JPH06258437A - 光学装置及び速度情報検出装置 - Google Patents

光学装置及び速度情報検出装置

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JPH06258437A
JPH06258437A JP5045254A JP4525493A JPH06258437A JP H06258437 A JPH06258437 A JP H06258437A JP 5045254 A JP5045254 A JP 5045254A JP 4525493 A JP4525493 A JP 4525493A JP H06258437 A JPH06258437 A JP H06258437A
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公 石塚
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    • G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/36—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 光学部品を少なくし、構成を簡略化して、更
なる小型化が可能な速度情報検出装置と、それを実現す
ることが可能な光学装置を提供する。 【構成】 光束を光束分離手段で複数光束に分離し、複
数光束を互いに異なる方位で対象領域に照射する構成と
して、対象領域に複数光束を光束分離手段（Ｇ１，Ｇ
２，Ｐ１）より出射して空間的に分離しない状態で照射
する光学装置及び該領域の被検対象から出射される光を
受光する受光手段（６）とを有し、該受光手段の受光に
よって被検対象の速度に関係する情報が検出されるよう
にした。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、物体の移動速度を光学
的に検出する速度情報測定装置と、このような装置に特
に好適な光束照射用の光学装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ビデオレコーダの回転ドラム
等の精密速度測定には光学式ドップラー速度測定装置が
使用されているが、最近の小型化の要求とともにインチ
サイズの光学ヘッドが各種考案されてきた。
【０００３】図１９は、従来のレーザドップラー速度セ
ンサの光学配置図である。
【０００４】波長安定ガスレーザ１’（波長λ）から射
出された平行光Ｒは、ハーフミラーＨＭにより光束Ｒ+1
と光束Ｒ-1に２分割され、それぞれミラーＭ１、Ｍ２に
より主光線の光軸を折り曲げ、速度υで相対移動してい
る被検物体Ｌ上の同一地点に入射角＋θおよび−θにて
斜めに照射される。
【０００５】被検物体から散乱されたドップラー信号光
を含む光束Ｒ’は受光素子６に導光される。受光素子６
からは、散乱光に含まれるドップラー周波数ｆとして
【０００６】
【外１】 で示される周波数成分を含む信号が出力されるので、適
当な周波数弁別回路により必要な周波数信号帯域のみを
取り出して、その周期信号の周波数をカウントすること
により、被検物体の移動速度を知ることができるもので
ある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】最近はより小型化され
た速度計が求められている。しかし、これらの光学ヘッ
ドを更にｍｍサイズまで小型化するには、光路、光学系
を更に工夫しなければならない。
【０００８】本発明は、光学部品を少なくし、構成を簡
略化して、更なる小型化が可能な速度情報検出装置と、
それを実現することが可能な光学装置を提供することを
目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述目的を達成するため
に本発明の光学装置は、光束を光束分離手段で複数光束
に分離し、該複数光束を互いに異なる方位で対象領域に
照射する装置において、前記対象領域に前記複数光束を
前記光束分離手段より出射して空間的に分離しない状態
で照射する様にしている。
【００１０】また本願発明の速度情報検出装置は、可干
渉光束を発生する光源と、該光源より射出された可干渉
光束を複数光束に分離するとともに互いに異なる方位に
射出させる光束分離手段と、該光束分離手段を出射する
複数光束が空間的に分離しない領域の被検対象から出射
される光を受光する受光手段とを有し、該受光手段の受
光によって被検対象の速度に関係する情報が検出される
様にしている。
【００１１】また本願発明の光学装置は、容器と、該容
器内に配置された光源と、前記容器に設けられた透光部
材と、該透光部材の一面に設けられた前記光源から放射
される光束をコリメートする集光光学素子と、前記透光
部材の他面に設けられた前記集光光学素子からのコリメ
ート光束を複数光束に分離するとともに互いに異なる方
位に射出させる光束分離手段とを有し、前記複数光束を
前記光束分離手段より出射して空間的に分離しない状態
で対象領域に照射する様にしている。
【００１２】更に本願発明の速度情報検出装置は、容器
と、該容器内に配置された可干渉光束を発生する光源
と、前記容器に設けられた透光部材と、該透光部材の一
面に設けられた前記光源から放射される光束をコリメー
トする集光光学素子と、前記透光部材の他面に設けられ
た前記集光光学素子からのコリメート光束を複数光束に
分離するとともに互いに異なる方位に射出させる光束分
離手段と、該光束分離手段を出射する複数光束が空間的
に分離しない領域の被検対象から出射される光を受光す
る受光手段とを有し、該受光手段の受光によって被検対
象の速度に関係する情報が検出される様にしている。
【００１３】
【実施例】図１は本発明の第１の実施例のレーザードッ
プラー速度計の原理説明図、図２は同実施例の信号処理
系部の構成図、図３は同実施例の光学部構成図、図４は
同実施例の光学装置部の断面図である。図中、１は発光
素子（ＥＸ．レーザダイオード）、２はコリメータレン
ズ、３はガラス板、Ｒは光束、Ｇ１は回折格子、６は受
光素子、１１は信号増幅用のアンプ、１２は周波数フィ
ルター、１３は二値化回路、１４は部材を収容する容器
である。図３、４に示すように、コリメータレンズ２と
回折格子Ｇ１は、ガラス板３の表面と裏面にそれぞれ設
けられている。
【００１４】主に図１を用いて測定原理を説明する。発
光素子１（波長λ）から射出された発散光はコリメータ
レンズ２により平行光束Ｒにされ回折格子Ｇ１（格子ピ
ッチｄ）に角度φにて斜入射され、＋１次回折光光束Ｒ
+1と−１次回折光光束Ｒ-1に２分割され、図２で示され
るようにそれぞれ回折角＋θおよび−θにて射出され
る。光軸垂直方向に広がりを持っている２光束が空間的
に完全に分離する前の領域に配置した速度υにて相対移
動している被検物体Ｏの散乱面によってドップラー周波
数成分ｆを含む散乱光が矢印で示される方向に強く射出
する。
【００１５】上記散乱光は、回折格子Ｇ１のすぐ脇に設
置された受光素子６に効率よく入射する。
【００１６】受光素子６からは、散乱光に含まれるドッ
プラー周波数ｆとして
【００１７】
【外２】 を周波数成分として含む信号が出力される。そこで図２
に示すように、アンプ１１によって増幅された信号から
適当な周波数弁別回路（周波数フィルター１２）により
必要な周波数信号帯域のみを取り出して、更に二値化回
路１３で二値化し、その周期信号の周波数を不図示のカ
ウンターにより単位時間あたりの信号カウントすること
により求め、不図示の演算器で上記式により速度算出を
行って、被検物体の移動速度を知ることができる。
【００１８】回折格子Ｇ１によって発生する回折光束Ｒ
+1、Ｒ-1が空間に形成する干渉縞のピッチは、光学系を
ｄ・sin θ＝λが満たされるように配置することで、光
源の波長λに依存せず回折格子Ｇ１のピッチｄの１／２
を保存し、ドップラー周波数ｆが変動しない。即ち、上
述の周波数ｆを示す式にｄ・sin θ＝λを代入すれば、
波長λのない以下の式が導出される。
【００１９】
【外３】
【００２０】よって波長変動のありうるレーザダイオー
ドをそのまま使用することができ、温度安定化機構等が
不要になるので小型で扱いやすいドップラー速度センサ
が実現する。
【００２１】本実施例は光学系に２光束の光路の折り曲
げ光学系が無いので非常に構成がシンプルであり、小型
化に適している。また、散乱光を効率よく受光素子に取
り入れることができるので、ｓ／ｎの良い信号が得られ
る。本実施例では特に、回折格子Ｇ１、レンズ２がガラ
ス板３の両面に成形され一体化されているので、発光素
子、受光素子、ガラス板状複合光学部品の３点のみのシ
ンプルな構成にできるので、薄型化に適している。
【００２２】図５は本発明の第２の実施例の説明図であ
る。第１実施例と同様の部材には同じ符号を冠してあ
る。本実施例では特に回折格子Ｇ１として、ラメラ位相
回折格子を用いている。また回折格子Ｇ１をガラス板３
の上面に設け、コリメータレンズ２は別設している。
【００２３】発光素子１（波長λ）から射出された発散
光はコリメータレンズ２により平行光束Ｒにされ、ラメ
ラ位相回折格子Ｇ１に角度φにて斜入射され、回折光束
Ｒ+1と回折光束Ｒ-1に２分割され、それぞれ角度＋θお
よび−θにて射出される。２光束が空間的に完全に分離
する前の領域に配置した速度υにて相対移動している被
検物体の散乱面Ｌによってドップラー周波数成分ｆを含
む散乱光が矢印で示される方向に強く射出する。上記散
乱光は、回折格子Ｇ１のすぐ脇に設置された受光素子６
に効率よく入射する。信号処理については前述第１実施
例と同様である。
【００２４】本実施例では、生じる回折光束が±１次光
Ｒ+1、Ｒ-1のみになるように（特に０次光束が出ない様
に）ラメラ位相回折格子Ｇ１に段差を与えることにより
空間に投影される干渉縞がより明瞭になり、よりｓ／ｎ
の良い信号が得られる。即ち、ラメラ位相回折格子Ｇ１
による特定次数（±１次光）のエネルギー集中を利用し
たので不要回折光が生じず光量の利用効率が良いので、
よりｓ／ｎの良い信号が得られる。
【００２５】図６は本発明の第３の実施例の説明図であ
る。第１実施例と同様の部材には同じ符号を冠してあ
る。本実施例では特に回折格子として逆向きのブレーズ
回折格子Ｇ１、Ｇ２を設けている。
【００２６】発光素子１（波長λ）から射出された発散
光はコリメータレンズ２により平行光束Ｒにされ、ブレ
ーズ回折格子Ｇ１、Ｇ２に角度φにて斜入射され、回折
格子Ｇ１より光束Ｒ+1が、回折格子Ｇ２より光束Ｒ-1が
生じ、それぞれ角度＋θおよび−θにて射出される。２
光束が空間的に完全に分離する前の領域に配置した速度
υにて相対移動している被検物体の散乱面Ｌによってド
ップラー周波数成分ｆを含む散乱光が矢印で示される方
向に強く射出する。上記散乱光は、回折格子Ｇ１、Ｇ２
のすぐ脇に設置された受光素子６に効率よく入射する。
【００２７】本実施例では特に、互いに逆向きに配列し
たブレーズ回折格子Ｇ１、Ｇ２により生じる回折光束が
±１次光Ｒ+1、Ｒ-1のみになるように各回折格子にブレ
ーズ角を与えることにより空間に投影される干渉縞がよ
り強くなりかつ明瞭になり、よりｓ／ｎの良い信号が得
られる。即ち、ブレーズ回折格子Ｇ１、Ｇ２による特定
次数（±１次光）のエネルギー集中を利用したので不要
回折光が生じず光量の利用効率が良いので、よりｓ／ｎ
の良い信号が得られる。
【００２８】図４の変形として、図７に示すように、ガ
ラス板３に受光素子まで覆わせる様にし、散乱光をガラ
ス板３を透過させてから受光素子６に入射させる構造で
も可能である。
【００２９】また図８に示すように、更にレンズ２’を
設け、散乱光をレンズで集光して受光素子６に入射させ
る構造も可能である。
【００３０】図９、図１０は本発明の第６、第７の実施
例の説明図、図１１、図１２は本発明の第７の実施例の
側面断面図、正面断面図である。第１実施例と同様の部
材には同じ符号を冠してある。本実施例では特に回折格
子の代わりに、屋根型プリズムＰ１を設けている。そし
て第６実施例ではレンズ２をガラス板３とは別体とし、
第７実施例ではレンズ２をガラス板３上に設けている。
【００３１】発光素子１（波長λ）から射出された発散
光はコリメータレンズ２により平行光束Ｒにされ屋根型
プリズムＰ１に角度φにて斜入射され、屈折光束Ｒ+1と
屈折光束Ｒ-1に２分割され、それぞれ角度＋θおよび−
θにて射出される。
【００３２】２光束が空間的に完全に分離する前の領域
に配置した速度υにて相対移動している被検物体の散乱
面Ｌによってドップラー周波数成分ｆを含む散乱光が矢
印で示される方向に強く射出する。
【００３３】上記散乱光は、プリズムＰ１のすぐ脇に設
置された受光素子６に効率よく入射する。信号処理につ
いては第１実施例と同様である。
【００３４】本実施例も、光学系に２光束の光路の折り
曲げ光学系が無いので非常に構成がシンプルであり、小
型化に適している。
【００３５】本実施例では、２光束の分割光学系に屋根
型プリズムによる屈折を利用したので不要光が生じず光
量の利用効率が良いので、ｓ／ｎの良い信号が得られ
る。更に２光束の空間的分離前の２光束交差領域が広い
ので、散乱光を効率よく発生させられるので、よりｓ／
ｎの良い信号が得られる。
【００３６】本実施例では特に、プリズムＰ１、レンズ
２がガラス板３の両面に成形され一体化されているの
で、発光素子、受光素子、ガラス板状複合光学部品の３
点のみのシンプルな構成にできるので、薄型化に適す。
【００３７】図１３、図１４は本発明の第８の実施例の
側面断面図、正面断面図であり、プリズムの２つの面の
うち片方のみを光束と垂直になる様に配置したものであ
る。
【００３８】図１５、図１６は本発明の第９の実施例の
側面断面図、正面断面図である。この実施例のように、
散乱光をガラス板上にプリズムの形成されていない部分
を形成してガラス板３に受光素子まで覆わせる様にし、
この部分を透過させてから受光素子６に入射させる構造
でも可能である。
【００３９】図１７、図１８は本発明の第１０の実施例
の側面断面図、正面断面図である。この実施例の様に、
更にレンズ２’を設け、散乱光をレンズで集光して受光
素子６に入射させる構造も可能である。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、回折格子等の光束
分割手段で発生させた２光束が完全に空間的に分離する
前の互いに光路を重ねあっている状態の領域を利用して
被検物体に照射する光学装置、およびその被検物体から
の散乱光を受光する手段を設けた速度情報検出装置によ
り、光学部品を少なくし、構成を簡略化し、ミリサイズ
の薄型な装置が実現された。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例のレーザードップラー速
度計の原理説明図である。
【図２】同実施例の信号処理系部の構成図である。
【図３】同実施例の光学部構成図である。
【図４】同実施例の光学装置部の断面図である。
【図５】本発明の第２の実施例の説明図である。
【図６】本発明の第３の実施例の説明図である。
【図７】図４に示した構成の変形例である。
【図８】図４に示した構成の他の変形例である。
【図９】本発明の第６の実施例の説明図である。
【図１０】本発明の第７の実施例の説明図である。
【図１１】本発明の第７の実施例の側面断面図である。
【図１２】本発明の第７の実施例の正面断面図である。
【図１３】本発明の第８の実施例の側面断面図である。
【図１４】本発明の第８の実施例の正面断面図である。
【図１５】本発明の第９の実施例の側面断面図である。
【図１６】本発明の第９の実施例の正面断面図である。
【図１７】本発明の第１０の実施例の側面断面図であ
る。
【図１８】本発明の第１０の実施例の正面断面図であ
る。
【図１９】従来例の説明図である。
【符号の説明】
１ 光源 ２ レンズ ３ ガラス板 Ｒ 光束 Ｇ１、Ｇ２ 回折格子 Ｐ１ プリズム ６ 受光素子 １１ アンプ １２ 周波数フィルター １３ 二値化回路 １４ 容器

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 光束を光束分離手段で複数光束に分離
    し、該複数光束を互いに異なる方位で対象領域に照射す
    る装置において、前記対象領域に前記複数光束を前記光
    束分離手段より出射して空間的に分離しない状態で照射
    することを特徴とする光学装置。
  2. 【請求項２】 可干渉光束を発生する光源と、該光源よ
    り射出された可干渉光束を複数光束に分離するとともに
    互いに異なる方位に射出させる光束分離手段と、該光束
    分離手段を出射する複数光束が空間的に分離しない領域
    の被検対象から出射される光を受光する受光手段とを有
    し、該受光手段の受光によって被検対象の速度に関係す
    る情報が検出されることを特徴とする速度情報検出装
    置。
  3. 【請求項３】 容器と、該容器内に配置された光源と、
    前記容器に設けられた透光部材と、該透光部材の一面に
    設けられた前記光源から放射される光束をコリメートす
    る集光光学素子と、前記透光部材の他面に設けられた前
    記集光光学素子からのコリメート光束を複数光束に分離
    するとともに互いに異なる方位に射出させる光束分離手
    段とを有し、前記複数光束を前記光束分離手段より出射
    して空間的に分離しない状態で対象領域に照射すること
    を特徴とする光学装置。
  4. 【請求項４】 容器と、該容器内に配置された可干渉光
    束を発生する光源と、前記容器に設けられた透光部材
    と、該透光部材の一面に設けられた前記光源から放射さ
    れる光束をコリメートする集光光学素子と、前記透光部
    材の他面に設けられた前記集光光学素子からのコリメー
    ト光束を複数光束に分離するとともに互いに異なる方位
    に射出させる光束分離手段と、該光束分離手段を出射す
    る複数光束が空間的に分離しない領域の被検対象から出
    射される光を受光する受光手段とを有し、該受光手段の
    受光によって被検対象の速度に関係する情報が検出され
    ることを特徴とする速度情報検出装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07297498A (ja) * 1994-03-01 1995-11-10 Seiko Epson Corp 半導体レーザおよびこれを用いた光センシング装置
US6246482B1 (en) 1998-03-09 2001-06-12 Gou Lite Ltd. Optical translation measurement

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6031218A (en) * 1992-10-05 2000-02-29 Logitech, Inc. System and method for generating band-limited quasi-sinusoidal signals
US5729009A (en) 1992-10-05 1998-03-17 Logitech, Inc. Method for generating quasi-sinusoidal signals
US6229140B1 (en) 1995-10-27 2001-05-08 Canon Kabushiki Kaisha Displacement information detection apparatus
US6151185A (en) * 1996-09-05 2000-11-21 Canon Kabushiki Kaisha Position detecting apparatus, positioning apparatus, and information recording apparatus using the same
JPH10227858A (ja) * 1997-02-13 1998-08-25 Canon Inc 変位情報測定装置
US6256016B1 (en) 1997-06-05 2001-07-03 Logitech, Inc. Optical detection system, device, and method utilizing optical matching
US6631047B2 (en) 1997-09-22 2003-10-07 Canon Kabushiki Kaisha Interference device, position detecting device, positioning device and information recording apparatus using the same
US6424407B1 (en) 1998-03-09 2002-07-23 Otm Technologies Ltd. Optical translation measurement
CA2322874A1 (en) * 1998-03-09 1999-09-16 Otm Technologies, Ltd. Optical translation measurement
JPH11351813A (ja) 1998-06-08 1999-12-24 Canon Inc 干渉装置及びそれを用いた位置検出装置
US6407815B2 (en) * 1998-07-02 2002-06-18 Sony Precision Technology Inc. Optical displacement measurement system
KR100531458B1 (ko) * 1998-08-20 2005-11-25 소니 매뉴펙츄어링 시스템즈 코포레이션 광학식 변위측정장치
EP1131639A4 (en) 1998-09-28 2002-09-18 California Inst Of Techn MINIATURIZED OPTICAL SENSOR
JP4365927B2 (ja) * 1999-03-12 2009-11-18 キヤノン株式会社 干渉計測装置及び格子干渉式エンコーダ
US6674066B1 (en) 1999-04-16 2004-01-06 Canon Kabushiki Kaisha Encoder
JP2000321021A (ja) 1999-05-10 2000-11-24 Canon Inc 干渉装置、変位測定装置、及びそれを用いた情報記録又は／及び再生装置
WO2001011739A1 (en) * 1999-08-10 2001-02-15 Coretek, Inc. Single etalon optical wavelength reference device
JP4846909B2 (ja) 2000-02-15 2011-12-28 キヤノン株式会社 光学式エンコーダ及び回折格子の変位測定方法
JP2001336952A (ja) 2000-05-26 2001-12-07 Canon Inc 測定装置
US6608668B2 (en) * 2000-08-11 2003-08-19 California Institute Of Technology Sub miniaturized laser doppler velocimeter sensor
EP1339012B1 (en) * 2002-02-14 2013-10-16 Unity Opto Technology Co., Ltd. Modular optical mouse for a personal computer
US20050151968A1 (en) * 2004-01-08 2005-07-14 The Lxt Group Systems and methods for continuous, on-line, real-time surveillance of particles in a fluid
US7437120B2 (en) 2005-01-31 2008-10-14 Xerox Corporation Optical sensor for monitoring motion of a blank sheet
GB0616838D0 (en) * 2006-08-25 2006-10-04 Moir Christopher I Velocity detector
US20080150897A1 (en) * 2006-12-22 2008-06-26 Timothy Lin Optical structure for a laser input device
US20120162634A1 (en) * 2009-07-22 2012-06-28 Continental Teves Ag & Co. Ohg Speed sensor
DE102010034972B4 (de) 2010-08-20 2013-07-18 Elovis Gmbh Optische Messung von Bewegungen

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3825341A (en) * 1971-06-11 1974-07-23 Tokyo Shibaura Electric Co Doppler radar using laser
US3820863A (en) * 1972-04-21 1974-06-28 Gen Electric Unitary end frame and bearing support member for a dynamoelectric machine
US3820896A (en) * 1973-01-02 1974-06-28 Singer Co Velocimeter with improved signal to noise ratio
GB1603087A (en) * 1977-06-10 1981-11-18 Nat Res Dev Processing of digital signals
DE9106409U1 (de) * 1991-05-24 1991-11-21 Mesacon Gesellschaft für Meßtechnik mbH, 4600 Dortmund Optische Anordnung zur Messung der Geschwindigkeit einer bewegten Oberfläche
US5283434A (en) * 1991-12-20 1994-02-01 Canon Kabushiki Kaisha Displacement detecting device with integral optics

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07297498A (ja) * 1994-03-01 1995-11-10 Seiko Epson Corp 半導体レーザおよびこれを用いた光センシング装置
US6246482B1 (en) 1998-03-09 2001-06-12 Gou Lite Ltd. Optical translation measurement
US6330057B1 (en) 1998-03-09 2001-12-11 Otm Technologies Ltd. Optical translation measurement
US6452683B1 (en) 1998-03-09 2002-09-17 Otm Technologies Ltd. Optical translation measurement

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