JPH06260706A - 放電型レーザ発生装置とその高電圧発生装置 - Google Patents
放電型レーザ発生装置とその高電圧発生装置Info
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- JPH06260706A JPH06260706A JP5045195A JP4519593A JPH06260706A JP H06260706 A JPH06260706 A JP H06260706A JP 5045195 A JP5045195 A JP 5045195A JP 4519593 A JP4519593 A JP 4519593A JP H06260706 A JPH06260706 A JP H06260706A
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- pulse
- voltage generator
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 低い耐圧のトランスを用いてこの耐圧以上の
高電圧を発生させる。 【構成】 ２つのパルス電圧発生装置３，４と、各パル
ス電圧発生装置３，４から同期した同一周期，同一パル
ス幅のパルス電圧を発生させる手段５と、各パルス電圧
発生装置３，４対応に設けられ夫々の１次巻線６ｅ，７
ｅが対応パルス電圧発生装置３，４の出力に接続される
極性以外の特性が等しい順極性及び逆極性の２つのトラ
ンス６，７とで高電圧発生装置を構成し、この順極性ト
ランス６の２次巻線６ｆのプラス端子６ｃをレーザ発振
用放電管２のアノード２ｂに接続し、逆極性トランス７
のマイナス端子７ｃをカソード２ｃに接続し、各トラン
ス６，７の他端子６ｄ，７ｄをアースに接続する。これ
により、各トランス６，７のそれぞれの耐圧の２倍の高
電圧を放電管のアノード，カソード間に印加することが
可能となる。
高電圧を発生させる。 【構成】 ２つのパルス電圧発生装置３，４と、各パル
ス電圧発生装置３，４から同期した同一周期，同一パル
ス幅のパルス電圧を発生させる手段５と、各パルス電圧
発生装置３，４対応に設けられ夫々の１次巻線６ｅ，７
ｅが対応パルス電圧発生装置３，４の出力に接続される
極性以外の特性が等しい順極性及び逆極性の２つのトラ
ンス６，７とで高電圧発生装置を構成し、この順極性ト
ランス６の２次巻線６ｆのプラス端子６ｃをレーザ発振
用放電管２のアノード２ｂに接続し、逆極性トランス７
のマイナス端子７ｃをカソード２ｃに接続し、各トラン
ス６，７の他端子６ｄ，７ｄをアースに接続する。これ
により、各トランス６，７のそれぞれの耐圧の２倍の高
電圧を放電管のアノード，カソード間に印加することが
可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は金属蒸気レーザ等の放電
型レーザ発生装置に係り、特に、大出力のパルスレーザ
を発生させるのに好適な放電型レーザ発生装置とこれに
用いる高電圧発生装置に関する。
型レーザ発生装置に係り、特に、大出力のパルスレーザ
を発生させるのに好適な放電型レーザ発生装置とこれに
用いる高電圧発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】金属蒸気レーザ発生装置等の放電型レー
ザ発生装置を動作させる場合、放電管に印加する電圧を
高くしてレーザ出力の大出力化を図る一方、放電開始を
良好に行う必要がある。放電開始を良好に行わせる従来
技術として、例えば特開平１−１４９４９３号公報記載
のものがある。この従来技術では、スイッチング電源の
出力をトランスで昇圧し、放電管を放電させてパルスレ
ーザを得ている。即ち、１つのトランスのコアに巻き付
けた１次巻線をスイッチング電源の出力に接続し、この
コアに巻き付けた放電用２次巻線に現れる正の高電圧を
放電管のアノードに印加して放電管を放電させている。
しかし、この構成のみでは、放電開始がうまくいかない
ため、放電用２次巻線と同一コアに巻き付けたトリガ用
２次巻線に放電用２次巻線とは逆極性の負の高電圧を放
電開始時のみの短期間のみ発生させ、この負の高電圧を
放電管のカソードに印加し、放電開始時のみアノード・
カソード間に印加される電圧を高め、放電開始を容易に
している。
ザ発生装置を動作させる場合、放電管に印加する電圧を
高くしてレーザ出力の大出力化を図る一方、放電開始を
良好に行う必要がある。放電開始を良好に行わせる従来
技術として、例えば特開平１−１４９４９３号公報記載
のものがある。この従来技術では、スイッチング電源の
出力をトランスで昇圧し、放電管を放電させてパルスレ
ーザを得ている。即ち、１つのトランスのコアに巻き付
けた１次巻線をスイッチング電源の出力に接続し、この
コアに巻き付けた放電用２次巻線に現れる正の高電圧を
放電管のアノードに印加して放電管を放電させている。
しかし、この構成のみでは、放電開始がうまくいかない
ため、放電用２次巻線と同一コアに巻き付けたトリガ用
２次巻線に放電用２次巻線とは逆極性の負の高電圧を放
電開始時のみの短期間のみ発生させ、この負の高電圧を
放電管のカソードに印加し、放電開始時のみアノード・
カソード間に印加される電圧を高め、放電開始を容易に
している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術は、
放電開始の改良に係るものであり、放電開始時のみアノ
ード・カソード間に高電圧が印加され、実際に放電が開
始してから得られるレーザ出力は、放電用２次巻線から
アースとアノード間に印加される電圧値のみに依存する
ことになる。近年、大出力のレーザが求められ、このた
め、放電管のアースとアノード間に１００ｋＶの電圧を
印加する試みがなされている。しかし、１００ｋＶをア
ース・アノード間に印加しようとしても、トランス自体
の絶縁耐性がないため、容易でない。このため、特別に
専用の高耐圧トランスや放電管周りの絶縁設備を開発し
なければならないという問題がある。
放電開始の改良に係るものであり、放電開始時のみアノ
ード・カソード間に高電圧が印加され、実際に放電が開
始してから得られるレーザ出力は、放電用２次巻線から
アースとアノード間に印加される電圧値のみに依存する
ことになる。近年、大出力のレーザが求められ、このた
め、放電管のアースとアノード間に１００ｋＶの電圧を
印加する試みがなされている。しかし、１００ｋＶをア
ース・アノード間に印加しようとしても、トランス自体
の絶縁耐性がないため、容易でない。このため、特別に
専用の高耐圧トランスや放電管周りの絶縁設備を開発し
なければならないという問題がある。
【０００４】本発明の目的は、既存設備や既存のトラン
スを使用して大出力レーザを得ることの可能な放電型レ
ーザ発生装置とこれに用いる高電圧発生装置を提供する
ことにある。
スを使用して大出力レーザを得ることの可能な放電型レ
ーザ発生装置とこれに用いる高電圧発生装置を提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的は、２つのパル
ス電圧発生装置と、各パルス電圧発生装置から同期した
同一周期，同一パルス幅のパルス電圧を発生させる手段
と、各パルス電圧発生装置対応に設けられ夫々の１次巻
線が対応パルス電圧発生装置の出力に接続される極性以
外の特性が等しい順極性及び逆極性の２つのトランス
と、順極性トランスの２次巻線のプラス端子がアノード
に接続され逆極性トランスのマイナス端子がカソードに
接続され各トランスの他端子がアースに接続されるレー
ザ発振用放電管とを設けることで、達成させる。
ス電圧発生装置と、各パルス電圧発生装置から同期した
同一周期，同一パルス幅のパルス電圧を発生させる手段
と、各パルス電圧発生装置対応に設けられ夫々の１次巻
線が対応パルス電圧発生装置の出力に接続される極性以
外の特性が等しい順極性及び逆極性の２つのトランス
と、順極性トランスの２次巻線のプラス端子がアノード
に接続され逆極性トランスのマイナス端子がカソードに
接続され各トランスの他端子がアースに接続されるレー
ザ発振用放電管とを設けることで、達成させる。
【０００６】
【作用】順極性トランスの２次電圧を＋Ａボルトとして
これを放電管のアノードに接続し、逆極性トランスの２
次電圧を−Ｂボルトとしてこれを放電管のカソードに接
続すると、アノード・カソード間の電圧はＡ−（−Ｂ）
＝Ａ＋Ｂとなる。現在の技術として絶縁耐性５０ｋＶの
ものは完成された技術として存在するので、絶縁耐性５
０ｋＶの２つのトランスを用いることで、レーザ発振用
放電管に１００ｋＶの高電圧を印加することが可能とな
る。
これを放電管のアノードに接続し、逆極性トランスの２
次電圧を−Ｂボルトとしてこれを放電管のカソードに接
続すると、アノード・カソード間の電圧はＡ−（−Ｂ）
＝Ａ＋Ｂとなる。現在の技術として絶縁耐性５０ｋＶの
ものは完成された技術として存在するので、絶縁耐性５
０ｋＶの２つのトランスを用いることで、レーザ発振用
放電管に１００ｋＶの高電圧を印加することが可能とな
る。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。図１は、本発明の第１実施例に係る高電圧発生
装置とこれを用いた放電型レーザ発生装置の要部構成図
である。本実施例に係る放電型レーザ発生装置は、高電
圧発生装置１と、レーザ発振用放電管２を備える。高電
圧発生装置１は、２つのパルス電圧発生装置３，４と、
パルス電圧発生装置３，４間の同期をとる同期手段５
と、２つのトランス６，７からなる。
明する。図１は、本発明の第１実施例に係る高電圧発生
装置とこれを用いた放電型レーザ発生装置の要部構成図
である。本実施例に係る放電型レーザ発生装置は、高電
圧発生装置１と、レーザ発振用放電管２を備える。高電
圧発生装置１は、２つのパルス電圧発生装置３，４と、
パルス電圧発生装置３，４間の同期をとる同期手段５
と、２つのトランス６，７からなる。
【０００８】パルス電圧発生装置３，４は同一構成のた
め、装置３の構成についてのみ説明し、装置４について
は装置３に同一サフックスの符号を付けてその説明を省
略する。パルス電圧発生装置は、入力端子３ａ，３ｂ
と、出力端子３ｃ，３ｄを備え、入力端子３ａと出力端
子３ｃとが、直列接続された順方向ダイオード３ｅ及び
キャパシタ３ｆで接続され、入力端子３ｂと出力端子３
ｄとが直接接続されると共に、該入力端子３ｄ（出力端
子３ｄ）と順方向ダイオード３ｅのアノード（キャパシ
タアｆとの接続側）とがサイラトロン等のスイッチ素子
３ｇで接続されている。
め、装置３の構成についてのみ説明し、装置４について
は装置３に同一サフックスの符号を付けてその説明を省
略する。パルス電圧発生装置は、入力端子３ａ，３ｂ
と、出力端子３ｃ，３ｄを備え、入力端子３ａと出力端
子３ｃとが、直列接続された順方向ダイオード３ｅ及び
キャパシタ３ｆで接続され、入力端子３ｂと出力端子３
ｄとが直接接続されると共に、該入力端子３ｄ（出力端
子３ｄ）と順方向ダイオード３ｅのアノード（キャパシ
タアｆとの接続側）とがサイラトロン等のスイッチ素子
３ｇで接続されている。
【０００９】同期手段５は、パルス発生装置３のスイッ
チ素子３ｇと、パルス発生装置４のスイッチ素子４ｇと
が同時にスイッチオンとなるように動作する。
チ素子３ｇと、パルス発生装置４のスイッチ素子４ｇと
が同時にスイッチオンとなるように動作する。
【００１０】トランス６，７は極性が異なる以外は構成
が同一の別個のトランスであり、トランス６は入力端子
６ａ，６ｂと、出力端子６ｃ，６ｄを備え、入力端子６
ａ，６ｂが一次巻線６ｅが接続され、出力端子６ｃ，６
ｄが二次巻線６ｆに接続されている。トランス７はトラ
ンス６と同一構成であるため、トランス６と同一サフッ
クスの符号を付けてその説明を省略する。
が同一の別個のトランスであり、トランス６は入力端子
６ａ，６ｂと、出力端子６ｃ，６ｄを備え、入力端子６
ａ，６ｂが一次巻線６ｅが接続され、出力端子６ｃ，６
ｄが二次巻線６ｆに接続されている。トランス７はトラ
ンス６と同一構成であるため、トランス６と同一サフッ
クスの符号を付けてその説明を省略する。
【００１１】レーザ発振用放電管２は、導体でなる筒体
２ａと、筒体２ａ内の一方に配置されたアノード２ｂ
と、他方に配置されたカソード２ｃを備える。
２ａと、筒体２ａ内の一方に配置されたアノード２ｂ
と、他方に配置されたカソード２ｃを備える。
【００１２】パルス電圧発生装置３，４の夫々の入力端
子３ａ，３ｂ及び４ａ，４ｂは図示しない電源に接続さ
れる。出力端子３ｃ，３ｄ及び４ｃ，４ｄは夫々トラン
ス６，７の入力端子６ａ，６ｂ及び７ａ，７ｂに接続さ
れる。トランス６のプラス端子つまり端子６ｃは放電管
２のアノード２ｂに接続され、トランス７のマイナス端
子つまり端子７ｃは放電管２のカソード２ｃに接続さ
れ、トランス６，７の端子６ｄ，７ｄは共に放電管２の
導電性筒体２ａに接続され、この筒体２ａがアースに接
続される。
子３ａ，３ｂ及び４ａ，４ｂは図示しない電源に接続さ
れる。出力端子３ｃ，３ｄ及び４ｃ，４ｄは夫々トラン
ス６，７の入力端子６ａ，６ｂ及び７ａ，７ｂに接続さ
れる。トランス６のプラス端子つまり端子６ｃは放電管
２のアノード２ｂに接続され、トランス７のマイナス端
子つまり端子７ｃは放電管２のカソード２ｃに接続さ
れ、トランス６，７の端子６ｄ，７ｄは共に放電管２の
導電性筒体２ａに接続され、この筒体２ａがアースに接
続される。
【００１３】上述した構成の放電管型レーザ発生装置の
動作について説明する。パルス電圧発生装置３とトラン
ス６の系統では、スイッチ３ｇが解放状態のとき、端子
３ａから、順方向ダイオード３ｅ→キャパシタ３ｆ→端
子３ｃ→端子６ａ→一次巻線６ｅ→端子６ｂ→端子３ｄ
→端子３ｂと電流が流れ、キャパシタ３ｆが充電され
る。同様に、パルス電圧発生装置４のキャパシタ４ｆも
充電される。
動作について説明する。パルス電圧発生装置３とトラン
ス６の系統では、スイッチ３ｇが解放状態のとき、端子
３ａから、順方向ダイオード３ｅ→キャパシタ３ｆ→端
子３ｃ→端子６ａ→一次巻線６ｅ→端子６ｂ→端子３ｄ
→端子３ｂと電流が流れ、キャパシタ３ｆが充電され
る。同様に、パルス電圧発生装置４のキャパシタ４ｆも
充電される。
【００１４】同期手段５の作用により両スイッチ素子３
ｇ，４ｇが同時に閉状態になると、キャパシタ３ｆの充
電電荷は、キャパシタ３ｆ→端子３ｃ→端子６ａ→一次
巻線６ｅ→端子６ｂ→端子３ｄ→スイッチ素子３ｇ→キ
ャパシタ３ｆの閉ループをパルス的に流れ、同時に、キ
ャパシタ４ｆの充電電荷は、キャパシタ４ｆ→端子４ｃ
→端子７ａ→一次巻線７ｅ→端子７ｂ→端子４ｄ→スイ
ッチ素子４ｇ→キャパシタ４ｆの閉ループをパルス的に
流れる。
ｇ，４ｇが同時に閉状態になると、キャパシタ３ｆの充
電電荷は、キャパシタ３ｆ→端子３ｃ→端子６ａ→一次
巻線６ｅ→端子６ｂ→端子３ｄ→スイッチ素子３ｇ→キ
ャパシタ３ｆの閉ループをパルス的に流れ、同時に、キ
ャパシタ４ｆの充電電荷は、キャパシタ４ｆ→端子４ｃ
→端子７ａ→一次巻線７ｅ→端子７ｂ→端子４ｄ→スイ
ッチ素子４ｇ→キャパシタ４ｆの閉ループをパルス的に
流れる。
【００１５】トランス６では、上記した閉ループにパル
ス電流が流れることで、二次巻線６ｆの出力端子６ｄ，
６ｃ間に例えば５０ｋＶのパルス電圧が誘起し、トラン
ス７では、上記した閉ループにパルス電流が流れること
で、二次巻線７ｆの出力端子７ｄ，７ｃ間に例えば−５
０ｋＶのパルス電圧が誘起する。トランス６の出力端子
ｄはアースに接続され、出力端子６ｃは放電管２のアノ
ード２ｂに接続されているため、アノード２ｂには前記
パルス電圧と同一パルス幅の＋５０ｋＶのパルス電圧が
印加されることになる。トランス７の出力端子７ｄはア
ースに接続され、出力端子が放電管２のカソード２ｃに
接続されているため、カソード２ｃには−５０ｋＶのパ
ルス電圧が印加されることになる。このため、カソード
２ｃとアノード２ａの間に印加されるパルス電圧は合計
で１００ｋＶとなる。この１００ｋＶのパルス電圧が繰
り返しアノード２ｂ，カソード２ｃ間に印加されること
で、放電管２内でレーザが発振する。
ス電流が流れることで、二次巻線６ｆの出力端子６ｄ，
６ｃ間に例えば５０ｋＶのパルス電圧が誘起し、トラン
ス７では、上記した閉ループにパルス電流が流れること
で、二次巻線７ｆの出力端子７ｄ，７ｃ間に例えば−５
０ｋＶのパルス電圧が誘起する。トランス６の出力端子
ｄはアースに接続され、出力端子６ｃは放電管２のアノ
ード２ｂに接続されているため、アノード２ｂには前記
パルス電圧と同一パルス幅の＋５０ｋＶのパルス電圧が
印加されることになる。トランス７の出力端子７ｄはア
ースに接続され、出力端子が放電管２のカソード２ｃに
接続されているため、カソード２ｃには−５０ｋＶのパ
ルス電圧が印加されることになる。このため、カソード
２ｃとアノード２ａの間に印加されるパルス電圧は合計
で１００ｋＶとなる。この１００ｋＶのパルス電圧が繰
り返しアノード２ｂ，カソード２ｃ間に印加されること
で、放電管２内でレーザが発振する。
【００１６】この様に、本実施例によれば、５０ｋＶ耐
圧の２つのトランスを用いレーザ発振用放電管のアノー
ド，カソード間に１００ｋＶのパルス電圧を印加するこ
とができ、高出力のレーザを得ることが可能となる。
圧の２つのトランスを用いレーザ発振用放電管のアノー
ド，カソード間に１００ｋＶのパルス電圧を印加するこ
とができ、高出力のレーザを得ることが可能となる。
【００１７】図２は、本発明の放電型レーザ発生装置に
用いる第２実施例に係る高電圧発生装置の構成図であ
る。本実施例に係る高電圧発生装置は、同一構成のパル
ス電圧発生装置８，９と、順極性トランス６と、逆極性
トランス７と、同期手段５からなる。図１に示す高電圧
発生装置と異なる点は、パルス発生装置８，９の内部構
成のみであるので、パルス電圧発生装置８についてのみ
その構成と動作を説明する。
用いる第２実施例に係る高電圧発生装置の構成図であ
る。本実施例に係る高電圧発生装置は、同一構成のパル
ス電圧発生装置８，９と、順極性トランス６と、逆極性
トランス７と、同期手段５からなる。図１に示す高電圧
発生装置と異なる点は、パルス発生装置８，９の内部構
成のみであるので、パルス電圧発生装置８についてのみ
その構成と動作を説明する。
【００１８】本実施例に係るパルス電圧発生装置８は、
公知の倍電圧回路を採用しており、入力端子８ａ，８ｂ
と、出力端子８ｃ，８ｄを備え、入力端子８ａ接続点Ａ
とを順方向ダイオード８ｅで接続し、接続点Ａと出力端
子８ｃとを、直列接続したキャパシタ８ｆ及び可飽和リ
アクトル８ｇで接続し、入力端子８ｂと接続点Ａとをキ
ャパシタ８ｉで接続し、入力端子８ｂと接続点Ａとを、
直列接続したスイッチ素子８ｋ及び可飽和リアクトル８
ｊで接続し、入力端子８ｃ，８ｄ間をコイル８ｈで接続
している。
公知の倍電圧回路を採用しており、入力端子８ａ，８ｂ
と、出力端子８ｃ，８ｄを備え、入力端子８ａ接続点Ａ
とを順方向ダイオード８ｅで接続し、接続点Ａと出力端
子８ｃとを、直列接続したキャパシタ８ｆ及び可飽和リ
アクトル８ｇで接続し、入力端子８ｂと接続点Ａとをキ
ャパシタ８ｉで接続し、入力端子８ｂと接続点Ａとを、
直列接続したスイッチ素子８ｋ及び可飽和リアクトル８
ｊで接続し、入力端子８ｃ，８ｄ間をコイル８ｈで接続
している。
【００１９】スイッチ素子８ｋが解放状態のとき、入力
端子８ａに接続された図示しない電源から電流がパルス
電圧発生装置に電流が供給されると、キャパシタ８ｆ，
８ｉが充電される。スイッチ素子８ｋが閉状態になる
と、キャパシタ８ｉに蓄積されている電荷は、キャパシ
タ８ｉ−スイッチ素子８ｋ−可飽和リアクトル８ｊのル
ープで振動を開始し、半周期で、キャパシタ８ｉは最初
の状態と逆方向に充電される。この半周期が終了するま
での間、可飽和リアクトル８ｇは磁束が飽和しない値に
設定されているため開状態となっており、キャパシタ８
ｆの蓄積電荷は移動しない。この半周期がすぎたとき、
可飽和リアクトル８ｇの磁束が飽和して閉状態になる
と、キャパシタ１個の場合に比べて２倍の電圧がトラン
ス６の一次巻線６ｅの入力端子６ａ，６ｂ間に加わり、
二次巻線出力端子６ｃ，６ｄ間にパルス電圧が発生す
る。パルス発生装置９でもパルス発生装置８と同期して
同一パルス幅の逆極性のパルス電圧が二次巻線出力端子
７ｃ，７ｄ間に発生する。
端子８ａに接続された図示しない電源から電流がパルス
電圧発生装置に電流が供給されると、キャパシタ８ｆ，
８ｉが充電される。スイッチ素子８ｋが閉状態になる
と、キャパシタ８ｉに蓄積されている電荷は、キャパシ
タ８ｉ−スイッチ素子８ｋ−可飽和リアクトル８ｊのル
ープで振動を開始し、半周期で、キャパシタ８ｉは最初
の状態と逆方向に充電される。この半周期が終了するま
での間、可飽和リアクトル８ｇは磁束が飽和しない値に
設定されているため開状態となっており、キャパシタ８
ｆの蓄積電荷は移動しない。この半周期がすぎたとき、
可飽和リアクトル８ｇの磁束が飽和して閉状態になる
と、キャパシタ１個の場合に比べて２倍の電圧がトラン
ス６の一次巻線６ｅの入力端子６ａ，６ｂ間に加わり、
二次巻線出力端子６ｃ，６ｄ間にパルス電圧が発生す
る。パルス発生装置９でもパルス発生装置８と同期して
同一パルス幅の逆極性のパルス電圧が二次巻線出力端子
７ｃ，７ｄ間に発生する。
【００２０】このようにして発生した高電圧のパルス電
圧を放電管のアノード・カソード間に印加することで、
高出力のレーザを得ることが可能になる。
圧を放電管のアノード・カソード間に印加することで、
高出力のレーザを得ることが可能になる。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、低い耐圧のトランス２
つを用いてこの耐圧の倍の高電圧を発生させることが可
能となる。また、この高電圧を利用してレーザ発振を起
こさせるため、設備設備を用いて高効率にレーザ出力を
得ることが可能となる。
つを用いてこの耐圧の倍の高電圧を発生させることが可
能となる。また、この高電圧を利用してレーザ発振を起
こさせるため、設備設備を用いて高効率にレーザ出力を
得ることが可能となる。
【図１】本発明の一実施例に係る高電圧発生装置とこれ
を用いた放電管型レーザ発生装置の要部構成図である。
を用いた放電管型レーザ発生装置の要部構成図である。
【図２】本発明の別実施例に係る高電圧発生装置の構成
図である。
図である。
１…高電圧発生装置、２…放電管，２ａ…アノード、２
ｂ…カソード、３，４，８，９…パルス電圧発生装置、
５…同期手段、６…順極性トランス、７…逆極性トラン
ス。
ｂ…カソード、３，４，８，９…パルス電圧発生装置、
５…同期手段、６…順極性トランス、７…逆極性トラン
ス。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菅原 宏之 茨城県日立市幸町三丁目１番１号 株式会 社日立製作所日立工場内 (72)発明者 緑川 義男 茨城県日立市幸町三丁目２番２号 日立ニ ュークリアエンジニアリング株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 ２つのパルス電圧発生装置と、各パルス
電圧発生装置から同期した同一周期，同一パルス幅のパ
ルス電圧を発生させる手段と、各パルス電圧発生装置対
応に設けられ夫々の１次巻線が対応パルス電圧発生装置
の出力に接続される極性以外の特性が等しい順極性及び
逆極性の２つのトランスと、順極性トランスの２次巻線
のプラス端子がアノードに接続され逆極性トランスのマ
イナス端子がカソードに接続され各トランスの他端子が
アースに接続されるレーザ発振用放電管とを設けること
を特徴とする放電型レーザ発生装置。 - 【請求項２】 請求項１において、パルス電圧発生装置
とトランスが磁気圧縮回路を構成することを特徴とする
放電型レーザ発生装置。 - 【請求項３】 請求項２において、パルス電圧発生装置
は倍電圧発生回路であることを特徴とする放電型レーザ
発生装置。 - 【請求項４】 ２つのパルス電圧発生装置と、各パルス
電圧発生装置から同期した同一周期，同一パルス幅のパ
ルス電圧を発生させる手段と、各パルス電圧発生装置対
応に設けられ夫々の１次巻線が対応パルス電圧発生装置
出力に接続される極性以外の特性が等しい順極性及び逆
極性の２つのトランスであって、順極性トランスの２次
巻線のプラス端子と逆極性トランスのマイナス端子が出
力端子となり各トランスの他端子が共通にアースに接続
される２つのトランスとからなることを特徴とする高電
圧発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5045195A JPH06260706A (ja) | 1993-03-05 | 1993-03-05 | 放電型レーザ発生装置とその高電圧発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5045195A JPH06260706A (ja) | 1993-03-05 | 1993-03-05 | 放電型レーザ発生装置とその高電圧発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06260706A true JPH06260706A (ja) | 1994-09-16 |
Family
ID=12712497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5045195A Pending JPH06260706A (ja) | 1993-03-05 | 1993-03-05 | 放電型レーザ発生装置とその高電圧発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06260706A (ja) |
-
1993
- 1993-03-05 JP JP5045195A patent/JPH06260706A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040614 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| A02 | Decision of refusal |
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