JPH06291601A - 二重モード弾性表面波フイルタ - Google Patents
二重モード弾性表面波フイルタInfo
- Publication number
- JPH06291601A JPH06291601A JP9684993A JP9684993A JPH06291601A JP H06291601 A JPH06291601 A JP H06291601A JP 9684993 A JP9684993 A JP 9684993A JP 9684993 A JP9684993 A JP 9684993A JP H06291601 A JPH06291601 A JP H06291601A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- film thickness
- bus line
- resistance
- reflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、二重モード弾性表面波フイ
ルタの通過帯域幅を広くするか、または使用周波数を高
くする等の条件にすると、バスラインの抵抗が増大し、
その結果通過帯域特性、帯域外減衰特性、及び群遅延特
性が周波数の高い方に比較して低い方で悪化して特性が
著しく非対称になるという課題を解決することにある。 【構成】 上記の課題を解決するには、バスラインの抵
抗を小さくすればよいことは明らかである。バスライン
の抵抗を下げるには、バスラインの電極の断面積を大き
くすればよいのだが、特性を保つうえからバスラインの
幅を広げることが出来ないので、バスライン電極の膜厚
をＩＤＴおよび反射器の電極の膜厚より厚くすることに
より、導体の断面積を増加させ、バスラインの抵抗を小
さくして課題を解決した。
ルタの通過帯域幅を広くするか、または使用周波数を高
くする等の条件にすると、バスラインの抵抗が増大し、
その結果通過帯域特性、帯域外減衰特性、及び群遅延特
性が周波数の高い方に比較して低い方で悪化して特性が
著しく非対称になるという課題を解決することにある。 【構成】 上記の課題を解決するには、バスラインの抵
抗を小さくすればよいことは明らかである。バスライン
の抵抗を下げるには、バスラインの電極の断面積を大き
くすればよいのだが、特性を保つうえからバスラインの
幅を広げることが出来ないので、バスライン電極の膜厚
をＩＤＴおよび反射器の電極の膜厚より厚くすることに
より、導体の断面積を増加させ、バスラインの抵抗を小
さくして課題を解決した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】フイルタの諸特性を補正するよう
に工夫された二重モード弾性表面波フイルタに関する。
に工夫された二重モード弾性表面波フイルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は、水晶基板にＩＤＴ電極や反射器
電極と同等の膜厚をバスライン電極として形成されてい
た。
電極と同等の膜厚をバスライン電極として形成されてい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】二重モード弾性表面波
フイルタの通過帯域幅を広くするか、または使用周波数
を高くする等の条件にすると、バスライン電極の幅が狭
くなる。またバスライン電極の膜厚がＩＤＴ電極や反射
器電極と同じ膜厚を付けるとＩＤＴ電極や反射器電極の
電極膜厚が高周波数化で薄くなるのでバスライン電極の
膜厚が薄くなる等の理由により、バスラインの抵抗が増
大し、その結果通過帯域特性、帯域外減衰特性、及び群
遅延特性が周波数の高い方に比較して低い方で悪化して
特性が著しく非対称になるという課題があった。
フイルタの通過帯域幅を広くするか、または使用周波数
を高くする等の条件にすると、バスライン電極の幅が狭
くなる。またバスライン電極の膜厚がＩＤＴ電極や反射
器電極と同じ膜厚を付けるとＩＤＴ電極や反射器電極の
電極膜厚が高周波数化で薄くなるのでバスライン電極の
膜厚が薄くなる等の理由により、バスラインの抵抗が増
大し、その結果通過帯域特性、帯域外減衰特性、及び群
遅延特性が周波数の高い方に比較して低い方で悪化して
特性が著しく非対称になるという課題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するに
は、バスラインの抵抗を小さくすればよいことは明らか
である。バスラインの抵抗を下げるには、バスラインの
電極の断面積を大きくすればよいが、特性を保つうえか
らバスラインの幅を広げることが出来ないので、膜厚の
厚いバスライン電極を形成することで抵抗の低いバスラ
インを実現した。 ＩＤＴおよび反射器の電極膜厚は使
用周波数によりほぼ定まるので、バスライン電極はＩＤ
Ｔおよび反射器の電極膜厚より厚い電極を形成すること
で、バスライン電極の断面積を増加させることでバスラ
インの抵抗を小さくして通過帯域特性、帯域外減衰特
性、及び群遅延特性が周波数の高い方に比較して低い方
で悪化して特性が著しく非対称になるという課題を解決
した。
は、バスラインの抵抗を小さくすればよいことは明らか
である。バスラインの抵抗を下げるには、バスラインの
電極の断面積を大きくすればよいが、特性を保つうえか
らバスラインの幅を広げることが出来ないので、膜厚の
厚いバスライン電極を形成することで抵抗の低いバスラ
インを実現した。 ＩＤＴおよび反射器の電極膜厚は使
用周波数によりほぼ定まるので、バスライン電極はＩＤ
Ｔおよび反射器の電極膜厚より厚い電極を形成すること
で、バスライン電極の断面積を増加させることでバスラ
インの抵抗を小さくして通過帯域特性、帯域外減衰特
性、及び群遅延特性が周波数の高い方に比較して低い方
で悪化して特性が著しく非対称になるという課題を解決
した。
【０００５】
【実施例】図１に示すように、水晶基板５の表面に、バ
スライン電極１には抵抗を低く出来るだけの充分な膜厚
を有し、ＩＤＴおよび反射器電極２には特性上必要とす
る薄い膜厚を有する。このバスライン電極とＩＤＴおよ
び反射器電極の構造としては、図２に示す通り全電極に
バスライン電極の抵抗を低く出来るだけの充分な厚い膜
厚を形成した後、ＩＤＴおよび反射器電極について特性
上必要とする薄い膜厚まで不必要な電極３の膜厚を減ら
した構造、または図３に示す通り全電極にＩＤＴおよび
反射器で特性上必要とする薄い電極を形成した後、バス
ラインのみにバスラインの抵抗を低くするのに必要な電
極膜厚まで厚い膜厚の電極４を形成した構造、さらに図
１に示す通りバスライン電極１にはバスラインの抵抗を
低く出来るのに充分な膜厚を形成し、ＩＤＴおよび反射
器電極２には特性上必要な薄い膜厚を形成した構造を有
する。
スライン電極１には抵抗を低く出来るだけの充分な膜厚
を有し、ＩＤＴおよび反射器電極２には特性上必要とす
る薄い膜厚を有する。このバスライン電極とＩＤＴおよ
び反射器電極の構造としては、図２に示す通り全電極に
バスライン電極の抵抗を低く出来るだけの充分な厚い膜
厚を形成した後、ＩＤＴおよび反射器電極について特性
上必要とする薄い膜厚まで不必要な電極３の膜厚を減ら
した構造、または図３に示す通り全電極にＩＤＴおよび
反射器で特性上必要とする薄い電極を形成した後、バス
ラインのみにバスラインの抵抗を低くするのに必要な電
極膜厚まで厚い膜厚の電極４を形成した構造、さらに図
１に示す通りバスライン電極１にはバスラインの抵抗を
低く出来るのに充分な膜厚を形成し、ＩＤＴおよび反射
器電極２には特性上必要な薄い膜厚を形成した構造を有
する。
【０００６】図３に示す構造において、厚い膜厚の電極
４の材質は電極の材質と同一であるとは限らない、異種
の材質を用いてもかまわない。また前記構造において図
４に示す通り、厚い膜厚の電極４の幅は必ずしもバスラ
イン電極と同一である必要はない、図４では厚い膜厚の
電極の幅がバスライン電極より狭い例を示した。さらに
前記構造において図５に示す通り、厚い膜厚の電極の中
心とバスライン電極の中心は必ずしも一致しているとは
限らない、ずれていてもよい、図５では右にずれている
例を示している。
４の材質は電極の材質と同一であるとは限らない、異種
の材質を用いてもかまわない。また前記構造において図
４に示す通り、厚い膜厚の電極４の幅は必ずしもバスラ
イン電極と同一である必要はない、図４では厚い膜厚の
電極の幅がバスライン電極より狭い例を示した。さらに
前記構造において図５に示す通り、厚い膜厚の電極の中
心とバスライン電極の中心は必ずしも一致しているとは
限らない、ずれていてもよい、図５では右にずれている
例を示している。
【０００７】
【発明の効果】水晶基板を用いた二重モード弾性表面波
フイルタにおいて、通過帯域を広くしたり周波数を高く
した場合には、バスラインの抵抗分が増大することの影
響により通過帯域特性、帯域外減衰量および群遅延特性
が周波数の低い方において周波数の高い方に比べて特性
が充分に取れないという課題があった。本発明により、
バスライン電極の膜厚をＩＤＴ電極や反射器電極の膜厚
より厚くすることで、少なくともバスラインの抵抗を小
さくすることが出来たので通過帯域幅を広くしたり、使
用周波数を高くしても特性の良好な、二重モード弾性表
面波フイルタを容易にしかも安価に製作できるようにな
った。
フイルタにおいて、通過帯域を広くしたり周波数を高く
した場合には、バスラインの抵抗分が増大することの影
響により通過帯域特性、帯域外減衰量および群遅延特性
が周波数の低い方において周波数の高い方に比べて特性
が充分に取れないという課題があった。本発明により、
バスライン電極の膜厚をＩＤＴ電極や反射器電極の膜厚
より厚くすることで、少なくともバスラインの抵抗を小
さくすることが出来たので通過帯域幅を広くしたり、使
用周波数を高くしても特性の良好な、二重モード弾性表
面波フイルタを容易にしかも安価に製作できるようにな
った。
【図１】本発明のＩＤＴ及び反射器の電極よりバスライ
ンの電極の膜厚を厚くした状態を示す断面図
ンの電極の膜厚を厚くした状態を示す断面図
【図２】本発明のバスライン電極と同じ厚い膜厚を全電
極に形成した後、ＩＤＴおよび反射器の電極を薄くした
状態を示す断面図
極に形成した後、ＩＤＴおよび反射器の電極を薄くした
状態を示す断面図
【図３】本発明のＩＤＴおよび反射器で必要な薄い膜厚
の電極を全電極に形成した後、バスラインにのみバスラ
インで必要な厚味まで厚い膜厚の電極を形成したした状
態を示す断面図
の電極を全電極に形成した後、バスラインにのみバスラ
インで必要な厚味まで厚い膜厚の電極を形成したした状
態を示す断面図
【図４】本発明の薄いバスライン電極形成後形成する厚
い膜厚の電極の幅がバスライン電極より狭い状態を示す
断面図
い膜厚の電極の幅がバスライン電極より狭い状態を示す
断面図
【図５】本発明の薄いバスライン電極形成後形成する厚
い膜厚の電極の中心がバスライン電極の中心と一致して
いない状態を示す断面図
い膜厚の電極の中心がバスライン電極の中心と一致して
いない状態を示す断面図
１ バスライン電極 ２ ＩＤＴ，反射器電極 ３ 不必要な電極 ４ 厚い膜厚の電極 ５ 水晶基板
Claims (1)
- 【請求項１】 水晶基板を用いた二重モード弾性表面波
フイルタにおいて、ＩＤＴ電極、反射器電極の膜厚に比
べて、バスライン電極の膜厚が厚いことを特徴とする二
重モード弾性表面波フイルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9684993A JPH06291601A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 二重モード弾性表面波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9684993A JPH06291601A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 二重モード弾性表面波フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06291601A true JPH06291601A (ja) | 1994-10-18 |
Family
ID=14175951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9684993A Pending JPH06291601A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 二重モード弾性表面波フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06291601A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8410865B2 (en) | 2009-07-03 | 2013-04-02 | Panasonic Corporation | Surface acoustic wave filter and duplexer using the same |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP9684993A patent/JPH06291601A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8410865B2 (en) | 2009-07-03 | 2013-04-02 | Panasonic Corporation | Surface acoustic wave filter and duplexer using the same |
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