JPH06262438A - 精密ワイヤ放電加工方法および装置 - Google Patents
精密ワイヤ放電加工方法および装置Info
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- JPH06262438A JPH06262438A JP5190936A JP19093693A JPH06262438A JP H06262438 A JPH06262438 A JP H06262438A JP 5190936 A JP5190936 A JP 5190936A JP 19093693 A JP19093693 A JP 19093693A JP H06262438 A JPH06262438 A JP H06262438A
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Abstract
よって得られると同様な平滑な面を得る方法および装置
の提供を目的とする。 【構成】 少なくとも一度粗加工した被加工物の輪郭を
少なくとも一回の仕上げ加工において輪郭形状基準とし
て利用する。放電間隙を微調整によって一定に保つ。
Description
に記載の精密ワイヤ放電加工方法に関し、第二には請求
項21の前文に記載のワイヤ放電加工装置に関するもの
である。
的に改良し、これによって加工中に生ずる装置の熱的歪
み、又は振動、さらには被加工物に生ずる歪みと言った
広範囲にわたる有害作用にも拘らず、比較的簡単な装置
によっても高品質の加工表面を得ることができるように
することをその目的の一つとしている。
に高精度のワイヤ放電加工装置を使えば、0.1μmの
面粗度で被加工物を加工できることはよく知られてい
る。
同じワイヤ電極と強力な電解液とを用いて電気化学的に
研磨することも亦よく知られている。約3Aの直流電流
を使用すれば、より高い表面隆起部を除去することが可
能である。
電加工装置には欠点がある。それは、中位の高精度放電
加工装置の約3倍のコストを要する上、24時間にわた
って1k以下の温度勾配で運転することは、平均的な工
場にそれを設備することは不可能である。
要求し、必ずしも非常に正確な輪郭を要求するものでな
い場合が殆どである。
することは極めて困難である。何故ならば、誘電体は通
常10μS/cmの導電率を有しており、それと電解液
を分離することは殆ど不可能であるからである。
を電気化学的に研磨することは殆ど不可能である。何故
なら、作用剤は異なる相を異なる割合で浸食するからで
ある。
が、これらは必ずしも中位の高精度ワイヤ放電加工装置
を用いて平滑な表面を得ることを目的とするものではな
い。
1は粗加工および仕上げ加工に必要なワイヤ電極オフセ
ットを保持するための相当データの登録を要しない放電
加工用ワイヤ電極の変位量計算方法を開示している。
加工用ワイヤ電極の位置を検出するセンサを開示してい
る。
ich両氏は、文献「Feinwerktecknik
& Messtecknik(87、(1979)、
4、S、181)」に「圧電駆動による高精度位置決
め」と題して、高精度の位置調整に圧電駆動機構を利用
することを述べている。しかしながら、この論文は研究
室レベルの機器について述べているものであって、工作
機械について述べているものではない。
1はワイヤ電極の位置を検知するシステムと、それを制
御する機構とを備えた高精度の装置を開示している。
形の装置を通してワイヤ電極を案内するシステムを開示
している。
所定の経路にそって移動するワイヤ電極と非加工製品の
端縁間の距離を計測して表面形成誤差を検出する装置を
備えた放電加工装置を開示している。
の座標系である。高精度放電による誤差は負帰還によっ
て補償される。中位の高精度装置に於けるセンサの目的
は、高い精度の輪郭と形を得ることであって、平滑な表
面を得ることではない。
で見られる中位の高精度ワイヤ放電加工機による加工に
よって0.1μm以下の面粗度を有する非常に平滑な面
を形成することを意図するものであり、また本発明の方
法を実施するのに特に適したワイヤ放電加工装置を指向
するものである。
請求項1の特徴部に記載の本発明による方法、ならびに
請求項21の特徴部に記載の本発明による装置によって
達成される。
えたワイヤ放電加工装置によって実施する放電加工方法
は、少なくとも一度粗加工を受けた被加工物の輪郭を、
少なくとも一度の仕上げ加工のための輪郭形状基準とし
て利用することを特徴としている。
ワイヤ放電加工による仕上げ加工によらずに金属鋳造パ
ターンとして使用するのに十分な精度の製品を製作する
のに極めて高精度の装置を使用する必要がないという点
である。さらに他の利点としては、本方法が装置に対し
て多くの費用加算を要求するものでない点である。
は、通常の加工工場で稼働する中位の高精度ワイヤ放電
加工装置で鏡面(面粗度0.1μm以下)を形成するの
に十分な弱いパルスを使用することができること、すな
わち火花間隙が加工公差より狭くなることである。
工物とワイヤ電極の間隙幅は火花間隙における電気的パ
ラメータの一つによって決定され、粗加工輪郭に対して
重畳される微調整は粗加工輪郭に対して直角に、かつ一
定の仕上げ加工スピードで実施され、間隙パラメータを
一定にし、それによって間隙幅を一定に保つようにして
いる。
物の上下面の加工域近傍における放電の輝度を検出し、
粗加工輪郭に対してワイヤ電極を直角方向に傾斜させ
て、被加工物上下面における放電輝度を同一のレベルに
保持するようにし、かつワイヤ電極を被加工物側面に対
して垂直に平行にするようにして微調整が実施される。
に沿って数回にわたって仕上げ加工を行なう場合には、
それら加工中ある程度ワイヤ電極をカットに沿って前後
に傾けることも可能である。
開始直前にセンサによって検出され、その結果は仕上げ
品にマッチするように、座標変換、回転、オフセット補
正によってプログラムを改変するのに用いられる。
放電加工装置の固有軸にしたがって微調整を実施する。
間隙の電気パラメータの測定、または光センサによって
一定に保たれ、それ故間隙幅を一定に保つ装置固有のオ
フセット補正によって微調整を決定していくこともまた
有利な方法である。
ーボ機構によって実施する場合には、特に有利な結果を
得ることができる。他方、このサーボ機構は弾性要素を
線形変形すアクチュエータでもある。
置の一部であって、空気圧また油圧による調整可能であ
るものが好ましい。本発明の更に他の実施例では、アク
チュエータは電磁気的に、または加熱そして/または冷
却によって感温性物質の長さを変化させる力を出力す
る。
み作用し、粗加工段階以前に被加工物の位置微調整動作
に入ることが望ましい。
サの代わりに超音波センサが利用され、それらからの信
号は加工電源と同期して処理され、それによって被加工
物の上部と底部との間における火花分布が音の持続期間
と強さによって決定される。
整の偏差が作業者に対して数値的に、或いはグラフを用
いて示され、許容最大偏差の範囲から逸脱したときには
警報が鳴り、少なくともこの偏差範囲の逸脱がある限り
加工は中止される。
からの不一致形状として大きく拡大して被加工物の輪郭
とともにモニタ上に示すことは特に有利である。
おけるサーボ機構は主軸または装置誤差を補正したり、
被加工物またはワイヤ電極を正しく位置決めしたり、ワ
イヤ電極位置センサによって検出されたワイヤ電極の位
置ずれを正確に補正したり、オフセット補正、仕上げ加
工誤差補正、またはこれら機能のすべてを補正すること
が可能である。
詳述する。
ブ3を介して物理的にかつ電気的に基材1に着いている
状態を示している。粗加工が材料固有テンションの力線
を横切るとき被加工物2に生じる変位は誇張して示して
ある。
これが装置自体を容易に変形させ、ワイヤ電極4に関し
て被加工物2に垂直方向に対する角度変位もたらす。
たり、1mについて12μmの膨張を示すものが代表的
である。この性質は、可成りな誤差が常に残るものの、
巧妙な設計によってある程度補償することができること
は勿論である。
が材料固有のテンションから開放された時どの位垂直方
向から傾いたかを誇張して示している。
での仕上げ加工ストロークは、被加工物2の左上部と、
右底部にのみ加えられることになる。被加工物が垂直方
向に厚ければ厚いほど、誤差はより明確になる。
た環境下で稼働する極めて高精度のワイヤ放電加工装置
でも、こうした誤差を補正することは不可能である。
工装置を示している。中位の高精度とは軸位置決めの絶
対精度が約5μm、ターンアラウンド公差が約2μm、
そして軸内経路の分解能が1μm程度の精度をいう。
6、上部アーム7、X−Yテーブル8、U−Vテーブル
9、および被加工物保持装置10から成っている。
ができる。上部ワイヤガイド11はU軸およびV軸に沿
って移動可能となっていて、下部ワイヤガイドに対して
ワイヤを傾斜させて傾斜した端面を切削形成する。
加工においては、加工パルスの振幅は数百アンペア、そ
の周期は約2μsecである。
間隙は通例60μmであり、加工表面の面粗度は約2μ
mで、これは殆どの使用に耐え得る十分な平滑度とは言
い得ない。
差を補正するための仕上げ加工は可成以前から試みられ
てきた。この技術は、オフセットに適当な補正を加えな
がら、連続的に振幅を小さくし、周期を短くした加工パ
ルスによって被加工物を数回にわたって再加工するもの
であった。
が増すばかりではなく、放電間隙はより狭められるとい
う結果が得られている。振幅が約2A、周期が約0.3
μsecの加工パルスで加工した場合には、面粗度は約
0.2μm、そして放電間隙幅は約3μmとなる。
遭遇する種々の機械的誤差は、特にここを限界点として
述べられている。これらの誤差には熱的にもたらされる
誤差や、図1、2について述べた誤差を伴っている。
得ることは不可能である。その理由は、短絡や空加工に
よって被加工物のある部分がまったく浸食されないから
である。
に高精度のワイヤ放電加工装置を使用することは全く意
味がない。
差は高精度装置でも依然発生するものであり、また装置
そのものが受け入れ難い程高価のものとなるからであ
る。本発明はこの限界点を決定的に乗り越える簡単な方
法を提供するものである。
絶対基準として加工装置自体の代わりに一回以上粗加工
を受けた中間製品を利用することにある。粗加工回数は
形状誤差が幾つまで許容し得るかによって決まる。
精度を上げないでサブミクロン領域での移動を可能にす
るための座標分解能を上げることである。加工装置がス
テッパーモータを使用している場合には、最善の解決策
は電気的に刻みを減少することである。
トメータを増加させることが可能である。勾配または正
接・余接比を意味する加工方向は数値制御から知ること
ができるし、加工方向に対する法線は90度の回転によ
って決定できる。
想幅に保つことを目標にこの横方向から始める。適当な
オフセット補正、電源パラメータ、および一定の加工速
度等については、既に知られている仕上げ加工技術と同
様に選択する。
つの電気的間隙パラメータ、例えば平均加工電圧、平均
加工電流、または平均点火遅延等を計測し、基準値と比
較する。
ロになるまで被加工物を前進または後退させて微調節を
開始する。これらの方法は図1に示した被加工物の正し
くない位置にワイヤ電極を一致させることになる。
工装置の一部に熱的または機械的に生じた機能不全は、
被加工物の全縁から一様な厚さで材料を浸食加工するた
めに修正しなければならない。
加工物2の垂直方向における角度変位を訂正することは
不可能であることは勿論である。これを訂正するために
は、被加工物の高さ方向に沿った火花分布を検出する更
にもう一つのセンサが必要になる。
伝体からなる上部光センサ14と下部光センサ15は被
加工物2の上下面における加工域近傍において放電の輝
度を検出する。
算される。処理装置13からの信号によって、被加工物
上下面における放電輝度を同一のレベルに保つためのU
−V面における微調整が始まる。
値制御装置によって加工方向に対してある角度で傾けら
れる。
出する方法としては、この他にも幾つかの方法がある。
例えば、超音波センサは放電輝度を検出する光センサに
代わって火花音の強さを検出することができる。
るので、その振幅が距離についての情報を与えてくれ
る。しかし、もし音の発生からセンサによって傍受され
るまでの時間間隔が計測されれば、どの位音波が継続し
たかによって距離を割り出すことも可能である。
分電流電圧計測と共にワイヤ電極4のインピーダンスを
利用している。
で更に信頼性にかけるので、適当な方法とは言えない。
いずれにしても、これらの微調整の結果、ワイヤ電極は
図2に示した被加工物2の垂直方向誤差に一致すること
になる。
ず、依然縦縞模様16、殆ど目視不能、を見せている被
加工物2を示している。縞16は殆どがサブミクロンオ
ーダの低い隆起で、例えば0.5ミリ間隔に互いに離間
している。
例えば、被加工物の結晶構造内に在る小さい点状の欠陥
であるとか、ワイヤ電極の直径の誤差によるものである
とか、あるいは加工装置全体に衝撃を与える振動である
と言ったものである。
い時間で生成され、平らに均すことが殆ど不可能だと言
うことである。
は僅かにカーブした曲線部に沿う仕上げ加工時に、ワイ
ヤ電極を加工方向に沿って僅かに前後に傾斜させること
ができる。
ル9を移動することによって傾斜を作り、仕上げ加工の
間にワイヤ電極がある角度で各縞模様16に更に長く接
するようにして、縞模様の処理を優先させてやる。
12から、一つの縞模様と次のものとの距離である約
0.5mmだけ変位した場合に理想的な角度が生ずる
が、0.1mm変位させただけでも好結果を生むことが
できる。
そして特に加工が特別に空気調和された環境において高
精度加工装置によって行なわれる場合には仕上げ加工に
入る直前に、被加工物の位置と形状を検出することで十
分に満足な結果を得られる。
32208)に開示されているワイヤ電極位置センサと
同様のものは現在入手、利用できる状態にある。この種
のセンサはワイヤガイド11、12に対するワイヤ電極
4の位置の検出、補正に使用することができる。
精度の非電気的検出操作を可能にするものである。
X−Y軸に平行な変位、およびX、YまたはZ軸のまわ
りの回転角(オイラー回転マトリクッス)は、内蔵固有
プログラムによって検出することができる。
から適切なオフセット補正量を導出することも可能であ
る。この特徴によって、ワイヤ電極の直径誤差に対する
補正のみならず、被加工物の熱膨張に対する補正も可能
となる。
は実際に検出、決定された被加工物の位置に対応して変
換、回転される。必要な数学的マトリックス計算は既に
知られているところである。(例えば、W.Knap
p,Software Geometriekorre
ktur,Technischen Rundscha
u 39(1987),Hallwag,Bern,S
witzerland,and the refere
nces cited therein)
ーボ機構XF,YF,ならびに上部ワイヤガイド11に
関するサーボ機構UF,VFを備えた本発明の実施例を
示している。
はドイツ特許3048631(米国特許442334
7)に開示されているタイプの圧電アクチュエータであ
ってもよい。これら構成要素によって、サブミクロン領
域においてさえ極めて正確、かつ迅速な動作が可能にな
る。
防止することが難しい装置の低周波振動を補正するのに
特に実効性がある。サーボ機構XF、YF、およびU
F、VFは電磁的に作動するものであっても良いことは
勿論である。
を示すものである。この実施例の裏にある考え方は、ア
クチュエータXK,YK,UK,およびVKを加工装置
の弾性要素に作用させ、制御された減衰手段17を導入
しようとするものである。
K,およびVKは例えば、上部アーム7および下部アー
ム6に設けることが可能である。
圧力によって駆動される短ストロークの空気または油圧
ピストン−シリンダ機構によって力を加えることもでき
る。
場合には、真鍮とか適当な合金(例えば、形状記憶合
金)と言った、特定の温度に対応して伸縮する感温性の
材料を利用することも可能である。
記サーボ機構を再装備するのに特に適した実施例を示す
ものである。
およびUF、VFは被加工物保持装置10に設けられて
いる。アクチュエータXK,YK,UK,およびVKを
同様に用いることが可能であることは当然である。
Fの回転点は必ずしもワイヤ電極の軸とは一致しない
が、この状態は被加工物が十分小さく、微調整も重要で
ないという場合には、無視しても良い。その結果は、簡
単な改造性によって得られる利益によって十分に補償さ
れたものとなる。
で、基材1を自動的に正確に位置決めすることが可能で
あるという点である。緩みはセンサによって検出され、
直ちにサーボ機構XF、YF、およびUF、VFまたは
アクチュエータXK,YK,UK,およびVKによって
補正される。
よって、加工装置のX、Y、U、V、Z軸方向に直線補
完誤差を導入することなくこれらの軸に一致する。
とは実際的である。サーボ機構XF、YF、およびU
F、VFによって実施される微調整過程で生ずる偏差は
本発明にしたがって数値的に、または図形によって表示
される。
を中断できるようにしておくこともまた実際的である。
偏差の許容範囲からの逸脱は、例えば加工装置が加熱し
過ぎたときに生ずるものである。加熱による歪みが加工
装置から消えたときに作業は自動的に再開する。
げ加工時に、基準輪郭からのずれを拡大表示した微調整
分を含む被加工物の輪郭の形でモニタ上に表示される。
この表示では異なる色または点線等が使用される。
ット補正をしていないかどうか、また輪郭からの過剰な
ずれによって生じた作業の中断直前に加工装置がどのよ
うに動作していたかを知ることができる。多かれ少なか
れモニタは顕微鏡的働きをする。
は、そのデザインによっては、ある程度同時的にその他
の追加的機能として利用することができる。
可能なものの一つであり、これまで1μm刻みで行なわ
れていた主軸補正や、装置の補正をもっと正確なものと
することもできる。
の位置決めも可能であり、オフセット補正も広い範囲で
可能となる。
加工経路の補完操作から分離され、輪郭全体にわたって
オフセット補正が変化することを許容することになる。
よりきついカーブの加工経路で生じがちなひどい歪みを
改善するための割り込みに関連しても利点が得られる。
底的に改良し、これによって加工中に生ずる装置の熱的
歪み、又は振動、さらには被加工物に生ずる歪みと言っ
た広範囲にわたる有害作用にも拘らず、比較的簡単な装
置によっても高品質の加工表面を得ることができるよう
にしたものである。
上げ加工によらずに金属鋳造パターンとして使用するの
に十分な精度の製品を製作するのに極めて高精度の装置
を使用する必要がなく、さらに他の利点としては、本方
法が装置に対して多くの費用加算を要求するものでない
点にある。
向の角度変位を強調して描いた図。
方向の角度変位を強調して描いた図1のA−A線に沿っ
てとった断面図。
装置を示す斜視図。
って被加工物から除去されつつある垂直縞模様を示す
図。
高精度ワイヤ放電加工装置を示す斜視図。
位の高精度ワイヤ放電加工装置を示す斜視図。
位の高精度ワイヤ放電加工装置を示す斜視図。
Claims (32)
- 【請求項1】 中位の高精度と安定性を有するワイヤ放
電加工装置によって行なう精密ワイヤ放電加工方法であ
って、少なくとも一回の粗加工を既に受けた被加工物
(2)の輪郭を少なくとも一回の仕上げ加工において輪
郭形状基準として利用することを特徴とする精密ワイヤ
放電加工方法。 - 【請求項2】 被加工物(2)とワイヤ電極(4)の間
の間隙幅は、少なくともこの間隙における電気的パラメ
ータの一つによって決定され、粗加工経路に重畳される
正確なサーボ動作は、前期間隙パラメータを一定に保
ち、それによって間隙幅を一定に保つようにして、粗加
工経路に直角に、かつ一定の仕上げ加工速度で開始され
ることを特徴とする請求項1に記載の精密ワイヤ放電加
工方法。 - 【請求項3】 上部光センサ(14)と下部光センサ
(15)は被加工物の上下面加工部近傍において放電の
輝度を検出し、被加工物上下面における放電輝度を同一
レベルに保持し、かつワイヤ電極を被加工物側面に対し
縦方向に平行に保つようにワイヤ電極を傾斜させて微調
整を開始することを特徴とする請求項1または2に記載
の精密ワイヤ放電加工方法。 - 【請求項4】 直線部または僅かに曲がった曲線部に沿
って数回の仕上げ加工を施す場合、この加工の間、加工
経路に沿ってワイヤ電極を前後に傾斜させることを特徴
とする請求項1ないし3に記載の精密ワイヤ放電加工方
法。 - 【請求項5】 仕上げ加工の直前にセンサによって被加
工物の位置および形状を検出し、その結果に基づいて座
標変換、回転によってプログラムを変更し、前段で得ら
れた形状に適したオフセット補正を行なうことを特徴と
する請求項1に記載の精密ワイヤ放電加工方法。 - 【請求項6】 微調整はワイヤ放電加工装置に固有の軸
(X、Y、U、V)について実施されることを特徴とす
る請求項1ないし5に記載の精密ワイヤ放電加工方法。 - 【請求項7】 微調整は、前記間隙の電気的パラメータ
の計測、または光センサによる計測によって一定に保持
され、それ故間隙幅を一定に保持する加工装置固有のオ
フセット補正によって決定されることを特徴とする請求
項1ないし6に記載の精密ワイヤ放電加工方法。 - 【請求項8】 微調整はサーボ機構(XF、YF、およ
びUF、VF)によって実施されることを特徴とする請
求項1ないし5に記載の精密ワイヤ放電加工方法。 - 【請求項9】 サーボ機構(XF、YF、およびUF、
VF)は圧電アクチュエータであることを特徴とする請
求項8に記載の精密ワイヤ放電加工方法。 - 【請求項10】 サーボ機構は弾性要素に線形変形を与
えるアクチュエータ(XK、YK、UK、VK)である
ことを特徴とする請求項8に記載の精密ワイヤ放電加工
方法。 - 【請求項11】 弾性要素はワイヤ放電加工装置または
被加工物保持装置(10)の部分(5、6、または7)
であることを特徴とする請求項10に記載の精密ワイヤ
放電加工方法。 - 【請求項12】 アクチュエータ(XK、YK、UK、
VK)は制御された空気圧または油圧により作動するこ
とを特徴とする請求項10に記載の精密ワイヤ放電加工
方法。 - 【請求項13】 アクチュエータ(XK、YK、UK、
VK)は電磁気的力を発生することを特徴とする請求項
10に記載の精密ワイヤ放電加工方法。 - 【請求項14】 アクチュエータ(XK、YK、UK、
VK)は加熱そして/または冷却によって、したがって
感温性物質の長さを変化させることによって力を発生す
ることを特徴とする請求項10に記載の精密ワイヤ放電
加工方法。 - 【請求項15】 サーボ機構(XF、YF、およびU
F、VF)は被加工物保持装置(10)によってのみ作
用することを特徴とする請求項8に記載の精密ワイヤ放
電加工方法。 - 【請求項16】 サーボ機構(XF、YF、およびU
F、VF)は被加工物の位置を微調整するために粗加工
の前に動作することを特徴とする請求項8ないし15に
記載の精密ワイヤ放電加工方法。 - 【請求項17】 光センサに代わって超音波センサを使
用し、その信号を加工電源と同期して処理し、これによ
って音波の継続期間と強さを計測することによって被加
工物の上部と底部間にある火花分布を決定することを特
徴とする請求項3に記載の精密ワイヤ放電加工方法。 - 【請求項18】 微調整の偏差は数値的にあるいは図形
的に作業者に表示され、かつ許容最大偏差からの逸脱が
発生し、この状態が存在するかぎり作業が中断されてい
るときには警報が発せられることを特徴とする請求項1
乃至17に記載の精密ワイヤ放電加工方法。 - 【請求項19】 微調整時には、被加工物の輪郭は、そ
れからのずれの形で拡大表示した偏差と共にモニタ上に
表示されることを特徴とする請求項18に記載の精密ワ
イヤ放電加工方法。 - 【請求項20】 サーボ機構は主軸また装置の誤差を補
正し、被加工物またはワイヤ電極を正確に位置決めし、
ワイヤ電極位置センサによって検出されたワイヤ電極の
ずれを正確に補正し、オフセットまたは仕上げ加工経路
の誤差を補正する等、これらすべての機能を有すること
を特徴とする請求項1乃至19に記載の精密ワイヤ放電
加工方法。 - 【請求項21】 調整機構を備えたワイヤ放電加工装置
であって、サーボ機構(XF、YF、およびUF、V
F)は粗加工経路に対してある角度で微調整を行ない、
被加工物とワイヤ電極間の間隔はセンサによって計測さ
れ、放電火花の近傍において一定に保たれることを特徴
とするワイヤ放電加工装置。 - 【請求項22】 被加工物の上下に設けた光センサ(1
4、15)は被加工物上下面の加工部近傍における放電
の輝度を検出することを特徴とする請求項21に記載の
ワイヤ放電加工装置。 - 【請求項23】 サーボ機構(XF、YF、およびU
F、VF)は圧電アクチュエータであることを特徴とす
る請求項21または22に記載のワイヤ放電加工装置。 - 【請求項24】 サーボ機構は弾性要素に線形変形を与
えるアクチュエータ(XK、YK、UK、VK)である
ことを特徴とする請求項21、22、または23に記載
のワイヤ放電加工装置。 - 【請求項25】 弾性要素はワイヤ放電加工機または被
加工物保持装置(10)の部分(5、6、または7)で
あることを特徴とする請求項24に記載のワイヤ放電加
工装置。 - 【請求項26】 アクチュエータ(XK、YK、UK、
VK)は制御された空気圧または油圧により作動するこ
とを特徴とする請求項24または25に記載のワイヤ放
電加工装置。 - 【請求項27】 アクチュエータ(XK、YK、UK、
VK)は電磁気的力を発生することを特徴とする請求項
24または25に記載のワイヤ放電加工装置。 - 【請求項28】 アクチュエータ(XK、YK、UK、
VK)は加熱そして/または冷却によって、したがって
感温性物質の長さを変化させることによって力を発生す
ることを特徴とする請求項24に記載のワイヤ放電加工
装置。 - 【請求項29】 サーボ機構(XF、YF、およびU
F、VF)は被加工物保持装置(10)によってのみ作
用することを特徴とする請求項24乃至28に記載のワ
イヤ放電加工装置。 - 【請求項30】 光センサの代わりに超音波センサを使
用したことを特徴とする請求項22乃至29に記載のワ
イヤ放電加工装置。 - 【請求項31】 微調整時には、偏差を被加工物の輪郭
からのずれの形で拡大表示するモニタを備えたことを特
徴とする請求項21乃至30に記載のワイヤ放電加工装
置。 - 【請求項32】 サーボ機構は主軸また装置の誤差を補
正し、被加工物またはワイヤ電極を正確に位置決めし、
ワイヤ電極位置センサによって検出されたワイヤ電極の
ずれを正確に補正し、オフセットまたは仕上げ加工経路
の誤差を補正する等、これらすべての機能を有すること
を特徴とする請求項21乃至31に記載のワイヤ放電加
工装置。
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