JPH06267921A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
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- JPH06267921A JPH06267921A JP5353493A JP5353493A JPH06267921A JP H06267921 A JPH06267921 A JP H06267921A JP 5353493 A JP5353493 A JP 5353493A JP 5353493 A JP5353493 A JP 5353493A JP H06267921 A JPH06267921 A JP H06267921A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 洗浄槽内の異物および洗浄装置内で浮遊する
異物を管理する。 【構成】 洗浄装置１に、洗浄槽３内の異物を検出する
液中異物検出部５と、液中異物検出部５で検出された検
出情報に基づいて洗浄槽３内の異物を監視する計算機７
と、洗浄装置１の洗浄ドラフト２内の雰囲気中における
異物を検出する雰囲気中異物検出部１０と、雰囲気中異
物検出部１０で検出された検出情報に基づいて洗浄ドラ
フト２内の異物を監視する計算機７とを設けた。
異物を管理する。 【構成】 洗浄装置１に、洗浄槽３内の異物を検出する
液中異物検出部５と、液中異物検出部５で検出された検
出情報に基づいて洗浄槽３内の異物を監視する計算機７
と、洗浄装置１の洗浄ドラフト２内の雰囲気中における
異物を検出する雰囲気中異物検出部１０と、雰囲気中異
物検出部１０で検出された検出情報に基づいて洗浄ドラ
フト２内の異物を監視する計算機７とを設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、洗浄装置技術に関し、
特に、半導体ウエハを洗浄するための洗浄装置に適用し
て有効な技術に関するものである。
特に、半導体ウエハを洗浄するための洗浄装置に適用し
て有効な技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体集積回路装置においては、
素子集積度の向上とともに、素子の微細化が進められて
いる。そして、素子の微細化に伴い、微細な異物であっ
ても半導体集積回路装置の信頼性や歩留り低下の原因と
なるので、半導体ウエハの洗浄処理における清浄度の向
上が要求されている。
素子集積度の向上とともに、素子の微細化が進められて
いる。そして、素子の微細化に伴い、微細な異物であっ
ても半導体集積回路装置の信頼性や歩留り低下の原因と
なるので、半導体ウエハの洗浄処理における清浄度の向
上が要求されている。
【０００３】従来の洗浄装置においては、洗浄槽内の薬
液または純水等が、洗浄装置に設置されたポンプ等によ
って循環されるようになっている。その薬液中または純
水中における異物は、その薬液または純水等の循環経路
に設置されたフィルタによって除去されるようになって
いる。
液または純水等が、洗浄装置に設置されたポンプ等によ
って循環されるようになっている。その薬液中または純
水中における異物は、その薬液または純水等の循環経路
に設置されたフィルタによって除去されるようになって
いる。
【０００４】また、特開昭６２−１９０４４０号公報に
は、洗浄槽内の薬液または純水中の異物や無機イオンを
検出するための手段を洗浄装置に設けた技術について説
明されている。
は、洗浄槽内の薬液または純水中の異物や無機イオンを
検出するための手段を洗浄装置に設けた技術について説
明されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
技術においては、以下の問題があることを本発明者は見
い出した。
技術においては、以下の問題があることを本発明者は見
い出した。
【０００６】すなわち、従来は、洗浄槽中の異物を計測
する技術について考慮されているが、洗浄装置内に浮遊
する異物について充分な考慮がなされていないという問
題があった。このため、洗浄装置内に浮遊する異物の量
が分からないという問題があった。また、洗浄槽から洗
浄処理後の半導体ウエハを取り出した際に、洗浄装置内
に浮遊する異物が半導体ウエハに付着してしまう問題が
あった。さらに、洗浄装置内に浮遊する異物が洗浄槽内
に入ってしまう問題があった。
する技術について考慮されているが、洗浄装置内に浮遊
する異物について充分な考慮がなされていないという問
題があった。このため、洗浄装置内に浮遊する異物の量
が分からないという問題があった。また、洗浄槽から洗
浄処理後の半導体ウエハを取り出した際に、洗浄装置内
に浮遊する異物が半導体ウエハに付着してしまう問題が
あった。さらに、洗浄装置内に浮遊する異物が洗浄槽内
に入ってしまう問題があった。
【０００７】本発明は上記課題に着目してなされたもの
であり、その目的は、洗浄槽内の異物および洗浄装置内
で浮遊する異物を管理することのできる技術を提供する
ことにある。
であり、その目的は、洗浄槽内の異物および洗浄装置内
で浮遊する異物を管理することのできる技術を提供する
ことにある。
【０００８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、明細書の記述および添付図面から明らかにな
るであろう。
な特徴は、明細書の記述および添付図面から明らかにな
るであろう。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００１０】すなわち、請求項１記載の発明は、装置本
体に所定基板を洗浄するための洗浄槽を有する洗浄装置
であって、前記洗浄槽内の異物を検出する第１検出部
と、前記第１検出部で検出された検出情報に基づいて異
物の量を計測する第１異物計測部と、前記装置本体内の
雰囲気中における異物を検出する第２検出部と、前記第
２検出部で検出された検出情報に基づいて異物の量を計
測する第２異物計測部とを備えた洗浄装置構造とするも
のである。
体に所定基板を洗浄するための洗浄槽を有する洗浄装置
であって、前記洗浄槽内の異物を検出する第１検出部
と、前記第１検出部で検出された検出情報に基づいて異
物の量を計測する第１異物計測部と、前記装置本体内の
雰囲気中における異物を検出する第２検出部と、前記第
２検出部で検出された検出情報に基づいて異物の量を計
測する第２異物計測部とを備えた洗浄装置構造とするも
のである。
【００１１】請求項２記載の発明は、前記第１異物監視
部または前記第２異物監視部で測定された異物量が所定
値を越えた場合に、その異物に対処するための装置動作
を制御するための制御部を設けた洗浄装置構造とするも
のである。
部または前記第２異物監視部で測定された異物量が所定
値を越えた場合に、その異物に対処するための装置動作
を制御するための制御部を設けた洗浄装置構造とするも
のである。
【００１２】
【作用】上記した請求項１記載の発明によれば、洗浄槽
中の異物の状態のみならず、洗浄装置内に浮遊する異物
の状態をも把握することができるので、洗浄処理中にお
ける全体的な異物の管理を行うことが可能となる。
中の異物の状態のみならず、洗浄装置内に浮遊する異物
の状態をも把握することができるので、洗浄処理中にお
ける全体的な異物の管理を行うことが可能となる。
【００１３】上記した請求項２記載の発明によれば、例
えば異物量が所定値を越えた場合、洗浄液を自動的に交
換したり、洗浄装置内の空気を自動的に吸引したり、洗
浄処理自体を一時的に停止させたり、警報を鳴らして次
に続く洗浄処理の中止を知らせたりすることができる。
えば異物量が所定値を越えた場合、洗浄液を自動的に交
換したり、洗浄装置内の空気を自動的に吸引したり、洗
浄処理自体を一時的に停止させたり、警報を鳴らして次
に続く洗浄処理の中止を知らせたりすることができる。
【００１４】
【実施例１】図１は本発明の一実施例である洗浄装置の
構成を説明するための説明図である。
構成を説明するための説明図である。
【００１５】図１に示す本実施例１の洗浄装置１は、例
えば所定基板である半導体ウエハ（図示せず）を複数枚
同時に洗浄することが可能なバッチ式の洗浄装置であ
る。
えば所定基板である半導体ウエハ（図示せず）を複数枚
同時に洗浄することが可能なバッチ式の洗浄装置であ
る。
【００１６】洗浄ドラフト２内には、洗浄槽３が設置さ
れている。洗浄槽３には、薬液または純水等のような洗
浄液が注入されている。洗浄槽３内の洗浄液は、図示し
ないポンプ等によって循環されるようになっている。洗
浄液中の異物は、洗浄液の循環経路に設置されたフィル
タによって除去されるようになっている。
れている。洗浄槽３には、薬液または純水等のような洗
浄液が注入されている。洗浄槽３内の洗浄液は、図示し
ないポンプ等によって循環されるようになっている。洗
浄液中の異物は、洗浄液の循環経路に設置されたフィル
タによって除去されるようになっている。
【００１７】そして、本実施例１の洗浄装置１において
は、洗浄液吸引チューブ４がその先端を洗浄槽３内の洗
浄液に浸漬させた状態で設置されている。洗浄液吸引チ
ューブ４は、１本でも良いし、複数本でも良い。複数本
の場合は、分散して配置することが好ましい。洗浄槽３
内における各箇所の異物の状態を検出できるようになる
からである。
は、洗浄液吸引チューブ４がその先端を洗浄槽３内の洗
浄液に浸漬させた状態で設置されている。洗浄液吸引チ
ューブ４は、１本でも良いし、複数本でも良い。複数本
の場合は、分散して配置することが好ましい。洗浄槽３
内における各箇所の異物の状態を検出できるようになる
からである。
【００１８】洗浄液吸引チューブ４は、液中異物検出部
（第１検出部）５と機械的に接続されている。洗浄槽３
内の洗浄液は、吸引ポンプ６ａによって吸引されて、洗
浄液吸引チューブ４を通じて液中異物検出部５に導かれ
るようになっている。
（第１検出部）５と機械的に接続されている。洗浄槽３
内の洗浄液は、吸引ポンプ６ａによって吸引されて、洗
浄液吸引チューブ４を通じて液中異物検出部５に導かれ
るようになっている。
【００１９】液中異物検出部５においては、洗浄液中の
異物の量や大きさ等を、例えば光散乱方式により検出し
た後、検出された異物に関するデータを計算機（第１異
物監視部、第２異物監視部、制御部）７に伝送するよう
になっている。
異物の量や大きさ等を、例えば光散乱方式により検出し
た後、検出された異物に関するデータを計算機（第１異
物監視部、第２異物監視部、制御部）７に伝送するよう
になっている。
【００２０】計算機７においては、液中異物検出部５で
検出された異物に関するデータに基づいて洗浄液中の異
物を管理するとともに、その異物に関するデータを加工
した後、液中異物モニタ８に伝送するようになってい
る。液中異物モニタ８においては、計算機７から伝送さ
れた異物に関するデータを目視できるように表示するよ
うになっている。
検出された異物に関するデータに基づいて洗浄液中の異
物を管理するとともに、その異物に関するデータを加工
した後、液中異物モニタ８に伝送するようになってい
る。液中異物モニタ８においては、計算機７から伝送さ
れた異物に関するデータを目視できるように表示するよ
うになっている。
【００２１】一方、本実施例１の洗浄装置１において
は、雰囲気吸引チューブ９がその先端部を洗浄ドラフト
２内に挿入させた状態で設置されている。雰囲気吸引チ
ューブ９は、１本でも良いし、複数本でも良い。複数本
の場合は、分散して配置することが好ましい。洗浄ドラ
フト２内における各箇所の異物の状態を検出できるよう
になるからである。
は、雰囲気吸引チューブ９がその先端部を洗浄ドラフト
２内に挿入させた状態で設置されている。雰囲気吸引チ
ューブ９は、１本でも良いし、複数本でも良い。複数本
の場合は、分散して配置することが好ましい。洗浄ドラ
フト２内における各箇所の異物の状態を検出できるよう
になるからである。
【００２２】雰囲気吸引チューブ９の他端は、雰囲気中
異物検出部（第２検出部）１０と機械的に接続されてい
る。洗浄ドラフト２内の空気は、吸引ポンプ６ｂによっ
て吸引されて、雰囲気吸引チューブ９を通じて雰囲気中
異物検出部１０に導かれるようになっている。
異物検出部（第２検出部）１０と機械的に接続されてい
る。洗浄ドラフト２内の空気は、吸引ポンプ６ｂによっ
て吸引されて、雰囲気吸引チューブ９を通じて雰囲気中
異物検出部１０に導かれるようになっている。
【００２３】雰囲気中異物検出部１０においては、雰囲
気中の異物の量や大きさ等を、例えば光散乱方式によっ
て検出した後、検出された異物に関するデータを計算機
（制御部）７に伝送するようになっている。
気中の異物の量や大きさ等を、例えば光散乱方式によっ
て検出した後、検出された異物に関するデータを計算機
（制御部）７に伝送するようになっている。
【００２４】計算機７においては、雰囲気中異物検出部
１０で検出された異物に関するデータに基づいて洗浄ド
ラフト２中の異物を管理するとともに、その異物に関す
るデータを加工した後、雰囲気中異物モニタ１１に伝送
するようになっている。雰囲気中異物モニタ１１におい
ては、計算機７から伝送された異物に関するデータを目
視できるように表示するようになっている。
１０で検出された異物に関するデータに基づいて洗浄ド
ラフト２中の異物を管理するとともに、その異物に関す
るデータを加工した後、雰囲気中異物モニタ１１に伝送
するようになっている。雰囲気中異物モニタ１１におい
ては、計算機７から伝送された異物に関するデータを目
視できるように表示するようになっている。
【００２５】また、本実施例１の洗浄装置１において
は、計算機７にアラーム発信機１２が接続されている。
計算機７は、液中異物検出部５または雰囲気中異物検出
部１０で検出された異物の量が、予め設定されている異
物の量を越えたと判断した場合、アラーム発信機１２に
アラームを鳴らすための信号を伝送するようになってい
る。そして、次に続く洗浄処理の中止を作業者に対して
促すようになっている。
は、計算機７にアラーム発信機１２が接続されている。
計算機７は、液中異物検出部５または雰囲気中異物検出
部１０で検出された異物の量が、予め設定されている異
物の量を越えたと判断した場合、アラーム発信機１２に
アラームを鳴らすための信号を伝送するようになってい
る。そして、次に続く洗浄処理の中止を作業者に対して
促すようになっている。
【００２６】このように、本実施例１によれば、以下の
効果を得ることが可能となる。
効果を得ることが可能となる。
【００２７】(1).洗浄装置１の洗浄槽３中の異物の状態
のみならず、洗浄ドラフト２内に浮遊する異物の状態を
も把握することができるので、洗浄処理中における全体
的な異物の管理を行うことが可能となる。
のみならず、洗浄ドラフト２内に浮遊する異物の状態を
も把握することができるので、洗浄処理中における全体
的な異物の管理を行うことが可能となる。
【００２８】(2).洗浄装置１の洗浄槽３内または洗浄ド
ラフト２内における異物の量が所定値を越えた場合、ア
ラームを鳴らして次に続く洗浄処理の中止を作業者に知
らせることが可能となる。
ラフト２内における異物の量が所定値を越えた場合、ア
ラームを鳴らして次に続く洗浄処理の中止を作業者に知
らせることが可能となる。
【００２９】(3).上記(1),(2) により、洗浄処理工程中
に半導体ウエハに付着する異物の数を低減することがで
きるので、半導体集積回路装置の信頼性および歩留まり
を向上させることが可能となる。
に半導体ウエハに付着する異物の数を低減することがで
きるので、半導体集積回路装置の信頼性および歩留まり
を向上させることが可能となる。
【００３０】
【実施例２】図２は本発明の他の実施例である洗浄装置
の構成を説明するための説明図である。
の構成を説明するための説明図である。
【００３１】本実施例２においては、計算機７が雰囲気
吸引制御部１３および洗浄液供給制御部１４と電気的に
接続されている。
吸引制御部１３および洗浄液供給制御部１４と電気的に
接続されている。
【００３２】雰囲気吸引制御部１３は、洗浄ドラフト２
内の空気を吸引するためのポンプ（図示せず）の吸引動
作を制御するための制御部である。計算機７は、洗浄ド
ラフト２内の雰囲気中の異物量が予め設定された所定値
を越えたと判断した場合、洗浄ドラフト２内の空気を吸
引させるための制御信号を雰囲気吸引制御部１３に伝送
するようになっている。
内の空気を吸引するためのポンプ（図示せず）の吸引動
作を制御するための制御部である。計算機７は、洗浄ド
ラフト２内の雰囲気中の異物量が予め設定された所定値
を越えたと判断した場合、洗浄ドラフト２内の空気を吸
引させるための制御信号を雰囲気吸引制御部１３に伝送
するようになっている。
【００３３】雰囲気吸引制御部１３は、計算機７から伝
送された制御信号に基づいて洗浄ドラフト２内の空気を
自動的に吸引することにより、洗浄ドラフト２内の雰囲
気を清浄化するようになっている。
送された制御信号に基づいて洗浄ドラフト２内の空気を
自動的に吸引することにより、洗浄ドラフト２内の雰囲
気を清浄化するようになっている。
【００３４】洗浄液供給制御部１４は、洗浄槽３内の洗
浄液を循環させるための機構の動作を制御するための制
御部である。計算機７は、洗浄槽３内の洗浄液中の異物
量が予め設定された所定値を越えたと判断した場合、洗
浄槽３内の洗浄液を交換させるための制御信号を洗浄液
供給制御部１４に伝送するようになっている。
浄液を循環させるための機構の動作を制御するための制
御部である。計算機７は、洗浄槽３内の洗浄液中の異物
量が予め設定された所定値を越えたと判断した場合、洗
浄槽３内の洗浄液を交換させるための制御信号を洗浄液
供給制御部１４に伝送するようになっている。
【００３５】洗浄液供給制御部１４は、計算機７から伝
送された制御信号に基づいて洗浄槽３内の洗浄液を自動
的に交換することにより、洗浄槽３内の洗浄液を清浄化
するようになっている。
送された制御信号に基づいて洗浄槽３内の洗浄液を自動
的に交換することにより、洗浄槽３内の洗浄液を清浄化
するようになっている。
【００３６】このように、本実施例２においては、前記
実施例１で得られた効果(1),(3) の他に、次の効果を得
ることが可能となる。
実施例１で得られた効果(1),(3) の他に、次の効果を得
ることが可能となる。
【００３７】すなわち、洗浄装置１の洗浄槽３内または
洗浄ドラフト２内における異物の量が所定値を越えた場
合、洗浄槽３内の洗浄液を自動的に交換したり、洗浄装
置１内の空気を自動的に吸引したりすることができるの
で、半導体ウエハに対する洗浄処理を、常に清浄な状態
で行うことが可能となる。
洗浄ドラフト２内における異物の量が所定値を越えた場
合、洗浄槽３内の洗浄液を自動的に交換したり、洗浄装
置１内の空気を自動的に吸引したりすることができるの
で、半導体ウエハに対する洗浄処理を、常に清浄な状態
で行うことが可能となる。
【００３８】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
１，２に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
１，２に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００３９】例えば前記実施例１，２においては、複数
枚の半導体ウエハを洗浄するための洗浄装置に本発明を
適用した場合について説明したが、これに限定されるも
のではなく、例えば１枚の半導体ウエハを洗浄する枚葉
式の洗浄装置に本発明を適用することも可能である。
枚の半導体ウエハを洗浄するための洗浄装置に本発明を
適用した場合について説明したが、これに限定されるも
のではなく、例えば１枚の半導体ウエハを洗浄する枚葉
式の洗浄装置に本発明を適用することも可能である。
【００４０】また、前記実施例１においては、洗浄槽ま
たは洗浄ドラフト内の異物量が所定値以上となった場合
にアラームを鳴らすことにより洗浄処理の中止を作業者
に促す場合について説明した。また、前記実施例２にお
いては、洗浄槽または洗浄ドラフト内の異物量が所定値
以上となった場合に、洗浄ドラフト内の空気を自動的に
吸引したり、洗浄槽内の洗浄液を自動的に交換したりす
る場合について説明した。ただし、これに限定されるも
のではなく種々変更可能であり、例えば洗浄槽または洗
浄ドラフト内の異物量が所定値以上となった場合に、洗
浄装置内に半導体ウエハを搬入するための機構部の動作
を停止することにより、次に続く半導体ウエハを洗浄ド
ラフト内に搬入するのを停止させることも可能である。
たは洗浄ドラフト内の異物量が所定値以上となった場合
にアラームを鳴らすことにより洗浄処理の中止を作業者
に促す場合について説明した。また、前記実施例２にお
いては、洗浄槽または洗浄ドラフト内の異物量が所定値
以上となった場合に、洗浄ドラフト内の空気を自動的に
吸引したり、洗浄槽内の洗浄液を自動的に交換したりす
る場合について説明した。ただし、これに限定されるも
のではなく種々変更可能であり、例えば洗浄槽または洗
浄ドラフト内の異物量が所定値以上となった場合に、洗
浄装置内に半導体ウエハを搬入するための機構部の動作
を停止することにより、次に続く半導体ウエハを洗浄ド
ラフト内に搬入するのを停止させることも可能である。
【００４１】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
ウエハを洗浄する洗浄装置に適用した場合について説明
したが、これに限定されず種々適用可能であり、例えば
光ディスクや液晶ディスプレイ用の基板を洗浄する洗浄
装置等のような他の洗浄装置に適用することも可能であ
る。
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
ウエハを洗浄する洗浄装置に適用した場合について説明
したが、これに限定されず種々適用可能であり、例えば
光ディスクや液晶ディスプレイ用の基板を洗浄する洗浄
装置等のような他の洗浄装置に適用することも可能であ
る。
【００４２】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【００４３】(1).請求項１記載の発明によれば、洗浄槽
中の異物の状態のみならず、洗浄装置内に浮遊する異物
の状態も把握することができるので、洗浄処理中におけ
る全体的な異物の管理を行うことが可能となる。これに
より、洗浄処理工程中に所定基板に付着する異物の数を
低減することが可能となる。
中の異物の状態のみならず、洗浄装置内に浮遊する異物
の状態も把握することができるので、洗浄処理中におけ
る全体的な異物の管理を行うことが可能となる。これに
より、洗浄処理工程中に所定基板に付着する異物の数を
低減することが可能となる。
【００４４】(2).請求項２記載の発明によれば、例えば
異物量が所定値を越えた場合、洗浄液を自動的に交換し
たり、洗浄装置内の空気を自動的に吸引したり、洗浄処
理自体を一時的に停止させたり、警報を鳴らして次に続
く洗浄処理の中止を知らせたりすることができる。これ
により、洗浄処理工程中に所定基板に付着する異物の数
を低減することが可能となる。
異物量が所定値を越えた場合、洗浄液を自動的に交換し
たり、洗浄装置内の空気を自動的に吸引したり、洗浄処
理自体を一時的に停止させたり、警報を鳴らして次に続
く洗浄処理の中止を知らせたりすることができる。これ
により、洗浄処理工程中に所定基板に付着する異物の数
を低減することが可能となる。
【図１】本発明の一実施例である洗浄装置の構成を説明
するための説明図である。
するための説明図である。
【図２】本発明の他の実施例である洗浄装置の構成を説
明するための説明図である。
明するための説明図である。
１ 洗浄装置 ２ 洗浄ドラフト ３ 洗浄槽 ４ 洗浄液吸引チューブ ５ 液中異物検出部（第１検出部） ６ａ，６ｂ ポンプ ７ 計算機（第１異物監視部、第２異物監視部、制御
部） ８ 液中異物モニタ ９ 雰囲気吸引チューブ １０ 雰囲気中異物検出部（第２検出部） １１ 雰囲気中異物モニタ １２ アラーム発信機 １３ 雰囲気吸引制御部 １４ 洗浄液供給制御部
部） ８ 液中異物モニタ ９ 雰囲気吸引チューブ １０ 雰囲気中異物検出部（第２検出部） １１ 雰囲気中異物モニタ １２ アラーム発信機 １３ 雰囲気吸引制御部 １４ 洗浄液供給制御部
Claims (3)
- 【請求項１】 装置本体に所定基板を洗浄するための洗
浄槽を有する洗浄装置であって、前記洗浄槽内の異物を
検出する第１検出部と、前記第１検出部で検出された検
出情報に基づいて洗浄槽内の異物を監視する第１異物監
視部と、前記装置本体内の雰囲気中における異物を検出
する第２検出部と、前記第２検出部で検出された検出情
報に基づいて装置本体内の異物を監視する第２異物監視
部とを備えたことを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項２】 前記第１異物監視部または前記第２異物
監視部で測定された異物量が所定値を越えた場合に、そ
の異物に対処するための装置動作を制御するための制御
部を設けたことを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。 - 【請求項３】 前記第１検出部および前記第２検出部は
光散乱方式により異物を検出する手段であることを特徴
とする請求項１または２記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5353493A JPH06267921A (ja) | 1993-03-15 | 1993-03-15 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5353493A JPH06267921A (ja) | 1993-03-15 | 1993-03-15 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06267921A true JPH06267921A (ja) | 1994-09-22 |
Family
ID=12945477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5353493A Pending JPH06267921A (ja) | 1993-03-15 | 1993-03-15 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06267921A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022237577A1 (zh) * | 2021-05-13 | 2022-11-17 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 颗粒物清洁度检测方法 |
-
1993
- 1993-03-15 JP JP5353493A patent/JPH06267921A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022237577A1 (zh) * | 2021-05-13 | 2022-11-17 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 颗粒物清洁度检测方法 |
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