JPH06252685A - 二重モード弾性表面波フイルタ - Google Patents
二重モード弾性表面波フイルタInfo
- Publication number
- JPH06252685A JPH06252685A JP6131293A JP6131293A JPH06252685A JP H06252685 A JPH06252685 A JP H06252685A JP 6131293 A JP6131293 A JP 6131293A JP 6131293 A JP6131293 A JP 6131293A JP H06252685 A JPH06252685 A JP H06252685A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bus line
- conductor
- electrode
- acoustic wave
- surface acoustic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、二重モード弾性表面波フイ
ルタの通過帯域幅を広くするか、または使用周波数を高
くする等の条件にすると、バスラインの抵抗が増大し、
その結果通過帯域特性、帯域外減衰特性、及び群遅延特
性が周波数の高い方に比較して低い方で悪化して特性が
著しく非対称になるという課題を解決することにある。 【構成】 上記の課題を解決するには、バスラインの抵
抗を小さくすればよいことは明らかである。バスライン
の抵抗を下げるには、バスラインの電極の断面積を大き
くすればよいのだが、特性を保つうえからバスラインの
幅を広げることが出来ないので、バスライン電極の下に
相当する基板の位置に凹部を設け、その凹部に導体が埋
設され基板上まで達した上に電極を設けることにより、
導体の断面積を増加させ、バスラインの抵抗を小さくし
て課題を解決した。
ルタの通過帯域幅を広くするか、または使用周波数を高
くする等の条件にすると、バスラインの抵抗が増大し、
その結果通過帯域特性、帯域外減衰特性、及び群遅延特
性が周波数の高い方に比較して低い方で悪化して特性が
著しく非対称になるという課題を解決することにある。 【構成】 上記の課題を解決するには、バスラインの抵
抗を小さくすればよいことは明らかである。バスライン
の抵抗を下げるには、バスラインの電極の断面積を大き
くすればよいのだが、特性を保つうえからバスラインの
幅を広げることが出来ないので、バスライン電極の下に
相当する基板の位置に凹部を設け、その凹部に導体が埋
設され基板上まで達した上に電極を設けることにより、
導体の断面積を増加させ、バスラインの抵抗を小さくし
て課題を解決した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】フイルタの諸特性を補正するよう
に工夫された二重モード弾性表面波フイルタに関する。
に工夫された二重モード弾性表面波フイルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から基板の上にバスライン電極を形
成する方法が採られていた。
成する方法が採られていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】二重モード弾性表面波
フイルタの通過帯域幅を広くするか、または使用周波数
を高くする等の条件にすると、バスライン電極の幅が狭
くなる。またバスライン電極の膜厚がＩＤＴ電極や反射
器電極と同じ膜厚を付けるとＩＤＴ電極や反射器電極の
電極膜厚が高周波数化で薄くなるのでバスライン電極の
膜厚が薄くなる等の理由により、バスラインの抵抗が増
大し、その結果通過帯域特性、帯域外減衰特性、及び群
遅延特性が周波数の高い方に比較して低い方で悪化して
特性が著しく非対称になるという課題があった。
フイルタの通過帯域幅を広くするか、または使用周波数
を高くする等の条件にすると、バスライン電極の幅が狭
くなる。またバスライン電極の膜厚がＩＤＴ電極や反射
器電極と同じ膜厚を付けるとＩＤＴ電極や反射器電極の
電極膜厚が高周波数化で薄くなるのでバスライン電極の
膜厚が薄くなる等の理由により、バスラインの抵抗が増
大し、その結果通過帯域特性、帯域外減衰特性、及び群
遅延特性が周波数の高い方に比較して低い方で悪化して
特性が著しく非対称になるという課題があった。
【０００４】
【課題を解決する手段】前記の課題を解決するには、バ
スラインの抵抗を小さくすればよいことは明らかであ
る。バスラインの抵抗を下げるには、バスラインの電極
の断面積を大きくすればよいが、特性を保つうえからバ
スラインの幅を広げることが出来ないので、電極の膜厚
を厚くすることでバスラインの抵抗を小さくしたい。電
極の膜厚を厚くする方法としてバスラインに相当する基
板の位置に凹部を設け、その凹部に導体が埋設され基板
上まで達した上に電極を設けることにより、バスライン
導体の断面積を増加させることでバスラインの抵抗を小
さくし課題を解決した。
スラインの抵抗を小さくすればよいことは明らかであ
る。バスラインの抵抗を下げるには、バスラインの電極
の断面積を大きくすればよいが、特性を保つうえからバ
スラインの幅を広げることが出来ないので、電極の膜厚
を厚くすることでバスラインの抵抗を小さくしたい。電
極の膜厚を厚くする方法としてバスラインに相当する基
板の位置に凹部を設け、その凹部に導体が埋設され基板
上まで達した上に電極を設けることにより、バスライン
導体の断面積を増加させることでバスラインの抵抗を小
さくし課題を解決した。
【０００５】
【実施例】図１に示すように、バスライン電極１に相当
する水晶基板７の位置にバスライン用埋設導体用の凹部
５を設け、その凹部にバスライン用埋設導体３が埋設さ
れ水晶基板面８の上まで達した上にバスライン電極１を
設けることにより、バスラインの導体断面積はバスライ
ン用埋設導体３とバスライン電極１の和となり、バスラ
イン電極１だけの場合よりも充分断面積を増加させるこ
とでバスラインの抵抗を小さくし課題を解決した。この
埋設導体の構造は、バスラインについては必ず必要であ
るが、ＩＤＴ及び／又は反射器用埋設導体４について
は、特性又は工程の都合により、必ずこの構造を有して
いるとは限らない。また埋設導体と電極の材質は必ず異
なるとは限らない。同一材料により、埋設導体部と電極
部を一緒に形成することも出来る。さらに、図１では埋
設導体と同一幅の電極が基板面より上に形成されている
が、必ずしも同一幅とは限らない、図２、図３、図４に
示すように埋設導体が電極より広くても狭くてもかまわ
ず、埋設導体と電極の位置関係は完全に重なっていると
は限らない、ずれていても構わないのは勿論のこと、少
なくとも接続されていればよい。また図５のように凹部
に埋設された電極のみであっても、バスライン電極とし
て接続されていればよい。
する水晶基板７の位置にバスライン用埋設導体用の凹部
５を設け、その凹部にバスライン用埋設導体３が埋設さ
れ水晶基板面８の上まで達した上にバスライン電極１を
設けることにより、バスラインの導体断面積はバスライ
ン用埋設導体３とバスライン電極１の和となり、バスラ
イン電極１だけの場合よりも充分断面積を増加させるこ
とでバスラインの抵抗を小さくし課題を解決した。この
埋設導体の構造は、バスラインについては必ず必要であ
るが、ＩＤＴ及び／又は反射器用埋設導体４について
は、特性又は工程の都合により、必ずこの構造を有して
いるとは限らない。また埋設導体と電極の材質は必ず異
なるとは限らない。同一材料により、埋設導体部と電極
部を一緒に形成することも出来る。さらに、図１では埋
設導体と同一幅の電極が基板面より上に形成されている
が、必ずしも同一幅とは限らない、図２、図３、図４に
示すように埋設導体が電極より広くても狭くてもかまわ
ず、埋設導体と電極の位置関係は完全に重なっていると
は限らない、ずれていても構わないのは勿論のこと、少
なくとも接続されていればよい。また図５のように凹部
に埋設された電極のみであっても、バスライン電極とし
て接続されていればよい。
【０００６】
【発明の効果】水晶基板を用いた二重モード弾性表面波
フイルタにおいて、通過帯域を広くしたり周波数を高く
した場合には、バスラインの抵抗分が増大することの影
響により通過帯域特性、帯域外減衰量および群遅延特性
が周波数の低い方において周波数の高い方に比べて特性
が充分に取れないという課題があった。本発明により、
電極の下に埋設導体を設けることで、少なくともバスラ
インの抵抗を小さくすることが出来たので通過帯域幅を
広くしたり、使用周波数を高くしても特性の良好な、二
重モード弾性表面波フイルタを容易にしかも安価に製作
できるようになった。
フイルタにおいて、通過帯域を広くしたり周波数を高く
した場合には、バスラインの抵抗分が増大することの影
響により通過帯域特性、帯域外減衰量および群遅延特性
が周波数の低い方において周波数の高い方に比べて特性
が充分に取れないという課題があった。本発明により、
電極の下に埋設導体を設けることで、少なくともバスラ
インの抵抗を小さくすることが出来たので通過帯域幅を
広くしたり、使用周波数を高くしても特性の良好な、二
重モード弾性表面波フイルタを容易にしかも安価に製作
できるようになった。
【図１】本発明の埋設導体と電極部分を示す部分断面図
【図２】本発明の埋設導体の幅が電極部分の幅より狭い
状態を示す部分断面図
状態を示す部分断面図
【図３】本発明の埋設導体の幅が電極部分の幅より広い
状態を示す部分断面図
状態を示す部分断面図
【図４】本発明の埋設導体が凹部に充たされていないで
基板の表面の電極と接続されている状態を示す部分断面
図
基板の表面の電極と接続されている状態を示す部分断面
図
【図５】本発明の埋設導体のみで電極部分が欠落してい
る状態を示す部分断面図
る状態を示す部分断面図
１ バスライン電極 ２ ＩＤＴ電極及び／又は反射器電極 ３，４ 導体 ５，６ 凹部 ７ 水晶基板
Claims (2)
- 【請求項１】 水晶基板を用いた二重モード弾性表面波
フイルタにおいて、少なくともバスライン電極は、該基
板に凹部が設けられ、該凹部に導体が埋設され、該導体
と接続されていることを特徴とする二重モード弾性表面
波フイルタ。 - 【請求項２】 ＩＤＴ電極及び／又は反射器電極は、該
基板に凹部を設け該凹部に導体が埋設され、該導体と接
続されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の二重モード弾性表面波フイルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6131293A JPH06252685A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 二重モード弾性表面波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6131293A JPH06252685A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 二重モード弾性表面波フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06252685A true JPH06252685A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=13167526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6131293A Pending JPH06252685A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 二重モード弾性表面波フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06252685A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012099925A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性波素子及びその製造方法 |
| CN112436816A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-03-02 | 广东广纳芯科技有限公司 | 温度补偿型声表面波器件及其制造方法 |
-
1993
- 1993-02-26 JP JP6131293A patent/JPH06252685A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012099925A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性波素子及びその製造方法 |
| CN112436816A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-03-02 | 广东广纳芯科技有限公司 | 温度补偿型声表面波器件及其制造方法 |
| CN112436816B (zh) * | 2020-12-03 | 2024-04-09 | 广东广纳芯科技有限公司 | 温度补偿型声表面波器件及其制造方法 |
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