの電極をガルウイング上に成型加工する。
【0008】
【作用】両面に銅箔による電極を設けたテープキャリア
を用いる場合にはLSI上の電極と接続されるテープキ
ャリア上の電極部分に成型加工を施し、テープキャリア
の厚さ方向で他方の配線パターンの存在する側の位置と
同じ高さとすることにより、LSI上のパターンの存在
する位置に来るグランド層電極の絶縁と、LSIとテー
プキャリアとの電気的な接続を可能とする。片側に銅箔
による配線パターンを形成するテープキャリアを利用す
る場合には、グランド電極となる銅箔パターンをその他
の電極を取り囲む位置で形成し、それを折り返し加工を
施す。この時テープキャリアに対するスルーホールの加
工は不要となるため大きな生産コストの低減を図り得
る。
を用いる場合にはLSI上の電極と接続されるテープキ
ャリア上の電極部分に成型加工を施し、テープキャリア
の厚さ方向で他方の配線パターンの存在する側の位置と
同じ高さとすることにより、LSI上のパターンの存在
する位置に来るグランド層電極の絶縁と、LSIとテー
プキャリアとの電気的な接続を可能とする。片側に銅箔
による配線パターンを形成するテープキャリアを利用す
る場合には、グランド電極となる銅箔パターンをその他
の電極を取り囲む位置で形成し、それを折り返し加工を
施す。この時テープキャリアに対するスルーホールの加
工は不要となるため大きな生産コストの低減を図り得
る。
【0009】前記の手段によると、グランド電極をLS
I上に複数設けることが可能となるため、耐ノイズ性の
向上、誤動作の防止をはかることも可能となる。
I上に複数設けることが可能となるため、耐ノイズ性の
向上、誤動作の防止をはかることも可能となる。
【0010】テープキャリア半導体と接続される部分を
折り返し、該折り返し部の厚さを他の部分の2倍とした
リードフレームを利用して、もしくはテープキャリア上
の電極をガルウイング状に成型することにより同じパタ
ーンのLSIを使った場合でも少なくとも2個以上のL
SIを内蔵するプラスチックパッケージを構成すること
が容易にできる。
折り返し、該折り返し部の厚さを他の部分の2倍とした
リードフレームを利用して、もしくはテープキャリア上
の電極をガルウイング状に成型することにより同じパタ
ーンのLSIを使った場合でも少なくとも2個以上のL
SIを内蔵するプラスチックパッケージを構成すること
が容易にできる。
【0011】テープキャリア型半導体装置の形状のまま
であっても、LSI上の電極と、テープキャリア上の電
極の接続部分にポッティングレジン等による保護を行え
ば、薄型のパッケージとして回路基板に実装可能とな
る。
であっても、LSI上の電極と、テープキャリア上の電
極の接続部分にポッティングレジン等による保護を行え
ば、薄型のパッケージとして回路基板に実装可能とな
る。
【0012】
【実施例】次に、図1〜図5を参照しつつ第1の実施例
について説明する。本例は、テープキャリアにおいて両
表面に銅箔を設け、これをエッチング加工して成る配線
パターンを設けたものを用いる。この時搭載される、L
SI表面と接触する面には、図2のようにLSI上のグ
ランド電極と接続される配線1のみを配置しておく。上
記グランド(Vcc)電極と接続される配線上からは、
LSI上のグランド電極の位置に合わせて、接続部分と
なる部分を引き出しておく。グランド電極と接続される
部分以外の銅箔配線2を図1の様に下向きのクランク型
に成型加工し、グランド電極と接続される電極部分に比
して、テープキャリア3の厚さ方向について同じ高さに
する。また、テープキャリア3上の配線で外部と接続さ
れる電極になる部分は、LSI表面に接触するものに対
して、テープキャリア型半導体として個片に打ち抜き加
工を施した後、図3に示すように、テープキャリアの厚
さ方向で、他の面に存在する同様の電極と同じ高さとな
るよう上向きクランク型に成型加工を施す。この時の曲
げ量は、テープの厚さにより変化する。とくに外部電極
となる配線部分では、テープキャリアの厚さが薄い場合
には成型加工を行わなくても接続可能な場合が有る。こ
の成型加工を電極部分に施す構造によれば、テープキャ
リアの両面間での電気的導電をとる目的のスルーホール
を設ける必要が無くなる為、大幅な製造コストの低減が
図れる。
について説明する。本例は、テープキャリアにおいて両
表面に銅箔を設け、これをエッチング加工して成る配線
パターンを設けたものを用いる。この時搭載される、L
SI表面と接触する面には、図2のようにLSI上のグ
ランド電極と接続される配線1のみを配置しておく。上
記グランド(Vcc)電極と接続される配線上からは、
LSI上のグランド電極の位置に合わせて、接続部分と
なる部分を引き出しておく。グランド電極と接続される
部分以外の銅箔配線2を図1の様に下向きのクランク型
に成型加工し、グランド電極と接続される電極部分に比
して、テープキャリア3の厚さ方向について同じ高さに
する。また、テープキャリア3上の配線で外部と接続さ
れる電極になる部分は、LSI表面に接触するものに対
して、テープキャリア型半導体として個片に打ち抜き加
工を施した後、図3に示すように、テープキャリアの厚
さ方向で、他の面に存在する同様の電極と同じ高さとな
るよう上向きクランク型に成型加工を施す。この時の曲
げ量は、テープの厚さにより変化する。とくに外部電極
となる配線部分では、テープキャリアの厚さが薄い場合
には成型加工を行わなくても接続可能な場合が有る。こ
の成型加工を電極部分に施す構造によれば、テープキャ
リアの両面間での電気的導電をとる目的のスルーホール
を設ける必要が無くなる為、大幅な製造コストの低減が
図れる。
【0013】テープキャリアとLSIとの接続では、グ
ランド電極と接続される配線の絶縁をテープキャリアと
同じ材質のテープもしくはLSI上に塗布されたPIQ
の様な有機皮膜で行いながら、LSIの電極上に設けら
れたAuめっきまたはボールボンディング法により設け
られたAuの突起状電極と、テープキャリアのLSI上
電極と接続される電極部分に施されたAuめっきを用い
た熱圧着等を用いる。熱圧着ではテープキャリアの銅箔
とLSI上の突起状電極とが変形する程度の荷重を加え
る。加熱ツールはすべての電極が一度に熱圧着できるだ
けの幅を持つものとする。テープキャリアの打ち抜き孔
の形状は、加熱ツールとテープキャリアの距離が十分に
とれる形状としておく。LSIとグランド電極と接続さ
れる配線の絶縁にテープを使用する場合にはその厚さ分
の電極部の成型加工が必要になる。
ランド電極と接続される配線の絶縁をテープキャリアと
同じ材質のテープもしくはLSI上に塗布されたPIQ
の様な有機皮膜で行いながら、LSIの電極上に設けら
れたAuめっきまたはボールボンディング法により設け
られたAuの突起状電極と、テープキャリアのLSI上
電極と接続される電極部分に施されたAuめっきを用い
た熱圧着等を用いる。熱圧着ではテープキャリアの銅箔
とLSI上の突起状電極とが変形する程度の荷重を加え
る。加熱ツールはすべての電極が一度に熱圧着できるだ
けの幅を持つものとする。テープキャリアの打ち抜き孔
の形状は、加熱ツールとテープキャリアの距離が十分に
とれる形状としておく。LSIとグランド電極と接続さ
れる配線の絶縁にテープを使用する場合にはその厚さ分
の電極部の成型加工が必要になる。
【0014】LSIの位置は、グランド電極と接続され
る配線が存在する方向からテープキャリアに接続される
ように設定する。
る配線が存在する方向からテープキャリアに接続される
ように設定する。
【0015】本実施例おける、テープキャリアの材料と
して、宇部興産株式会社製のユーピレックスもしくはデ
ュポン社製のカプトン(Kapton)(いずれも商標
名)が好適である。
して、宇部興産株式会社製のユーピレックスもしくはデ
ュポン社製のカプトン(Kapton)(いずれも商標
名)が好適である。
【0016】LSIとテープキャリアとの接続後は、図
4のように電極の接続部分には、熱硬化性のポッティン
グレジン12を塗布し、対湿性の向上及び機械的な補強
を行う。このときテープキャリア上にポッティングにレ
ジン12との密着性を向上させる目的で、図5の様な孔
6の加工を施しておくことも考えられる。
4のように電極の接続部分には、熱硬化性のポッティン
グレジン12を塗布し、対湿性の向上及び機械的な補強
を行う。このときテープキャリア上にポッティングにレ
ジン12との密着性を向上させる目的で、図5の様な孔
6の加工を施しておくことも考えられる。
【0017】LSIとテープキャリアとを、電気的に接
続するまでの工程は、すべてリール状態で作業を行うこ
とができる。
続するまでの工程は、すべてリール状態で作業を行うこ
とができる。
【0018】次に、図6〜図8を参照しつつ第2の実施
例について説明する。図6の様なパターンで、LSIと
接続される電極となる配線部分、特にLSI上に複数個
存在するグランド(Vcc)電極と接続される電極部分
を連結した配線部分が、テープキャリア3から宙吊りの
状態で、その他の電極を取り囲む形状となる様に配線し
ておく。配線はテープキャリアの片面にのみ、0.03
5mm程度の銅箔層を設けた後エッチング等で形成する。
このグランド端子と接続される電極部分を連結した配線
部分をLSIの中心側から外に向かって180°折り返
す。折り返す方向は、テープキャリア上の配線が存在す
る面の方向とする。折り目の位置はテープキャリアから
僅かに離れた図7の様な位置とすることで、テープキャ
リアからの銅箔配線の剥離を防止することが可能とな
る。折り返すことでその他の配線と接触する部分では、
折り返される部分が接触するテープキャリア上の電極に
ソルダーレジスト7を塗布しておきこれにより電気的な
絶縁を行う。
例について説明する。図6の様なパターンで、LSIと
接続される電極となる配線部分、特にLSI上に複数個
存在するグランド(Vcc)電極と接続される電極部分
を連結した配線部分が、テープキャリア3から宙吊りの
状態で、その他の電極を取り囲む形状となる様に配線し
ておく。配線はテープキャリアの片面にのみ、0.03
5mm程度の銅箔層を設けた後エッチング等で形成する。
このグランド端子と接続される電極部分を連結した配線
部分をLSIの中心側から外に向かって180°折り返
す。折り返す方向は、テープキャリア上の配線が存在す
る面の方向とする。折り目の位置はテープキャリアから
僅かに離れた図7の様な位置とすることで、テープキャ
リアからの銅箔配線の剥離を防止することが可能とな
る。折り返すことでその他の配線と接触する部分では、
折り返される部分が接触するテープキャリア上の電極に
ソルダーレジスト7を塗布しておきこれにより電気的な
絶縁を行う。
【0019】LSIとテープキャリアの接続ではLSI
上に施したAuめっきまたはAu細線のボールボンディ
ングによる突起状電極とテープキャリア上の電極の熱圧
着により接続を行う。折り返される位置に有するLSI
電極と接続される部分の長さをある程度の範囲を持って
設けておくことで、LSIとテープキャリアの熱圧着を
行う際に、折り返しの無い部分の電極の高さとの食い違
いを吸収できる。この時LSIは折り返した配線部の存
在する面の方から接続される。LSI上のパターンと電
気的な絶縁を行う目的で、LSIとテープキャリア上の
間に図8のように新たにテープキャリアと同様の材料で
出来たテープキャリア3´を接着するか、もしくはLS
I表面にPIQの様な有機皮膜を塗布しておく。但しテ
ープ接着により絶縁を施すと、LSI上の電極位置が僅
かに下に下がるので、それに合わせたテープキャリア上
電極の成型加工が必要になる。
上に施したAuめっきまたはAu細線のボールボンディ
ングによる突起状電極とテープキャリア上の電極の熱圧
着により接続を行う。折り返される位置に有するLSI
電極と接続される部分の長さをある程度の範囲を持って
設けておくことで、LSIとテープキャリアの熱圧着を
行う際に、折り返しの無い部分の電極の高さとの食い違
いを吸収できる。この時LSIは折り返した配線部の存
在する面の方から接続される。LSI上のパターンと電
気的な絶縁を行う目的で、LSIとテープキャリア上の
間に図8のように新たにテープキャリアと同様の材料で
出来たテープキャリア3´を接着するか、もしくはLS
I表面にPIQの様な有機皮膜を塗布しておく。但しテ
ープ接着により絶縁を施すと、LSI上の電極位置が僅
かに下に下がるので、それに合わせたテープキャリア上
電極の成型加工が必要になる。
【0020】LSIとテープキャリアとを接続した後
は、電極の接続部に、図4について先に説明したのと同
様にして、熱硬化性のレジンをポッティングもしくはモ
ールドし、対湿性の強化及び機械的な補強を行う。
は、電極の接続部に、図4について先に説明したのと同
様にして、熱硬化性のレジンをポッティングもしくはモ
ールドし、対湿性の強化及び機械的な補強を行う。
【0021】次に、第3の実施例について説明する。配
線パターンは第2の実施例に示したものと同様とする。
但しこの時テープキャリアを180°折り返す方向をテ
ープキャリア上の配線の存在しない方向とする。これに
よりテープキャリアの材料がグランド層と接続される電
極以外との間に挟まれる形状となり、電気的な絶縁を保
つことができる。折り返しの際の折り目はテープキャリ
アの縁からある程度の距離をおいておき、折り返しによ
ってテープキャリアから剥離が起きない状態にしてお
く。配線パターンについては図6に示した第2の実施例
の配線パターンと同様である。
線パターンは第2の実施例に示したものと同様とする。
但しこの時テープキャリアを180°折り返す方向をテ
ープキャリア上の配線の存在しない方向とする。これに
よりテープキャリアの材料がグランド層と接続される電
極以外との間に挟まれる形状となり、電気的な絶縁を保
つことができる。折り返しの際の折り目はテープキャリ
アの縁からある程度の距離をおいておき、折り返しによ
ってテープキャリアから剥離が起きない状態にしてお
く。配線パターンについては図6に示した第2の実施例
の配線パターンと同様である。
【0022】LSIは折り曲げたグランド層と接続され
る配線層の存在する方向から接続されるものとし、この
ときグランド層と接続される電極以外はテープキャリア
の厚さ方向で僅かに下向きにクランク型の成型加工を施
しておく。またLSI上の配線パターンとの電気的絶縁
を行うのであれば、テープキャリアと同様の材料のテー
プを用いて、折り返した配線部をカバーする程度に貼付
ることも考えられる。このときテープキャリア上の配線
はテープの厚さ分だけ僅かに下方へクランク型をなすよ
うに加工を施す。LSI表面がPIQの様な有機皮膜を
塗布されているのであれば、特に電気的絶縁材料を接着
する必要は無い。
る配線層の存在する方向から接続されるものとし、この
ときグランド層と接続される電極以外はテープキャリア
の厚さ方向で僅かに下向きにクランク型の成型加工を施
しておく。またLSI上の配線パターンとの電気的絶縁
を行うのであれば、テープキャリアと同様の材料のテー
プを用いて、折り返した配線部をカバーする程度に貼付
ることも考えられる。このときテープキャリア上の配線
はテープの厚さ分だけ僅かに下方へクランク型をなすよ
うに加工を施す。LSI表面がPIQの様な有機皮膜を
塗布されているのであれば、特に電気的絶縁材料を接着
する必要は無い。
【0023】電極の保護と、耐湿性の向上とを目的とし
てポッティングレジンを塗布することも考えられる。テ
ープキャリア上の電極とLSI上のパターンとの電気的
絶縁を目的とするテープでLSIとテープキャリアとの
仮固定を行うことも考えられるがこの場合には、接合す
る電極部分の機械的な補強効果を持たせることができ
る。 次に、図9ないし図11を参照しつつ第4の実施
例を説明する。第2の実施例および第3の実施例におけ
ると同様に、LSI上のグランド電極と接続される配線
を連結したパターンを、LSIの内側でなく外部との接
続電極の形成される側に図9のように形成する。テープ
キャリアの外部電極となる部分を切離し、図10の形状
とした後に、グランド電極と接続される電極を連結した
部分をLSIの中心に向かって180°折り返す。この
工程をリール状態で行うためには、テープキャリア上で
LSIを取り囲むように存在するサポートリングと呼ば
れる部分により、リール状態に有るテープ部分と接合状
態を残しておく。テープを折り返す場合には配線が内側
になるように折り返すものとする。この時テープキャリ
ア上で電極相互が接触する部分にはソルダーレジスト等
を塗布しておき電気的な絶縁を行う。
てポッティングレジンを塗布することも考えられる。テ
ープキャリア上の電極とLSI上のパターンとの電気的
絶縁を目的とするテープでLSIとテープキャリアとの
仮固定を行うことも考えられるがこの場合には、接合す
る電極部分の機械的な補強効果を持たせることができ
る。 次に、図9ないし図11を参照しつつ第4の実施
例を説明する。第2の実施例および第3の実施例におけ
ると同様に、LSI上のグランド電極と接続される配線
を連結したパターンを、LSIの内側でなく外部との接
続電極の形成される側に図9のように形成する。テープ
キャリアの外部電極となる部分を切離し、図10の形状
とした後に、グランド電極と接続される電極を連結した
部分をLSIの中心に向かって180°折り返す。この
工程をリール状態で行うためには、テープキャリア上で
LSIを取り囲むように存在するサポートリングと呼ば
れる部分により、リール状態に有るテープ部分と接合状
態を残しておく。テープを折り返す場合には配線が内側
になるように折り返すものとする。この時テープキャリ
ア上で電極相互が接触する部分にはソルダーレジスト等
を塗布しておき電気的な絶縁を行う。
【0024】またグランド電極と接続される電極を連結
した部分を図11のようにテープごと折り返す方法も考
えられる。この場合にはテープの厚さが2倍となる部分
を生じるため出来るだけテープキャリア自体の厚さは薄
くしておく。折り曲げを行うテープ部分はできるだけ配
線パターンの幅に近くしておき、折り曲げ時の抵抗を減
らす。
した部分を図11のようにテープごと折り返す方法も考
えられる。この場合にはテープの厚さが2倍となる部分
を生じるため出来るだけテープキャリア自体の厚さは薄
くしておく。折り曲げを行うテープ部分はできるだけ配
線パターンの幅に近くしておき、折り曲げ時の抵抗を減
らす。
【0025】LSIは折り曲げを行った配線部分の存在
する側からテープキャリアに接続されるものとする。折
り曲げの際にUV効果型エポキシ系接着剤により折り曲
げ部分の戻りを防ぐとともに、LSI表面への固定を行
うようにしておく。
する側からテープキャリアに接続されるものとする。折
り曲げの際にUV効果型エポキシ系接着剤により折り曲
げ部分の戻りを防ぐとともに、LSI表面への固定を行
うようにしておく。
【0026】なお、LSI上の電極位置とテープキャリ
ア上の電極位置が異なる場合には、LSIとの接続で使
われるテープキャリア電極部分の成型加工が必要にな
る。
ア上の電極位置が異なる場合には、LSIとの接続で使
われるテープキャリア電極部分の成型加工が必要にな
る。
【0027】次に、図12ないし図14を参照しつつ第
5の実施例について説明する。第1の実施例ないし第4
の実施例に記載したテープキャリア型半導体装置と銅薄
板もしくは42アイロを材料とするリードフレームを用
いる。テープキャリアを各LSIごとの個片に切り出し
たあと、図12のように外部電極部分をガルウイング状
に成型し、その電極に施されたAuめっきとリードフレ
ームの接続部分に施されたSnめっきを用いて、その時
のそれぞれAuめっき膜厚とSnめっき膜厚により規定
されるAu−Sn合金の組成にふさわしい、温度350
℃〜400℃の加熱ツールを用いて熱圧着する。この後
に所定の金型を用いて、従来行われているようにエポキ
シレジによるモールドを行いパッケージを完成させる。
5の実施例について説明する。第1の実施例ないし第4
の実施例に記載したテープキャリア型半導体装置と銅薄
板もしくは42アイロを材料とするリードフレームを用
いる。テープキャリアを各LSIごとの個片に切り出し
たあと、図12のように外部電極部分をガルウイング状
に成型し、その電極に施されたAuめっきとリードフレ
ームの接続部分に施されたSnめっきを用いて、その時
のそれぞれAuめっき膜厚とSnめっき膜厚により規定
されるAu−Sn合金の組成にふさわしい、温度350
℃〜400℃の加熱ツールを用いて熱圧着する。この後
に所定の金型を用いて、従来行われているようにエポキ
シレジによるモールドを行いパッケージを完成させる。
【0028】この時、従来のワイヤボンディング法を用
いてLSIをリードフレームに電気的に接続する構造で
は、特に図13に示すLOC構造のLSIの電極配置で
は、1個のリードフレーム9に対して2個以上のLSI
を接続することは、その構造上難しい。しかし本発明の
テープキャリア型半導体装置を用いるならば、その薄い
外形と、外部電極の形状が比較的簡素にできることを利
用して、容易に2個以上のLSIチップを1パッケージ
に相当するスペースに配置することが出来る。
いてLSIをリードフレームに電気的に接続する構造で
は、特に図13に示すLOC構造のLSIの電極配置で
は、1個のリードフレーム9に対して2個以上のLSI
を接続することは、その構造上難しい。しかし本発明の
テープキャリア型半導体装置を用いるならば、その薄い
外形と、外部電極の形状が比較的簡素にできることを利
用して、容易に2個以上のLSIチップを1パッケージ
に相当するスペースに配置することが出来る。
【0029】例えば搭載されてるLSIがメモリLSI
だとすると、その動作の有無を規定するチップセレクト
電極以外は共通とすることが出来ることからリードフレ
ーム上の同じ位置の電極に2個以上の電極を同時に接続
することが可能となる、2個だけであればリードフレー
ムの上下から単に接続するだけで良い。また、図14の
ようにテープキャリア位置を電極1本分前後にずらして
接続するのであれば、リードフレームの片側に、2個の
テープキャリア接続することもできる。動作するLSI
を決める、チップセレクト電極はテープキャリア内の配
線で独立した電極にしておき、この電極のみをリードフ
レームの異なる電極に接続するものとすれば、特に異な
る電極配置のLSIを用いることなく、内蔵される各L
SIを全て同じ方向に向けたまま、複数個のLSIパッ
ケージを内蔵するパッケージを構成することができる。
だとすると、その動作の有無を規定するチップセレクト
電極以外は共通とすることが出来ることからリードフレ
ーム上の同じ位置の電極に2個以上の電極を同時に接続
することが可能となる、2個だけであればリードフレー
ムの上下から単に接続するだけで良い。また、図14の
ようにテープキャリア位置を電極1本分前後にずらして
接続するのであれば、リードフレームの片側に、2個の
テープキャリア接続することもできる。動作するLSI
を決める、チップセレクト電極はテープキャリア内の配
線で独立した電極にしておき、この電極のみをリードフ
レームの異なる電極に接続するものとすれば、特に異な
る電極配置のLSIを用いることなく、内蔵される各L
SIを全て同じ方向に向けたまま、複数個のLSIパッ
ケージを内蔵するパッケージを構成することができる。
【0030】次に、図15を参照しつつ第6の実施例に
ついて説明する。第5の実施例に記載した、リードフレ
ームとテープキャリアを用いる複数のLSIを内蔵する
パッケージにおいて、リードフレーム上のテープキャリ
アの外部電極と接続される電極に対し、折り返し加工を
施して厚さを他の部分の2倍とすることで、複数のLS
Iパッケージをリードフレームの上下に接続する際、そ
れぞれが干渉しない位置となるようにする。たとえばこ
の時2個のテープキャリア型半導体装置を用いるのであ
れば、図15のように上もしくは下のどちらか一つのテ
ープキャリアのリードフレームに対して成型加工を施す
だけでLSI4が相互に接触することが無くなる。電気
的接続ではテープキャリア上電極に施されたAuめっき
とリードフレームの接続部分に施されたSnめっきを用
いて、その時のそれぞれAuめっき膜厚とSnめっき膜
厚により規定されるAu−Sn合金の組成にふさわし
い、温度350℃〜400℃の加熱ツールを用いて熱圧
着し、所定の金型によりモールドを行いパッケージを完
成させる。
ついて説明する。第5の実施例に記載した、リードフレ
ームとテープキャリアを用いる複数のLSIを内蔵する
パッケージにおいて、リードフレーム上のテープキャリ
アの外部電極と接続される電極に対し、折り返し加工を
施して厚さを他の部分の2倍とすることで、複数のLS
Iパッケージをリードフレームの上下に接続する際、そ
れぞれが干渉しない位置となるようにする。たとえばこ
の時2個のテープキャリア型半導体装置を用いるのであ
れば、図15のように上もしくは下のどちらか一つのテ
ープキャリアのリードフレームに対して成型加工を施す
だけでLSI4が相互に接触することが無くなる。電気
的接続ではテープキャリア上電極に施されたAuめっき
とリードフレームの接続部分に施されたSnめっきを用
いて、その時のそれぞれAuめっき膜厚とSnめっき膜
厚により規定されるAu−Sn合金の組成にふさわし
い、温度350℃〜400℃の加熱ツールを用いて熱圧
着し、所定の金型によりモールドを行いパッケージを完
成させる。
【0031】
【発明の効果】LOC型LSIのような電極配置のLS
Iを低コストでテープキャリア型半導体とすることがで
きる。また薄い形状を利用して複数のテープキャリアを
リードフレームの1パッケージ分の位置に接続すること
で、ワイヤボンディングにより構成するよりも容易に、
1パッケージに少なくとも2個以上のLSIを内蔵する
パッケージを構成できる。LSIの種類が例えばメモリ
であった場合には1パッケージ分の、メモリ容量を実装
手段のみにより増加できる。
Iを低コストでテープキャリア型半導体とすることがで
きる。また薄い形状を利用して複数のテープキャリアを
リードフレームの1パッケージ分の位置に接続すること
で、ワイヤボンディングにより構成するよりも容易に、
1パッケージに少なくとも2個以上のLSIを内蔵する
パッケージを構成できる。LSIの種類が例えばメモリ
であった場合には1パッケージ分の、メモリ容量を実装
手段のみにより増加できる。
【図1】本発明の1実施例における電極のクランク型の
成形状態を示す斜視図である。
成形状態を示す斜視図である。
【図2】同じく、上下両面に配線を有するテープキャリ
アの配線を示す斜視図である。
アの配線を示す斜視図である。
【図3】外部電極に対する成型加工を説明するための斜
視図である。
視図である。
【図4】電極部分のレジンのポッティング状態を示す斜
視図である。
視図である。
【図5】テープとレジンの密着性向上のための穴開け加
工を説明するための斜視図である。
工を説明するための斜視図である。
【図6】テープ内側に形成した折り曲げぐグランド電極
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図7】グランド電極折り返し構造の説明図である。
【図8】絶縁用テープの接着状態。
【図9】テープ外側に形成した折り曲げグランド電極。
【図10】銅箔製電極のみ折り返し(外側グランド電
極)。
極)。
【図11】テープごと折り返し(外側グランド電極)。
【図12】テープキャリア上電極に対するガルウイング
状成型加工とリードフレームとの接続。
状成型加工とリードフレームとの接続。
【図13】LOC型LSIの従来構造。
【図14】リードフレーム片側にテープキャリアを配置
する構造例。
する構造例。
【図15】リードフレームを折り曲げる場合の構造。
1…グランド層電極と接続される配線,2…グランド層
以外の電極と接続される配線,3…テープキャリア,4
…LSI,5…LSI上の電極,6…ポッティングレジ
ンとの密着性を向上させる目的のテープキャリア上の
孔,7…ソルダーレジスト,8…絶縁用テープ材,9…
リードフレーム,10…モールドレジン,11…ワイヤ
ーボンディング材,12…ポッティングレジン。
以外の電極と接続される配線,3…テープキャリア,4
…LSI,5…LSI上の電極,6…ポッティングレジ
ンとの密着性を向上させる目的のテープキャリア上の
孔,7…ソルダーレジスト,8…絶縁用テープ材,9…
リードフレーム,10…モールドレジン,11…ワイヤ
ーボンディング材,12…ポッティングレジン。
Claims (10)
- 【請求項1】 上下両表面に金属層を設けて、その一部
分を除去加工してなる配線を設けたLSIテープキャリ
アにおいて、LSI上の電極と接続されるテープキャリ
ア上面の電極部分を、テープ下面で対応する同様の電極
部分と同じ高さとなるようにクランク型に成型加工し
て、LSI上のパターンに横たわる位置でグランド電極
と接続される配線を配置するLOC型LSIをもテープ
型半導体として構成することを可能ならしめたテープキ
ャリア型半導体装置。 - 【請求項2】 片側の表面にのみ金属層を設けて、その
一部分を除去加工してなる配線を設けたLSIテープキ
ャリアにおいて、LSI上の電極と接続される配線の一
部を、その他の配線との干渉を避けた位置で、他の同様
の配線を取り囲むように形成しておき、この部分を配線
の存在する面側に折り返し、この折り返す配線部分と接
触するその他の配線上に、ソルダーレジストによる電気
的絶縁を施して、LSI上のパターンに横たわる位置で
グランド電極に関する配線が位置するLOC型LSIを
もテープキャリア型半導体として構成することを可能な
らしめたテープキャリア型半導体装置。 - 【請求項3】 片側の表面にのみ金属層を設けて、その
一部分を除去加工してなる配線を設けたLSIテープキ
ャリアにおいて、LSI上の電極と接続される配線の少
なくとも一部を、その他の配線との干渉を避けた位置
で、他の同様の配線を取り囲むように形成しておき、こ
の部分を配線の存在しない面側に折り返し、テープの介
在により折り返す配線部分と他の配線の電気的絶縁をは
かる構造として、LSI上パターンに横たわる位置にグ
ランド電極に関する配線が位置するLOC型LSIをも
テープキャリア型半導体として構成することを可能なら
しめたテープキャリア型半導体装置。 - 【請求項4】 片側の表面にのみ金属層を設けて、その
一部分を除去加工してなる配線を設けたLSIテープキ
ャリアにおいて、LSI上の電極と接続される配線の少
なくとも一部を、その他の電極との干渉を避けた位置
で、実装時の基板等外部への接続電極となる部分の外側
に、その他の電極を取り囲むようにテープの無い部分へ
形成しておき、この部分をテープ上、配線の存在しない
側へ、搭載LSIの中心に向かうように折り返し、その
他の配線と電気的に絶縁して、LSI上パターンに横た
わる位置でグランド電極に関する配線が位置するLOC
型LSIをもテープキャリア型半導体として構成するこ
とを可能ならしめたテープキャリア型半導体装置。 - 【請求項5】 上記請求項1ないし同4の内の何れかに
記載されたテープキャリア型半導体装置において、テー
プキャリア型半導体の外部電極にAuめっきを施し、ガ
ルウイング状に成型し、銅薄板の上にSnにめっきした
リードフレームの上下両表面に、テープキャリア型半導
体熱を圧着して、少なくとも2枚のLSIを内蔵したプ
ラスチックパッケージを具備する半導体パッケージ。 - 【請求項6】 上記請求項1ないし同4の内の何れかに
記載されるテープキャリア型半導体装置において、テー
プキャリア型半導体の外部電極にAuめっきを施したも
のと、銅薄板の上にSnにめっきしテープキャリア電極
と接続される位置に折り返し加工を施して、厚さを他の
部分2倍としたリードフレームをもちい、上下両表面
に、テープキャリア型半導体を熱圧着することで少なく
とも2枚のLSIを内蔵したプラスチックパッケージを
具備する半導体パッケージ。 - 【請求項7】 片側の表面にのみ銅箔層を設け、これを
エッチング等で加工してなる配線を設けた、LSIテー
プキャリアにおいて、LSI上の電極と接続される配線
部分の少なくとも一つを、その他の電極との干渉を避け
た位置で、実装時に外部への接続電極となる部分の外側
に、他の同様の配線部分を取り囲むようにテープ上へ形
成しておき、この配線の存在する部分をテープごと、配
線の存在しない側に折り返し、テープの介在により他の
配線と電気的に絶縁し、LSI上に横たわる位置でグラ
ンド電極に関する配線を位置するLOC型LSIをもテ
ープキャリア型半導体として構成することを可能ならし
めたテープキャリア型半導体装置。 - 【請求項8】 請求項7に記述のLSIテープキャリア
において、LSI上の電極と接続される部分の少なくと
も一つを、その他の電極との干渉を避けた位置で、実装
時の基板等外部への接続電極となる部分の外側に、他の
同様の配線部分を取り囲むようにテープ上へ形成してお
き、この配線の存在する部分をテープごと、配線の存在
する側に折り返し、ソルダーレジスト等により他の配線
と電気的に絶縁し、LSI上に横たわる位置でグランド
電極に関する配線を配置するLOC型LSIをもテープ
キャリア型半導体として構成することを可能ならしめた
テープキャリア型半導体装置。 - 【請求項9】 LSI上のパターンに横たわる位置でグ
ランド電極に接続される配線を配設されたLOC型LS
Iをもテープキャリア型半導体として構成する方法であ
って、 LSI・テープキャリアの両面に金属層を成層するとと
もに、該金属層の一部分を選択的に除去加工して配線を
構成し、 LSI上の電極と接続されるテープキャリア上面の電極
部分と、テープ下面で上記電極部分に対応する電極部分
とが、前記テープキャリアの厚さ方向に関して同じ高さ
となるように、前記テープキャリア上面の電極部分をク
ランク型に成型加工することを特徴とする、テープキャ
リア型半導体装置の構成方法。 - 【請求項10】 LSI上のパターンに横たわる位置で
グランド電極に関する配線が配置されているLOC型L
SIをもテープキャリア型半導体として構成する方法で
あって、LSIテープキャリアの片側のみ表面に金属層
を成層するとともに、該金属層の一部分を選択的に除去
加工して配線を構成し、 LSI上の電極と接続される配線の一部と、その他の配
線との干渉を避けた位置で他の配線を取り囲むように形
成しておき、この部分を該テープキャリアの反対側の面
に折り返して、この折り返し配線部分と接触するその他
の配線に、ソルダーレジストにより電気的絶縁を施すこ
とを特徴とする、テープキャリア型半導体の構成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5053963A JPH06268014A (ja) | 1993-03-15 | 1993-03-15 | テープキャリア型半導体装置および、その構成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5053963A JPH06268014A (ja) | 1993-03-15 | 1993-03-15 | テープキャリア型半導体装置および、その構成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06268014A true JPH06268014A (ja) | 1994-09-22 |
Family
ID=12957341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5053963A Pending JPH06268014A (ja) | 1993-03-15 | 1993-03-15 | テープキャリア型半導体装置および、その構成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06268014A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9468102B2 (en) | 2013-06-18 | 2016-10-11 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Display device |
-
1993
- 1993-03-15 JP JP5053963A patent/JPH06268014A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9468102B2 (en) | 2013-06-18 | 2016-10-11 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Display device |
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