JPH01109214A - ロータリエンコーダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 及旦五亘灼 ［産業上の利用分野］ 本発明は光学式のロータリエンコーダに関する。 ［従来の技術］ 従来、光学式のロータリエンコーダとしては、スリット
を備えた回転円板を用いるパルススケール式のものや、
回折格子を備えた回転円板を用いるドプラ式のものがあ
る。 第１５図にパルススケール式のロータリエンコーダの構
成例を示す。第１５図に示す様に、パルススケール式の
ロータリエンコーダは回転軸３１に設置された、円周方
向に等間隔にスリット３２を備える円板３３と、上記ス
リット３２を挾む様に対向して設置された発光素子３４
と受光素子３５とからなる。上記発光素子３４からの光
信号は、回転軸３１の回転に対応してスリット３２の間
隔に同期したパルス信号として受光素子３５により検出
される。上記検出されたパルス信号のパルス数をカウン
トすることにより回転軸３１の回転角が求められる。 また、ドプラ式のロータリエンコーダとしては、例えば
、特開昭６１−６６９２７号公報の提案がある。上記提
案によるドプラ式のロータリエンコーダは回転円板の周
囲上に放射格子を備え、該放射格子に照射されたレーザ
光の回折光のドプラシフト量に基づいて回転角を求める
ものである。 ［発明が解決しようとする問題点］ 上記パルススケール式のロータリエンコーダにおいては
、検出精度を高めるためにはスリット３２の間隔を細か
くする必要がある。゛しかし、上記スリット３２の間隔
をあまり細かくすると、光の回折が起こり、検出精度が
かえって低下するという問題があり、回折を避けるため
には、円板３３の直径を大きくしなければならない。 また、上記特開昭６１−６６９２７号公報の提案におい
ては、上記ｔｌｉ射格子の間隔の不揃いによる誤差や回
転円板取り付は時の偏心による誤差を避けるためにレー
ザ光を複雑に反射、偏光、合成して回転円板上の２点に
照射する必要がある。また、上記の様な複雑な装置を用
いないと回転方向を検出できないという問題もある。ざ
らに、レーザ装置自体に基づく発振光の周波数変動の影
響により誤差を生ずるという問題もある。 １肌五璽虜 そこで、本発明は上記問題点を解決することを目的とし
、次のような構成を採用した。 ｒ問題点を解決するための手段］ 即ち、本発明の要旨とするところは、光を散乱または反
射する回転体と、うなりを持ったレーザ光を発生するレ
ーザ装置と、上記レーザ光のうなりの周波数を検出する
第１検出手段と、　上記レーザ光にうなりを発生させる
互いに周波数の異なるレーザ光成分を分割して取り出し
一方のレーザ光成分を上記回転体に照射する分割照射手
段と、上記分割照射手段により回転体に照射され散乱ま
たは反射された一方のレーザ光成分と、他方のレーザ光
成分とを合成する合成手段と、上記合成手段により合成
されたレーザ光のうなりの周波数を検出する第２検出手
段と、上記第１検出手段および第２検出手段により検出
されたうなりの周波数に基づき上記回転体の回転角を演
算する演算手段と、を備えることを特徴とするロータリ
エンコーダにある。 ［作用］ レーザ光装置から互いに周波数が異なり振動面の直交す
る平行波（以後Ｐ波と言う）と垂直波（以後Ｓ波と言う
）とによりうなりを持ったレーザ光が発射される。上記
うなりを持ったレーザ光の一部が第１検出手段に導かれ
元のレーザ光のうなりの周波数（以１１ｆＢと言う）が
検出される。 残りのレーザ光は分割照射手段によりＰ波とＳ波に分割
され、Ｐ波が回転体の所定位置に照射され回転体の回転
に基づきドプラシフトを受けて散乱または反射される。 上記ドプラシフトを受けて散乱又は反射されたＰ波とＳ
波とを合成手段に導き、うなりを持ったレーザ光を合成
して取り出す。上記合成されたレーザ光は第２検出手段
に導かれ、ドプラシフトを受けた後のうなりの周波数（
以後ｆＤと言う）が検出される。上記検出されたｆＤ及
びｆ８が演算手段に入力され回転体の回転角が求められ
る。 ここで、演算手段における基本式を（１）式に示す。 Δｆ−（ｆ／Ｃ）・す・（貢−ｆ）・−（１）ここで、 Δｆ・・・散乱光または反射光の周波数変化量ｆ・・・
入射光の周波数 Ｃ・・・光速 ■・・・回転体の接線方向速度ベクトルｋ・・・散乱光
または反射光の方向ベクトルト・・入射光の方向ベクト
ル である。 上記第１検出手段及び第２検出手段により周波数変化量
Δｆ−ｆＤ−ｆＢが得られれば、（１）式に基づいて演
算手段により回転体の回転角が求まる。 ［実施例］ 次に、本発明の詳細な説明する。本発明はこれらに限定
されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲の種々
の態様のものが含まれる。 第１図に本発明の第１実施例であるロータリエンコーダ
の要部構成図を示す。また、第２図は本実施例の回転体
の要部を表わす側面図を示す。 本実施例のロータリエンコーダは、回転軸１に設置され
、第２図に示す様に表面に光散乱粒子２を備える回転体
である透明円板３ａと、互いに周波数が異なり振動面の
直交するＰ波とＳ波とによるうなりを持ったレーザ光を
発生するレーザ装置４と、上記レーザ光のうなりの周波
数を検出する第１検出手段である第１受光素子５と、上
記レーザ光をＰ波とＳ波に分割し、Ｐ波を透明円板３ａ
の所定位置に照射する分割照射手段である第１６１光ビ
ームスプリツタ６と、上記第１偏光ビームスプリツタ６
により分割されたＳ波と分割照射後光散乱粒子２により
散乱され透明円板３ａの回転に基づいてドプラシフトを
受けたＰ波とを合成する合成手段である第２ｉ１光ビー
ムスブリツータフと、上記第２偏光ビームスプリツタ７
により合成されたレーザ光のうなりの周波数を検出する
第２検出手段としての第２受光素子８と、上記第１受光
素子５、第２受光素子８からの検出信号により求まる上
記Ｐ波のドプラシフト量から透明円板３ａの回転角を演
算する演算手段である演算器９及びそれらの付ａ装置か
らなる。 上記レーザ装置４から発射されたレーザ光はビームスプ
リッタ１０により一定の比率で反射光と透過光に分割さ
れる。上記反射光は第１（ｌ光子１１によりＰ波とＳ波
の４５°成分が重ね合され第１受光素子５に導かれる。 上記第１受光素子５ではレーザ装置４から発射されたレ
ーザ光のｆＢが検出される。一方、上記ビームスプリッ
タ１０を透過したレーザ光は第１６１光ビームスプリツ
タ６によってＳ波が反射光としてＰ波が透過光として取
り出される。上記Ｐ波は透明円板３ａの所定の位置に導
かれ、光散乱粒子２により散乱される。 上記散乱されたＰ波は透明円板３ａの回転に基づきドプ
ラシフトを受は周波数が変化している。上記ドプラシフ
トを受けて散乱されたＰ波は所定位置に設けたマスク１
２により特定方向の散乱光のみが取り出され、第２偏光
ビームスプリツタ７に導かれる。また、上記第１偏光ビ
ームスプリツタ６により反射されたＳ波はミラー１３に
より反射され第２偏光ビームスプリツタ７へ導かれる。 上記第２偏光ビームスプリツタ７ではＰ波はそのまま透
過し、Ｓ波はＰ波の透過方向へ反射され、ドプラシフト
による周波数変化分だけ元のレーザ光と異なるうなりを
持ったレーザ光が合成される。 上記合成されたレーザ光は第２偏光子１４によりＰ波と
Ｓ波の４５°成分が重ね合わされた第２受光素子８に導
かれる。上記第２受光素子８では上記合成されたレーザ
光のｆＤが検出される。上記検出されたｆＢは第１増幅
器１５により増幅された後、第１波形整形器１６により
パルス信号に変換され、第１カウンタ１７にて計数され
た一定微小時間内におけるカウント数（以後ＣＢと言う
）が比較器１８に入力される。同じく、上記検出された
ｆＤは第２増幅器１９、第２波形整形器２０、第２カウ
ンタ２１を経て上記一定微小時間内におけるカウント数
（以後ＣＤと言う）が比較器１８′に入力される。上記
比較器１８においてはＣＢとＣＤの差が検出され演算器
９に入力される。演算器９は透明円板３ａの回転角を演
算し出力する。 次に、演算器９において実行される演算処理について説
明する。 第３図にＰ波が透明円板３ａに入射し散乱される状態を
表わす要部構成図を示す。また、第４図に第３図におけ
る入射光（了）、散乱光（π）及び速度（’）の関係を
表わすベクトル図を示す。 第３図に示す様に、第１偏光ビームスプリツタ６を透過
したＰ波は入射角θで透明円板３ａに入射する。また、
マスク１２は透明円板３ａから出射角θで出射するＰ波
だけを選択して取り出せる位置に設ける。したがって、
上記マスク１２によって取り出されるＰ波は光散乱粒子
２によって散乱された光のうち、透明円板３ａの屈折率
に対応して第３図に示す様に垂直軸に対し散乱角φ方向
に散乱された光である。 ここで、第４図に基づいて（１）式を変形すると、Δｆ
Ｐ−（ｆＰ／ｃ）　・ｖ−（ｓｉｎφ＋ｓｉｎθ）・・
・（２） ここで、 ΔｆＰ・・・ドプラシフトによるＰ波の周波数変化量 ｆＰ・−Ｐ波の元の周波数 Ｃ・・・光速 ■・・・透明円板３ａの回転速度 である。尚、■は第３図に矢印にて示す方向に回転する
時は負の値となる。 また、透明円板３ａの屈折率をｎ、Ｐ波の波長をλＰと
すると、（２）式は、 ΔｆＰ　−（１／λＰ）　φ（（ｎ＋１＞／ｎ）拳Ｖφ
ｓｉｎθ・−（３） となる。 （３）式を一定微小時間について積分し、透明円板３ａ
の回転に基づく接線方向の移動距離（ｘｌ）を表わすと
、 Ｘ１＝　（ｎ／　（１＋ｎ））−（λＰ　／ｓ　ｉ　ｎ
θ）・（ＣＤ　−ＣＢ　）・・・（４） となる。 上記（４）式により求められる移動距離（×１）に基づ
いて透明円板３ａの回転角が求められる。 次に、第２実施例として回転体として内部に光散乱粒子
２を備える透明円板３ｂを用いる場合につき説明する。 第５図に本実施例の回転体の要部を表わす側面図を、第
６図に本実施例において透明円板３ｂにＰ波が入射し散
乱される状態を表わす要部構成図を（第７図に第６図に
おける入射光（Ｉ）、散乱光（ｋ）及び速度（Ｖ）の関
係を表わすベクトル図を示す。 第６図において図示しない部分の構成は第１実施例と同
様で、ある。マスク１２は第６図に示す様に入射角θ、
屈折角φにて透明円板３ｂ内の光散乱粒子２に到達し散
乱された光のうち、出射角θにて透明円板３ｂより出射
されるＰ波だけを取り出せる位置に設ける。尚、第６図
は簡単のため、透明円板の板厚方向中央にある光散乱粒
子２によって散乱されるＰ波について示したが、マスク
１２の位置を透明円板３ｂの回転方向に対し前慢にずら
せば、板厚方向任意の位置の光散乱粒子２により散乱さ
れた光を取り出すこともでき、その場合も、次に説明す
る演算処理は同様になる。 本実施例の演算処理について説明すると、第１実施例同
様に（１）式は、 ΔｆＰ−２−（ｆＰ／ｃ）−ｖ−ｓｉｎφ・・・（５） と表わすことができ、透明円板３ｂの回転に基づく接線
方向の移動距離（×２）は、 Ｘ２−　（ｎ／２＞−（λＰ　／Ｓ　ｒ　ｎθ）・（Ｃ
Ｄ　−ＣＢ　＞・・・（６） となる。 次に第３実施例について説明する。 第８図に第３実施例の要部構成図を、第９図に入射光（
１）、散乱光（ｋ）、反射光（ｋ′）及び速度（Ｖ）の
関係を表わすベクトル図を示す。 本実施例は、回転体として光散乱粒子２を表面に設ける
透明円板３ａを備え、分割手段として上記光散乱粒子２
を被覆する様に透明円板３ａの表面に設ける偏光透過１
１１２２を備え、合成手段として４分の１波長板２３（
以後λ／４板と言う）とミラー２４を備えるものである
。 第８図に示す様に、図示しないレーザ装置より発射され
たレーザ光はビームスプリッタ１０によって一定比率で
反射光と透過光とに分割される。 上記反射光は第１実施例と同様にｆＢを計測するために
第１（ｌ光子１１を通して第１受光素子５へ導かれる。 一方、上記透過光は入射角θで透明円板３ａに入射し、
表面の偏光透過膜２２により透過光であるＰ波と反射光
であるＳ波に分割される。 尚、本実施例においては上記偏光透過膜２２が分割照射
手段に相当する。上記Ｓ波は偏光透過膜２２により反射
された後、該反射方向に設けられたλ／４板２板金３過
し、同じく反射方向に設けられたミラー２４により反射
されて第８図に示す様に再び透明円板３ａに入射角θに
て入射する。この時、Ｓ波はλ／４板２板金３回透過す
ることによりＰ波に変換されており、偏光透過膜２２を
透過する。ここで、マスク１２は本実施例においては合
成手段となり第８図に示す様に透明円板３ａから出射角
θにて出射されるレーザ光のみを選択して第２受光素子
８に導く様に設けられる。したがってマスク１２により
上記Ｐ波に変換されたＳ波（以後Ｐ′波と言う）からは
ドプラシフトを受けずに透明円板３ａから出射角θにて
出射される透過光のみが取り出され、Ｐ波からはドプラ
シフトを受けて透明円板３ａから出射角θにて出射され
る散乱光のみが取り出され両者が合成される。 上記合成されたレーザ光が第２受光素子８に導かれｆＤ
が計測される。以後実行される演算処理は第１実施例と
同様である。　　　　 次に第４実施例について説明する。 第１０図に本実施例における要部構成図を、第１１図に
本実施例における入射光（了）、散乱光（ｋ）及び速度
（Ｖ）の関係を表わすベクトル図を示す。 本実施例は回転体としてミー散乱粒子２ａを表面に設け
る透明円板３ａを備え、レーザ光を照射する側と同じ側
から観測する構成をとるロータリエンコーダである。 第１０図に示す様に、ビームスプリッタ１０を透過した
レーザ光は第１偏光ビームスプリツタ６によりＰ波とＳ
波に分割される。尚、本実施例においては上記第１偏光
ビームスプリツタ６は分割照射手段であるとともに以Ｆ
説明する様に合成手段としても作用する。上記第１偏光
ビームスプリツタ６を透過したＰ波はλ／４板２３ａを
透過した後透明円板３ａ表面にあるミー散乱粒子２ａに
よりミー散乱を起こす。上記ミー散乱により後方に散乱
した散乱光は再びλ／４板２３ａを透過しＳ波（以後Ｓ
′波と言う）に変換されて第１偏光ビームスプリツタ６
に戻される。一方、第１偏光ビームスプリツタ６により
反射されたＳ波はλ／４板２３ｂを透過した後ミラー２
４にて反射され再びλ／４板２３ｂを透過してＰ−波と
なり第１偏光ビームスプリツタ６を透過する。上記Ｓ−
波は第１偏光ビームスプリツタ６によりＰ′波の透過方
向に反射され、進行方向に設けられた第２偏光子１４を
通した後集光レンズ２５により集光されてＰ′波と合成
され第２受光素子８に導かれ、ｆＤが計測される。また
、ｆ８は第１実施例と同様に計測される。以後実行され
る演算処理は、（１）式を変形して、 ΔｆＰ−２−（ｆＰ／ｃ）−ｖ−ｓｉｎθ・・・（７） となり、透明円板３ａの回転に基づく接線方向の移動距
離（Ｘ４）は、 Ｘ４＝１／２−　（λＰ　／Ｓ　ｉｎθ）−（ＣＤ−Ｃ
Ｂ　＞・・・（８） となる。 本実施例においては上記透明円板３ａの側面においても
ｆＤを観測することが可能であり、回転体も透明でなく
てもよい。また、本実施例は、レーザ光の照射方向と観
測方向を回転体に対し同じ側に取ることができ、装置を
設置するためのスペースを小さくすることもできる。。 次に、散乱光ではなく、反射光を利用する第５実施例に
つき説明する。 第１２図に実施例の要部構成図を示す。本実施例は第１
２図に示す様に回転体３Ｃの上面に鋸刃状の凹凸２ｂｅ
設け、該凹凸２ｂの傾斜面に対し垂直方向からレーザ光
を照射し、ドプラシフトを受けた反射光に基゛づき回転
角を求めるものである。 回転体以外の構成は第４実施例と同様である。 次に、反射光として乱反射を利用する第６実施例につき
説明する。 第１３図に本実施例の要部構成図を示す。本実施例は第
１３図に示す様に回転体３ｄの上面に光を乱反射する凹
凸２Ｇを設け、該凹凸２Ｇにより乱反射されたレーザ光
のうち特定方向のものを選択して取り出すマスク１２を
備える。上記以外の構成は第４実施例と同様である。 以上説明してきた各実施例において、レーザ光源として
波長λ−０，６３２８μｍのＨｅＮｅレーザを、透明円
板として屈折率ｎ−１，５のちのを用い、半径１５＃ｌ
ｌ１１の位置に入射角θ−３０”にてレーザ光を照射す
ると、最小検出距離（Ｘｍｉｎ）は、 第１実施例及び第３実施例においては、（４）式％式％ 第２実施例においては、（６）式より、Ｘｍ１ｎ＝０．
９４９２μｍ となり、 第４実施例ないし第６実施例においては、（８）式より
、 Ｘｍｉ　ｎ＝０．６３２８μｍ となる。 従って、従来技術におけるパルススケール式のロータリ
エンコーダで同じ検出精度を実現するためには、第１実
施例及び第３実施例に対しては約１２４．０００分割の
スリットを、第２実施例に対しては約９９．０００分割
のスリットを、第４実施例ないし第６実施例に対しては
約１４９．００Ｏ分割のスリットを必要とする。 また、各実施例においてｆＢとｆＤとの位相差も検出す
る様にすれば、最小検出精度はざらに飛躍的に向上する
。 尚、回転角は移動距離を半径で除して簡単に求められる
。 ここで、電子制御回路を用いてｆＢとｆＤのカウント数
差及び位相差に基づき回転角を演算処理する手順につい
て説明する。 第１４図に演算処理手順を表わすフローチャートを示す
。 本発明のロータリエンコーダによる計測が開始されると
、まず、ステップ８１００において各種変数やフラグが
初期状態に設定される。次にステップ５１１０にて一定
微小時間内のｆＢ、ｆＤのパルス信号が読み込まれステ
ップ３１２０に進む。 ステップ５１２０では上記パルス信号に基づき、ｆＢ、
ｆＤのカウント数差（Ｃ３＝ＣＤ　−ＣＢ　＞が求めら
れステップ５１３０に進む。ステップ５１３０では上記
カウント数差（Ｃ８）に基づく回転角（ＸＳ　＝Ｏ３・
Ｃ１）が求められる。ここで、Ｃ３に乗算されるＣ１は
レーザ光の波長、回転体への人出射角等により定まる定
数である。次に、ステップ５１４０において上記読み込
まれたパルス信号間の位相差（ＣＰ）が求められステッ
プ５１５０に進む。ステップ５１５０では上記位相差（
ＣＰ）に基づく回転角（ＸＰ　＝ＣＰ　−Ｃ２）が求め
られる。ここで、ＣＰに乗算されるＣ２は位相差検出の
際のパルス信号分解能等により定まる定数である。次に
、ステップ５１６０において上記ｘｓ　、　ｘｐ　ヨリ
回転角（Ｘ＝ＸＳ　＋ＸＰ　）が求まり、ステップ３１
７０に進む。ステップ３１７０では上記により求まった
一定微小時間内での回転角（Ｘ）が表示されステップ５
１１０に戻る。 以後、計測が終了するまで上記演算処理が繰り返され、
一定微小時間毎の回転角（Ｘ＞が求められる。 以上、本発明のいくつかの実施例につき説明したが、本
発明はこれらに限定されるものではなく、その要旨を逸
脱しない範囲において種々の態様を採用することができ
る。例えば、光散乱粒子の代わりに薄膜を用いて光を散
乱させてもよい。また、第１実施例においては透明円板
上面でなく下面に光散乱粒子を備える回転体を用いても
よい。さらに、例えば、第４実施例のミー散乱粒子は回
転体として円筒を用い、該円筒の側面に設けてもよく、
第５実施例、第６実施例の凹凸についても同様に回転体
として円筒を用い、該円筒側面に設けてもよく、これら
の場合にはレーザ装置や偏光ビームスプリッタ等の配置
を回転体側面方向に集めることができる。また、入射光
と散乱光との関係は、必ずしも透明円板の屈折率に対応
させる必要はなく、装置構成上の条件に応じて様々な位
置関係をとることができる。 ■団五四里 本発明のロータリエンコーダにおいては、ドプラシフト
を受けて散乱または反射されるレーザ光の周波数変化に
基づいて回転角を算出するため、パルススケール式ロー
タリエンコーダに比べその検出精度を飛躍的に向上させ
ることができる。また、うなりを持ったレーザ光を用い
て元のレーザ光とドプラシフトを受けた後合成されたレ
ーザ光のうなりの周波数の差から回転角を求めているた
め、照射位置は一箇所でよく、回転方向を求めるために
複雑な照射方法をとる必要がない。又、レーザ装置の発
振周波数の変動による検出誤差は相殺される。ざらに、
回折格子を利用したドアラ式のロータリエンコーダでは
、回転体の偏心、格子模様の不揃いにより誤差を生じ、
この補正には複雑な装置構成を取る必要があったが本発
明においては、回転体に対しレーザ光の入射角と出射角
が一定の関係にあれば上記の様な誤差は生ずることがな
く、上記の様な一定の関係の散乱または反射されたレー
ザ光を選択して取り出すことは容易である。その上、う
なりの周波数を検出することによりドプラシフトによる
周波数変イヒ量を求めるため、直接レーザ光の周波数を
求めるものより検出回路が簡単になる。 以上の様に、本発明は小型でかつ高精度のロータリエン
コーダを実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は第１実施例の要部構成図を、第２図は同じく回
転体の要部の側面図を、第３図は同じく回転体にレーザ
光が入射し散乱される状態を表わす要部構成図を、第４
図は同じく入射光、散乱光及び速度の関係を表わすベク
トル図を、第５図は第２実施例の回転体の要部の側面図
を、第６図は同じく回転体にレーザ光が入射し散乱され
る状態を表わす要部構成図を、第７図は同じく入射光、
散乱光及び速度の関係を表わすベクトル図を、第８図は
第３実施例の要部構成図を、第９図は同じく入射光、散
乱光、反射光及び速度の関係を表わすベクトル図を、第
１０図は第４実施例の要部構成図を、第１１図は同じく
入射光、散乱光及び速度の関係を表わすベクトル図を、
第１２図は第５実施例の要部構成図を、第１３図は第６
実施例の要部構成図を、第１４図は本発明の演算処理の
手順のフローチャートを、第１５図は従来のパルススケ
ール式ロータリエンコーダの要部構成図を表わす。 １・・・回転軸　　　　　２・・・光散乱粒子２ａ・・
・ミー散乱粒子 ２ｂ、２Ｃ・・・凹凸 ３ａ、３ｂ・・・透明円板（回転体） ３ｃ、３ｄ・・・回転体 ４・・・レーザ装置 ５・・・第１受光素子（第１検出手段）６・・・第１（
ｌ光ビームスプリッタ（分割照射手段）７・・・第２偏
光ビームスプリツタ（合成手段）８・・・第２受光素子
（第２検出手段）９・・・演算器（演算手段）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、光を散乱または反射する回転体と、 うなりを持ったレーザ光を発生するレーザ装置と、 上記レーザ光のうなりの周波数を検出する第１検出手段
   と、 上記レーザ光にうなりを発生させる互いに周波数の異な
   るレーザ光成分を分割して取り出し一方のレーザ光成分
   を上記回転体に照射する分割照射手段と、 上記分割照射手段により回転体に照射され散乱または反
   射された一方のレーザ光成分と、他方のレーザ光成分と
   を合成する合成手段と、 上記合成手段により合成されたレーザ光のうなりの周波
   数を検出する第２検出手段と、 上記第１検出手段および第２検出手段により検出された
   うなりの周波数に基づき上記回転体の回転角を演算する
   演算手段と、 を備えることを特徴とするロータリエンコーダ。 ２、回転体が光散乱粒子を表面または内部に設ける透明
   円板である特許請求の範囲第１項記載のロータリエンコ
   ーダ。