JPH06252686A - 二重モード弾性表面波フイルタ及びその製造方法 - Google Patents
二重モード弾性表面波フイルタ及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH06252686A JPH06252686A JP6131093A JP6131093A JPH06252686A JP H06252686 A JPH06252686 A JP H06252686A JP 6131093 A JP6131093 A JP 6131093A JP 6131093 A JP6131093 A JP 6131093A JP H06252686 A JPH06252686 A JP H06252686A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- resist
- bus line
- film thickness
- idt
- Prior art date
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 二重モード弾性表面波フイルタの広域幅化、
または使用周波数を高くすると、バスライン電極の幅が
狭くなり、抵抗が増大し、その結果通過帯域特性、帯域
外減衰特性、及び群遅延特性が低い周波数域で悪化して
特性が著しく非対称になるという課題を解決する。 【構成】 所望の特性を保ちながらバスラインの抵抗を
下げるため、電極の膜厚を厚くする。このためバスライ
ンに必要とする膜厚を各電極に付けた後、特性上薄い膜
厚の電極を必要とするＩＤＴや反射器部分の電極をエッ
チング等で薄くすることにより、相対的にバスライン電
極の断面積を増加させることでバスラインの抵抗を小さ
くした。
または使用周波数を高くすると、バスライン電極の幅が
狭くなり、抵抗が増大し、その結果通過帯域特性、帯域
外減衰特性、及び群遅延特性が低い周波数域で悪化して
特性が著しく非対称になるという課題を解決する。 【構成】 所望の特性を保ちながらバスラインの抵抗を
下げるため、電極の膜厚を厚くする。このためバスライ
ンに必要とする膜厚を各電極に付けた後、特性上薄い膜
厚の電極を必要とするＩＤＴや反射器部分の電極をエッ
チング等で薄くすることにより、相対的にバスライン電
極の断面積を増加させることでバスラインの抵抗を小さ
くした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】基板表面上に電極を形成する二重
モード弾性表面波フイルタ及びその製造方法に関する。
モード弾性表面波フイルタ及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は、水晶基板にレジストを塗布し、
電極の部分のレジストを剥離し、電極を蒸着して、レジ
ストを全て剥離することで、必要な電極を基板の上に形
成していた。
電極の部分のレジストを剥離し、電極を蒸着して、レジ
ストを全て剥離することで、必要な電極を基板の上に形
成していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の二重モード弾性
表面波フイルタでは通過帯域幅を広くするか、または使
用周波数を高くする等の条件にすると、バスライン電極
の幅が狭くしなければならない。またバスライン電極の
膜厚はＩＤＴや反射器電極の電極膜厚が高い周波数にな
ると薄くなるので、バスライン電極の膜厚としては薄く
なる等の理由により、バスラインの抵抗が増大し、その
結果通過帯域特性、帯域外減衰特性、及び群遅延特性が
周波数の高い方に比較して低い方で悪化して特性が著し
く非対称になるという課題があった。
表面波フイルタでは通過帯域幅を広くするか、または使
用周波数を高くする等の条件にすると、バスライン電極
の幅が狭くしなければならない。またバスライン電極の
膜厚はＩＤＴや反射器電極の電極膜厚が高い周波数にな
ると薄くなるので、バスライン電極の膜厚としては薄く
なる等の理由により、バスラインの抵抗が増大し、その
結果通過帯域特性、帯域外減衰特性、及び群遅延特性が
周波数の高い方に比較して低い方で悪化して特性が著し
く非対称になるという課題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するに
は、バスラインの抵抗を小さくすればよいことは明らか
である。バスラインの抵抗を下げるには、バスラインの
電極の断面積を大きくすればよいが、特性を保つうえか
らバスラインの幅を広げることが出来ないので、電極の
膜厚を厚くすることでバスラインの抵抗を小さくした
い。電極の膜厚を厚くする方法として、バスラインに必
要とする膜厚を全電極に付けた後、特性上薄い膜厚の電
極を必要とするＩＤＴ及び反射器の電極をエッチング等
で薄くすることにより、相対的にバスライン電極の断面
積を増加させることでバスラインの抵抗を小さくし課題
を解決した。
は、バスラインの抵抗を小さくすればよいことは明らか
である。バスラインの抵抗を下げるには、バスラインの
電極の断面積を大きくすればよいが、特性を保つうえか
らバスラインの幅を広げることが出来ないので、電極の
膜厚を厚くすることでバスラインの抵抗を小さくした
い。電極の膜厚を厚くする方法として、バスラインに必
要とする膜厚を全電極に付けた後、特性上薄い膜厚の電
極を必要とするＩＤＴ及び反射器の電極をエッチング等
で薄くすることにより、相対的にバスライン電極の断面
積を増加させることでバスラインの抵抗を小さくし課題
を解決した。
【０００５】
【実施例】図２〜図５は本発明の実施例を示す断面図で
ある。表面を平らにした基板１の上にレジスト４を塗布
し、各電極に相当する部分２，３のレジストを剥離す
る。つぎに図３に示すようにバスライン電極に必要な厚
い膜厚の金属を蒸着やスパッタリング等の手法を用いて
形成する。ここではバスラインの電極５とＩＤＴや反射
器の電極６の膜厚は同じである。つぎに図４に示すよう
に二度目のレジスト７を塗布し、薄い電極を必要とする
ＩＤＴ及び反射器電極部分６のレジストを剥離する。つ
ぎに図５に示すように二度目のレジストをマスクにし
て、薄い電極を必要とするＩＤＴ及び反射器電極部分６
の電極膜をドライやウエットによるエッチング等の手法
を用いて、必要な膜厚まで薄くする。つぎに全レジスト
を剥離すると図１に示すように目的の電極の膜厚が厚く
抵抗の低いバスラインと、特性上薄い電極を必要とする
ＩＤＴ及び反射器については電極を薄くした二重モード
弾性表面波フイルタが製造できる。本発明の二重モード
弾性表面波フイルタは、バスラインの電極の膜厚がＩＤ
Ｔや反射器の電極の膜厚に比べ厚いため、高い周波数に
することによって生じるバスライン電極の抵抗値増大が
防止出来る。なお本発明の製造方法で用いられるレジス
トは通常電極を形成する時に用いられる感光性のレジス
トを用い、フォトマスクを載せた後感光し、不要なレジ
ストを除去する方法を用いているが、他の方法のレジス
トであってもよい。
ある。表面を平らにした基板１の上にレジスト４を塗布
し、各電極に相当する部分２，３のレジストを剥離す
る。つぎに図３に示すようにバスライン電極に必要な厚
い膜厚の金属を蒸着やスパッタリング等の手法を用いて
形成する。ここではバスラインの電極５とＩＤＴや反射
器の電極６の膜厚は同じである。つぎに図４に示すよう
に二度目のレジスト７を塗布し、薄い電極を必要とする
ＩＤＴ及び反射器電極部分６のレジストを剥離する。つ
ぎに図５に示すように二度目のレジストをマスクにし
て、薄い電極を必要とするＩＤＴ及び反射器電極部分６
の電極膜をドライやウエットによるエッチング等の手法
を用いて、必要な膜厚まで薄くする。つぎに全レジスト
を剥離すると図１に示すように目的の電極の膜厚が厚く
抵抗の低いバスラインと、特性上薄い電極を必要とする
ＩＤＴ及び反射器については電極を薄くした二重モード
弾性表面波フイルタが製造できる。本発明の二重モード
弾性表面波フイルタは、バスラインの電極の膜厚がＩＤ
Ｔや反射器の電極の膜厚に比べ厚いため、高い周波数に
することによって生じるバスライン電極の抵抗値増大が
防止出来る。なお本発明の製造方法で用いられるレジス
トは通常電極を形成する時に用いられる感光性のレジス
トを用い、フォトマスクを載せた後感光し、不要なレジ
ストを除去する方法を用いているが、他の方法のレジス
トであってもよい。
【０００６】
【発明の効果】水晶基板を用いた二重モード弾性表面波
フイルタにおいて、通過帯域を広くしたり周波数を高く
した場合には、バスラインの抵抗分が増大することの影
響により通過帯域特性、帯域外減衰量および群遅延特性
が周波数の低い方において周波数の高い方に比べて特性
が充分に取れないという問題があった。本発明によりバ
スライン電極で必要な厚い膜厚を各電極に形成して、薄
い膜厚を必要とするＩＤＴ及び反射器電極の膜厚を薄く
削りバスライン電極の膜厚を厚く残すことで、バスライ
ン電極の断面積を大きく出来たのでバスライン電極の抵
抗が低くなり課題が解決されたので通過帯域幅を広くし
たり、使用周波数を高くしても特性の良好な、二重モー
ド弾性表面波フイルタを容易にしかも安価に製作できる
ようになった。
フイルタにおいて、通過帯域を広くしたり周波数を高く
した場合には、バスラインの抵抗分が増大することの影
響により通過帯域特性、帯域外減衰量および群遅延特性
が周波数の低い方において周波数の高い方に比べて特性
が充分に取れないという問題があった。本発明によりバ
スライン電極で必要な厚い膜厚を各電極に形成して、薄
い膜厚を必要とするＩＤＴ及び反射器電極の膜厚を薄く
削りバスライン電極の膜厚を厚く残すことで、バスライ
ン電極の断面積を大きく出来たのでバスライン電極の抵
抗が低くなり課題が解決されたので通過帯域幅を広くし
たり、使用周波数を高くしても特性の良好な、二重モー
ド弾性表面波フイルタを容易にしかも安価に製作できる
ようになった。
【図１】ＩＤＴ及び反射器の電極よりバスラインの電極
の膜厚を厚くした状態を示す断面図
の膜厚を厚くした状態を示す断面図
【図２】基板上に塗布されたレジストの各電極部分を剥
離した状態を示す断面図
離した状態を示す断面図
【図３】レジストをマスクにしてバスライン電極で必要
な厚みを各電極に形成した状態を示す断面図
な厚みを各電極に形成した状態を示す断面図
【図４】電極を薄くする必要のあるＩＤＴ及び反射器の
電極部分のみ剥離した、二度目のレジストの状態を示す
断面図
電極部分のみ剥離した、二度目のレジストの状態を示す
断面図
【図５】二度目のレジストをマスクにして薄くすること
が必要なＩＤＴ及び反射器の電極を薄くした状態を示す
断面図
が必要なＩＤＴ及び反射器の電極を薄くした状態を示す
断面図
１ 基板 ４，７ レジスト ５ バスライン電極 ６ ＩＤＴ，反射器電極
Claims (2)
- 【請求項１】 水晶基板を用いた二重モード弾性表面波
フイルタにおいて、ＩＤＴ電極、反射器電極の膜厚に比
べて、バスライン電極の膜厚が厚いことを特徴とする二
重モード弾性表面波フイルタ。 - 【請求項２】 水晶基板を用いた二重モード弾性表面波
フイルタの製造方法において、少なくとも基板上にレジ
ストを塗布する工程と、各電極に相当する部分のレジス
トを剥離する工程と、各電極を形成する工程と、レジス
トを塗布する工程と、ＩＤＴと反射器電極に相当する部
分のレジストを剥離する工程と、ＩＤＴと反射器電極を
薄くする工程と、全てのレジストを剥離する工程を具備
する二重モード弾性表面波フイルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6131093A JPH06252686A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 二重モード弾性表面波フイルタ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6131093A JPH06252686A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 二重モード弾性表面波フイルタ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06252686A true JPH06252686A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=13167472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6131093A Pending JPH06252686A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 二重モード弾性表面波フイルタ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06252686A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8410865B2 (en) | 2009-07-03 | 2013-04-02 | Panasonic Corporation | Surface acoustic wave filter and duplexer using the same |
| WO2016117483A1 (ja) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置の製造方法、および弾性波装置 |
-
1993
- 1993-02-26 JP JP6131093A patent/JPH06252686A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8410865B2 (en) | 2009-07-03 | 2013-04-02 | Panasonic Corporation | Surface acoustic wave filter and duplexer using the same |
| WO2016117483A1 (ja) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置の製造方法、および弾性波装置 |
| US10707825B2 (en) | 2015-01-22 | 2020-07-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for manufacturing elastic wave device, and elastic wave device |
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