JPH06248085A - 弗素化ポリシロキサン類 - Google Patents

弗素化ポリシロキサン類

Info

Publication number
JPH06248085A
JPH06248085A JP5059375A JP5937593A JPH06248085A JP H06248085 A JPH06248085 A JP H06248085A JP 5059375 A JP5059375 A JP 5059375A JP 5937593 A JP5937593 A JP 5937593A JP H06248085 A JPH06248085 A JP H06248085A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
formula
fluorinated
polymer
lower alkyl
fluorine
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5059375A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3427412B2 (ja
Inventor
Kazumi Kodama
和美 児玉
Yasuhiro Mitsuta
康裕 光田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zeon Corp
Original Assignee
Nippon Zeon Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Zeon Co Ltd filed Critical Nippon Zeon Co Ltd
Priority to JP05937593A priority Critical patent/JP3427412B2/ja
Publication of JPH06248085A publication Critical patent/JPH06248085A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3427412B2 publication Critical patent/JP3427412B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Silicon Polymers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】比誘電率が低い新規ポリマーを提供する。 【構成】一般式(1) 【化1】 (式中、Rは水素原子または低級アルキル基を示す。x
は1または2、yは0、1または2を示す。n=1〜1
0,000、m=0〜10,000の整数を示す。)の
構造を有し、ポリマー中の弗素含有量が0.1〜30重
量%であることを特徴とする弗素化ポリシロキサン類。 【効果】比誘電率が低い新規ポリマーを得ることができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は新規な弗素化ポリシロキ
サン類に関する。
【0002】
【従来の技術】ポリシロキサン類は分子量や側鎖の種類
などにより油状、ゴム状、樹脂状と幅広い性状を示す。
その特徴である有機溶媒可溶性、酸化安定性、耐熱性、
耐寒性、耐候性などを利用して、接着剤分野、電気・電
子材料分野、塗料分野など多岐の工業分野で使用されて
いる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは新規なポ
リシロキサン類を開発すべく鋭意研究の結果、後記一般
式(2)の構造を有するポリマーは新規ポリマーであ
り、弗素を含有しないポリシロキサンと比較して、比誘
電率が低いことを見出し、この知見に基づいて本発明を
完成するに到った。
【0004】
【課題を解決する為の手段】かくして本発明によれば一
般式(2)
【化2】 (式中、Rは水素原子または低級アルキル基を示す。x
は1または2、yは0、1または2を示す。n=1〜1
0,000、m=0〜10,000の整数を示す。)の
構造を有し、ポリマー中の弗素含有量が0.1〜30重
量%であることを特徴とする弗素化ポリシロキサン類が
提供される。
【0005】本発明の弗素化ポリシロキサン類は文献未
記載の新規なポリマーである。式中Rは水素原子または
メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基など
の低級アルキル基を示す。
【0006】弗素化ポリシロキサン類の製造方法として
は例えば、一般式(3)で表される弗素化シラン化合物
を、または前記弗素化シラン化合物と一般式(4)で表
されるシラン化合物との混合物を有機溶媒で希釈し、水
の存在下に加水分解縮合させる方法が挙げられる。
【0007】
【化3】 (式中、xは前述と同様のものを示す。A1は低級アル
キル基を示す。)
【化4】 (式中、R及びyは前述と同様のものを示す。A2は水
素原子または低級アルキル基を示す。)
【0008】A1はメチル基、エチル基、プロピル基、
イソプロピル基などの低級アルキル基を、A2は同様の
アルキル基または水素原子を示す。
【0009】混合物の場合は一般式(3)で表される弗
素化シラン化合物1モルに対し、一般式(4)で表され
シラン化合物が通常0.1〜99モル、好ましくは0.
5〜20モルの範囲で用いられる。
【0010】有機溶媒はケトン類やエーテル類が賞用さ
れる。ケトン類としてはアセトン、メチルエチルケト
ン、メチルイソブチルケトンなどが、エーテル類として
はジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、テトラ
ヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチ
ルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エ
チレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコ
ールジブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチル
エーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテルなど
が例示される。
【0011】加水分解縮合反応は水の存在下に行われ
る。水の使用量は、通常、弗素化シラン化合物及びシラ
ン化合物の加水分解可能な官能基1モルに対して1〜1
00モル、好ましくは1〜20モルの範囲である。加水
分解縮合反応は通常0〜100℃、好ましくは10〜6
0℃、0.5〜10時間で行われる。
【0012】本発明の弗素化ポリシロキサン類中の弗素
含有量は0.1〜30重量%、好ましくは1.0〜30
重量%である。
【0013】また、弗素化ポリシロキサンの重量平均分
子量(ゲルパーミェーションクロマトグラフィーにより
標準ポリスチレンに換算して求めた分子量)は1,00
0〜1,000,000、好ましくは2,000〜10
0,000である。
【0014】かくして本発明で得られた弗素化ポリシロ
キサン類は比誘電率が低いので、電気・電子材料分野に
おける用途が期待できる。
【0015】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的
に説明する。なお、実施例及び比較例中の部及び%は特
に断りのないかぎり重量基準である。
【0016】実施例1 還流冷却器を備えた反応器にフロオロトリエトキシシラ
ン5.3グラムとメチルイソブチルケトン80ミリリッ
トルとを入れ、窒素気流下に−50℃に冷却した。攪拌
下に水3.1グラムを10分かけて滴下した。次に、室
温下で3時間攪拌を続けた。反応液に硫酸マグネシウム
を加え過剰の水を除去したところ、弗素化ポリシロキサ
ンが得られた。ポリマーの重量平均分子量(ゲルパーミ
ェーションクロマトグラフィーにより標準ポリスチレン
に換算して求めた分子量)は9,000であった。
【0017】弗素化ポリシロキサンの物性値を以下に示
す。 IR(KBr):3400cm-1に−OHの吸収、11
00cm-1にSi−O−Siの吸収、950cm-1にS
i−Fの吸収が観察された。
【0018】470MHz 19FNMR(FCC
3):−150.7ppmに−O−Si−Fに帰属す
るシグナルが観察された。
【0019】X線光電子分光分析により組成を求めたと
ころF0.95Si1.001.52(理論値F1.00Si1.00
1.50)であった。
【0020】また、弗素化ポリシロキサンを用いて作製
した酸化膜について10KHzの容量・電圧特性から求
めた比誘電率は3.7であった。比較のためトリエトキ
シシランをモノマーとして同様に分解縮合させて得たポ
リシロキサンについて比誘電率を求めたところ4.0で
あった。
【0021】実施例2 還流冷却器を備えた反応器にフロオロトリエトキシシラ
ン1.8グラム、メチルトリエトキシシラン1.8グラ
ム及びメチルイソブチルケトン40ミリリットルとを入
れ、窒素気流下に−50℃に冷却した。攪拌下に水1.
1グラムを5分かけて滴下した。次に、室温下で3時間
攪拌を続けた。反応液に硫酸マグネシウムを加え過剰の
水を除去したところ、弗素化ポリシロキサンが得られ
た。ポリマーの重量平均分子量(ゲルパーミェーション
クロマトグラフィーにより標準ポリスチレンに換算して
求めた分子量)は29,100であった。
【0022】弗素化ポリシロキサンの物性値を以下に示
す。 IR(KBr):3400cm-1に−OHの吸収、29
60及び1280cm-1に−Si−CH3の吸収、11
00及び910cm-1にSi−O−Siの吸収が観察さ
れた。
【0023】470MHz 19FNMR(FCC
3):−131.5ppmに−O−SiF−O−Si
CH3−O−に帰属するシグナルが観察された。
【0024】X線光電子分光分析により組成を求めたと
ころF0.48Si1.001.54(理論値F0.50Si1.00
1.50)であった。
【0025】また、弗素化ポリシロキサンを用いて作製
した酸化膜について10KHzの容量・電圧特性から求
めた比誘電率は3.6であった。
【0026】実施例3 還流冷却器を備えた反応器にフロオロトリエトキシシラ
ン2.8グラム、テトラトリエトキシシラン2.8グラ
ム及びメチルイソブチルケトン80ミリリットルとを入
れ、窒素気流下に−50℃に冷却した。攪拌下に水3.
6グラムを5分かけて滴下した。次に、室温下で3時間
攪拌を続けた。反応液に硫酸マグネシウムを加え過剰の
水を除去したところ、弗素化ポリシロキサンが得られ
た。ポリマーの重量平均分子量(ゲルパーミェーション
クロマトグラフィーにより標準ポリスチレンに換算して
求めた分子量)は30,000であった。
【0027】弗素化ポリシロキサンの物性値を以下に示
す。 IR(KBr):3400cm-1に−OHの吸収、11
00及び910cm-1にSi−O−Siの吸収が観察さ
れた。
【0028】470MHz 19FNMR(FCC
3):−150.7ppmに−O−SiFに帰属する
シグナルが観察された。
【0029】X線光電子分光分析により組成を求めたと
ころF0.52Si1.001.62(理論値F0.50Si1.00
1.75)であった。
【0030】また、弗素化ポリシロキサンを用いて作製
した酸化膜について10KHzの容量・電圧特性から求
めた比誘電率は3.6であった。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一般式(1) 【化1】 (式中、Rは水素原子または低級アルキル基を示す。x
    は1または2、yは0、1または2を示す。n=1〜1
    0,000、m=0〜10,000の整数を示す。)の
    構造を有し、ポリマー中の弗素含有量が0.1〜30重
    量%であることを特徴とする弗素化ポリシロキサン類。
JP05937593A 1993-02-25 1993-02-25 弗素化ポリシロキサン類およびその製造方法 Expired - Fee Related JP3427412B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05937593A JP3427412B2 (ja) 1993-02-25 1993-02-25 弗素化ポリシロキサン類およびその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05937593A JP3427412B2 (ja) 1993-02-25 1993-02-25 弗素化ポリシロキサン類およびその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06248085A true JPH06248085A (ja) 1994-09-06
JP3427412B2 JP3427412B2 (ja) 2003-07-14

Family

ID=13111476

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP05937593A Expired - Fee Related JP3427412B2 (ja) 1993-02-25 1993-02-25 弗素化ポリシロキサン類およびその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3427412B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001029141A1 (en) * 1999-10-18 2001-04-26 Alliedsignal Inc. Deposition of fluorosilsesquioxane films
WO2003104305A1 (en) * 2002-04-18 2003-12-18 Lg Chem, Ltd. Organic silicate polymer and insulation film comprising the same
WO2008032539A1 (fr) * 2006-09-13 2008-03-20 Kaneka Corporation POLYMÈRE DURCISSABLE À L'HUMIDITÉ COMPORTANT UN GROUPE SiF ET COMPOSITION DURCISSABLE CONTENANT UN TEL POLYMÈRE
US8398904B2 (en) 2005-11-30 2013-03-19 Lg Chem, Ltd. Microcellular foam of thermoplastic resin prepared with die having improved cooling property and method for preparing the same

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001029141A1 (en) * 1999-10-18 2001-04-26 Alliedsignal Inc. Deposition of fluorosilsesquioxane films
US6440550B1 (en) * 1999-10-18 2002-08-27 Honeywell International Inc. Deposition of fluorosilsesquioxane films
WO2003104305A1 (en) * 2002-04-18 2003-12-18 Lg Chem, Ltd. Organic silicate polymer and insulation film comprising the same
US7834119B2 (en) 2002-04-18 2010-11-16 Lg Chem, Ltd. Organic silicate polymer and insulation film comprising the same
US8398904B2 (en) 2005-11-30 2013-03-19 Lg Chem, Ltd. Microcellular foam of thermoplastic resin prepared with die having improved cooling property and method for preparing the same
WO2008032539A1 (fr) * 2006-09-13 2008-03-20 Kaneka Corporation POLYMÈRE DURCISSABLE À L'HUMIDITÉ COMPORTANT UN GROUPE SiF ET COMPOSITION DURCISSABLE CONTENANT UN TEL POLYMÈRE
JP5500824B2 (ja) * 2006-09-13 2014-05-21 株式会社カネカ SiF基を有する湿分硬化性重合体およびそれを含有する硬化性組成物

Also Published As

Publication number Publication date
JP3427412B2 (ja) 2003-07-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8053173B2 (en) Multi-functional linear siloxane compound, a siloxane polymer prepared from the compound, and a process for forming a dielectric film by using the polymer
JP4465233B2 (ja) 多官能性環状シロキサン化合物、この化合物から製造されたシロキサン系重合体及びこの重合体を用いた絶縁膜の製造方法
JP2003040998A (ja) 多分枝型ポリアルキレンオキシドポロゲンおよびその製造方法並びにそれを用いた低誘電性絶縁膜
JP2000265066A (ja) 有機溶剤可溶性の水素化オクタシルセスキオキサン−ビニル基含有化合物共重合体及び同共重合体からなる絶縁材料
JP4406340B2 (ja) 多反応性環状シリケート化合物、この化合物から製造されたシロキサン系重合体及びこの重合体を用いた絶縁膜製造方法
US5115069A (en) Glycidoxy group-containing organosilicon compound
JP2000265065A (ja) 有機溶剤可溶性の水素化オクタシルセスキオキサン−ビニル基含有化合物共重合体の製造方法
JPH06248085A (ja) 弗素化ポリシロキサン類
JP3097533B2 (ja) 表面処理剤
EP1149837A2 (en) Organosilicon compounds
JP3465314B2 (ja) 弗素含有水素シルセスキオキサンポリマーおよびその製造方法
US5288832A (en) Poly(silethynylenedisiloxane) and method for the manufacture thereof
JPS59524B2 (ja) シリコ−ン変性ポリオキシアルキレンの製造方法
JPS61236830A (ja) アルコキシ基含有オルガノポリシロキサンの製造方法
EP1233020B1 (en) Fluorinated organosilicon compounds
JPH10176049A (ja) 含フッ素アミド化合物
JPH07224168A (ja) (メタ)アクリル官能性オルガノポリシロキサン及びその製造方法
JP2864413B2 (ja) 有機ケイ素化合物
JPH0692422B2 (ja) 有機けい素化合物及びその製造方法
US5196557A (en) Organic silicon compounds and method for making
JP3385714B2 (ja) アゾ基含有重合体の製造方法
JPH07309880A (ja) 含フッ素ポリシロキサンおよびその製造方法
JPH07102215A (ja) コーティング材料
JPH06248086A (ja) シルセスキオキサンポリマーの取得法
JPH01138228A (ja) アルコール性水酸基を有するポリシロキサンの製造法

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20030408

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080516

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090516

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090516

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100516

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100516

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110516

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees